JPH0735579B2 - 帯状物のエア−ロツク - Google Patents
帯状物のエア−ロツクInfo
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- JPH0735579B2 JPH0735579B2 JP16671886A JP16671886A JPH0735579B2 JP H0735579 B2 JPH0735579 B2 JP H0735579B2 JP 16671886 A JP16671886 A JP 16671886A JP 16671886 A JP16671886 A JP 16671886A JP H0735579 B2 JPH0735579 B2 JP H0735579B2
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Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は帯状物のエアーロック、特に金属ストリップ等
の帯状物の表面に真空室内でイオンプレーティング等の
物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の薄い
被膜を連続的にコーティングするめの帯状物連続真空蒸
着処理装置の入側および出側に設けられる複数個の差圧
室を具えるエアーロックの差圧室封止構造に関するもの
である。
の帯状物の表面に真空室内でイオンプレーティング等の
物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の薄い
被膜を連続的にコーティングするめの帯状物連続真空蒸
着処理装置の入側および出側に設けられる複数個の差圧
室を具えるエアーロックの差圧室封止構造に関するもの
である。
（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にA
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置の入
側および出側エアーロックとして、第６図に示すような
ものが既知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理
装置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持される
真空室１と、この真空室１の入口1aおよび出口1bにそれ
ぞれ通じる入側および出側エアーロック２および３とを
具え、これら両エアーロック2,3は真空室１に近い程高
真空度に調圧された複数個の差圧室によりそれぞれ構成
され、金属ストリップ等の帯状物４を入口1aから出口1b
を経て連続的に真空室１内に通過させて蒸着処理を行っ
ている際に、真空室１内を高真空に維持するための真空
封止を確保するよう構成されている。
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装置の入
側および出側エアーロックとして、第６図に示すような
ものが既知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理
装置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持される
真空室１と、この真空室１の入口1aおよび出口1bにそれ
ぞれ通じる入側および出側エアーロック２および３とを
具え、これら両エアーロック2,3は真空室１に近い程高
真空度に調圧された複数個の差圧室によりそれぞれ構成
され、金属ストリップ等の帯状物４を入口1aから出口1b
を経て連続的に真空室１内に通過させて蒸着処理を行っ
ている際に、真空室１内を高真空に維持するための真空
封止を確保するよう構成されている。
入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口７か
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口開口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口７か
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口開口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。
入側エアーロック２の複数個の差圧室2a,2b,2c,2dの内
部圧力は、真空室１内の真空度を所定値に維持するよう
に、大気圧に近い入側端の差圧室2aから順次の差圧室2
b,2c,2dの内部の真空度を高め、他方、出側エアーロッ
ク３の複数個の差圧室3a,3b,3c,3dの内部圧力は真空室
１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めていっ
て出側端の差圧室3aでは大気圧近くになるよう各差圧室
に接続された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞ
れ排気されて調圧されている。
部圧力は、真空室１内の真空度を所定値に維持するよう
に、大気圧に近い入側端の差圧室2aから順次の差圧室2
b,2c,2dの内部の真空度を高め、他方、出側エアーロッ
ク３の複数個の差圧室3a,3b,3c,3dの内部圧力は真空室
１内の所定の真空度から順次出側端に向けて低めていっ
て出側端の差圧室3aでは大気圧近くになるよう各差圧室
に接続された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞ
れ排気されて調圧されている。
（発明が解決しようとする問題点） 上述したように帯状物を連続的に処理する場合には、大
気‐高真空‐大気（air-to-air）となるために、大気と
真空室との間の真空シールをどのようにするかが問題と
なっている。即ち、シール性が悪いと大気中のO2，CO2
および微細な浮遊物が真空室内に侵入して、蒸着被膜に
悪影響を与えるばかりでなく、真空ポンプによる真空
室、差圧室での排気量が増え、ランニングコストがかさ
むという問題がある。
気‐高真空‐大気（air-to-air）となるために、大気と
真空室との間の真空シールをどのようにするかが問題と
なっている。即ち、シール性が悪いと大気中のO2，CO2
および微細な浮遊物が真空室内に侵入して、蒸着被膜に
悪影響を与えるばかりでなく、真空ポンプによる真空
室、差圧室での排気量が増え、ランニングコストがかさ
むという問題がある。
本発明は、上述した問題を解決しようとするものであ
る。
る。
（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、真空室に近い程
高真空度に調圧された複数個の差圧室2a,2b2c……を具
え、高真空に排気される真空室内の高真空を維持しなが
ら真空処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から真空
室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から導
出し得るよう真空室の入側および出側にそれぞれ設けら
れる帯状物のエアーロックにおいて、前記差圧室2a,2b,
2c……の入側に上下シールロール11,12が帯状物４をは
さんで入側を閉塞するようにそれぞれ設けられ、少なく
とも１組のシールロール11,12の両端部の帯状物非通過
部に上下一対のサイドシールロール18,19が互に接触し
た状態に保持さて設けられていることを特徴とする。
高真空度に調圧された複数個の差圧室2a,2b2c……を具
え、高真空に排気される真空室内の高真空を維持しなが
ら真空処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から真空
室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から導
出し得るよう真空室の入側および出側にそれぞれ設けら
れる帯状物のエアーロックにおいて、前記差圧室2a,2b,
2c……の入側に上下シールロール11,12が帯状物４をは
さんで入側を閉塞するようにそれぞれ設けられ、少なく
とも１組のシールロール11,12の両端部の帯状物非通過
部に上下一対のサイドシールロール18,19が互に接触し
た状態に保持さて設けられていることを特徴とする。
（作用） 上述の構成になる本発明による帯状物のエアーロックに
よれば、差圧室2a,2b,2c……より真空度の低い入側また
は出側を上下シールロール11,12およびサイドシールロ
ール18,19によって実質的に閉塞して帯状物を通すこと
ができる。したがって、大気中のO2，CO2および微細な
浮遊物の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影響を
なくし、また、真空室および差圧室の排気に要するラン
ニングコストを低減することができる。
よれば、差圧室2a,2b,2c……より真空度の低い入側また
は出側を上下シールロール11,12およびサイドシールロ
ール18,19によって実質的に閉塞して帯状物を通すこと
ができる。したがって、大気中のO2，CO2および微細な
浮遊物の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影響を
なくし、また、真空室および差圧室の排気に要するラン
ニングコストを低減することができる。
（実施例） 第１〜４図は、上述した帯状物連続真空蒸着処理装置の
入側エアーロック２に本発明を実施した例を示す。
入側エアーロック２に本発明を実施した例を示す。
図示の例では、真空排気ダクト10を経て排気されて入側
エアーロック２の入口端から真空室に向けて順次真空度
が高められた複数個の差圧室2a,2b,2cの入側に上下一対
のシールロール11,12が帯状物４をはさむようにしてエ
アーロック２の頂壁13、底壁14および側壁15で囲まれた
空間を実質的に閉塞して封止するようそれぞれ設けられ
ている。各シールロール11,12のネック部11a,12aは側壁
15に回転シール16を介して貫通されて軸受17,18にそれ
ぞれ回転自在に支承されており、シールロール11,12は
駆動してもよいし、非駆動でもよいが、回転駆動させた
方が、帯状物との間ですり疵が発生せず好ましい。
エアーロック２の入口端から真空室に向けて順次真空度
が高められた複数個の差圧室2a,2b,2cの入側に上下一対
のシールロール11,12が帯状物４をはさむようにしてエ
アーロック２の頂壁13、底壁14および側壁15で囲まれた
空間を実質的に閉塞して封止するようそれぞれ設けられ
ている。各シールロール11,12のネック部11a,12aは側壁
15に回転シール16を介して貫通されて軸受17,18にそれ
ぞれ回転自在に支承されており、シールロール11,12は
駆動してもよいし、非駆動でもよいが、回転駆動させた
方が、帯状物との間ですり疵が発生せず好ましい。
第２および第４図に示すように、上下一対のサイドシー
ルロール19,20が入口端に位置する上下一対のシールロ
ール11,12の入側両サイドに最大幅の帯状物をも干渉し
ない位置で設けられており、これらの上下サイドシール
ロール19,20は互に接触した状態で好ましくは半割型の
軸受21に回転自在に支承され、軸受21は頂壁13にピン22
によって枢着されたレバー23の下端に取付けられ、レバ
ー23の上端にシリンダー装置24のピストンロッド25が連
結され、シリンダー装置24を作動して図示のシール位置
とする際、上下シールロール11,12間の帯状物４の両側
に生じる空隙26をサイドシールロール19,20が塞いでシ
ール性を高めるよう構成されている。
ルロール19,20が入口端に位置する上下一対のシールロ
ール11,12の入側両サイドに最大幅の帯状物をも干渉し
ない位置で設けられており、これらの上下サイドシール
ロール19,20は互に接触した状態で好ましくは半割型の
軸受21に回転自在に支承され、軸受21は頂壁13にピン22
によって枢着されたレバー23の下端に取付けられ、レバ
ー23の上端にシリンダー装置24のピストンロッド25が連
結され、シリンダー装置24を作動して図示のシール位置
とする際、上下シールロール11,12間の帯状物４の両側
に生じる空隙26をサイドシールロール19,20が塞いでシ
ール性を高めるよう構成されている。
図示の例ではサイドシールロール19,20をエアーロック
入口端の差圧室2aの入側に設けられた上下シールロール
11,12の入側にだけしか設けていないが、全てのシール
ロール11,12の入側に設けてもよいし、例えば第５図に
示すようにシールロール11,12の入側および出側に設け
ることもできる。
入口端の差圧室2aの入側に設けられた上下シールロール
11,12の入側にだけしか設けていないが、全てのシール
ロール11,12の入側に設けてもよいし、例えば第５図に
示すようにシールロール11,12の入側および出側に設け
ることもできる。
（発明の効果） 本発明によれば、エアーロックの各差圧室より真空度の
低い入側または出側を実質的に閉塞して帯状物を通すこ
とができ、したがって、大気中のO2，CO2および微細な
浮遊物の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影響を
なくし、また、真空室および差圧室の排気に要するラン
ニングコストを低減することができる。
低い入側または出側を実質的に閉塞して帯状物を通すこ
とができ、したがって、大気中のO2，CO2および微細な
浮遊物の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影響を
なくし、また、真空室および差圧室の排気に要するラン
ニングコストを低減することができる。
第１図は本発明によるエアーロックの長さ方向の部分縦
断面図、 第２図は第１図に示すエアーロックの一部を長さ方向に
対し直角な断面で示す断面図、 第３図は第２図のIII−III線上の断面図、 第４図は第２図のIV−IV線上の断面図、 第５図は本発明の他の実施例を示す略線図、 第６図が従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略線図であ
る。 １…真空室、２…入側エアーロック 2a,2b,2c…差圧室、３…出側エアーロック 3a,3b,3c…差圧室、４…帯状物 10…真空排気ダクト、11…上シールロール 12…下シールロール、13…上壁 14…下壁、15…側壁 16,17…軸受 18,19…サイドシールロール
断面図、 第２図は第１図に示すエアーロックの一部を長さ方向に
対し直角な断面で示す断面図、 第３図は第２図のIII−III線上の断面図、 第４図は第２図のIV−IV線上の断面図、 第５図は本発明の他の実施例を示す略線図、 第６図が従来の帯状物連続真空蒸着装置の概略線図であ
る。 １…真空室、２…入側エアーロック 2a,2b,2c…差圧室、３…出側エアーロック 3a,3b,3c…差圧室、４…帯状物 10…真空排気ダクト、11…上シールロール 12…下シールロール、13…上壁 14…下壁、15…側壁 16,17…軸受 18,19…サイドシールロール
Claims (1)
- 【請求項１】真空室に近い程高真空度に調圧された複数
の差圧室を具え、高真空に排気される真空室内の高真空
を維持しながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気
中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真
空室から導出し得るよう真空室の入側および出側にそれ
ぞれ設けられる帯状物のエアーロックにおいて、前記差
圧室の入側または出側に上下シールロールが帯状物をは
さんで入側または出側を閉塞するようにそれぞれ設けら
れ、少なくとも１組の上下シールロールの両端部の帯状
物非通過部に上下一対のサイドシールロールが互に接触
した状態に保持されて設けられていることを特徴とする
帯状物のエアーロック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16671886A JPH0735579B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16671886A JPH0735579B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324066A JPS6324066A (ja) | 1988-02-01 |
| JPH0735579B2 true JPH0735579B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=15836468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16671886A Expired - Lifetime JPH0735579B2 (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 | 帯状物のエア−ロツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735579B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3441177B2 (ja) | 1994-08-02 | 2003-08-25 | マツダ株式会社 | 車両の盗難防止装置 |
| US6008722A (en) * | 1994-08-02 | 1999-12-28 | Mazda Motor Corporation | Anti-vehicle-thief apparatus and code setting method of the apparatus |
| JP3073904B2 (ja) * | 1995-02-17 | 2000-08-07 | 本田技研工業株式会社 | 車両用データ処理装置 |
| JP3191607B2 (ja) * | 1995-03-28 | 2001-07-23 | トヨタ自動車株式会社 | 車両盗難防止装置 |
| JP3344185B2 (ja) * | 1995-09-28 | 2002-11-11 | トヨタ自動車株式会社 | コード判別装置 |
| CN116657113A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-08-29 | 武汉乾冶工程技术有限公司 | 可穿过扁平材的动态密封机构及扁平材真空沉积处理系统 |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP16671886A patent/JPH0735579B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6324066A (ja) | 1988-02-01 |
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