JPS6324067A - 帯状物のエア−ロツク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は帯状物のエアーロック装置、特に金属ストリッ
プ等の帯状物の表面に真空室内でイオンブレーティング
等の物理的蒸着法によって金属、セラミックスその他の
薄い被膜を連続的にコーティングするための帯状物連続
真空蒸着処理装置の入側および出側に設けられるシール
用差圧室を具えるエアーロック装置の差圧室封止構造に
関するものである。

（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にｌ
／！、Ｔｉ等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着装
置の入側および出側エアーロックとして、第６図に示す
ようなものが既知である。この図示の形式の連続真空薄
着処理装置は、真空蒸着処理を行うだめの高真空に維持
される真空室１と、この真空室１の入口１ａおよび出口
１ｂにそれぞれｉｌしる入側および出側エアーロック２
および３とを具え、これら両エアーロック２，３は真空
室１に近い程高真空度に調圧された複数個の差圧室によ
りそれぞれ構成され、金属ストリップ等の帯状吻４を入
口１ａから出口１ｂを経て連続的に真空室１内に１ｆｆ
ｌ過させて蒸着処理を行っている際に、真空室１内を高
真空に維持するための真空封止を確保するよう構成され
ている。

入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻機５および巻取機６
が設けられ、これにより、巻戻機５によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口間ロアか
ら真空室１を経て出側エアーロック３の出口開口８に連
続的に通し、真空室１内で蒸発ポットのような蒸発源９
から蒸発した金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エ
アーロック３の出口開口８から出た帯状物４を巻取機６
によってコイル状に巻き取るよう構成されている。

入側エアーロック２の複数個の差圧室２ａ＋　２ｂ＋２
ｃ、　２ｄの内部圧力は、真空室１内の真空度を所定値
に維持するように、大気圧に近い入側端の差圧室２ａか
ら順次の差圧室２ｂ、　２ｃ、　２ｄの内部の真空度を
高め、他方、出側エアーロック３の複数個の差圧室３ａ
、　３ｂ、　３ｃ、　３ｄの内部圧力は真空室１内の所
定の真空度から順次出側端に向けて低めていって出側端
の差圧室３ａでは大気圧近くになるよう各差圧室に接続
された真空排気ダクト（図示せず）を経てそれぞれ排気
されて調圧されている。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように帯状物を連続的に処理する場合には、大
気−高真空−大気（ａｉｒ−ｔｏ−ａｉｒ）となるため
に、大気と真空室との間の真空シールをどのようにする
かが問題となっている。即ち、シール性が悪いと大気中
のＯ２，ＣＯ□および微細な浮遊物が真空室内に侵入し
て、蒸着被膜に悪影響を与えるばかりでなく、真空ポン
プによる真空室、差圧室での排気量が増え、ランニング
コストがかさむという問題がある。

本発明は、上述した問題を解決しようとするものである
。

（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、高真空に排気される真空室内の高真空
を維持しながら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気
中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真
空室から導出し得るよう真空室の入側および出側に設け
られたシール用差圧室を具える帯状物のエアーロツタ装
置において、第１図に示すように差圧室の長さ方向にそ
れぞれ離間した一対の上シールロール１３．１４と一対
の下シールロール１５．１６とが差圧室１０内に上下に
設けられ、上シールロール１３．１４問および下シール
ロール１５，１６ｆ’Ｊにそれぞれエンドレスシールベ
ルト２４、２５が巻掛けられ、これにより上下一対のエ
ンドレスシールベル）２４．２５が帯状物をはさんで差
圧室１０の内部空間を実質的に閉塞して帯状物４を通す
よう構成したことを特徴とする。

（作　用） 上述の構成になる本発明による帯状物のエアーロツタ装
置によれば、差圧室１０を上下シールベルト２４．２５
によって実質的に閉塞して帯状物を通すことができる。

したがって、大気中００□、Ｃ０２および微細な浮遊物
の侵入によって生じる蒸着被膜に対する悪影響をなくし
、また、真空室および差圧室の排気に要するランニング
コストを低減することができる。

（実施例） 第１〜３図は本発明の一実施例を示す。図示の例では、
シール用差圧室１０の頂壁１１および底壁１２間に一対
の上シールロール１３．１４および一対の下シールロー
ル１５．１６がそれぞれ差圧室１０の長さ方向に離間し
て上下に設けられ各シールロール１３．１４、１５．１
６のロール軸１７．１８．１９．２０は差圧室１０の側
壁２１に回転シール２２を介して貫通されて軸受２３に
よってそれぞれ回転自在に支承されている。

上シールロール１３　、１４　問および下シールロール
１５　、１６　間にそれぞれエンドレスシールヘルド２
４゜２５が巻掛けられ、これらの上下シールヘルド２４
゜２５ヲ上シールロール１３．１４および下シールロー
ル１５、１６によってそれぞれ帯状物４に密着させて上
下シールベルト２４．２５によってはさみ込み、これに
より差圧室１０の入側及び出側間の空間をシールベル）
２４．２５が実質的に閉塞して封止するよう構成さてい
る。

図示の例では、帯状物４と、上下シールロール１３．１
４．１５．１６と、シールベルト２４．２５との間に生
じる空隙にサイドシール片２６が挿入さている。

シール片２６はロール１３．１５の両端部の前面および
ロール１４．１６の両端部の後面を覆うよう形成され、
これらのシール片２６間にスペーサー２７を連結してシ
ール片２６がロール端部を覆う位置に保持されるよう構
成さている。

（発明の効果） 本発明によれば、エアーロック装置の差圧室を実質的に
閉塞して帯状物を通すことができ、したがって、大気中
の０２＋　ｃｏ□および微細な浮遊物の侵入によって生
じる蒸着被膜に対する悪影響をな（し、また、真空室お
よび差圧室の排気に要するランニングコストを低減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるエアーロック装置の長さ方向の部
分縦断面図、　− 第２図は第１図の■−■線上の断面図、第３図は第１図
のＩＩＩ−Ｉ［［線上の断面図、第４図は従来の帯状物
連続真空蒸着装置の概略線図である。 １・・・真空室 １３、１４・・・上シールロール １５、１６・・・下シールロール ２４・・・上エンドレスシールベルト ２５・・・下エンドレスシールヘルド ２６・・・サイドシール片 ２７・・・スペーサー 特許出願人　　川崎製鉄株式会社 第１図 第２図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、高真空に排気される真空室内の高真空を維持しなが
   ら真空処理すべき帯状物を入側大気雰囲気中から真空室
   に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から導出
   し得るよう真空室の入側および出側に設けられたシール
   用差圧室を具える帯状物のエアーロック装置において、
   差圧室の長さ方向にそれぞれ離間した一対の上シールロ
   ールと一対の下シールロールとが差圧室内に上下に設け
   られ、上シールロール間および下シールロール間にそれ
   ぞれエンドレスシールベルトが巻掛けられ、これにより
   上下一対のエンドレスシールベルトが帯状物をはさんで
   差圧室の内部空間を実質的に閉塞して帯状物を通すよう
   構成したことを特徴とする帯状物のエアーロック装置。