JP2000225634A - 樹脂封止用金型 - Google Patents
樹脂封止用金型Info
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Abstract
の残留防止に有効な樹脂封止用金型を提供する。 【解決手段】樹脂封止用金型を構成する下型(104)
の表面のうち、リードフレーム(12)の外部リード
(18)が載置される領域とその周囲0.1mmに鏡面
加工を施して鏡面領域(22)を形成し、該鏡面領域
(22)以外の部分に放電加工を施して梨地領域(2
4)を形成する。
Description
関し、特に、パッケージの離型の円滑化を図り、かつ、
樹脂の残留防止に有効な樹脂封止用金型に関する。
は、従来、次のように形成されていた。まず、キャビテ
ィを有する樹脂封止用金型をリードフレーム上の樹脂封
止領域に配置する。その後、該キャビティ内に樹脂を充
填し、続いて、該充填した樹脂を加熱硬化させてパッケ
ージを形成する。
の表面は、パッケージの円滑な離型を実現するために、
梨地状に形成される。このような梨地表面は、キャビテ
ィ表面への放電加工やサンドブラストによって形成する
ことができる。梨地表面を有するキャビティについて
は、特開平6−143360号公報に詳細な説明があ
る。
キャビティの表面が梨地状の金型を用いて、SON(S
mall Outline Non−leaded)や
QFN(Quad Flat Non−leaded)
等の外部リードが底面から露呈したパッケージを形成す
ると、該露呈した外部リードの表面に樹脂が残留し、実
装時に接続不良を起こすおそれがあった。
滑化を図り、かつ、樹脂の残留防止に有効な樹脂封止用
金型を提供することを目的とする。
め、請求項1記載の発明は、半導体チップ(10)を搭
載したリードフレーム(12)の該搭載部を収容するキ
ャビティ(14)を具備し、該半導体チップ(10)の
樹脂封止に使用される樹脂封止金型において、前記キャ
ビティ(14)は、前記リードフレーム(12)の外部
リード(18)を載置する外部リード載置領域(20)
と、前記外部リード載置領域(20)の周囲を取り囲ん
で形成された鏡面領域(22)と、前記外部リード載置
領域(20)および前記鏡面領域(22)以外の少なく
とも一部に形成された梨地領域(24)とを具備するこ
とを特徴とする。
載の発明において、前記鏡面領域(22)は、前記外部
リード載置領域(20)の周囲を0.1mm以上覆うこ
とを特徴とする。
外部リードを載置する領域に鏡面を形成して、該外部リ
ードへの樹脂の付着を防止するとともに、パッケージの
壁面を象る部分の少なくとも一部に梨地を形成して、離
型の円滑化を防止することにある。
すプロセスを通して、上記従来の課題を解決し得る本発
明を完成させるに至った。
細に検討し、外部リードに樹脂が残留する原因を明らか
にした。この樹脂が残留する原因を図面を用いて説明す
ると、次のようになる。尚、ここでは、発明のプロセス
に直接関連する部分のみを説明し、当該図面に示す構成
の詳細は後述する。
樹脂付着との関係を示す断面図である。同図に示すよう
に、従来の金型を用いた場合には、外部リード18が梨
地領域24の上に載置されるため、該外部リード18と
金型との間に微細な空間が発生する。このような状態で
樹脂封止を行うと、キャビティ14内に注入した封止樹
脂が前記微細な空間、即ち、同図中矢印で示した部分に
侵入して外部リード18の表面に付着する。その後、金
型100を加熱して樹脂を硬化させると、外部リード1
8に付着した樹脂がそのまま硬化して、金型100を外
した後も外部リード18に残留する。そして、この残留
樹脂が実装時の接触不良を引き起こす原因となる。
た梨地領域24は、パッケージの離型を円滑に行うため
の重要な構成要素であり、可能な限り多く形成すること
が望まれる。従って、このような梨地領域24を残した
まま、外部リードに対する樹脂の付着を防止する必要が
ある。
創作行為を繰り返し、パッケージの離型の円滑化を図
り、かつ、樹脂の残留防止に有効な構成を見出した。以
下、この特徴ある新規な構成を詳細に説明する。
封止用金型の構成を示す断面図である。以下、同図に基
づいて、本発明に係る樹脂封止用金型の構成を説明す
る。
載された半導体チップ10の樹脂封止に使用する樹脂封
止用金型であり、その内部には、リードフレーム12の
半導体チップ搭載部を収容するキャビティ14が設けら
れる。半導体チップ10のリードフレーム12への接続
は、同図に示すように、例えば、ワイヤー26を用いて
行う。樹脂封止を行う際には、このキャビティ14内
に、封止用の樹脂が充填される。この金型100は、同
図に示すように、上型102と下型104のペアで構成
することが望ましく、このように構成した場合には、リ
ードフレーム12が上型102と下型104の間で挟持
される。
4の表面のうち、リードフレーム12の外部リード18
を載置する部分であり、この部分は、外部リード18と
の密着性を高めるために、表面を平坦にする。好ましく
は、鏡面加工を施して、その平坦性を向上させ、外部リ
ード18との密着性をより高める。このような構造によ
り、外部リード18の底面への樹脂の侵入が防止され
る。
の周囲を取り囲んで形成され、その表面には、鏡面加工
が施される。このように、外部リード載置領域20の周
囲に鏡面加工を施しておくと、外部リード18の載置位
置が多少ずれた場合でも、外部リード18は、鏡面領域
22上に載置されるため、外部リード18の密着性が保
たれる。このような観点からすると、鏡面領域22は、
金型の位置決め誤差を考慮して設定することが好まし
い。通常は、外部リード載置領域20の周囲を0.1m
m以上覆う形状が好適である。より好ましくは、この鏡
面領域22と前記外部リード載置領域20とを連続した
鏡面で一体形成する。
および鏡面領域22以外の少なくとも一部に形成され、
パッケージの離型に寄与する。離型力の向上という観点
からすれば、梨地領域24を可能な限り多く形成するこ
とが好ましく、より好ましくは、同図に示すように、外
部リード載置領域20および鏡面領域22以外のすべて
の部分に形成する。梨地は、キャビティ14表面への放
電加工やサンドブラストによって形成できる。
た下型104の表面形状を示す上面図である。同図に示
すように、SON型パッケージを形成する場合には、該
パッケージの外部リード形状に対応した外部リード載置
領域20を下型104の外周部表面上に設定し、その周
囲に鏡面領域22を好ましくは0.1mm以上形成す
る。そして、梨地領域24を鏡面領域22の外側全体に
形成し、離型力を向上させる。
た下型104の表面形状を示す上面図である。同図に示
すように、QFN型パッケージを形成する場合には、該
パッケージの外部リード形状に対応した外部リード載置
領域20を下型104の外周部表面上に設定し、該外部
リード載置領域20のすべてを含む範囲にドーナツ状の
鏡面領域22を形成する。そして、該鏡面領域22の内
側、即ち、下型104の中央部表面上に梨地領域24を
形成する。
れば、リードフレーム12の外部リード18は、金型の
平坦な領域に載置され、かつ、キャビティ14の表面に
は、梨地領域24が形成されているため、離型力の向上
と外部リード18の底面への樹脂の侵入防止を図ること
ができる。その結果、パッケージ形成後の樹脂の残留が
低減し、外部リード18の接続不良が発生しにくい半導
体装置を得ることができる。
4の表面のうち、リードフレーム12の外部リード18
が載置される領域とその周囲0.1mmに鏡面加工を施
して鏡面領域22を形成し、該鏡面領域22以外の部分
に放電加工を施して梨地領域24を形成する(図5参
照)。
ば、本発明に係る樹脂封止用金型の構造は十分理解でき
ると考える。従って、ここでは、当該金型を用いて半導
体装置のパッケージを形成する方法の具体例を述べる。
ケージ形成方法の第1工程を示す断面図である。同図に
示すように、半導体装置のパッケージを形成する場合に
は、まず、リードフレーム12の外部リード18が載置
される領域とその周囲0.1mmに鏡面加工を施して鏡
面領域22を形成するとともに、この鏡面領域以外の部
分に放電加工を施して梨地領域24を形成した下型10
4を用意する。そして、半導体チップ10を搭載したリ
ードフレーム12をこの下型104の上方に位置決め
し、該リードフレーム12の外部リード18を下型10
4の表面に形成した鏡面領域22上に載置する。このと
き、外部リード18が梨地領域24上に載置されないよ
うに注意する。
ケージ形成方法の第2工程を示す断面図である。次に、
上型102を下型104上に載置したリードフレーム1
2の上方に位置決めし、その後、該上型102の周壁部
分を外部リード18の上面に載置する。
ケージ形成方法の第3工程を示す断面図である。続い
て、樹脂注入用のポット30を下型104の樹脂注入口
28の下方に配設し、上型102と下型104の間に形
成されたキャビティ14内に樹脂を充填する。その後、
上型102を加熱して、キャビティ14内に充填した樹
脂を硬化し、樹脂が硬化したら上型102および下型1
04をリードフレーム12から取り外す。
2上に半導体装置のパッケージが形成される。その後、
該パッケージから突出した余分な外部リードを切断し
て、外部リードがパッケージの底面から露呈した底面露
呈型の半導体装置を得る。
パッケージの離型の円滑化を図り、かつ、樹脂の残留防
止に有効な樹脂封止用金型を提供することができる。
2の外部リード18は、金型の平坦な領域に載置され、
かつ、キャビティ14の表面には、梨地領域24が形成
されているため、離型力の向上と外部リード18の底面
への樹脂の侵入防止を図ることができる。その結果、パ
ッケージ形成後の樹脂の残留が低減し、外部リード18
の接続不良が発生しにくい半導体装置を得ることができ
る。
関係を示す断面図である。
図である。
の表面形状を示す上面図である。
の表面形状を示す上面図である。
法の第1工程を示す断面図である。
法の第2工程を示す断面図である。
法の第3工程を示す断面図である。
ャビティ、18…外部リード、20…外部リード載置領
域、22…鏡面領域、24…梨地領域、26…ワイヤ
ー、28…樹脂注入口、30…ポット、32…封止樹
脂、100…金型、102…上型、104…下型
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体チップ(10)を搭載したリード
フレーム(12)の該搭載部を収容するキャビティ(1
4)を具備し、該半導体チップ(10)の樹脂封止に使
用される樹脂封止金型において、 前記キャビティ(14)は、 前記リードフレーム(12)の外部リード(18)を載
置する外部リード載置領域(20)と、 前記外部リー
ド載置領域(20)の周囲を取り囲んで形成された鏡面
領域(22)と、 前記外部リード載置領域(20)および前記鏡面領域
(22)以外の少なくとも一部に形成された梨地領域
(24)とを具備することを特徴とする樹脂封止用金
型。 - 【請求項2】 前記鏡面領域(22)は、 前記外部リード載置領域(20)の周囲を0.1mm以
上覆うことを特徴とする請求項1記載の樹脂封止用金
型。
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