JP2000238260A - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】安価で歩留まりの良好なインクジェット記録ヘ
ッドおよびインクジェット記録装置を提供する。 【解決手段】インク保持室１９内のインク液１８中に超
音波を放射し、インク液面近傍に超音波を集束して、超
音波の圧力によりインク滴を吐出させて記録媒体に向け
て飛翔させるインクジェット記録ヘッドにおいて、板状
の支持材１０上に複数の平棒状の個別電極１１を一定間
隔で列状に平行に配設し、これら複数の個別電極１１上
で、その個別電極１１の配列方向と垂直な個別電極の長
手方向にそれぞれの共振周波数が異なっている２つの矩
形状の圧電体１２，１３を平行に設け、これら圧電体１
２，１３の個別電極１１と対向する各他方の面にそれぞ
れ共通電極１４，１５を設け、さらに圧電体１２，１３
の共通電極１１が設けられた各他方の面にそれぞれ超音
波集束用のレンズ１６，１７を設けてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波振動子から
インク液中に超音波を放射し、インク液面近傍に超音波
を集束して、超音波の圧力によりインク滴を吐出させて
記録媒体に向けて飛翔させるインクジェット記録ヘッド
に係り、特に、圧電素子により放射される超音波ビーム
の圧力によりインク滴を吐出させて記録媒体に向けて飛
翔させるインクジェット記録ヘッドに関する。

【０００２】また、本発明は、上記インクジェット記録
ヘッドを用いて記録媒体上に画像を記録するインクジェ
ット記録装置に関する。

【０００３】

【従来の技術】従来から、インク液を記録媒体上に飛翔
させて記録ドットを形成するインクジェット記録装置
（プリンタ）が知られている。このインクジェット記録
装置は、他の記録方法と比べて騒音が少なく、現像や定
着などの処理が不要であるという利点を有し、普通紙記
録技術として注目されている。

【０００４】現在までに、数多くのインクジェット記録
装置の方式が考案されているが、特に、発熱体の熱によ
り発生する蒸気の圧力でインク滴を飛翔させる方式とし
て、たとえば、特公昭５６−９４２９号公報や特公昭６
１−５９９１１号公報に開示された技術が、また、圧電
体の変位による圧力パルスでインク滴を飛翔させる方式
として、たとえば、特公昭５３−１２１３８号公報に開
示された技術などが代表的なものである。

【０００５】しかし、これらの方式では、溶媒の蒸発や
揮発によって局部的なインクの濃縮が生じやすく、それ
ぞれの解像度に対応する個別のノズルが細かく目詰まり
しやすいという問題がある。特に、蒸気の圧力を用いる
方式では、インク液との熱的あるいは科学的な反応など
による不溶物の付着が、また、圧電体の変位による圧力
を用いる方式では、インク流路などでの複雑な構造が更
に目詰まりを誘起しやすくしている。

【０００６】数十から百数十のノズルを使用しているシ
リアル走査形の記録ヘッドでは、その目詰まりの頻度を
低く抑えることができるが、数千のノズルを必要とする
ライン走査形の記録ヘッドでは、確率的に高い頻度で目
詰まりが発生し、信頼性の点で大きな課題となってい
る。さらに、これらの方式は、解像度を上げることには
適していないという欠点もある。

【０００７】これらの欠点を克服するために、薄膜の圧
電体から発生する超音波ビームの圧力を用いてインク液
面からインク滴を飛翔させる、超音波を用いる方式（Ｉ
ＢＭＴＤＢ，ｖｏｌ．１６，Ｎｏ．４、ｐｐ．１１６８
（１９７３−１０）、ＵＳＰ−４３０８５４７（１９８
１）、特開昭６３−１６６５４８号公報、特開昭６３−
３１２１５７号公報、特開平２−１８４４４３号公報、
特開昭６３−１６２２５３号公報など参照）が提案され
ている。この方式は、個別のドットごとのノズルやイン
ク流路の隔壁を必要としないノズルレスの方式であるた
め、ラインヘッド化する上での大きな障害であった目詰
まりの防止と復旧に対して有効な構造を持っている。ま
た、非常に小さい径のインク滴を安定に飛翔させること
ができるため、高解像度化にも適している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のインクジェット記録方式では、高解像度化する
と超音波を発生する圧電体の数が増加し、それを駆動す
る駆動用ＩＣの数も増加してしまい、高価なものになっ
てしまうという課題がある。

【０００９】また、さらに高解像度化を図っていくと、
圧電体の配列ピッチが小さくなっていくため、記録ヘッ
ド製造工程において、歩留まりが劣化してしまうなどの
課題があった。

【００１０】そこで、本発明は、安価で歩留まりの良好
なインクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録
装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
記録ヘッドは、インク液中に超音波を放射し、インク液
面近傍に超音波を集束して、超音波の圧力によりインク
滴を吐出させて記録媒体に向けて飛翔させるインクジェ
ット記録ヘッドであって、板状の支持材と、この支持材
上に一定間隔で列状に平行配設された複数の棒状の個別
電極と、これら複数の個別電極上で、その個別電極の配
列方向と垂直な個別電極の長手方向に平行に設けられた
少なくとも２つの矩形状の超音波振動子と、これら２つ
の超音波振動子の前記個別電極と対向する各他方の面に
それぞれ設けられた単一の共通電極と、前記２つの超音
波振動子の前記共通電極が設けられた各他方の面にそれ
ぞれ設けられ、前記超音波振動子から発生する超音波を
集束するための超音波集束部材とを具備している。

【００１２】また、本発明のインクジェット記録装置
は、インク液中に超音波を放射し、インク液面近傍に超
音波を集束して、超音波の圧力によりインク滴を吐出さ
せて記録媒体に向けて飛翔させ、そのインク滴を記録媒
体上に付着させることにより画像を記録するインクジェ
ット記録装置であって、板状の支持材の上に一定間隔で
列状に平行配設された複数の棒状の個別電極と、これら
複数の個別電極上で、その個別電極の配列方向と垂直な
個別電極の長手方向に平行に設けられ、それぞれの共振
周波数が異なっている少なくとも２つの矩形状の超音波
振動子と、これら２つの超音波振動子の前記個別電極と
対向する各他方の面にそれぞれ設けられた単一の共通電
極と、前記２つの超音波振動子の前記共通電極が設けら
れた各他方の面にそれぞれ設けられ、前記超音波振動子
から発生する超音波を集束するための超音波集束部材と
からなる超音波発生部と、この超音波発生部の前記複数
の個別電極に対して、奇数個の個別電極を１組とした複
数組の個別電極群に分割し、これら複数組の個別電極群
を少なくとも２つのバースト波を組合わせてなる第１の
バースト波で記録画像に応じて選択的に印加することに
より、前記一方の超音波振動子を駆動する第１の駆動手
段と、前記超音波発生部の前記複数の個別電極に対し
て、偶数個の個別電極を１組とした複数組の個別電極群
に分割し、これら複数組の個別電極群を少なくとも２つ
のバースト波を組合わせてなり、前記第１のバースト波
とは周波数の異なる第２のバースト波で記録画像に応じ
て選択的に印加することにより、前記他方の超音波振動
子を駆動する第２の駆動手段とを具備している。

【００１３】本発明によれば、駆動用ＩＣなどの駆動手
段の数を増やすことなく、２つの超音波振動子（たとえ
ば、圧電体）を駆動することができるので、安価に高解
像度化が図れる。

【００１４】また、本発明によれば、画像の解像度を個
別電極の解像度の倍にすることができるので、個別電極
の配列ピッチを短くすることなく、高画質化を実現する
ことができ、歩留まりも良好なものとなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１６】図１は、本発明に係るインクジェット記録
装置の構成を模式的に示す概略構成図である。本発明の
インクジェット記録装置は、たとえば、パーソナルコン
ピュータなどに接続され、印字や図形記録のための情報
が送信され、記録を開始する。記録開始信号を受取る
と、制御部１から開始信号が送出され、給紙ローラ２が
作動し、記録媒体としての用紙３を搬送ドラム４へ送出
する。搬送ドラム４は、記録時は図示矢印Ａの方向に回
転し、給紙ローラ２で送られた用紙３を受取り、記録ヘ
ッド５の方向へ搬送する。用紙３が記録ヘッド５の上方
に到達すると、制御部１は記録ヘッド５の駆動ＩＣなど
に記録開始信号を送出し、画像の記録動作が開始する。

【００１７】用紙３の後端が記録ヘッド５の上方に近づ
くと、制御部１から記録終了信号が送出され、記録動作
が終了する。記録終了後、搬送ドラム４は図示矢印Ｂ方
向に回転し、用紙３を排出ローラ６まで搬送する。つい
で、用紙３は、排出補助部材７に補助され、排紙トレー
８へ画像が記録された用紙３が排出される。用紙３が排
出されると、一連の記録動作が終了し、次の記録動作に
対する待機状態となる。

【００１８】図２は、前記記録ヘッド５の構成を模式的
に示すものである。すなわち、板状の支持材１０の上に
は、それぞれが所定の幅を有する複数の平棒状の個別電
極１１が一定間隔で列状に形成されているとともに、そ
の複数の個別電極１１上には、各個別電極１１と同じ間
隔で列状に形成された電極（図示しない）を下面側に有
する超音波振動子としての板状の圧電体１２，１３が、
個別電極１１の配列方向と垂直な個別電極１１の長手方
向に平行に形成されている。この場合、複数の個別電極
１１は、圧電体１２，１３の対応する各電極（図示しな
い）と接着材を介してそれぞれ圧着接続されている。

【００１９】圧電体１２，１３の各個別電極１１と対向
する面（上面）には、共通電極１４，１５がそれぞれ形
成されているとともに、その共通電極１４，１５上に
は、超音波集束部材としてのレンズ１６，１７がそれぞ
れ形成されている。そして、これら圧電体１２，１３お
よびレンズ１６，１７の周りには、インク液１８を保持
するためのプール状のインク保持室１９が形成されてい
て、その内部にはインク液１８が充填されている。

【００２０】インク保持室１９の上部で、圧電体１２，
１３およびレンズ１６，１７の並び方向中心の上方に
は、各個別電極７の配列方向に長いスリット２０，２１
がそれぞれ設けられたスリット部材２２が形成されてい
る。ここに、プール状のインク保持室１９の壁面の高さ
は、レンズ１６，１７により集束された音波が集束する
距離近傍になっているので、その上に形成されたスリッ
ト部材２２のスリット２０，２１の高さが音波の集束位
置となり、インク液面を集束位置に保持できるようにな
っている。

【００２１】インク液１８は、図示しないインクタンク
からインク保持室１９に設けられた複数の図示しない供
給口にポンプとインク供給チューブを介して供給されて
いる。圧電体１２，１３とそれを挟んで対向した電極１
１，１４，１５で構成される圧電素子は、アレイ状に一
定問隔で配置されており、このうちの一部の複数の圧電
素子を用いて同時駆動することにより、超音波をインク
液面近傍に集束させて、インク滴を飛翔させるようにな
っている。

【００２２】複数の個別電極１１の圧電体１２，１３が
形成されていない両側部分には、各個別電極１１と同じ
間隔で配列された複数の引出し電極２３が形成されてい
て、これら各引出し電極２３は、対応する各個別電極１
１と接着材を介してそれぞれ圧着接続されている。複数
の引出し電極２３は、それらの近傍の支持材１０上に配
設された圧電体１２，１３を駆動するための駆動用ＩＣ
（集積回路）２４の端子とボンディングワイヤ２５によ
り接続されている。

【００２３】この場合、２つの圧電体１２，１３の同じ
位置の個別電極１１は、同じチャンネルの駆動用ＩＣ２
４に接続されている。また、圧電体１２，１３の上部電
極１４，１５は、共通電極として駆動用ＩＣ２４のコモ
ン端子に接続されている。駆動用ＩＣ２４は、図示しな
いプリント配線基板およびコネクタなどを介して、駆動
を制御する制御部１に接続されている。

【００２４】レンズ１６，１７は、フレネル輪帯理論に
基づく凹凸が圧電体１２，１３の長手方向（以降、主走
査方向と称す）に平行に形成されている。このレンズ１
６，１７の凹凸部分の厚みは、それぞれレンズ１６，１
７中の波長の（２ｎ＋１）／４倍（ｎは０以上の整数）
に近くなるように設定され、レンズ材料には圧電体１
２，１３の音響インピーダンスとインク液１８のそれと
の積の平方根に近い値のもの、たとえば、アルミナ粉末
を分散させたエポキシ樹脂を用いることにより、レンズ
１６，１７が設けられた底面は音響マッチング層として
の機能も兼ね備えた構造になっている。

【００２５】このように構成された記録ヘッド５を用い
た場合の記録動作について説明する。また、併せて記録
ヘッド９の駆動方法について説明する。

【００２６】図３は、駆動用ＩＣ２４から圧電体１２，
１３に入力される所望の幅を有するバースト状の信号を
示している。バースト波の周波数は、圧電体１２，１３
の厚さなどで決まる共振周波数近傍の周波数になってい
る。圧電体の共振周波数近傍のインピーダンス周波数特
性と位相差周波数特性を図４に示す。一般に、圧電体
は、共振周波数近傍で効率良く音波を放射し、それ以外
の部分は容量性となっている。このため、バースト波の
周波数を共振周波数から外すと、圧電体からは音波の放
射はなされず、電気的には容量性負荷として動作するこ
とになる。

【００２７】本実施の形態では、記録ヘッド５の幅方向
（副走査方向）は、フレネルレンズ１６，１７により音
波を集束させているが、記録ヘッド５の長手方向（主走
査方向）では、位相を１８０度ずらしたバースト波の２
種類（以降、０相／π相と称す）を組合わせることによ
り、音波を集束させている。

【００２８】バースト波により圧電体１２，１３が振動
し、音波がレンズ１６，１７およびインク液１８に向か
って励振させられる。バースト波の１周期で１周期の音
波が励振されるため、バースト幅は励振される音波の波
数である。本実施の形態では、音波の波数を「２００
０」となるように設定した。

【００２９】個別電極１１で形成された圧電素子の数個
を１組として、位相の異なるバースト波を１組のそれぞ
れの圧電素子に印加して１ドットの画像を形成する。本
実施の形態の１つの圧電体（１２または１３）では、た
とえば、図５に示すように、８個の圧電素子（個別電極
１１）を１組として、０相、π相のバースト波を「０π
００００π０」の順に印加し、主走査方向の音波を８個
の圧電素子の中央付近に集束させ、１つのドットを形成
している。また、バースト波の組合わせパターンを素子
の中心から左右対称な駆動パターンで駆動しているの
で、音波は８個の圧電素子の中心に集束させている。

【００３０】また、主走査方向（Ａ４サイズの用紙の幅
方向）の１ラインを記録するのには、８回、主走査方向
に駆動素子をスキャンして形成している。このため、同
時に飛翔されるドットは、主走査方向に８ドット隣のド
ットとなっている。副走査方向の音波の集束は、フレネ
ルレンズ１６，１７を用いてスリット部材２２のスリッ
ト２０，２１の中央部で集束するようになっている。

【００３１】図６は、スリット部材２２の近傍における
副走査方向の断面図で、インク液面の時間的変化を説明
するための説明図である。なお、図６では、両方とも同
一であるので、一方の圧電体１２と対応するスリット２
０の部分だけを示して、他方の圧電体１３と対応するス
リット２１の部分は図示を省略している。したがって、
一方の圧電体１２に関係する説明のみを行ない、他方の
圧電体１３に関係する説明は省略する。

【００３２】圧電体１２にバースト波が印加されず、イ
ンク液１８中に音波が励振されていない非記録状態で
は、同図（ａ）に示すように、インク液１８はスリット
２０の表面で凹状に液面を形成している。

【００３３】次に、図３に示したバースト波が圧電体１
２に印加されると、インク液１８中に音波２６が励振さ
れ、インク液面に向かって伝搬し、インク液面で反射さ
れ、レンズ１６および圧電体１２の方向に向かって伝搬
していく。同図（ｂ）のように、音波２６がインク液面
で反射する際に、音波２６の圧力によりインク液面は盛
り上げられる（以降、これをインクメニスカスＰ１と称
す）。インク液面で反射された音波は、圧電体１２に到
達すると、圧電体１２により反射され、再びインク液面
方向に伝搬をしていく。

【００３４】この一連の動作を繰り返すうちに、同図
（ｃ）に示すように、インク液面では音波２６の圧力に
より徐々にインクメニスカスＰ１が成長を続け、最後に
は、同図（ｄ）に示すように、液滴（インク滴）Ｐ２を
飛翔せしめる。ここで、次の信号が印加されない場合、
音波２６はインク液１８の粘度などに起因する減衰を受
け、次第になくなっていく。最後には、同図（ａ）に示
すように、液面は凹状に戻る。

【００３５】上記の通り、圧電体は共振周波数以外の周
波数域では電気的に容量性として駆動され、音波を放出
しない。このことを利用して、１個の駆動用ＩＣから出
力されるバースト波の周波数を２種類にしてやれば、異
なった共振周波数を有する圧電体１２，１３を１個の駆
動用ＩＣで駆動可能になる。本実施の形態の記録ヘッド
５では、これを利用することにより、一方の圧電体１２
を例えば５０ＭＨｚの共振周波数、他方の圧電体１３を
例えば６０ＭＨｚの共振周波数となるような厚みの圧電
体とした。こうすることにより、駆動用ＩＣの個数を増
やすことなく、２つの圧電体１２，１３を駆動すること
ができ、安価な記録ヘッドを実現することができる。

【００３６】また、バースト波の組合わせパターンを中
心から左右対称なパターンにすれば、その中心の位置か
らインク滴を飛翔させることができる。図７に示すよう
に、一方の圧電体１２を駆動するバースト波パターンを
例えば８個（偶数）とし、他方の圧電体１３を駆動する
バースト波パターンを例えば９個（奇数）とすると、そ
れぞれの圧電体１２，１３から飛翔されるインク滴の位
置は、個別電極１１の配列ピッチの半分の位置とするこ
とができる。

【００３７】これを１つの記録ヘッド５で実現すれば、
画像解像度を個別電極１１の解像度の倍にすることがで
き、個別電極１１の配列ピッチを短くすることなく、高
画質化を実現すろことができる。

【００３８】本実施の形態に関わる記録へッド５の駆動
方法について簡単に説明する。図８は、駆動用ＩＣ２４
に入力される信号の流れを示している。すなわち、高周
波信号発生部２７から、２つの圧電体１２，１３を駆動
するための２種類の周波数を有する連続波がコンパレー
タ２８へ出力されている。この連続波は、それぞれＯ／
πに分割されている。コンパレータ２８には、所定の周
期で、２種類のバースト波のうちどちらか一方を選択す
るイネープルを兼ねた選択信号が制御部１から入力され
る。コンパレータ２８で選択信号により選択された連続
波はバースト波になり、駆動用ＩＣ２４に入力される。

【００３９】また、駆動用ＩＣ２４には、制御部１から
バースト波の組合わせパターンに応じた駆動データがク
ロックとともに送られる。さらに、駆動用ＩＣ２４に
は、データをラッチするためのラッチ信号とＩＣを駆動
するためのイネーブル信号が入力され、これにより駆動
用ＩＣ２４が駆動されている。

【００４０】図９は、駆動用ＩＣ２４から出力されるバ
ースト波の一例を示している。本実施の形態では、上述
したように、一方の圧電体１２を８素子駆動、他方の圧
電体１３を９素子駆動で駆動している。１つのＩＣチャ
ンネルを使って２つの圧電体１２，１３を駆動している
ので、それぞれのバースト波はタイミングをずらして出
力されなければならない。

【００４１】このため、８素子駆動用のバースト波が出
力し終わった後から９素子駆動用のバースト波が出力さ
れ、それが終了した後、再び８素子駆動用のバースト波
が出力されるというタイミングになっている。この２つ
のバースト波が出力される時間が１つのドットを記録す
るための記録周期（主走査方向）となる。

【００４２】また、先に述べたように、駆動数に応じて
主走査方向に駆動素子をスキャンしなければならない。
８素子駆動の場合は８回スキャンでよいが、９素子駆動
の場合は９回スキャンを行なわなければならない。８素
子駆動用のスキャン回数よりも９素子駆動のスキャン回
数が１回多いので、８素子駆動用のバースト波は、１記
録周期（主走査方向）分出力されない状態になる。両圧
電体１２，１３は、９回スキャンで１記録周期（副走査
方向）となる。

【００４３】なお、図９では、８素子駆動用のバースト
波と９素子駆動用のバースト波とを分けて書いたが、本
来は同じＩＣチャンネルから出力されているものであ
る。

【００４４】以上のように動作する制御系を用いること
により、本実施の形態に係るインクジェット記録ヘッド
は駆動可能となり、安価で歩留まりの良好なインクジェ
ット記録ヘッドおよびこれを用いたインクジェット記録
装置を実現することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、安
価で歩留まりの良好なインクジェット記録ヘッドおよび
インクジェット記録装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録装置の構成を
模式的に示す概略構成図。

【図２】記録ヘッドの構成を模式的に示す縦断側面図。

【図３】圧電素子に印加するバースト波を説明する図。

【図４】圧電体のインピーダンスおよび位相差周波数特
性を示す図。

【図５】圧電素子に印加する信号を説明する図。

【図６】記録ヘッドにおけるスリット部材近傍のインク
液の時間的変化を説明する副走査方向の断面図。

【図７】記録ヘッドの駆動方法を説明する図。

【図８】駆動用ＩＣに入力される信号の流れを説明する
図。

【図９】駆動用ＩＣから出力されるバースト波の一例を
示す図。

【符号の説明】

１……制御部 ２……給紙ローラ ３……用紙（記録媒体） ４……搬送ドラム ５……記録ヘッド ６……排出ローラ ７……排出補助部材 ８……排紙トレー １０……支持材 １１……個別電極 １２，１３……圧電体（超音波振動子） １４，１５……共通電極 １６，１７……フレネルレンズ（超音波集束部材） １８……インク液 １９……インク室 ２０，２１……スリット ２２……スリット部材 ２３……引出し電極 ２４……駆動用ＩＣ（駆動手段） ２５……ボンディングワイヤ ２６……音波 Ｐ１……インクメニスカス Ｐ２……液滴（インク滴） ２７……高周波信号発生部 ２８……コンパレータ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク液中に超音波を放射し、インク液
   面近傍に超音波を集束して、超音波の圧力によりインク
   滴を吐出させて記録媒体に向けて飛翔させるインクジェ
   ット記録ヘッドであって、 板状の支持材と、 この支持材上に一定間隔で列状に平行配設された複数の
   棒状の個別電極と、 これら複数の個別電極上で、その個別電極の配列方向と
   垂直な個別電極の長手方向に平行に設けられた少なくと
   も２つの矩形状の超音波振動子と、 これら２つの超音波振動子の前記個別電極と対向する各
   他方の面にそれぞれ設けられた単一の共通電極と、 前記２つの超音波振動子の前記共通電極が設けられた各
   他方の面にそれぞれ設けられ、前記超音波振動子から発
   生する超音波を集束するための超音波集束部材と、 を具備したことを特徴とするインクジェット記録ヘッ
   ド。
2. 【請求項２】 前記少なくとも２つの矩形状の超音波振
   動子は、それぞれ異なった共振周波数を有することを特
   徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 【請求項３】 前記少なくとも２つの矩形状の超音波振
   動子の同じ位置に対応する前記個別電極が同じチャンネ
   ルに接続された前記少なくとも２つの矩形状の超音波振
   動子を駆動するための駆動用集積回路を有することを特
   徴とする請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 インク液中に超音波を放射し、インク液
   面近傍に超音波を集束して、超音波の圧力によりインク
   滴を吐出させて記録媒体に向けて飛翔させ、そのインク
   滴を記録媒体上に付着させることにより画像を記録する
   インクジェット記録装置であって、 板状の支持材の上に一定間隔で列状に平行配設された複
   数の棒状の個別電極と、これら複数の個別電極上で、そ
   の個別電極の配列方向と垂直な個別電極の長手方向に平
   行に設けられ、それぞれの共振周波数が異なっている少
   なくとも２つの矩形状の超音波振動子と、これら２つの
   超音波振動子の前記個別電極と対向する各他方の面にそ
   れぞれ設けられた単一の共通電極と、前記２つの超音波
   振動子の前記共通電極が設けられた各他方の面にそれぞ
   れ設けられ、前記超音波振動子から発生する超音波を集
   束するための超音波集束部材とからなる超音波発生部
   と、 この超音波発生部の前記複数の個別電極に対して、奇数
   個の個別電極を１組とした複数組の個別電極群に分割
   し、これら複数組の個別電極群を少なくとも２つのバー
   スト波を組合わせてなる第１のバースト波で記録画像に
   応じて選択的に印加することにより、前記一方の超音波
   振動子を駆動する第１の駆動手段と、 前記超音波発生部の前記複数の個別電極に対して、偶数
   個の個別電極を１組とした複数組の個別電極群に分割
   し、これら複数組の個別電極群を少なくとも２つのバー
   スト波を組合わせてなり、前記第１のバースト波とは周
   波数の異なる第２のバースト波で記録画像に応じて選択
   的に印加することにより、前記他方の超音波振動子を駆
   動する第２の駆動手段と、 を具備したことを特徴とするインクジェット記録装置。
5. 【請求項５】 前記第１および第２のバースト波は、互
   いに位相の異なる少なくとも２種類のバースト波を組合
   わせてなることを特徴とする請求項４記載のインクジェ
   ット記録装置。
6. 【請求項６】 前記第１のバースト波と前記第２のバー
   スト波を異なるタイミングで印加することにより、前記
   少なくとも２つの矩形状の超音波振動子を異なるタイミ
   ングで駆動するよう前記第１の駆動手段および前記第２
   の駆動手段を制御する制御手段をさらに有することを特
   徴とする請求項４記載のインクジェット記録装置。