JP2000246007A - 高粘度液体の脱泡方法 - Google Patents
高粘度液体の脱泡方法Info
- Publication number
- JP2000246007A JP2000246007A JP11049396A JP4939699A JP2000246007A JP 2000246007 A JP2000246007 A JP 2000246007A JP 11049396 A JP11049396 A JP 11049396A JP 4939699 A JP4939699 A JP 4939699A JP 2000246007 A JP2000246007 A JP 2000246007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- viscosity liquid
- defoaming
- pressure
- vacuum
- decompression
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示装置を構成するシール材料の脱泡に
も適用できる高粘度液体の脱泡方法を提供する。 【解決手段】 第１の減圧として、１Ｔｏｒｒ程度で１
分の減圧を行い、直径１ｍｍ程度よりも大きい気泡８の
脱泡を行う。次に、第２の減圧として、１０の−１乗Ｔ
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。このとき、
第１の減圧を行った後、一度加圧（大気解放）してから
第２の減圧を行うことが好ましい。次に、第３の減圧と
して、１０の−２乗Ｔｏｒｒ程度の真空度で１０分の減
圧を行う。第３の減圧は４〜６回繰り返して行うことが
好ましい。このとき、第２の減圧を行った後、一度大気
解放してから第３の減圧を行うことが好ましい。また、
第３の減圧を繰り返す際にも、一度大気解放することが
好ましい。
も適用できる高粘度液体の脱泡方法を提供する。 【解決手段】 第１の減圧として、１Ｔｏｒｒ程度で１
分の減圧を行い、直径１ｍｍ程度よりも大きい気泡８の
脱泡を行う。次に、第２の減圧として、１０の−１乗Ｔ
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。このとき、
第１の減圧を行った後、一度加圧（大気解放）してから
第２の減圧を行うことが好ましい。次に、第３の減圧と
して、１０の−２乗Ｔｏｒｒ程度の真空度で１０分の減
圧を行う。第３の減圧は４〜６回繰り返して行うことが
好ましい。このとき、第２の減圧を行った後、一度大気
解放してから第３の減圧を行うことが好ましい。また、
第３の減圧を繰り返す際にも、一度大気解放することが
好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高粘度液体中に含
有される気泡の脱泡方法に関するもので、特に液晶表示
装置を構成するシール材料の脱泡方法に関するものであ
る。
有される気泡の脱泡方法に関するもので、特に液晶表示
装置を構成するシール材料の脱泡方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の高粘度液体の脱泡装置を
示す断面図である。図２に示すように、従来の高粘度液
体の脱泡装置は、高粘度液体５１が入った容器５２、デ
シケータ５３内を減圧するためのポンプ５４、および高
粘度液体５１を撹拌して気泡５５を砕くための撹拌羽根
５６を備えている。高粘度液体５１中の気泡５５は、デ
シケータ５３内を減圧し、撹拌羽根５６をモーター５７
によって回転させることで消滅させている。
示す断面図である。図２に示すように、従来の高粘度液
体の脱泡装置は、高粘度液体５１が入った容器５２、デ
シケータ５３内を減圧するためのポンプ５４、および高
粘度液体５１を撹拌して気泡５５を砕くための撹拌羽根
５６を備えている。高粘度液体５１中の気泡５５は、デ
シケータ５３内を減圧し、撹拌羽根５６をモーター５７
によって回転させることで消滅させている。
【０００３】高粘度液体５１としては、液晶表示装置を
構成するシール材料を挙げることができる。このシール
材料としては、熱硬化性エポキシ樹脂を用いることが一
般的である。
構成するシール材料を挙げることができる。このシール
材料としては、熱硬化性エポキシ樹脂を用いることが一
般的である。
【０００４】液晶表示装置の製造方法においては、一対
の基板をシール材料を介して貼り合わせ、加圧加熱する
ことでシール材料を硬化させている。このとき、十分に
脱泡したシール材料を用いる必要がある。
の基板をシール材料を介して貼り合わせ、加圧加熱する
ことでシール材料を硬化させている。このとき、十分に
脱泡したシール材料を用いる必要がある。
【０００５】シール材料として、十分に脱泡していない
ものを用いて液晶表示装置を製造した場合、加圧加熱に
よってシール材料を硬化させた後も気泡跡がシール材料
中に残ってしまう。この気泡跡が残った場合、後に一対
の基板間に液晶を注入する際に、液晶を注入できなかっ
たり、気泡跡から液晶が流出したりという不具合が発生
する。
ものを用いて液晶表示装置を製造した場合、加圧加熱に
よってシール材料を硬化させた後も気泡跡がシール材料
中に残ってしまう。この気泡跡が残った場合、後に一対
の基板間に液晶を注入する際に、液晶を注入できなかっ
たり、気泡跡から液晶が流出したりという不具合が発生
する。
【０００６】このような不具合を防ぐためには、シール
材料中から直径０．２ｍｍ以上の気泡をなくす必要があ
り、脱泡の精度を高くすることが重要となる。
材料中から直径０．２ｍｍ以上の気泡をなくす必要があ
り、脱泡の精度を高くすることが重要となる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したような撹拌羽
根を用いて高粘度液体を撹拌する脱泡方法では、定期的
に撹拌羽根に付着した高粘度液体を拭き取らなければな
らず、作業が煩雑なものとなってしまう。
根を用いて高粘度液体を撹拌する脱泡方法では、定期的
に撹拌羽根に付着した高粘度液体を拭き取らなければな
らず、作業が煩雑なものとなってしまう。
【０００８】ここで、石膏スラリーの脱泡方法として、
特開平９−３８４１３号公報に減圧しながら振動を与え
ることが記載されている。この方法では、本発明とは脱
泡する液体が全く異なる、つまり液体の粘度が異なるた
めに脱泡のしやすさが異なることを考慮しなければなら
ない。
特開平９−３８４１３号公報に減圧しながら振動を与え
ることが記載されている。この方法では、本発明とは脱
泡する液体が全く異なる、つまり液体の粘度が異なるた
めに脱泡のしやすさが異なることを考慮しなければなら
ない。
【０００９】さらには、石膏スラリーが直径１ｍｍ以上
の気泡を除去すればよいのに対し、本発明では上述のよ
うに直径０．２ｍｍ以上の気泡を除去しなければなら
ず、特開平９−３８４１３号公報に記載の脱泡方法をそ
のまま用いても、脱泡能力が不足しているのである。
の気泡を除去すればよいのに対し、本発明では上述のよ
うに直径０．２ｍｍ以上の気泡を除去しなければなら
ず、特開平９−３８４１３号公報に記載の脱泡方法をそ
のまま用いても、脱泡能力が不足しているのである。
【００１０】本発明は、以上のような従来の問題点に鑑
みなされたものであって、液晶表示装置を構成するシー
ル材料の脱泡にも適用できる高粘度液体の脱泡方法を提
供することを目的としている。
みなされたものであって、液晶表示装置を構成するシー
ル材料の脱泡にも適用できる高粘度液体の脱泡方法を提
供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項１記載の高粘度液体の脱泡方法
は、高粘度液体中の気泡を減圧することによって除去す
る高粘度液体の脱泡方法において、前記減圧を、段階的
に真空度を変化させて行うことを特徴としている。
ために、本発明の請求項１記載の高粘度液体の脱泡方法
は、高粘度液体中の気泡を減圧することによって除去す
る高粘度液体の脱泡方法において、前記減圧を、段階的
に真空度を変化させて行うことを特徴としている。
【００１２】請求項２記載の高粘度液体の脱泡方法は、
請求項１記載の高粘度液体の脱泡方法において、真空度
を変化させる前に、大気圧に戻すことを特徴としてい
る。
請求項１記載の高粘度液体の脱泡方法において、真空度
を変化させる前に、大気圧に戻すことを特徴としてい
る。
【００１３】本発明の高粘度液体の脱泡方法によれば、
段階的に真空度を変化させて減圧を行うことにより、い
きなり高真空度にすることによって高粘度液体が容器か
ら溢れることを防止できるとともに、高粘度液体の脱泡
に要する時間を短縮することができる。
段階的に真空度を変化させて減圧を行うことにより、い
きなり高真空度にすることによって高粘度液体が容器か
ら溢れることを防止できるとともに、高粘度液体の脱泡
に要する時間を短縮することができる。
【００１４】真空度は段階的に高真空度にすることが好
ましく、最終段階の真空度での減圧は同一の真空度で複
数回繰り返すことが好ましい。
ましく、最終段階の真空度での減圧は同一の真空度で複
数回繰り返すことが好ましい。
【００１５】また、真空度を変化させる前に一度大気圧
に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消
滅させることができ、次の段階の減圧での脱泡効果を向
上させることができる。同一の真空度で複数回減圧を繰
り返す際にも、一度大気圧に戻すことが好ましい。
に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消
滅させることができ、次の段階の減圧での脱泡効果を向
上させることができる。同一の真空度で複数回減圧を繰
り返す際にも、一度大気圧に戻すことが好ましい。
【００１６】大気圧に戻す際には、単に大気解放するよ
りも、高粘度液体の上部の気泡に強制的にエアーを当て
ながら大気圧に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなか
った気泡を消滅しやすくすることができる。
りも、高粘度液体の上部の気泡に強制的にエアーを当て
ながら大気圧に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなか
った気泡を消滅しやすくすることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１を用いて、本発明の実施の形
態について説明する。図１は、本発明に係る高粘度液体
の脱泡装置を示す断面図である。
態について説明する。図１は、本発明に係る高粘度液体
の脱泡装置を示す断面図である。
【００１８】本発明に係る高粘度液体の脱泡装置は、図
１に示すように、高粘度液体１を入れる容器２が固定治
具３によってデシケータ４内部に固定されており、デシ
ケータ４内部を減圧するためのポンプ５が配管６を介し
て接続されている。さらに、デシケータ４下部に振動を
与えるための振動手段７が配置されている。
１に示すように、高粘度液体１を入れる容器２が固定治
具３によってデシケータ４内部に固定されており、デシ
ケータ４内部を減圧するためのポンプ５が配管６を介し
て接続されている。さらに、デシケータ４下部に振動を
与えるための振動手段７が配置されている。
【００１９】高粘度液体１としては、液晶表示装置を構
成するためのシール材料を用いる。シール材料として
は、熱硬化性エポキシ樹脂を用いる。高粘度液体１の粘
度としては、特に限定されるものではないが、前記熱硬
化性エポキシ樹脂であれば、粘度が５００００ｃｐｓ程
度である。
成するためのシール材料を用いる。シール材料として
は、熱硬化性エポキシ樹脂を用いる。高粘度液体１の粘
度としては、特に限定されるものではないが、前記熱硬
化性エポキシ樹脂であれば、粘度が５００００ｃｐｓ程
度である。
【００２０】高粘度液体１中に混入している気泡８の体
積は、大気圧下では極小であるが、デシケータ４内部を
減圧することで気泡８は膨張する。脱泡するためには、
最終的に１０の−２乗Ｔｏｒｒの真空度が必要となる。
積は、大気圧下では極小であるが、デシケータ４内部を
減圧することで気泡８は膨張する。脱泡するためには、
最終的に１０の−２乗Ｔｏｒｒの真空度が必要となる。
【００２１】本実施の形態では、まず第１の減圧とし
て、１Ｔｏｒｒ程度で１分の減圧を行い、直径１ｍｍ程
度よりも大きい気泡８の脱泡を行う。第１の減圧によ
り、いきなり高真空度にすることによって高粘度液体１
が容器２から溢れることを防止している。
て、１Ｔｏｒｒ程度で１分の減圧を行い、直径１ｍｍ程
度よりも大きい気泡８の脱泡を行う。第１の減圧によ
り、いきなり高真空度にすることによって高粘度液体１
が容器２から溢れることを防止している。
【００２２】次に、第２の減圧として、１０の−１乗Ｔ
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。このとき、
第１の減圧を行った後、一度加圧（大気解放）してから
第２の減圧を行うことが好ましい。
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。このとき、
第１の減圧を行った後、一度加圧（大気解放）してから
第２の減圧を行うことが好ましい。
【００２３】この大気解放により、第１の減圧で脱泡し
きれなかった気泡８を消滅させることができ、第２の減
圧での脱泡効果を向上させることができる。大気解放時
間は、大気解放後１分程度放置することが好ましい。
きれなかった気泡８を消滅させることができ、第２の減
圧での脱泡効果を向上させることができる。大気解放時
間は、大気解放後１分程度放置することが好ましい。
【００２４】また、単に大気解放するよりも、エアー吹
き出し口９を容器２の上方に配置しておき、高粘度液体
１の上部の気泡８に強制的にエアーを当てながら大気圧
に戻すことにより、第１の減圧で脱泡しきれなかった気
泡８を消滅しやすくなる。このとき、高粘度液体１が容
器２から溢れないようにエアー圧を調節、例えば０．０
５〜０．２ｋｇｆ／ｃｍ2にする必要がある。
き出し口９を容器２の上方に配置しておき、高粘度液体
１の上部の気泡８に強制的にエアーを当てながら大気圧
に戻すことにより、第１の減圧で脱泡しきれなかった気
泡８を消滅しやすくなる。このとき、高粘度液体１が容
器２から溢れないようにエアー圧を調節、例えば０．０
５〜０．２ｋｇｆ／ｃｍ2にする必要がある。
【００２５】次に、第３の減圧として、１０の−２乗Ｔ
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。第３の減圧
は４〜６回繰り返して行うことが好ましく、本実施の形
態では５回繰り返して行う。第３の減圧が３回以下の場
合、気泡８の脱泡効果が十分ではなく、７回以上の場
合、これ以上の脱泡効果がほとんどなく、あまり意味の
ない作業となる。
ｏｒｒ程度の真空度で１０分の減圧を行う。第３の減圧
は４〜６回繰り返して行うことが好ましく、本実施の形
態では５回繰り返して行う。第３の減圧が３回以下の場
合、気泡８の脱泡効果が十分ではなく、７回以上の場
合、これ以上の脱泡効果がほとんどなく、あまり意味の
ない作業となる。
【００２６】このとき、第２の減圧を行った後、一度大
気解放してから第３の減圧を行うことが好ましい。ま
た、第３の減圧を繰り返す際にも、一度大気解放するこ
とが好ましい。大気解放の方法および時間は上述した通
りである。
気解放してから第３の減圧を行うことが好ましい。ま
た、第３の減圧を繰り返す際にも、一度大気解放するこ
とが好ましい。大気解放の方法および時間は上述した通
りである。
【００２７】第１〜第３の減圧を行う際には、デシケー
タ４に振動手段７によって振動を与えることが好まし
い。この振動によって気泡８を高粘度液体１の表面に浮
上させ、脱泡を促進させることができる。この振動は、
超音波のような微振動ではなく、高粘度液体１の気泡８
を破壊できるような振動、例えば０．１〜１０Ｈｚ程度
が好ましい。
タ４に振動手段７によって振動を与えることが好まし
い。この振動によって気泡８を高粘度液体１の表面に浮
上させ、脱泡を促進させることができる。この振動は、
超音波のような微振動ではなく、高粘度液体１の気泡８
を破壊できるような振動、例えば０．１〜１０Ｈｚ程度
が好ましい。
【００２８】ここで、比較例として、１０の−１乗Ｔｏ
ｒｒ程度の真空度で１２０分の減圧を行う。比較例で
は、本実施の形態と同等の脱泡効果が得られるように脱
泡条件を設定している。本実施の形態および比較例の脱
泡時間を表１に示す。
ｒｒ程度の真空度で１２０分の減圧を行う。比較例で
は、本実施の形態と同等の脱泡効果が得られるように脱
泡条件を設定している。本実施の形態および比較例の脱
泡時間を表１に示す。
【００２９】
【表１】 本実施の形態によれば、比較例と同等の脱泡効果を得る
場合、表１に示すように、脱泡に要する時間を約半分に
することができる。
場合、表１に示すように、脱泡に要する時間を約半分に
することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明の高粘度液
体の脱泡方法によれば、段階的に真空度を変化させて減
圧を行うことにより、高粘度液体が容器から溢れること
を防止できるとともに、高粘度液体の脱泡に要する時間
を短縮することができる。
体の脱泡方法によれば、段階的に真空度を変化させて減
圧を行うことにより、高粘度液体が容器から溢れること
を防止できるとともに、高粘度液体の脱泡に要する時間
を短縮することができる。
【００３１】真空度は段階的に高真空度にすることが好
ましく、最終段階の真空度での減圧は同一の真空度で複
数回繰り返すことが好ましい。
ましく、最終段階の真空度での減圧は同一の真空度で複
数回繰り返すことが好ましい。
【００３２】また、真空度を変化させる前に一度大気圧
に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消
滅させることができ、次の段階の減圧での脱泡効果を向
上させることができる。同一の真空度で複数回減圧を繰
り返す際にも、一度大気圧に戻すことが好ましい。
に戻すことにより、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消
滅させることができ、次の段階の減圧での脱泡効果を向
上させることができる。同一の真空度で複数回減圧を繰
り返す際にも、一度大気圧に戻すことが好ましい。
【００３３】大気圧に戻す際には、高粘度液体の上部の
気泡に強制的にエアーを当てながら大気圧に戻すことに
より、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消滅しやすくす
ることができる。
気泡に強制的にエアーを当てながら大気圧に戻すことに
より、減圧で脱泡しきれなかった気泡を消滅しやすくす
ることができる。
【図１】本発明に係る高粘度液体の脱泡装置を示す断面
図である。
図である。
【図２】従来の高粘度液体の脱泡装置を示す断面図であ
る。
る。
１ 高粘度液体 ２ 容器 ３ 固定治具 ４ デシケータ ５ ポンプ ６ 配管 ７ 振動手段 ８ 気泡 ９ エアー吹き出し口 ５１ 高粘度液体 ５２ 容器 ５３ デシケータ ５４ ポンプ ５５ 気泡 ５６ 撹拌羽根 ５７ モーター
Claims (2)
- 【請求項１】 高粘度液体中の気泡を減圧することによ
って除去する高粘度液体の脱泡方法において、 前記減圧を、段階的に真空度を変化させて行うことを特
徴とする高粘度液体の脱泡方法。 - 【請求項２】 真空度を変化させる前に、大気圧に戻す
ことを特徴とする請求項１記載の高粘度液体の脱泡方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049396A JP2000246007A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 高粘度液体の脱泡方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11049396A JP2000246007A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 高粘度液体の脱泡方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000246007A true JP2000246007A (ja) | 2000-09-12 |
Family
ID=12829886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11049396A Pending JP2000246007A (ja) | 1999-02-26 | 1999-02-26 | 高粘度液体の脱泡方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000246007A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003295203A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-15 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | シール剤脱泡容器及びこれを用いたシール剤脱泡装置 |
| KR100731041B1 (ko) * | 2002-06-14 | 2007-06-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정탈포장치 및 이를 이용한 탈포 방법 |
| KR100875185B1 (ko) * | 2002-06-14 | 2008-12-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정탈포장치 및 이를 이용한 탈포 방법 |
| US8017186B2 (en) * | 2006-08-17 | 2011-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film forming method, discharging droplet method and droplet discharging device |
| KR101192775B1 (ko) | 2005-12-29 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 씨일재 충진 장비 및 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법 |
| WO2013002177A1 (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-03 | 積水化学工業株式会社 | 液晶滴下工法用シール剤、液晶滴下工法用シール剤の製造方法、上下導通材料、及び、液晶表示素子 |
| CN113763832A (zh) * | 2021-09-17 | 2021-12-07 | 利亚德光电股份有限公司 | Led显示模组的制备方法 |
| CN114690488A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-01 | 邯郸市富亚电子技术有限公司 | 一种增强柔性液晶屏边框密封性的方法 |
-
1999
- 1999-02-26 JP JP11049396A patent/JP2000246007A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003295203A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-15 | Lg Phillips Lcd Co Ltd | シール剤脱泡容器及びこれを用いたシール剤脱泡装置 |
| KR100731041B1 (ko) * | 2002-06-14 | 2007-06-22 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정탈포장치 및 이를 이용한 탈포 방법 |
| KR100875185B1 (ko) * | 2002-06-14 | 2008-12-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정탈포장치 및 이를 이용한 탈포 방법 |
| KR101192775B1 (ko) | 2005-12-29 | 2012-10-18 | 엘지디스플레이 주식회사 | 씨일재 충진 장비 및 그를 이용한 액정표시소자의 제조방법 |
| US8017186B2 (en) * | 2006-08-17 | 2011-09-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film forming method, discharging droplet method and droplet discharging device |
| WO2013002177A1 (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-03 | 積水化学工業株式会社 | 液晶滴下工法用シール剤、液晶滴下工法用シール剤の製造方法、上下導通材料、及び、液晶表示素子 |
| JP5119374B1 (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-16 | 積水化学工業株式会社 | 液晶滴下工法用シール剤、液晶滴下工法用シール剤の製造方法、上下導通材料、及び、液晶表示素子 |
| CN103229094A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-07-31 | 积水化学工业株式会社 | 液晶滴下工艺用密封剂、液晶滴下工艺用密封剂的制造方法、上下导通材料及液晶显示元件 |
| CN103229094B (zh) * | 2011-06-28 | 2014-11-05 | 积水化学工业株式会社 | 液晶滴下工艺用密封剂、液晶滴下工艺用密封剂的制造方法、上下导通材料及液晶显示元件 |
| CN113763832A (zh) * | 2021-09-17 | 2021-12-07 | 利亚德光电股份有限公司 | Led显示模组的制备方法 |
| CN113763832B (zh) * | 2021-09-17 | 2024-01-30 | 利亚德光电股份有限公司 | Led显示模组的制备方法 |
| CN114690488A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-07-01 | 邯郸市富亚电子技术有限公司 | 一种增强柔性液晶屏边框密封性的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000246007A (ja) | 高粘度液体の脱泡方法 | |
| US6648943B2 (en) | Integrated use of deaeration methods to reduce bubbles and liquid waste | |
| US8181660B2 (en) | Treatment liquid permeation unit and treating apparatus | |
| US7694699B2 (en) | System and method for filling hydrodynamic bearings with fluid | |
| JPS61111130A (ja) | 液体の混合方法及び装置 | |
| JP2007247895A (ja) | 流体動圧ベアリングの流体充填装置および充填方法 | |
| CN101174102A (zh) | 曝光装置 | |
| JPH11114308A (ja) | 塗工液の脱気装置及び脱気方法 | |
| JPH0745001B2 (ja) | 液体供給装置及び脱泡方法 | |
| JP2007262466A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP3594423B2 (ja) | 樹脂液の脱泡装置 | |
| JP2855043B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2002346312A (ja) | 送液流路における濾材処理方法 | |
| JP2669054B2 (ja) | 現像装置 | |
| JPH05293306A (ja) | 脱泡装置 | |
| JP2001009401A (ja) | 接液部材の洗浄方法 | |
| JP5449706B2 (ja) | Ｓｏｉ基板の製造方法及び製造装置 | |
| KR930005564B1 (ko) | 액정표시소자의 액정주입방법 | |
| JP2002040450A (ja) | 液晶注入方法および液晶注入装置 | |
| JPH10314503A (ja) | 流体の脱気装置 | |
| CN117987932B (zh) | 一种籽晶粘接烧结的冲压装置及其方法 | |
| JPH0652980U (ja) | 超音波洗浄のための超音波振動子装置 | |
| CN1327941C (zh) | 中空纤维膜元件的封装浇注方法 | |
| TWI824470B (zh) | 液體中固晶方法 | |
| JPH0969506A (ja) | 超音波洗浄システム |