JP2000248239A - 両面カバーレイフィルムの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 優れた接着性・耐熱性を有し、かつ、品質の
良好な両面カバーレイフィルムを提供する。 【解決手段】 離型材層／耐熱性接着剤層／電気絶縁性
フィルムの順に積層してなる３層積層体フィルムと、耐
熱性接着剤層と離型材層を積層してなる２層積層体フィ
ルムを用い、３層積層体フィルムの電気絶縁性フィルム
と、２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層とを貼り合わ
せるの製造方法であって、３層積層体フィルムの電気絶
縁性フィルムの、少なくとも２層積層体フィルムの耐熱
性接着剤層と貼り合わせる面を、低温プラズマ処理し、
且つこの貼り合わせを、温度４０〜１６０℃、線圧１〜
２０ｋｇ／ｃｍの条件で行なって製造する両面カバーレ
イフィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、両面カバーレイフ
ィルムの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、エレクトロニクス分野の発展は目
覚しく、特に通信用・民生用の電子機器は、小型化、軽
量化、高密度化が進み、より一層高度な特性が要求され
るようになっている。それに伴い、フレキシブル印刷配
線板は、可撓性に富み、耐屈曲性に優れ、狭い空間での
立体的高密度の実装が可能であることから、電子機器へ
の配線、ケーブル、あるいは、コネクター機能を付与し
た複合部品としての用途が拡大しつつある。また、フレ
キシブル印刷配線板の高機能化が進むにつれて、複数の
フレキシブル印刷配線板を重ねる多層化する必要性が高
まってきており、その結果、フレキシブル印刷配線板の
回路形成部を保護する役割をもつカバーレイフィルムへ
の要求も高まってきている。

【０００３】従来、フレキシブル印刷配線板を多層化す
る方法としては、次の方法が一般的である。すなわち、
まず、電気絶縁性フィルムに耐熱性接着剤層を介して銅
箔を積層したフレキシブル印刷配線板用基板に所望する
銅回路を形成する。次に、電気絶縁性フィルム／耐熱性
接着剤層／離型材層からなるカバーレイフィルムの離型
材層を剥がして、銅回路部分に加熱圧着する。そして、
カバーレイフィルム上に補強板あるいはフレキシブル印
刷配線板をボンディングシートを介して積層し多層化す
る。この時、使用するボンディングシートは、通常、耐
熱性接着剤層の両面に離型材層が設けられてあり、両面
の離型材層を剥がして使用する。

【０００４】上記のようなカバーレイフィルム及びボン
ディングシートを用いた多層化は、打ち抜き加工、プレ
ス成型、接着シート加工等の複雑な工程を踏むため、膨
大な人手・時間を要し、また、工程数が多いため位置合
わせ等が複雑化し、その結果、収率及び品質の低下を招
くという問題があった。そのため、カバーレイフィルム
の機能とボンディングシートの機能を併せ持つ積層体、
すなわち、電気絶縁性フィルムの両面に耐熱性接着剤層
を設け、さらにその外側に離型材層を形成した構造をも
つ積層体（両面カバーレイフィルム）が提案された。そ
の両面カバーレイフィルムの一般的な製造方法は、電気
絶縁性フィルムの片面に耐熱性接着剤層を塗布し、加熱
乾燥して半硬化状態にした後、離型材層を貼り合わせ、
次いでもう一方の面に、同様にして耐熱性接着剤層を塗
布し、加熱乾燥して半硬化状態にした後、離型材層を貼
り合わせるという方法であった。

【０００５】しかし、この製造方法では、後の耐熱性接
着剤層を形成する際に、先に形成した耐熱性接着剤層
が、再度乾燥工程を経て加熱させられるため、耐熱性接
着剤層の熱履歴差による接着性等の変化、耐熱性接着剤
層と離型材層の間の浮き・剥がれや離型性の変化、カー
ル等の発生といった問題が生じた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる問題
点を解決し、優れた接着性・耐熱性を有する品質の安定
した両面カバーレイフィルムの製造方法を提供しようと
するものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、３層積層体フィルムと２層積層体フィルムを
組み合わせて用いることを見いだし、本発明を完成する
に至った。即ち、本発明は、離型材層／耐熱性接着剤層
／電気絶縁性フィルムの順に積層してなる３層積層体フ
ィルムと、耐熱性接着剤層と離型材層を積層してなる２
層積層体フィルムを用い、３層積層体フィルムの電気絶
縁性フィルムと、２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層
とを貼り合わせる両面カバーレイフィルムの製造方法で
あって、３層積層体フィルムの電気絶縁性フィルムの、
少なくとも２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層と貼り
合わせる面を、低温プラズマ処理し、且つこの貼り合わ
せを、温度４０〜１６０℃、線圧１〜２０ｋｇ／ｃｍで
行うことを特徴とする両面カバーレイフィルムの製造方
法である。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の両面カバーレイフィルムの製造方法は、上記し
たように３層積層体フィルムと２層積層体フィルムを用
いて、３層積層体フィルムの電気絶縁性フィルムと、２
層積層体フィルムの耐熱性接着剤層とを貼り合わせる
際、後記するような特定の条件で貼り合わせることを特
徴とするものである。本発明における３層積層体フィル
ムは、離型材層／耐熱性接着剤層／電気絶縁性フィルム
の順に積層したものであり、２層積層体フィルムは、耐
熱性接着剤層と離型材層を積層したものである本発明に
おける各積層体フィルムを構成する離型材層としては、
ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ＴＰ
Ｘフィルム、シリコーン離型材層付きポリエチレンフィ
ルム及びポリプロピレンフィルム、ポリエチレン樹脂コ
ート紙、ポリプロピレン樹脂コート紙、ＴＰＸ樹脂コー
ト紙等が挙げられる。離型材層の厚さは、フィルムベー
スのもので１３〜７５μｍ、紙ベースのもので５０〜２
００μｍが好ましいが、必要に応じて適宜の厚さにすれ
ばよい。３層積層体フィルム及び２層積層体フィルムの
離型材層の材質は、上記例示中、いずれでもよいが、２
層積層体フィルムの離型材層には、離型性等の特性面か
ら、離型材層付きフィルムが特に好ましい。

【０００９】本発明における各積層体フィルムを構成す
る耐熱性接着剤層としては、ナイロン／エポキシ樹脂
系、ニトリルゴム（以下、ＮＢＲと略称する）／エポキ
シ樹脂系、ポリエステル／エポキシ樹脂系、アクリル／
フェノール樹脂系等が挙げられ、特に接着性・耐熱性・
電気特性等の面から、ＮＢＲ／エポキシ樹脂系が好まし
い。３層積層体フィルムと２層積層体フィルムの耐熱性
接着剤層は、材質が同じであることが好ましいが、必要
に応じて異なった種類でもよい。耐熱性接着剤層の厚さ
は一般的に１０〜５０μｍであるが、使用状況等により
適宜決定すればよい。３層積層体フィルム及び２層積層
体フィルムの耐熱性接着剤層の厚さは、同じであること
が好ましいが、必要に応じて異なった厚さにしてもよ
い。

【００１０】本発明における３層積層体フィルムを構成
する電気絶縁性フィルムとしては、ポリイミドフィル
ム、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、
ポリエステルフィルム、ポリパラバン酸フィルム、ポリ
エーテルエーテルケトンフィルム、ポリフェニルスルフ
ァイドフィルム、アラミドフィルム等が挙げられ、特に
耐熱性・寸法安定性の面からポリイミドフィルムが好ま
しい。電気絶縁性フィルムの厚さは、通常１２．５〜１
２５μｍの範囲であるが、必要に応じて適宜の厚さにす
ればよい。

【００１１】本発明における３層積層体フィルムの電気
絶縁性フィルムは少なくとも２層積層体フィルムの耐熱
性接着剤層と貼り合わせる面が、低温プラズマ処理され
ているものである。低温プラズマ処理を施すことによ
り、３層積層体フィルムの電気絶縁性フィルム面と２層
積層体フィルムの耐熱性接着剤層との接着力が向上する
からである。本発明における低温プラズマ処理法として
は、減圧可能な低温プラズマ処理装置内に電気絶縁性フ
ィルムを入れ、該装置内を無機ガス雰囲気下におき、圧
力を０．００１〜１０Ｔｏｒｒ、好ましくは０．０１〜
１Ｔｏｒｒに保持した状態で、電極間に０．１〜１０ｋ
Ｖ前後の直流あるいは交流を印加してグロー放電させて
無機ガスの低温プラズマを発生させ、電気絶縁性フィル
ムを順次移動しながら、その表面を連続的にプラズマ処
理する。低温プラズマ処理の処理時間は概ね０．１〜１
００秒とするのがよい。無機ガスとしては、ヘリウム、
ネオン、アルゴン等の不活性ガス及び窒素、酸素、一酸
化炭素、二酸化炭素、アンモニア、空気等が使用される
が、これらは１種に限らず２種以上を混合して使用して
もよい。

【００１２】本発明における３層積層体フィルムを作製
するには通常用いられる方法を利用して行えばよい。例
えば、リバースロールコーター、コンマコーター、ダイ
ヘッドコーター等を用いて、予め調製された接着剤溶液
を、乾燥状態で厚さ１０〜５０μｍになるよう、電気絶
縁性フィルムに塗布する。そして、これをインラインド
ライヤーに温度４０〜１８０℃で１〜２０分間通して、
接着剤の溶剤を乾燥除去させ接着剤を半硬化状態にす
る。その後、加熱ロールにて接着剤塗布面に離型材層を
温度４０〜１６０℃、速度１〜２０ｍ／分、線圧１〜２
０ｋｇ／ｃｍで圧着する。これにより３層積層体フィル
ムが得られる。

【００１３】本発明における２層積層体フィルムについ
ても、３層積層体フィルムの場合と同様にして作製すれ
ばよい。例えば、リバースロールコーター、コンマコー
ター、ダイヘッドコーター等を用いて、予め調製された
接着剤溶液を、乾燥状態で厚さ１０〜５０μｍになるよ
う電気絶縁性フィルムに塗布し、これをインラインドラ
イヤーに温度４０〜１８０℃で１〜２０分間通して、接
着剤の溶剤を乾燥除去させ、接着剤を半硬化状態とする
ことにより得られる。

【００１４】本発明においては３層積層体フィルムの電
気絶縁性フィルム面と、２層積層体フィルムの耐熱性接
着剤層とを貼り合わせるが、このとき貼り合わせは、温
度４０〜１６０℃、好ましくは６０〜１２０℃、更に好
ましくは８０〜１２０℃である。貼り合わせの線圧は１
〜２０ｋｇ／ｃｍ、好ましくは３〜１０ｋｇ／ｃｍ、速
度１〜２０ｍ／分の条件で貼り合わせることにより、両
面カバーレイフィルムが得られる。貼り合わせる際の温
度が４０℃未満であると、接着力が弱いために剥がれや
すくなり、１６０℃を超えると積層体フィルムが伸びて
表面に皺が発生し易くなる。貼り合わせる際の線圧が１
ｋｇ／ｃｍ未満であると、電気絶縁性フィルム面と耐熱
性接着剤層との密着性が悪く、剥がれや気泡混入の原因
となり、２０ｋｇ／ｃｍを超えると、密着力が強すぎる
ために皺の発生原因になる。また、貼り合わせる際の速
度が１ｍ／分未満であると、表面に皺が発生しやすくな
り、２０ｍ／分を超えると接着力が低下して剥がれ易く
なる。以上、説明した本発明方法により、離型材層／耐
熱性接着剤層／電気絶縁性フィルム／耐熱性接着剤層／
離型材層の順に積層してなる５層構造を有する両面カバ
ーレイフィルムが得られる。

【００１５】

【実施例】次に、本発明の実施態様を実施例を挙げて具
体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもので
はない。

【００１６】（実施例１）電気絶縁性フィルムである、
厚さ２５μｍ、幅５１４ｍｍのポリイミドフィルム・カ
プトン（東レ・デュポン社製商品名）の両面に対し、連
続プラズマ処理装置により低温プラズマ処理を行った。
その際、真空度０．１Ｔｏｒｒ以下、酸素流量２．０Ｌ
／分で酸素供給し、印加電圧２ｋＶ、周波数１１０ｋＨ
ｚで３０ｋＷの電力を入力した。連続プラズマ処理装置
は、電極４本を円筒状に配置したもので、電極の外側４
０ｍｍの距離でカプトンフィルムを電極の外周に沿って
１０．０ｍ／分、処理時間約２５秒で移動させプラズマ
処理した。このカプトンフィルム上に、乾燥後の厚みが
２５μｍになるようコンマコーターを用いて、ＮＢＲ／
エポキシ系接着剤を塗布し、インラインドライヤーで温
度１２０℃以下で溶剤を除去して、該接着剤を半硬化状
態（耐熱性接着剤層）とした。そして、得られた積層体
を、温度７０℃、速度１０．０ｍ／分、線圧５．０ｋｇ
／ｃｍの条件で、シリコーン樹脂処理を施したポリエチ
レンコート紙（離型材層）と貼り合わせ、離型材層／耐
熱性接着剤層／電気絶縁性フィルムの順に積層した３層
積層体フィルムを作製した。

【００１７】次に、シリコーンで表面処理された厚さ２
５μｍ、幅５２０ｍｍのＰＥＴフィルム（離型材層）上
に、乾燥後の厚みが２５μｍになるようコンマコーター
を用いて、ＮＢＲ／エポキシ系接着剤を塗布し、インラ
インドライヤーにて温度１２０℃下で溶剤を除去して、
該接着剤を半硬化状態（耐熱性接着剤層）とし、耐熱性
接着剤層と離型材層を積層した２層積層体フィルムを作
製した。この２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層と前
記３層積層体フィルムのカプトンフィルムとを温度７０
℃、速度１０．０ｍｍ／分、線圧５．０ｋｇ／ｃｍの条
件で貼り合わせて、離型材層／耐熱性接着剤層／電気絶
縁性フィルム／耐熱性接着剤層／離型材層の順に積層し
てなる５層構造を有する両面カバーレイフィルムを作製
した。この両面カバーレイフィルムの特性を、後記する
方法で作製した評価用サンプルについて、後記する方法
で評価し、結果を（表１）に示した。

【００１８】（実施例２）厚さ２５μｍ、幅５１４ｍｍ
のカプトンフィルム（前出）の片面（２層積層体フィル
ムの耐熱性接着剤層と貼り合わせる面、表１中のＢ面）
を連続プラズマ処理装置により低温プラズマ処理した以
外は、実施例１と同じ方法・条件で両面カバーレイフィ
ルムを作製した。この両面カバーレイフィルムの特性
を、後記する方法で作製した評価用サンプルについて後
記する方法で評価し、結果を（表１）に示した。

【００１９】（実施例３）ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の
塗布厚を２５μｍから３５μｍに変更し、かつ、２層積
層体フィルムの耐熱性接着剤層と３層積層体フィルムの
カプトンフィルムとを貼り合わせる際の温度条件を７０
℃から１００℃に、線圧条件を５．０ｋｇ／ｃｍから３
ｋｇ／ｃｍに変更した以外は、実施例１と同じ方法・条
件で両面カバーレイフィルムを作製した。この両面カバ
ーレイフィルムの特性を、後記する方法で作製した評価
用サンプルについて後記する方法で評価し、結果を（表
１）に示した。

【００２０】（実施例４）低温プラズマ処理を行う際の
無機ガスを酸素から窒素に変更し、ＮＢＲ／エポキシ系
接着剤の塗布厚を２５μｍから３５μｍに変更し、か
つ、２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層と３層積層体
フィルムのカプトンフィルムとを貼り合わせる際の温度
条件を７０℃から１２０℃に、線圧条件を５．０ｋｇ／
ｃｍから３．０ｋｇ／ｃｍに変更した以外は、実施例１
と同じ方法・条件で両面カバーレイフィルムを作製し
た。この両面カバーレイフィルムの特性を、後記する方
法で作製した評価用サンプルについて後記する方法で評
価し、結果を（表１）に示した。

【００２１】（実施例５）低温プラズマ処理を行う際の
処理速度を１０．０ｍ／分から３０．０ｍ／分に変更
し、かつ、ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の塗布厚を２５μ
ｍから３５μｍに変更した以外は、実施例１と同じ方法
・条件で両面カバーレイフィルムを作製した。この両面
カバーレイフィルムの特性を、後記する方法で作製した
評価用サンプルについて後記する方法で評価し、結果を
（表１）に示した。

【００２２】（実施例６）ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の
塗布厚を２５μｍから５０μｍに変更し、かつ、２層積
層体フィルムの耐熱性接着剤層と３層積層体フィルムの
カプトンフィルムとを貼り合わせる際の温度条件を７０
℃から１００℃に変更した以外は、実施例１と同じ方法
・条件で両面カバーレイフィルムを作製した。この両面
カバーレイフィルムの特性を、後記する方法で作製した
評価用サンプルについて後記する方法で評価し、結果を
（表１）に示した。

【００２３】（実施例７）ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の
塗布厚を２５μｍから３５μｍに変更し、かつ、２層積
層体フィルムの耐熱性接着剤層と３層積層体フィルムの
カプトンフィルムとを貼り合わせる際の線圧を５．０ｋ
ｇ／ｃｍから１０．０ｋｇ／ｃｍに変更した以外は、実
施例１と同じ方法・条件で両面カバーレイフィルムを作
製した。この両面カバーレイフィルムの特性を、後記す
る方法で作製した評価用サンプルについて後記する方法
で評価し、結果を（表１）に示した。

【００２４】（比較例１）実施例１使用したカプトンフ
ィルム（前出）上に、乾燥後の厚みが２５μｍになるよ
うにコンマコーターを用いて、ＮＢＲ／エポキシ系接着
剤を塗布し、インラインドライヤーで温度１２０℃以下
で溶剤を除去、接着剤を半硬化状態（耐熱性接着剤層）
とした。得られた積層体の耐熱性接着剤層を温度７０
℃、速度１０．０ｍ／分、線圧５．０ｋｇ／ｃｍの条件
で剥離紙（前出）と貼り合わせ、離型材層／耐熱性接着
剤層／電気絶縁性フィルムの順に積層した３層積層体フ
ィルムを作製した。続いて、この３層積層体フィルムの
カプトンフィルムのもう一方の面に、乾燥後の厚みが２
５μｍになるようにコンマコーターを用いて、ＮＢＲ／
エポキシ系接着剤を塗布し、インラインドライヤーにて
温度１２０℃以下で溶剤を除去、接着剤を半硬化状態
（耐熱性接着剤層）とした。そして、この耐熱性接着剤
層にシリコーン樹脂処理を施したポリエチレンコート紙
（前出）を温度７０℃、速度１０．０ｍ／分、線圧５．
０ｋｇ／ｃｍの条件で貼り合わせて両面カバーレイフィ
ルムを作製した。この両面カバーレイフィルムの特性
を、後記する方法で作製した評価用サンプルについて後
記する方法で評価し、結果を（表１）に示した。

【００２５】（比較例２）厚さ２５μｍ、幅５１４ｍｍ
のカプトンフィルム（前出）に連続プラズマ処理装置に
より低温プラズマ処理を行わなかったこと以外は、実施
例１と同じ方法・条件で両面カバーレイフィルムを作製
した。この両面カバーレイフィルムの特性を、後記する
方法で作製した評価用サンプルについて後記する方法で
評価し、結果を（表１）に示した。

【００２６】（比較例３）ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の
塗布厚が３５μｍで、かつ、２層積層体フィルムの耐熱
性接着剤層と３層積層体フィルムのカプトンフィルムと
を貼り合わせる際の温度を１８０℃とした以外は、実施
例１と同じ方法・条件で両面カバーレイフィルムを作製
した。この両面カバーレイフィルムの特性を、後記する
方法で作製した評価用サンプルについて後記する方法で
評価し、結果を（表１）に示した。

【００２７】（比較例４）ＮＢＲ／エポキシ系接着剤の
塗布厚を３５μｍで、かつ、２層積層体フィルムの耐熱
性接着剤層と３層積層体フィルムのカプトンフィルムと
を貼り合わせる際の線圧を３０．０ｋｇ／ｃｍとした以
外は、実施例１と同じ方法・条件で両面カバーレイフィ
ルムを作製した。この両面カバーレイフィルムの特性
を、後記する方法で作製した評価用サンプルについて後
記する方法で評価し、結果を（表１）に示した。

【００２８】（比較例５）２層積層体フィルムの耐熱性
接着剤層と３層積層体フィルムのカプトンフィルムとを
貼り合わせる際の温度条件を３０℃、線圧条件を０．５
ｋｇ／ｃｍとした以外は、実施例１と同じ方法・条件で
両面カバーレイフィルムを作製した。この両面カバーレ
イフィルムの特性を、後記する方法で作製した評価用サ
ンプルについて後記する方法で評価し、結果を（表１）
に示した。

【００２９】ここで、（表１）記載の諸特性の評価方法
及び評価用サンプルの作製方法について記載する。 ［評価用サンプル作製方法］両面カバーレイフィルムの
離型材層を剥がし、両接着剤塗布面に各々電解銅箔・Ｊ
ＴＣ箔（ジャパンエナジー社製商品名）の光沢面を貼り
合わせ、１６０℃×５０ｋｇ／ｃｍ^２ の条件で３０分
間加熱圧着したものを用いた。

【００３０】［諸特性の測定方法及び検査方法］ イ）剥離強度［ｋｇ/ ｃｍ］：ＪＩＳ Ｃ ６４７１に準
拠して、１０ｍｍ幅にカットしたサンプルを９０度方向
に５０ｍｍ／分の速度で銅箔側から引き剥がしその強度
を測定した。 ロ）半田耐熱性［℃］：ＪＩＳ Ｃ ６４７１に準拠し
て、２０℃、６０％ＲＨの条件の下で２４時間調整を行
ったサンプルを２５ｍｍ角にカットし、これを半田浴上
に３０秒間浮かべた後、外観を目視により検査し、フク
レ・ハガレ等が生じない最高温度を測定した。 ハ）カバーレイフィルムのカール性［ｍｍ］：カバーレ
イフィルムのサンプルの頂点４点のカール（平面に置い
た時の高さ）を測定し、４点の値を平均とした。ニ）外
観検査：カバーレイフィルムの外観において、皺・剥が
れが見られるか否か、気泡が発生しているか否かを目視
により確認した。 ・皺・剥がれが見られるか ○：見られない ×：見られる ・気泡が発生しているか ○：発生していない ×：発生している

【００３１】

【表１】

【００３２】

【発明の効果】本発明により、優れた接着性・耐熱性を
有し、かつ、品質の良好な両面カバーレイフィルムを提
供することが可能となり、それにより製造の安定化が図
られ、実用上、その利用価値は非常に高い。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栄口 吉次 茨城県鹿島郡神栖町大字東和田１番地 信 越化学工業株式会社塩ビ技術研究所内 Ｆターム(参考） 4F100 AK04A AK27B AK27D AK27G AK27J AK29B AK29D AK29G AK29J AK42E AK49C AK52A AK53B AK53D AK53G AL01B AL01D AL01G BA05 BA07 BA10A BA10E CA30A CA30E CB00 CB00B CB00D DG10A EJ172 EJ241 EJ422 EJ611 GB43 JG04C JJ03 JJ03B JJ03D JL11 4J004 AA05 AA10 AA12 AA13 AA15 AA16 AB05 CA06 CB03 CC02 CD08 CE01 DB01 DB02 DB03 EA05 FA04 FA05 GA01 5E314 AA31 AA32 AA33 AA34 CC15 DD01 FF06 GG08 GG24

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 離型材層／耐熱性接着剤層／電気絶縁性
   フィルムの順に積層してなる３層積層体フィルムと、耐
   熱性接着剤層と離型材層を積層してなる２層積層体フィ
   ルムを用い、３層積層体フィルムの電気絶縁性フィルム
   と、２層積層体フィルムの耐熱性接着剤層とを貼り合わ
   せる両面カバーレイフィルムの製造方法であって、３層
   積層体フィルムの電気絶縁性フィルムの、少なくとも２
   層積層体フィルムの耐熱性接着剤層と貼り合わせる面
   を、低温プラズマ処理し、且つこの貼り合わせを、温度
   ４０〜１６０℃、線圧１〜２０ｋｇ／ｃｍで行うことを
   特徴とする両面カバーレイフィルムの製造方法。