JP2000254570A - 円管内面への成膜方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遠心力による液の流下を利用しながら円管内
面に均一に膜を形成できる円管内面への成膜方法及び装
置を提供する。 【解決手段】 円管４の内面に成膜用液を塗布し、液の
流下を利用して膜の平滑化を図る円管内面への成膜方法
であって、液の塗布中及び塗布後に円管４をその軸芯を
鉛直軸芯６に対して傾斜させた姿勢で、その軸芯まわり
の自転運動を行うことなく、円管４の上端より上部位置
で円管４の軸芯と交叉する鉛直軸芯６まわりに公転運動
させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、円管内面に成膜用
液を塗布し、液の流下を利用して膜の平滑化を図る円管
内面への成膜方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の円管内面への成膜方法としては、 （１）成膜用液を内面に塗布した後、円管を垂直に保持
し、液の自然流下により平滑化を図る方法 （２）特開平５−６２５９２号公報に開示されているよ
うに、液を塗布した後、管内に風を送風し、風の力によ
って液の平滑化を図る方法 （３）特開平９−１１５４４１号公報に開示されている
ように、円錐台外周に円管を固定し、円錐台を回転さ
せ、その遠心力で液の平滑化を図る方法等が知られてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記よ
うな塗布方法では、次のような問題点があった。

【０００４】（１）液の自然流下を利用する場合、液の
乾燥によって上下で液厚に差が生じ、最終的にできる膜
に厚さむらが発生する。

【０００５】（２）風力により平滑化を行う場合、風の
入口と出口で風圧差が生じるため、液厚に差が生じ、最
終的にできる膜に厚さむらが発生する。

【０００６】（３）円錐台に円管を固定し、円錐台を回
転させ、遠心力で液の平滑化を図る場合、円管の内外で
遠心力の差が生じ、管の外側に液が集中することが明白
で、膜の厚さむらが発生する。

【０００７】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、遠心
力による液の流下を利用しながら円管内面に均一に膜を
形成できる円管内面への成膜方法を提供することを目的
としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の円管内面への成
膜方法は、円管内面に成膜用液を塗布し、液の流下を利
用して膜の平滑化を図る円管内面への成膜方法であっ
て、液の塗布中及び塗布後に円管をその軸芯を鉛直線に
対して傾斜させた姿勢で、その軸芯まわりの自転運動を
行うことなく、円管の上端より上部位置で円管の軸芯と
交叉する鉛直軸芯まわりに公転運動させるものであり、
円管内面の任意の箇所の鉛直軸芯に対する回転半径が１
公転毎に変化し、遠心力が円管内面全面で均等に作用す
るため、膜厚の均一化を図ることができ、円管内面に平
滑で均一な膜を形成することができる。

【０００９】また、本発明の円管内面への成膜装置は、
円管上端部を保持可能で、直交する２軸芯回りに首振り
自在にかつ鉛直軸芯回りに回転不可に支持された上部保
持具と、２軸芯の交点を通る鉛直軸芯回りに回転駆動可
能な回転アームと、この回転アームの先端に配設され、
円管下端部をその軸芯まわりの回転が自在となるように
して保持する下部保持具とを備えたものであり、円管の
上端部と下端部を上部と下部の保持具にて保持させ、回
転アームを回転することによって上記成膜方法を実施し
て円管内面に平滑で均一な膜を形成することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の円管内面への成膜
方法及び装置の一実施形態について、図１〜図３を参照
して説明する。

【００１１】円管内面への成膜装置の概略構成を示す図
１において、１はベース、２はその上に立設された門型
フレームで、門型フレーム２の横枠２ａの一側に上端保
持部３が配設されている。上端保持部３には、円管４の
上端部４ａを保持可能な上部保持具５が、直交する２軸
芯回りに首振り自在にかつ鉛直軸芯回りに回転不可に配
設されている。

【００１２】具体的には、図１、図２に示すように上端
保持部３は二股状に形成され、この二股部３ａ、３ａに
十字軸２０の第１軸２０ａの両端部が回転自在に支持さ
れ、十字軸２０の前記第１軸２０ａに直交する第２軸２
０ｂの両端部が前記上部保持具５の二股状上方突出部５
ａ、５ａを回転自在に支持している。上部保持具５は円
筒状に形成されて、前記円管４の上端部４ａを嵌挿状態
で保持している。５ｂは円管４の上部保持具５に対する
相対回動を防ぐための止めネジである。

【００１３】ベース１上には、上端保持部３における上
記２軸２０ａ、２０ｂの軸芯の交点を通る鉛直軸芯６の
回りに回転駆動可能な回転アーム７が配設されている。
８はその回転駆動手段である。回転アーム７の先端部に
は、円管４の下端部４ｂをその軸芯まわりの回転が自在
となるようにして保持する下部保持具９が配設されてい
る。

【００１４】以上の構成において、円管４の上端部４ａ
を上部保持具５にて保持し、下端部４ｂを下部保持具９
にて保持すると、円管４は図２に示すようにその軸芯２
１を鉛直軸芯６に対して傾斜した姿勢で保持される。そ
のため、円管４の上部位置と下部位置で鉛直軸芯６（回
転軸芯）からの半径（回転半径）がｒ₁ 、ｒ₂ のように
異なる。円管４の内面に塗布された液は重力により流下
するため、下の方が通常膜が厚くなる。そこで、回転ア
ーム７を回転することにより遠心力が作用し、かつその
遠心力は回転半径の大きい下部の方が強くなり、液を流
下させる力も強くなるので、円管４の全長にわたって均
一な膜厚で成膜することができる。

【００１５】円管４の軸芯２１の鉛直軸芯６との傾きを
θ、重力の加速度をＧ、液の単位質量をＭ、回転半径を
Ｒ、回転角速度をωとすると、液の流下力Ｆは次のよう
になる。

【００１６】Ｆ＝ＭＲω²cosθ＋ＭＧ sinθ さらに、本実施形態では上部保持具５を直交する２軸芯
回りに首振り自在にかつ垂直軸芯回りに回転不可に配設
しているので、円管４はその軸芯２１まわりの自転運動
を行うことなく、回転アーム７の回転に伴って鉛直軸芯
６まわりに公転運動することになり、円管４は「すりこ
ぎ運動」を行うことになる。その結果、図３（ａ）〜
（ｃ）に示すように、円管４の任意の箇所ａ、ｂは公転
運動中に鉛直軸芯６に対する内外位置関係が変化するこ
とになり、公転中に作用する遠心力が平均化することに
なる。こうして、円管４が「すりこぎ運動」を行うこと
により、円管４内面の任意の箇所の鉛直軸芯６に対する
内外位置関係によって遠心力の差を生じず、成膜用液の
流下による膜厚の不均一を発生させず、円管４内面への
均一な成膜が可能となる。

【００１７】

【発明の効果】本発明の円管内面への成膜方法によれ
ば、以上の説明から明らかなように、液の塗布中及び塗
布後に円管をその軸芯を鉛直線に対して傾斜させた姿勢
で、その軸芯まわりの自転運動を行うことなく、円管の
上端より上部位置で円管の軸芯と交叉する鉛直軸芯まわ
りに公転運動させるので、円管内面の任意の箇所の鉛直
軸芯に対する回転半径が１公転毎に変化し、遠心力が円
管内面全面で均等に作用するため、膜厚の均一化を図る
ことができ、円管内面に平滑で均一な膜を形成すること
ができる。

【００１８】また、本発明の円管内面への成膜装置によ
れば、上記成膜方法を実施して円管内面に平滑で均一な
膜を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の円管内面への成膜装置の
概略構成を示す斜視図である。

【図２】同実施形態の円管内面への成膜装置の要部の一
部縦断側面図である。

【図３】同実施形態における円管内面への成膜工程を
（ａ）〜（ｃ）に示す平面図である。

【符号の説明】

４ 円管 ５ 上部保持具 ６ 鉛直軸芯 ７ 回転アーム ９ 下部保持具

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円管内面に成膜用液を塗布し、液の流下
   を利用して膜の平滑化を図る円管内面への成膜方法であ
   って、液の塗布中及び塗布後に円管をその軸芯を鉛直線
   に対して傾斜させた姿勢で、その軸芯まわりの自転運動
   を行うことなく、円管の上端より上部位置で円管の軸芯
   と交叉する鉛直軸芯まわりに公転運動させることを特徴
   とする円管内面への成膜方法。
2. 【請求項２】 円管内面に成膜用液を塗布し、液の流下
   を利用して膜の平滑化を図る円管内面への成膜装置であ
   って、円管上端部を保持可能で、直交する２軸芯回りに
   首振り自在にかつ鉛直軸芯回りに回転不可に支持された
   上部保持具と、２軸芯の交点を通る鉛直軸芯回りに回転
   駆動可能な回転アームと、この回転アームの先端に配設
   され、円管下端部をその軸芯まわりの回転が自在となる
   ようにして保持する下部保持具とを備えたことを特徴と
   する円管内面への成膜装置。