JP2000265151A - 液状仮着接着剤 - Google Patents
液状仮着接着剤Info
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- JP2000265151A JP2000265151A JP11071263A JP7126399A JP2000265151A JP 2000265151 A JP2000265151 A JP 2000265151A JP 11071263 A JP11071263 A JP 11071263A JP 7126399 A JP7126399 A JP 7126399A JP 2000265151 A JP2000265151 A JP 2000265151A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ポリシング工程におけるウエハの
鏡面研磨に際して、アルカリ洗浄性を維持しつつもウエ
ハの浮きを生じることなく、また、接着強度も優れた液
状仮着接着剤の提供にある。 【解決手段】 本発明の液状仮着接着剤は、酸価が６０
ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂と、該アルカ
リ可溶性樹脂に対して３０重量％未満の割合の酸価が６
０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のアルカリ難溶性樹脂とからな
り、また、アルカリ可溶性樹脂が、特に、酸価１２０ｍ
ｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂である。
鏡面研磨に際して、アルカリ洗浄性を維持しつつもウエ
ハの浮きを生じることなく、また、接着強度も優れた液
状仮着接着剤の提供にある。 【解決手段】 本発明の液状仮着接着剤は、酸価が６０
ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂と、該アルカ
リ可溶性樹脂に対して３０重量％未満の割合の酸価が６
０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のアルカリ難溶性樹脂とからな
り、また、アルカリ可溶性樹脂が、特に、酸価１２０ｍ
ｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂である。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、化
合物半導体ウエハ等の鏡面研磨加工に際し、研磨定盤と
ウエハを仮着固定する液状仮着接着剤に関するものであ
る。
合物半導体ウエハ等の鏡面研磨加工に際し、研磨定盤と
ウエハを仮着固定する液状仮着接着剤に関するものであ
る。
【０００１】
【従来の技術】最近の高密度化された半導体ウエハ、化
合物半導体ウエハ等における鏡面研磨加工にあっては、
ウエハ面或いは研磨用定盤に液状仮着接着剤を塗工・乾
燥後、熱圧でウエハと研磨用定盤を接着固定し、ポリシ
ング工程によりウエハの鏡面研磨し、次いでウエハ剥離
−アルカリ洗浄−純水洗浄−乾燥工程を経る。
合物半導体ウエハ等における鏡面研磨加工にあっては、
ウエハ面或いは研磨用定盤に液状仮着接着剤を塗工・乾
燥後、熱圧でウエハと研磨用定盤を接着固定し、ポリシ
ング工程によりウエハの鏡面研磨し、次いでウエハ剥離
−アルカリ洗浄−純水洗浄−乾燥工程を経る。
【０００２】しかしながら、ポリシング工程におけるウ
エハの鏡面研磨に際して、研磨液としてアルカリ研磨液
が使用されるが、仮着接着剤のアルカリ溶解性が強すぎ
ると鏡面加工時にウエハの外周部より研磨液が侵食し、
ウエハの浮きが生じ、場合によっては研磨作業が続行不
可能となる等の問題がある。
エハの鏡面研磨に際して、研磨液としてアルカリ研磨液
が使用されるが、仮着接着剤のアルカリ溶解性が強すぎ
ると鏡面加工時にウエハの外周部より研磨液が侵食し、
ウエハの浮きが生じ、場合によっては研磨作業が続行不
可能となる等の問題がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ポリ
シング工程におけるウエハの鏡面研磨に際して、アルカ
リ洗浄性を維持しつつもウエハの浮きを生じることな
く、また、接着強度も優れた液状仮着接着剤の提供にあ
る。
シング工程におけるウエハの鏡面研磨に際して、アルカ
リ洗浄性を維持しつつもウエハの浮きを生じることな
く、また、接着強度も優れた液状仮着接着剤の提供にあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の液状仮着接着剤
は、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹
脂と、該アルカリ可溶性樹脂に対して３０重量％未満の
割合の酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満のアルカリ難溶性
樹脂とからなることを特徴とする。
は、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹
脂と、該アルカリ可溶性樹脂に対して３０重量％未満の
割合の酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満のアルカリ難溶性
樹脂とからなることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の液状仮着接着剤に
ついて説明する。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂
は、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、好ましくは１２０
ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であり、例えば荒川化学工業（株）
製白菊ロジン（軟化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／
ｇ）、ハーキュレス（株）製「ウッドロジンＷＧ」（軟
化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジン
類、東都化成（株）製ＡＸ３１１Ｍ（軟化点９０℃、酸
価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のノボラック型エポキシ樹
脂、荒川化学工業（株）製（軟化点１２５℃、酸価２４
０ｍｇＫＯＨ／ｇ）のアクリル酸変性ロジン、ジョンソ
ンポリマー（株）製（軟化点１０５℃、酸価２３８ｍｇ
ＫＯＨ／ｇ）のスチレン−マレイン酸樹脂、日立化成
（株）製「テスポール１１５５」軟化点１３０℃、酸価
１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジン変性マレイン酸樹
脂、岐阜シエラック（株）製「商品名、セラックＧＳ」
（軟化点７６℃、接着力６２ｋｇ／ｃｍ2 ）、興洋化学
（株）製「商品名、セラックＨＫ」（軟化点７５℃、接
着力６４．５ｋｇ／ｃｍ2 ）等の酸価６５〜８０ｍｇＫ
ＯＨ／ｇの天然シェラック樹脂、合成シェラック樹脂等
が挙げられる。
ついて説明する。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂
は、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、好ましくは１２０
ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であり、例えば荒川化学工業（株）
製白菊ロジン（軟化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／
ｇ）、ハーキュレス（株）製「ウッドロジンＷＧ」（軟
化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジン
類、東都化成（株）製ＡＸ３１１Ｍ（軟化点９０℃、酸
価１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のノボラック型エポキシ樹
脂、荒川化学工業（株）製（軟化点１２５℃、酸価２４
０ｍｇＫＯＨ／ｇ）のアクリル酸変性ロジン、ジョンソ
ンポリマー（株）製（軟化点１０５℃、酸価２３８ｍｇ
ＫＯＨ／ｇ）のスチレン−マレイン酸樹脂、日立化成
（株）製「テスポール１１５５」軟化点１３０℃、酸価
１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジン変性マレイン酸樹
脂、岐阜シエラック（株）製「商品名、セラックＧＳ」
（軟化点７６℃、接着力６２ｋｇ／ｃｍ2 ）、興洋化学
（株）製「商品名、セラックＨＫ」（軟化点７５℃、接
着力６４．５ｋｇ／ｃｍ2 ）等の酸価６５〜８０ｍｇＫ
ＯＨ／ｇの天然シェラック樹脂、合成シェラック樹脂等
が挙げられる。
【０００６】アルカリ可溶性樹脂における軟化点は、基
材の材質やユーザー要望等により適宜調整されるが、４
０℃〜１００℃、好ましくは５０℃〜９０℃である。ア
ルカリ可溶性樹脂における酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇよ
り低いと、アルカリ洗浄性に劣るものとなる。
材の材質やユーザー要望等により適宜調整されるが、４
０℃〜１００℃、好ましくは５０℃〜９０℃である。ア
ルカリ可溶性樹脂における酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇよ
り低いと、アルカリ洗浄性に劣るものとなる。
【０００７】また、アルカリ難溶性樹脂としては、酸価
が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満、好ましくは５０ｍｇＫＯＨ
／ｇ以下であり、例えば荒川化学工業（株）製「エステ
ルガムＫＥ３１１」（軟化点９５℃、酸価１０ｍｇＫＯ
Ｈ／ｇ）、ハーキュレス（株）製「エステルガムＲＥ」
（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジンエ
ステル類、ジョンソンポリマー（株）製「ジョンクリル
６１１」（軟化点１１２℃、酸価５３ｍｇＫＯＨ／
ｇ）、野田ワックス（株）製「キャンデリラワックス」
（軟化点７０℃、酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ヘキスト
ジャパン（株）製ヘキストワックスＥ（軟化点８０℃、
酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等の天然または合成ワック
ス、野田ワックス（株）製「脱臭精密蜜蝋（高酸）」
（軟化点６７℃、酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、三木化学
工業（株）製「脱臭赤印晒密蝋」（軟化点６４℃、酸価
７ｍｇＫＯＨ／ｇ）等の蜜蝋、昭和高分子工業（株）製
「ＰＲ３００」（軟化点６０℃、酸価５０ｍｇＫＯＨ／
ｇ）等のノボラックエポキシアクリレートが例示され
る。また、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満の酢酸ビニル
マレイン酸樹脂を使用してもよい。アルカリ難溶性樹脂
における酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると、アル
カリ研磨に際してウエハ端面からの侵食性に劣るものと
なる。また、アルカリ難溶性樹脂における軟化点は４０
℃〜１１０℃、好ましくは５０℃〜８０℃である。
が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満、好ましくは５０ｍｇＫＯＨ
／ｇ以下であり、例えば荒川化学工業（株）製「エステ
ルガムＫＥ３１１」（軟化点９５℃、酸価１０ｍｇＫＯ
Ｈ／ｇ）、ハーキュレス（株）製「エステルガムＲＥ」
（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫＯＨ／ｇ）等のロジンエ
ステル類、ジョンソンポリマー（株）製「ジョンクリル
６１１」（軟化点１１２℃、酸価５３ｍｇＫＯＨ／
ｇ）、野田ワックス（株）製「キャンデリラワックス」
（軟化点７０℃、酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、ヘキスト
ジャパン（株）製ヘキストワックスＥ（軟化点８０℃、
酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）等の天然または合成ワック
ス、野田ワックス（株）製「脱臭精密蜜蝋（高酸）」
（軟化点６７℃、酸価２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）、三木化学
工業（株）製「脱臭赤印晒密蝋」（軟化点６４℃、酸価
７ｍｇＫＯＨ／ｇ）等の蜜蝋、昭和高分子工業（株）製
「ＰＲ３００」（軟化点６０℃、酸価５０ｍｇＫＯＨ／
ｇ）等のノボラックエポキシアクリレートが例示され
る。また、酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満の酢酸ビニル
マレイン酸樹脂を使用してもよい。アルカリ難溶性樹脂
における酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると、アル
カリ研磨に際してウエハ端面からの侵食性に劣るものと
なる。また、アルカリ難溶性樹脂における軟化点は４０
℃〜１１０℃、好ましくは５０℃〜８０℃である。
【０００８】アルカリ難溶性樹脂は、アルカリ可溶性樹
脂に対して、３０重量％未満、好ましくは１０重量％〜
２５重量％の割合で混合されるとよい。３０重量％以上
の含有量であると、アルカリ洗浄性に劣るものとなる。
脂に対して、３０重量％未満、好ましくは１０重量％〜
２５重量％の割合で混合されるとよい。３０重量％以上
の含有量であると、アルカリ洗浄性に劣るものとなる。
【０００９】また、本発明の液状仮着接着剤には、トル
エンスルホン酸エチルアミド、フタル酸エステル系化合
物、オキシ酸エステル系化合物およびマレイン酸樹脂等
の脂肪族二塩基酸エステル系化合物、オレイン酸、レシ
チン、脂肪酸アミド、流動性パラフィン等の軟化点調整
剤や溶融粘度調整剤、弗素系界面活性剤等のレベリング
剤、酸化防止剤を添加してもよく、いずれも、アルカリ
可溶性樹脂１００重量部に対して２０重量部以下、好ま
しくは３重量部〜１５重量部の割合でそれぞれ添加され
る。
エンスルホン酸エチルアミド、フタル酸エステル系化合
物、オキシ酸エステル系化合物およびマレイン酸樹脂等
の脂肪族二塩基酸エステル系化合物、オレイン酸、レシ
チン、脂肪酸アミド、流動性パラフィン等の軟化点調整
剤や溶融粘度調整剤、弗素系界面活性剤等のレベリング
剤、酸化防止剤を添加してもよく、いずれも、アルカリ
可溶性樹脂１００重量部に対して２０重量部以下、好ま
しくは３重量部〜１５重量部の割合でそれぞれ添加され
る。
【００１０】上記の各成分は、溶媒に溶解されて液状仮
着接着剤とされるが、溶媒としては、各成分に対して溶
解性を有するものであれば使用できるが、ｎ−プロピル
アルコール／トルエン（重量比、３／７）混合溶媒等の
共沸系溶剤を使用するとよい。共沸溶媒系は塗膜中より
スムーズな溶剤脱離性があり、残留溶剤量を著しく少な
くできるので、研磨定盤とウエハ熱貼りに際して残留溶
剤の発泡によるウエハ研磨面の歪みを防止でき、かつ接
着安定性を保持することを可能とする。液状仮着接着剤
は、固型分濃度１５％〜５０％、好ましくは２０％〜４
０％の溶液とされる。
着接着剤とされるが、溶媒としては、各成分に対して溶
解性を有するものであれば使用できるが、ｎ−プロピル
アルコール／トルエン（重量比、３／７）混合溶媒等の
共沸系溶剤を使用するとよい。共沸溶媒系は塗膜中より
スムーズな溶剤脱離性があり、残留溶剤量を著しく少な
くできるので、研磨定盤とウエハ熱貼りに際して残留溶
剤の発泡によるウエハ研磨面の歪みを防止でき、かつ接
着安定性を保持することを可能とする。液状仮着接着剤
は、固型分濃度１５％〜５０％、好ましくは２０％〜４
０％の溶液とされる。
【００１１】本発明の液状仮着接着剤は、ウエハまたは
研磨用定盤上に、スピンコータ、ディップコーター等を
使用して塗布され、溶媒が除去された後、ウエハと研磨
用定盤とが熱圧着されることにより、ウエハは定盤上等
に確実に固定され、次いで、アルカリ研磨液による研磨
加工等が施され、加工後にはスクレバー、ナイフ等を利
用して定盤上等から剥離される。
研磨用定盤上に、スピンコータ、ディップコーター等を
使用して塗布され、溶媒が除去された後、ウエハと研磨
用定盤とが熱圧着されることにより、ウエハは定盤上等
に確実に固定され、次いで、アルカリ研磨液による研磨
加工等が施され、加工後にはスクレバー、ナイフ等を利
用して定盤上等から剥離される。
【００１２】本発明の液状仮着接着剤を使用して定盤上
に固定されたウエハは、アルカリ研磨液として、通常の
研磨液、例えばローデル・ニッタ（株）製研磨剤「ナル
コ２３６０」等を使用して研磨される。
に固定されたウエハは、アルカリ研磨液として、通常の
研磨液、例えばローデル・ニッタ（株）製研磨剤「ナル
コ２３６０」等を使用して研磨される。
【００１３】本発明の液状仮着接着剤は、ウエハと定盤
等との接着固定を図り、研磨時における４０℃〜５０℃
の昇温やアルカリ研磨液に耐え、鏡面研磨に適するもの
であり、研磨加工後には、例えばカミソリの刃先をウエ
ハの接着面に挿入し、一挙に剥離できる。また、剥離さ
れたウエハに付着している接着剤は、一次洗浄をアルカ
リ性の洗浄剤で、次いで仕上げリンスを純水で行うこと
により除去される。
等との接着固定を図り、研磨時における４０℃〜５０℃
の昇温やアルカリ研磨液に耐え、鏡面研磨に適するもの
であり、研磨加工後には、例えばカミソリの刃先をウエ
ハの接着面に挿入し、一挙に剥離できる。また、剥離さ
れたウエハに付着している接着剤は、一次洗浄をアルカ
リ性の洗浄剤で、次いで仕上げリンスを純水で行うこと
により除去される。
【００１４】ウエハに残留した接着剤は、テトラメチル
アンモニウムオキサイド、アルカノールアミン、アミノ
アルコール、水溶性アミン類等の有機アミン、無機アル
カリ、またはこれらの塩の水溶液を使用して洗浄除去さ
れる。次に、本発明を実施例および比較例により具体的
に説明する。
アンモニウムオキサイド、アルカノールアミン、アミノ
アルコール、水溶性アミン類等の有機アミン、無機アル
カリ、またはこれらの塩の水溶液を使用して洗浄除去さ
れる。次に、本発明を実施例および比較例により具体的
に説明する。
【００１５】
【実施例１】下記の組成 ・ ロジン（荒川化学工業（株）製「白菊ロジン」軟化点７８℃、酸価１６５ｍ ｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ８０重量部 ・ 野田ワックス（株）製「脱臭精密蜜蝋（高酸）」（軟化点６７℃、酸価２０ ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 ・ 荒川化学工業（株）製「エステルガムＫＥ３１１」（軟化点９５℃、酸価１ ０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 からなる組成を、ｎ−プロピルアルコール／トルエン＝
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００１６】
【実施例２】下記の組成 ・ ハーキュレス（株）製「ウッドロジン」（軟化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ ８０重量部 ・ ハーキュレス（株）製「エステルガムＲＥ」（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 ・ 野田ワックス（株）製「脱臭精密蜜蝋（高酸）」（軟化点６７℃、酸価２０ ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 からなる組成を、ｎ−プロピルアルコール／トルエン＝
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００１７】
【実施例３】下記の組成 ・ ハーキュレス（株）製「ウッドロジン」（軟化点７８℃、酸価１６５ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ ４０重量部 ・ 日立化成（株）製「テスポール１１５５」軟化点１３０℃、酸価１８０ｍｇ ＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ４０重量部 ・ 荒川化学工業（株）製「エステルガムＲＥ」（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 ・ 荒川化学工業（株）製「エステルガムＫＥ３１１」（軟化点９５℃、酸価１ ０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 からなる組成を、ｎ−プロピルアルコール／トルエン＝
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００１８】
【比較例１】下記の組成 ・ ロジン（荒川化学工業（株）製「白菊ロジン」軟化点７８℃、酸価１６５ｍ ｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ６０重量部 ・ ハーキュレス（株）製「エステルガムＲＥ」（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ ２０重量部 ・ 荒川化学工業（株）製「エステルガムＫＥ３１１」（軟化点９５℃、酸価１ ０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ２０重量部 ・ オレイン酸（試薬、和光純薬、液状） ・・ ３重量部 からなる組成を、ｎ−プロピルアルコール／トルエン＝
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、液状仮着接着剤を調製した。
３／７（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解
させ、液状仮着接着剤を調製した。
【００１９】
【比較例２】下記の組成 ・ ロジン（荒川化学工業（株）製「白菊ロジン」軟化点７８℃、酸価１６５ｍ ｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ７０重量部 ・ ハーキュレス（株）製「エステルガムＲＥ」（軟化点９０℃、酸価７ｍｇＫ ＯＨ／ｇ） ・・・・・ １５重量部 ・ 野田ワックス（株）製「脱臭精密蜜蝋（高酸）」（軟化点６７℃、酸価２０ ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １５重量部 からなる組成を、メチルエチルケトン／トルエン＝２／
１（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解さ
せ、液状仮着接着剤を調製した。
１（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解さ
せ、液状仮着接着剤を調製した。
【００２０】
【比較例３】下記の組成 ・ ロジン（荒川化学工業（株）製「白菊ロジン」軟化点７８℃、酸価１６５ｍ ｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １００重量部 ・ オレイン酸（試薬、和光純薬製、液状）・・・ ５重量部 からなる組成を、メチルエチルケトン／トルエン＝２／
１（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解さ
せ、液状仮着接着剤を調製した。 （アルカリ洗浄性についての評価）上記で得られた実施
例１〜３、比較例１〜３の各液状仮着接着剤に、ワック
ス１００ｇあたり１ｍｇの割合でセレスブルー染料
（Ｃ．Ｉ．Ｎｏ６１５２０）を添加し、評価用試料とし
た。
１（重量比）の混合溶媒に３０％固形分濃度で溶解さ
せ、液状仮着接着剤を調製した。 （アルカリ洗浄性についての評価）上記で得られた実施
例１〜３、比較例１〜３の各液状仮着接着剤に、ワック
ス１００ｇあたり１ｍｇの割合でセレスブルー染料
（Ｃ．Ｉ．Ｎｏ６１５２０）を添加し、評価用試料とし
た。
【００２１】ガラスウエハー上にスピンコーターで各評
価用試料を回転塗布した後、熱風乾燥し、乾燥膜厚３±
０．５μｍの着色接着剤層を形成し、八角形（対角長５
０ｍｍ）の評価用チップを切り出し、図１に示す洗浄装
置に装填した。
価用試料を回転塗布した後、熱風乾燥し、乾燥膜厚３±
０．５μｍの着色接着剤層を形成し、八角形（対角長５
０ｍｍ）の評価用チップを切り出し、図１に示す洗浄装
置に装填した。
【００２２】図１に示す洗浄装置は、３００ｍｌビーカ
ー１、攪拌子２、ポリプロピレン製固定台３、評価用チ
ップ支持台４からなり、評価用チップ５を接着剤層７を
下向きにして評価用チップ支持台４に支持させる。ビー
カー内にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
２５％水溶液（東洋合成工業（株）製「ＴＭＡＨ−２５
Ｈ」を純水で希釈し、０．２％濃度液とした洗浄液を２
００ｍｌ入れ、マグネティックスターラー（Ｙａｍａｔ
ｏ Ｍａｇ−Ｍｉｘｅｒ ＭＤ２００）上に載置し、液
温４０℃において、攪拌速度を最低として洗浄液を攪拌
し、着色接着剤層が全て溶解する時間を測定した。その
結果を下記の表１に示す。表中、１分以内で溶解したも
のを良好、３分以上要したものを不良とした。 （接着強度の測定）２枚１組の測定用治具に試料を塗布
乾燥させ、貼り合わせる（ＳＵＳ／試料／ＳＵＳ）。１
００ｇの重りを乗せて接着させる。２５℃のウォーター
バスに１時間入れ、温度を安定させた後、ストログラフ
を使用して引っ張り剪断剥離強度を測定し、接着力（ｋ
ｇ／ｃｍ2 ）とした。 （端面侵食性の評価法）シリコウエハ（３吋φ、４５０
μｍ厚のラッピングウエハ）に、実施例１〜３、比較例
１〜３の各液状仮着接着剤をスピンコートし、乾燥膜厚
３±０．２μｍの接着剤層を形成した。この接着剤層側
を研磨用定盤上に合わせ、ホットプレート（１５０℃）
上で加圧接着させた。
ー１、攪拌子２、ポリプロピレン製固定台３、評価用チ
ップ支持台４からなり、評価用チップ５を接着剤層７を
下向きにして評価用チップ支持台４に支持させる。ビー
カー内にテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
２５％水溶液（東洋合成工業（株）製「ＴＭＡＨ−２５
Ｈ」を純水で希釈し、０．２％濃度液とした洗浄液を２
００ｍｌ入れ、マグネティックスターラー（Ｙａｍａｔ
ｏ Ｍａｇ−Ｍｉｘｅｒ ＭＤ２００）上に載置し、液
温４０℃において、攪拌速度を最低として洗浄液を攪拌
し、着色接着剤層が全て溶解する時間を測定した。その
結果を下記の表１に示す。表中、１分以内で溶解したも
のを良好、３分以上要したものを不良とした。 （接着強度の測定）２枚１組の測定用治具に試料を塗布
乾燥させ、貼り合わせる（ＳＵＳ／試料／ＳＵＳ）。１
００ｇの重りを乗せて接着させる。２５℃のウォーター
バスに１時間入れ、温度を安定させた後、ストログラフ
を使用して引っ張り剪断剥離強度を測定し、接着力（ｋ
ｇ／ｃｍ2 ）とした。 （端面侵食性の評価法）シリコウエハ（３吋φ、４５０
μｍ厚のラッピングウエハ）に、実施例１〜３、比較例
１〜３の各液状仮着接着剤をスピンコートし、乾燥膜厚
３±０．２μｍの接着剤層を形成した。この接着剤層側
を研磨用定盤上に合わせ、ホットプレート（１５０℃）
上で加圧接着させた。
【００２３】別途、研磨装置（ナノテックマシーンズ製
「 NANOTECH450-FODC 」）に研磨布（ＳＵＢＡ８００）
をセッティングした後、研磨剤（ナルコ２３６０）を研
磨定盤に接着したウエハ面に全面に吹付け、加圧２００
ｇ／ｃｍ2 、回転数４０ｒｐｍ、研磨時間２０分でポリ
ッシングした。なお、研磨剤の供給は５分間隔で実施し
た。鏡面研磨完了後、ウエハを剥離し、ウエハ端面の研
磨液侵食長（外周部から中心部までの研磨液侵食長）を
計測した。その結果を同じく、表１に示す。なお、表
中、７ｍｍ以上研磨剤に侵食されたもの×、３ｍｍ以内
を○とし、中程度を○〜△とした。 （残留溶剤量評価法）シリコンウエハ（３吋φ、４５０
μｍ厚のラッピングウエハ）に、実施例１〜３及び比較
例１〜３で試作した液状仮着接着剤をスピンコーターに
より３±０．２μｍの膜厚に塗工した後、ホットプレー
ト上で１００℃、６秒間熱乾し、試料とした。試料を細
片化し、大型試験管に一定量封入した後、１２０℃、１
０分間オーブン中で加熱して残留溶剤を追い出し、大型
試験管内における溶剤量をガスクロマトグラフィ法で定
量し、３吋φウエハ一枚当りに換算した値（ｍｇ／３吋
φ）を表１に示す。
「 NANOTECH450-FODC 」）に研磨布（ＳＵＢＡ８００）
をセッティングした後、研磨剤（ナルコ２３６０）を研
磨定盤に接着したウエハ面に全面に吹付け、加圧２００
ｇ／ｃｍ2 、回転数４０ｒｐｍ、研磨時間２０分でポリ
ッシングした。なお、研磨剤の供給は５分間隔で実施し
た。鏡面研磨完了後、ウエハを剥離し、ウエハ端面の研
磨液侵食長（外周部から中心部までの研磨液侵食長）を
計測した。その結果を同じく、表１に示す。なお、表
中、７ｍｍ以上研磨剤に侵食されたもの×、３ｍｍ以内
を○とし、中程度を○〜△とした。 （残留溶剤量評価法）シリコンウエハ（３吋φ、４５０
μｍ厚のラッピングウエハ）に、実施例１〜３及び比較
例１〜３で試作した液状仮着接着剤をスピンコーターに
より３±０．２μｍの膜厚に塗工した後、ホットプレー
ト上で１００℃、６秒間熱乾し、試料とした。試料を細
片化し、大型試験管に一定量封入した後、１２０℃、１
０分間オーブン中で加熱して残留溶剤を追い出し、大型
試験管内における溶剤量をガスクロマトグラフィ法で定
量し、３吋φウエハ一枚当りに換算した値（ｍｇ／３吋
φ）を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【実施例４】下記の組成 ・ シェラック樹脂（岐阜セラック（株）製「ＰＮ−Ｍ６０」、６０％メタノー ル液）（軟化点７５℃、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ３０重量部 ・ 酢酸ビニル樹脂（積水化学（株）製「エスニールＣ−２」）（軟化点４２℃ 、酸価０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ １０重量部 ・ オレイン酸（試薬、和光純薬製、液状）・・・ ２重量部 ・ 変性エタノール ・・・・・ ３０重量部 ・ 酢酸エチル ・・・・・ ２８重量部 からなる組成の本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００２６】
【実施例５】下記の組成 ・ シェラック樹脂（岐阜セラック（株）製「ＰＮ−Ｍ６０」、６０％メタノー ル液）（軟化点７５℃、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ３５重量部 ・ 酢酸ビニルマレイン酸樹脂（興洋化学（株）製「ＴＨＲ」）（軟化点６０℃ 、酸価５０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ７重量部 ・ オレイン酸（試薬、和光純薬製、液状）・・・ ２重量部 ・ 変性エタノール ・・・・・ ３０重量部 ・ 酢酸エチル ・・・・・ ２６重量部 からなる組成の本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００２７】
【実施例６】下記の組成 ・ シェラック樹脂（岐阜セラック（株）製「ＰＮ−Ｍ６０」、６０％メタノー ル液）（軟化点７５℃、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇ） ・・・・・ ３５重量部 ・ スチレン−マレイン酸樹脂（ ＢＡＳＦ（株）製「スプラパールＡＰ」）（ 軟化点１６０℃、酸価１５５ｍｇＫＯＨ／ｇ）・・ ７重量部 ・ オレイン酸（試薬、和光純薬製、液状） ・・ ２重量部 ・ 変性エタノール ・・・・ ３５重量部 ・ 酢酸エチル ・・・・ ２１重量部 からなる組成の本発明の液状仮着接着剤を調製した。
【００２８】上記実施例４〜実施例６の液状仮着接着剤
について、上記実施例１〜３と同様の評価を行った。そ
の結果を表２に示す。
について、上記実施例１〜３と同様の評価を行った。そ
の結果を表２に示す。
【００２９】
【表２】
【００３０】
【発明の効果】本発明の液状仮着接着剤は、ポリシング
工程におけるウエハの鏡面研磨に際して、アルカリ洗浄
性を維持しつつもウエハの浮きを生じることなく、ま
た、接着強度も優れるものである。
工程におけるウエハの鏡面研磨に際して、アルカリ洗浄
性を維持しつつもウエハの浮きを生じることなく、ま
た、接着強度も優れるものである。
【図１】 液状仮着接着剤におけるアルカリ洗浄性評価
装置を説明するための図である。
装置を説明するための図である。
１は３００ｍｌビーカー、２は攪拌子、３はポリプロピ
レン製固定台、４は評価用チップ支持台、５は評価用チ
ップ、６はマグネティックスターラー、７は接着剤層で
ある。
レン製固定台、４は評価用チップ支持台、５は評価用チ
ップ、６はマグネティックスターラー、７は接着剤層で
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4J040 BA182 BA191 BA201 BA202 DB041 DE022 DG001 DG041 EC071 FA202 JA02 JB05 LA06 LA08 MA01 MA02 NA20 PA20 PA42
Claims (2)
- 【請求項１】 酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカ
リ可溶性樹脂と、該アルカリ可溶性樹脂に対して３０重
量％未満の割合の酸価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のアル
カリ難溶性樹脂とからなることを特徴とする液状仮着接
着剤。 - 【請求項２】 アルカリ可溶性樹脂が、酸価１２０ｍｇ
ＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂であることを特徴
とする請求項１記載の液状仮着接着剤。
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|---|---|---|---|
| JP07126399A JP4492893B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 液状仮着接着剤 |
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| JP07126399A JP4492893B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 液状仮着接着剤 |
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|---|---|
| JP2000265151A true JP2000265151A (ja) | 2000-09-26 |
| JP4492893B2 JP4492893B2 (ja) | 2010-06-30 |
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| JP07126399A Expired - Fee Related JP4492893B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 液状仮着接着剤 |
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-
1999
- 1999-03-17 JP JP07126399A patent/JP4492893B2/ja not_active Expired - Fee Related
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