JP2000268517A

JP2000268517A - 磁気ディスク装置とそのスライダ機構

Info

Publication number: JP2000268517A
Application number: JP11068635A
Authority: JP
Inventors: Megumi Yoshida; 恵吉田
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1999-03-15
Filing date: 1999-03-15
Publication date: 2000-09-29

Abstract

(57)【要約】【課題】磁気ヘッド駆動系の共振周波数を高くして磁
気ヘッド位置決め制御帯域の拡大を目的とした磁気ヘッ
ド素子駆動型のマイクロアクチュエータを用いた場合に
生じる記録再生特性に有害なアクチュエータの磁気ディ
スク垂直方向の変動を抑制することができる磁気ディス
ク装置のスライダを提供する。【解決手段】スライダを、相対的に高い浮上量を有す
る主スライダ１と、磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型
かつ超小型の２次スライダ２とから成る２段スライダ構
造とし、２次スライダ２のみをマイクロアクチュエータ
構造により磁気ディスク半径方向に微小駆動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハード磁気ディス
ク装置の磁気ヘッドを搭載するスライダ機構に関し、特
にアクチュエータの磁気ディスク垂直方向の変動を抑制
する場合に好適な磁気ディスク装置とそのスライダ機構
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ハード磁気ディスク装置（ＨＤ
Ｄ）では、適切なトラック上に磁気ヘッドを移動させる
トラッキング動作はボイスコイルモータ（ＶＣＭ）のみ
で行われてきた。しかしながら、このようなＶＣＭのみ
の駆動系に、磁気ディスク全面のトラックをカバーする
可動範囲を持たせると同時に、高記録密度化の推進に伴
い今後も減少し続けるトラックピッチに対応した駆動分
解能（精度）を持たせるのは、極めて困難な状況になり
つつある。また、ヘッド位置決め制御帯域の観点から
も、今後も上昇し続ける高帯域化への要求にＶＣＭのみ
の駆動系で応えていくのは難しい。そこで、将来的には
ＶＣＭと他の微動アクチュエータとを組み合わせた２段
アクチュエータの適用が必須と考えられている。

【０００３】例えば、「１９９５年６月、アイ・イー・
イー・イー・トランザクション・オン・インダストリア
ル・エレクトロニクス、４２巻、３番、２２２〜２３３
頁（IEEE Transaction on Industrial Electronics, Vo
l.４２, No. ３, pp.２２２-２３３, June１９９５）」
（筆者：L.S. Fan, H. H. Ottesen, T. C. Reiley and
R. W. Wood）、或いは、「１９９６年、プロシーディン
グス・オブ・アイ・イー・イー・イー・メムス-９６、
２１６〜２２１頁（Proceedings of IEEE MEMS-９６, p
p.２１６-２２１, １９９６）」（筆者：Takahiro Imam
ura, Takao Koshikawa and Masaki Katayama）に示され
るように、マイクロマシン技術を用いて作製されるマイ
クロアクチュエータが２段アクチュエータの微動アクチ
ュエータとして提案されている。

【０００４】上記文献において記載されているマイクロ
アクチュエータ及びスライダ／サスペンション系を一体
化したヘッド・ジンバル・アッセイ（ＨＧＡ）の概略斜
視図をそれぞれ図２〜図４に示す。

【０００５】図２は従来例のマイクロアクチュエータを
スライダ／サスペンション間に組み込むタイプのヘッド
・ジンバル・アッセイ（ＨＧＡ）を示す概略斜視図であ
る。図２において、２１はスライダ、２６はサスペンシ
ョン、２７はマイクロアクチュエータ、２８は磁気ヘッ
ド素子を示す。本方式では、スライダ２１とサスペンシ
ョン２６間マイクロアクチュエータ２７を組み込んで、
スライダ２１全体を駆動している。

【０００６】図３は他の従来例の磁気ヘッド素子とスラ
イダとをリンクする形でマイクロアクチュエータが形成
されたヘッド・ジンバル・アッセイ（ＨＧＡ）の概略斜
視図、図４は図３の要部を拡大した概略斜視図である。
図３及び図４において、３１はスライダ、３５は空気軸
受面、３６はサスペンション、３７はマイクロアクチュ
エータ、３８は磁気ヘッド素子を示す。本方式では、ス
ライダのリーディング側とトレーリング側間方向の寸法
を０．８ｍｍ、その垂直方向寸法を０．６ｍｍとし、デ
ィスク回転方向を図３の矢印方向としている。磁気ヘッ
ド素子３８とスライダ３１間にマイクロアクチュエータ
３７を介した構造とし、サスペンション３６とスライダ
３１とは別に磁気ヘッド素子３８のみを駆動している。

【０００７】このようなマイクロアクチュエータが２段
アクチュエータの微動アクチュエータとして有力視され
ている理由としては、小型実装化に有利なこと、また、
高い機械共振が期待されること等が挙げられる。

【０００８】他方、従来のＨＤＤでは磁気ヘッド／磁気
ディスク媒体間のスペーシング（隙間）制御は、動圧型
の気体軸受である浮動ヘッドスライダ（以後、単にスラ
イダと称す）に磁気ヘッドを搭載し、同スライダを高速
回転する磁気ディスク上を安定浮揚させることによって
行われてきた。

【０００９】このように、磁気ヘッドを微小隙間で安定
浮揚させるために、スライダは極めてフレキシブルなば
ねであるジンバルばねを介してサスペンションに接合さ
れ、スライダに適切な荷重を負荷しつつそれを支持して
いる。現在、スライダ浮揚量は数十ｎｍのレベルにまで
達しているが、更なる磁気ディスク装置の高記録密度化
を推進するには、磁気ディスク追従性及び剛性が高く、
かつ低スペーシングが実現できる浮動ヘッド系が要求さ
れる。概略５０ｎｍ以下の浮上領域においては、スライ
ダと磁気ディスクは間欠的な接触を起こす通称ニアコン
タクトと呼ばれる状態にあると推定される。

【００１０】それに伴うトライボロジや振動に関わるヘ
ッド／ディスク・インターフェイス（ＨＤＩ）の機械的
信頼性上の諸問題を解決し、尚且つ上述したような磁気
ディスク追従性に優れた低スペーシング浮動ヘッド系を
実現するためには、スライダの小型化が必須となる。し
かしながら、スライダを小型化するためには、同時にサ
スペンションの小型化が必要になるばかりでなく、その
アセンブリ技術の高精度化をも要求されることになる。

【００１１】このような問題を解決する一手段として、
例えば「１９９２年、エー・エス・エム・イー、ティー
・アール・アイ・ビー、３巻、２７〜３９頁（ASME TRI
B-Vol.３, pp２７-３９, １９９２）」（筆者：Jonatha
n A. Wickert, D. N. Lambeth and W. Fang）に記され
るように、相対的に高い浮上量を有する主スライダと磁
気ヘッド素子を搭載した低浮上型の超小型２次スライダ
とから成る２段スライダをマイクロマシン技術によって
作製する手法が提案されている。

【００１２】本文献において提案されている２段スライ
ダの概念図を図５に示す。図５において、５１は主スラ
イダ、５２は２次スライダ、５３はマイクロサスペンシ
ョン、５５は空気軸受面を示す。図５の上部に磁気ディ
スクを配置した状態で、磁気ディスクと空気軸受面５５
間の距離を浮上間隔として５〜２５ｎｍ程度に主スライ
ダ５１が維持され、マイクロサスペンション５３によっ
て２次スライダ５２の位置を制御される。

【００１３】このような主スライダ５１と２次スライダ
５２の２段スライダ構成にすることの利点は、上記サス
ペンション５３の小型化やそのアセンブリの高精度化と
いった困難な技術を必要とせずに、磁気ディスク追従性
に優れた低スペーシング浮動ヘッド系を形成することが
可能になるばかりか、外乱によって誘発されたスライダ
支持系の振動に起因するスライダ浮上量変動を抑制でき
る点にもある。

【００１４】また、上述したような磁気ヘッドの駆動機
構に関する従来例としては、例えば特開平５−２８６８
３号公報に記載の技術が提案されている。同公報は、磁
気ヘッドのシーク駆動及び磁気ヘッドと記録媒体との浮
上量もしくは接触力を制御することを目的としたもので
あり、シーク駆動または記録媒体との浮上量もしくは接
触力の制御素子として圧電素子を用い、該圧電素子の変
位をテコの原理を利用して拡大させる変位拡大機構を設
けたことを特徴とする磁気ヘッド駆動装置が開示されて
いる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来例においては次のような問題点があった。

【００１６】高精度トラッキング用アクチュエータとし
てマイクロアクチュエータの応用を考えた場合、駆動対
象で大別して、スライダ／サスペンション間にアクチュ
エータを組み込んでスライダ全体を駆動する方式（図２
参照）と、磁気ヘッド素子とスライダ間にマイクロアク
チュエータを介した構造とし、磁気ヘッド素子のみを駆
動する方式（図３参照）とが考えられる。

【００１７】前者の場合、記録再生特性に有害となるア
クチュエータ２７のディスク垂直方向の変動をスライダ
２１の空気軸受で緩和できる利点はあるが、アクチュエ
ータ可動部を支持するバネを変形させつつスライダ２１
全体を高速駆動するだけの大きな発生力を必要とする方
式であることから、共振周波数の高い設計とすることが
困難となる。従って、スライダ駆動方式は、本来期待さ
れるマイクロアクチュエータ２７の利点（即ち、高帯域
化）を実現するには不向きな方式といえる。

【００１８】他方、後者の場合には、駆動対象がヘッド
素子３８という極めて軽量なものであるため、駆動力や
共振周波数の観点からは有利であり、マイクロアクチュ
エータ３７本来の狙いと合致する。しかしながら、完全
には抑制しきれないマイクロアクチュエータ３７の磁気
ディスク垂直方向の変動が直接、磁気ヘッド素子３８と
磁気ディスク媒体間のスペーシング変動に反映されるた
め、記録再生特性への影響が大きな問題となる。

【００１９】本発明の目的は、上述のような、磁気ヘッ
ド駆動系の共振周波数を高くして磁気ヘッド位置決め制
御帯域の拡大を可能とする磁気ヘッド素子駆動型のマイ
クロアクチュエータを用いた場合に生じる記録再生特性
に有害なアクチュエータの磁気ディスク垂直方向の変動
を抑制することができる磁気ディスク装置のスライダ機
構を提供するものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明は、磁気ディスク
に書き込み読み込みを行う磁気ディスク装置のスライダ
機構において、サスペンションに搭載された前記スライ
ダはマイクロアクチュエータ一体型の２段構造で、相対
的に高い浮上量を有する主スライダと、前記主スライダ
のトレーリングエッジ部に支持され磁気ヘッド素子を搭
載した低浮上型の２次スライダとの前記２段構造とし、
前記２次スライダを前記マイクロアクチュエータにより
前記磁気ディスクの半径方向に微小駆動させることを特
徴とする。

【００２１】また、本発明は、磁気ヘッドにスライダ機
構を有する磁気ディスク装置において、サスペンション
に搭載された前記スライダはマイクロアクチュエータ一
体型の２段構造で、相対的に高い浮上量を有する主スラ
イダと、前記主スライダのトレーリングエッジ部に支持
され前記磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型の２次スラ
イダとを有し、前記２次スライダと前記主スライダ間に
櫛歯電極を成して前記２次スライダが前記主スライダに
支持されていることを特徴とする。

【００２２】また、本発明の磁気ディスク装置のスライ
ダ機構は、図１を参照しつつ説明すれば、磁気ディスク
装置のスライダ構造において、サスペンション７に搭載
したスライダを、空気軸受け面（図１の５）を有する相
対的に高い浮上量を有する主スライダ（図１の１）と、
磁気ヘッド素子（図１の６）を搭載した低浮上型の２次
スライダ（図１の２）とを具備する２段構造とし、前記
２次スライダ（図１の２）のみをマイクロサスペンショ
ン（図１の３）によるマイクロアクチュエータ構造を用
いて磁気ディスク半径方向に微小駆動させるようにして
いる。

【００２３】また、前記２次スライダ（図１の２）を、
１本が複数回の折り返し構造を有する複数本のばねから
構成されたマイクロサスペンション（図１の３）を介し
て前記主スライダ（図１の１）に支持させるようにして
いる。

【００２４】また、前記主スライダ（図１の１）から伸
びる固定電極と前記２次スライダ（図１の２）の両側面
とが成す界面を、櫛歯電極構造（図１の４）としてい
る。

【００２５】また、前記２次スライダ（図１の２）、前
記マイクロサスペンション（図１の３）及び前記櫛歯電
極構造（図１の４）は、低浮上の浮動ヘッド系を構成す
ると共に前記マイクロアクチュエータ構造を成してい
る。

【００２６】また、前記２次スライダ（図１の２）のみ
を静電駆動型マイクロアクチュエータ構造を用いて磁気
ディスク半径方向に微小駆動させるようにしている。

【００２７】また、前記２次スライダ（図１の２）のみ
を電磁駆動型マイクロアクチュエータ構造を用いて磁気
ディスク半径方向に微小駆動させるようにしている。

【００２８】また、前記２次スライダ（図１の２）のみ
を圧電駆動型マイクロアクチュエータ構造を用いて磁気
ディスク半径方向に微小駆動させるようにしている。

【００２９】また、前記主スライダ（図１の１）及び前
記２次スライダ（図１の２）を共に負圧型スライダとし
ている。

【００３０】また、前記主スライダ（図１の１）及び前
記２次スライダ（図１の２）を共に正圧型スライダとし
ている。

【００３１】また、前記主スライダ（図１の１）、前記
２次スライダ（図１の２）の一方を負圧型スライダとし
他方を正圧型スライダとしている。

【００３２】［作用］本発明の磁気ディスク装置のスラ
イダ機構は、スライダを、相対的に高い浮上量を有する
主スライダと、磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型の超
小型２次スライダとから成る２段スライダ構造とし、２
次スライダのみをマイクロアクチュエータ構造により磁
気ディスク半径方向に微小駆動させるようにしている。
このため、マイクロアクチュエータの駆動対象となる磁
気ヘッド素子部を含む構造体（即ち、２次スライダ）が
それ独自で磁気ヘッド／磁気ディスク媒体間スペーシン
グ制御系を形成することにより、磁気ヘッド素子駆動型
のマイクロアクチュエータを駆動した場合に生じる記録
再生特性に有害なアクチュエータの磁気ディスク垂直方
向の変動を抑制することが可能となる。

【００３３】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、図面
を参照しつつ詳細に説明する。

【００３４】［第１の実施形態］先ず、本発明の第１の
実施形態について説明する。本発明の後述の他の変形例
にも示すように、磁気ディスク装置のマイクロアクチュ
エータの駆動方式としては、静電駆動型以外に、電磁駆
動型、圧電駆動型等が考えられる。

【００３５】この電磁駆動型の場合には、コイルを形成
する必要性から構造はかなり複雑になる。また、電磁変
換をその基本原理とする記録再生系に及ぼす発生場の影
響も懸念される。また、圧電駆動型の場合には、ヒステ
リシスやクリープ等の制御系の観点から好まざる素性を
有する上に、材料の長期的な機械的信頼性にも問題があ
る。

【００３６】一方、静電駆動型の場合には、（１）構造
が単純で作製プロセスが容易なこと、（２）発生力が表
面力であるため、ダウンサイジングに有利なこと、
（３）発生場による記録再生系に及ぼす影響がほとんど
ないこと、等の種々のメリットを有している。これらの
理由から、本発明の第１の実施形態においてはマイクロ
アクチュエータ駆動方式として、静電駆動型を採用し
た。

【００３７】次に、本発明の第１の実施形態について、
図面を参照して詳細に説明する。

【００３８】（１）構成の説明図１は、本発明のマイクロアクチュエータ一体型２段ス
ライダの第１の実施の形態を表す概略斜視図である。図
において、１は主スライダ、２は２次スライダ、３はマ
イクロサスペンション、４は櫛歯電極構造、５は空気軸
受け面、６は磁気ヘッド素子、７は不図示のアクチュエ
ータに支持されるサスペンションである。

【００３９】また、図において、１が主スライダに相当
し、約１．５ｍｍ角サイズの負圧型ナノスライダ（５０
％スライダ）の設計になっている。主スライダ１のトレ
ーリングエッジ部には１本が３回折り返し構造を持つ２
本のばねから構成されたマイクロサスペンション３を介
して、約０．２ｍｍ角の超小型スライダ２が支持されて
いる。これが２次スライダに相当し、本実施形態におい
ては、主スライダ１と同様負圧型の設計となっている。

【００４０】また、マイクロサスペンション３が接合さ
れている端面と直角を成す２次スライダ２の両側面と主
スライダ１のトレーリングエッジ部から伸びる固定電極
とが成す界面は、櫛歯電極構造４を形成している。この
櫛歯間のギャップｄは、約２μｍで、対向する各電極の
高さｈは約２００μｍである。

【００４１】また、２次スライダ２の構造は、櫛歯電極
を成す左右の両側面とヘッド素子が形成されるトレーリ
ング側の端面は、高さ２００μｍの肉厚構造を有する
が、それ以外の２次スライダ２背面（空気軸受面と反対
側の面）は、可能な限り２次スライダ２の質量を軽減す
るために深掘り構造（２次スライダ２背面の縁に沿って
コの字型の肉厚部が形成された構造）となっており、こ
の深掘りされた２次スライダ２の背面から空気軸受面側
のリセス面までの厚さはマイクロサスペンション３の厚
さと同じ約１２μｍである。このような構造を持つ２次
スライダ２の質量は、ヘッド素子を搭載した状態で、約
１８μｇである。

【００４２】以上説明してきたように、主スライダ１の
トレーリング部を構成する２次スライダ２、マイクロサ
スペンション３、および櫛歯電極構造４は、第２の超低
浮上の浮動ヘッド系を形成すると同時に、それ自体がマ
イクロアクチュエータを成している。尚、これら図１に
示される微細構造は、全てマイクロマシーニング技術に
よって作製された材質が、例えばＮｉの一体構造となっ
ている。

【００４３】（２）動作の説明次に、本発明の第１の実施形態の動作について、図１を
参照しながら詳細に説明する。

【００４４】本発明の第１の実施形態に示した２段スラ
イダによる浮動ヘッド系全体は、ロードアンロード方式
により定常浮上状態に至る。２次スライダ２は、主スラ
イダ１がロードされた後に負圧力によってセルフローデ
ィングし、定常浮上状態に至る。

【００４５】２次スライダ２を支持するマイクロサスペ
ンション３は、２次スライダ２の磁気ディスク半径方向
への相対運動を可能にするマイクロアクチュエータのば
ね構造としての役割を担うと同時に、セルフロードした
負圧型の２次スライダ２に負の押圧荷重を与え、浮上量
方向（Ｚ方向）、ピッチ、ロール方向の運動を拘束する
ジンバルとしての機能をも果たす。

【００４６】主スライダ１の左右のトレーリング部から
伸びる２つの固定電極の内１つと、それに対向する２次
スライダ２の側面とで形成される櫛歯電極構造５に、電
圧が印加されると、両電極界面に静電引力が作用して、
２次スライダ２が固定電極に対して接近する方向に相対
運動する。

【００４７】

【実施例】次に、本発明の第１の実施形態を更に具体的
に示した実施例の動作について詳細に説明する。

【００４８】先ず、主スライダ１、２次スライダ２それ
ぞれの浮上特性を調べた。浮上量測定には、ホモダイン
光干渉法を基本原理とした浮上量測定装置を使用した。
主スライダ１及び２次スライダ２の最小浮上量（トレー
リングエッジ部の浮上量）は、周速１４ｍ／ｓｅｃ、ｓ
ｋｅｗ角０度、荷重０ｇｆの条件下において、それぞれ
約０.１５μｍと約０.０４μｍであった。

【００４９】次に、静電駆動型マイクロアクチュエータ
の（スライダを磁気ディスク上にセッティングさせずに
アクチュエータ単体の状態で）動特性評価を行った。測
定は全てレーザドップラ振動計（ＬＤＶ）を用いて行っ
た。磁気ディスク半径方向の周波数応答特性より、アク
チュエータの面内の共振周波数は約１８ｋＨｚであっ
た。また、最大ストロークは電圧±３５Ｖ印加（２ｋＨ
ｚ動作）時で約１μｍ（±０.５μｍ）、±２５Ｖ印加
（２ｋＨｚ動作）時で、約０.５μｍ（±０.２５μｍ）
であった。

【００５０】尚、アクチュエータの面内に対して垂直方
向の振動成分は、面内の最大ストロークの約２％（面内
の最大ストローク１μｍの時、垂直振動成分２０ｎｍ）
であった。

【００５１】更に、マイクロアクチュエータ部の高速ト
ラッキング動作（２ｋＨｚで±０.５μｍ動作）時の２
次スライダ２の浮上量変動を調べた。測定には差動型レ
ーザドップラ振動計（ＬＤＶ）を用い、参照光を磁気デ
ィスク表面、測定光を２次スライダ２の背面に照射して
両光をヘテロダイン検波することにより、磁気ディスク
表面に対する２次スライダ２の相対変動を測定した。

【００５２】その結果、マイクロアクチュエータの高速
動作による２次スライダ２の定常浮上状態からの最大浮
上量変動は、２次スライダ２の定常浮上量の１０％以下
（周速１４ｍ／ｓｅｃで４ｎｍ以下）であることを確認
した。これにより、本来、マイクロアクチュエータが持
っている面内の最大ストロークの２％程度（２０ｎｍ）
の垂直振動成分が、２次スライダ２の空気軸受効果によ
って４ｎｍ以下に低減されていることが示された。

【００５３】以上説明したように本発明の第１の実施形
態によれば、スライダを、相対的に高い浮上量を有する
主スライダ１と、磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型か
つ超小型の２次スライダ２とから成る２段スライダ構造
とし、２次スライダ２のみをマイクロアクチュエータ構
造により磁気ディスク半径方向に微小駆動させるように
している。これにより、マイクロアクチュエータの駆動
対象となる磁気ヘッド素子部を含む構造体（即ち、２次
スライダ２）がそれ独自で磁気ヘッド／磁気ディスク媒
体間スペーシング制御系を形成するため、２次スライダ
２のみをマイクロアクチュエータ構造により磁気ディス
ク半径方向に微小駆動させることによって、磁気ヘッド
素子駆動型のマイクロアクチュエータを動作させた場合
に生じる記録再生特性に有害なアクチュエータの磁気デ
ィスク垂直方向の変動を抑制することができる。

【００５４】［他の変形例］上述した本発明の第１の実
施形態では、主スライダ１、２次スライダ２共に負圧型
スライダを用い、主スライダ１のスライダサイズとして
ナノスライダ（５０％スライダ）を採用した。また、２
次スライダ２の駆動方式として静電駆動方式を採用し
た。

【００５５】まずスライダ設計の観点からは、以下に記
すような他の変形例が考えられる。上述した第１の実施
形態においては、主スライダ１、２次スライダ２共に負
圧型スライダを用いているが、それに替わる方式とし
て、２段両スライダを共に正圧型スライダとすることも
可能であるし、無論どちらか一方を正圧型、もう一方を
負圧型とする混在形を取っても、上述した第１の実施形
態と同様な効果が期待できる。また、主スライダ１をナ
ノスライダからピコスライダ（３０％スライダ）に方式
変更することも可能である。

【００５６】２次スライダ２の駆動系の観点から見て
も、第１の実施形態における静電駆動型に替えて、次の
駆動方式が他の変形例として考えられる。

【００５７】一例としては、発生力の大きい電磁駆動型
が挙げられる。但し、電磁駆動型ではコイルを形成する
必要性から構造はかなり複雑になると推定される。ま
た、電磁変換をその基本原理とする記録再生系に及ぼす
発生場の影響も懸念される。また別の例としては、材料
の長期的な機械的信頼性に問題はあるが、電磁駆動型同
様大きな発生力が期待できる圧電駆動型等が候補として
挙げられる。

【００５８】以上説明したように、本発明の他の変形例
によれば、主スライダ１、２次スライダ２両方を正圧
型、或いはどちらか一方を正圧型とし他方を負圧型とす
る混在形とした場合でも、また、マイクロアクチュエー
タ駆動方式として電磁駆動型或いは圧電駆動型等を採用
した場合でも、上記第１の実施形態と同様に、スライダ
を、相対的に高い浮上量を有する主スライダと、磁気ヘ
ッド素子を搭載した低浮上型かつ超小型の２次スライダ
とから成る２段スライダ構造とし、２次スライダ２のみ
をマイクロアクチュエータ構造により磁気ディスク半径
方向に微小駆動させることによって、磁気ヘッド素子駆
動型のマイクロアクチュエータを動作させた場合に生じ
る記録再生特性に有害なアクチュエータのディスク垂直
方向の変動を抑制することができる。

【００５９】上記実施形態においては、磁気ヘッドの種
類には特に限定されず、フェライトヘッド、ＭＩＧ（Me
tal In Gap）ヘッド、薄膜ヘッド（Thin Film Head）、
垂直磁気記録用の単磁極ヘッド（Single Pole Head）と
区別される薄膜リングヘッド、ＭＲ（MagnetoRegistiv
e：磁気抵抗）型、ＧＭＲ（Giant MagnetoRegistive）
型などのいずれでもよいが、本発明が浮動スライダの一
種とすると、上記薄膜ヘッド以降の各ヘッドが好適であ
る。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ライダを、相対的に高い浮上量を有する主スライダと、
磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型かつ超小型の２次ス
ライダとから成る２段スライダ構造とし、２次スライダ
のみをマイクロアクチュエータ構造により磁気ディスク
半径方向に微小駆動させるようにしている。

【００６１】これにより、マイクロアクチュエータの駆
動対象となる磁気ヘッド素子部を含む構造体（即ち、２
次スライダ）がそれ独自で磁気ヘッド／磁気ディスク媒
体間スペーシング制御系を形成するため、磁気ヘッド素
子駆動型のマイクロアクチュエータを駆動した場合に生
じる記録再生特性に有害なアクチュエータの磁気ディス
ク垂直方向の変動を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のマイクロアクチュエ
ータ一体型の２段スライダの構成を示す概略斜視図であ
る。

【図２】従来例のマイクロアクチュエータをスライダ／
サスペンション間に組み込むタイプのヘッド・ジンバル
・アッセイ（ＨＧＡ）を示す概略斜視図である。

【図３】従来例の磁気ヘッド素子とスライダとをリンク
する形でマイクロアクチュエータが形成されたヘッド・
ジンバル・アッセイ（ＨＧＡ）の概略斜視図である。

【図４】図３のヘッド・ジンバル・アッセイ（ＨＧＡ）
の要部を拡大した概略斜視図である。

【図５】従来例の２段スライダの概略斜視図である。

【符号の説明】

１主スライダ２２次スライダ３マイクロサスペンション４櫛歯電極構造５空気軸受面６磁気ヘッド素子７サスペンション２１，３１スライダ２６，３６サスペンション２７，３７マイクロアクチュエータ２８，３８磁気ヘッド素子３５空気軸受面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ディスクに書き込み読み込みを行う
磁気ディスク装置のスライダ機構において、サスペンションに搭載された前記スライダはマイクロア
クチュエータ一体型の２段構造で、相対的に高い浮上量
を有する主スライダと、前記主スライダのトレーリング
エッジ部に支持され磁気ヘッド素子を搭載した低浮上型
の２次スライダとの前記２段構造とし、前記２次スライ
ダを前記マイクロアクチュエータにより前記磁気ディス
クの半径方向に微小駆動させることを特徴とする磁気デ
ィスク装置のスライダ機構。
【請求項２】前記主スライダから伸びる固定電極と前
記２次スライダの両側面とが成す界面を、櫛歯電極構造
としたことを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク
装置のスライダ機構。
【請求項３】前記２次スライダを電磁駆動型マイクロ
アクチュエータ構造を用いて前記磁気ディスクの半径方
向に微小駆動させ、又は、前記２次スライダを圧電駆動
型マイクロアクチュエータ構造を用いて前記磁気ディス
クの半径方向に微小駆動させることを特徴とする請求項
１又は２に記載の磁気ディスク装置のスライダ機構。
【請求項４】前記主スライダ及び前記２次スライダを
共に負圧型スライダとしたこと、又は、前記主スライダ
及び前記２次スライダを共に正圧型スライダとしたこと
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の磁気ディ
スク装置のスライダ機構。
【請求項５】前記２次スライダと、前記２次スライダ
を支持するマイクロサスペンション及び前記２次スライ
ダと前記主スライダ間を支持する櫛歯電極構造は、低浮
上の浮動ヘッド系を構成すると共に前記マイクロアクチ
ュエータ構造を成していることを特徴とする請求項１乃
至３の何れかに記載の磁気ディスク装置のスライダ機
構。
【請求項６】磁気ヘッドにスライダ機構を有する磁気
ディスク装置において、サスペンションに搭載された前記スライダはマイクロア
クチュエータ一体型の２段構造で、相対的に高い浮上量
を有する主スライダと、前記主スライダのトレーリング
エッジ部のマイクロサスペンションに支持され前記磁気
ヘッド素子を搭載した低浮上型の２次スライダとを有
し、前記２次スライダと前記主スライダ間に櫛歯電極を
成して前記２次スライダが前記主スライダに支持されて
いることを特徴とする磁気ディスク装置。