JP2000292173A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサInfo
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- JP2000292173A JP2000292173A JP11103163A JP10316399A JP2000292173A JP 2000292173 A JP2000292173 A JP 2000292173A JP 11103163 A JP11103163 A JP 11103163A JP 10316399 A JP10316399 A JP 10316399A JP 2000292173 A JP2000292173 A JP 2000292173A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ストッパ部材を付加することなく、簡単に耐
衝撃性を高め、性能を落とさず、低コストの角速度セン
サを提供することを目的とする。 【解決手段】 ストッパ付き支持アーム１７と、振動体
のセラミック基板の断面の略Ｕ字状部とが、支持アーム
７の水平部の穴３１を挟むように組み合い、この組み合
わせ部にシリコンゴムを満たして、振動体を保持する。
支持アーム１７の水平部には、そのほぼ中心位置に穴３
１を有し、水平部から二つの突起３０を有している。水
平部に穴３１を設けることにより、ストッパ付き支持ア
ーム１７に音叉振動体３を強固に結合しても、所定のＱ
値を保つことができる。水平部からの突起３０は、振動
体の振動を規制すると共に、シリコンゴムが、フィレッ
トをひくように所定形状の突起を有している。
衝撃性を高め、性能を落とさず、低コストの角速度セン
サを提供することを目的とする。 【解決手段】 ストッパ付き支持アーム１７と、振動体
のセラミック基板の断面の略Ｕ字状部とが、支持アーム
７の水平部の穴３１を挟むように組み合い、この組み合
わせ部にシリコンゴムを満たして、振動体を保持する。
支持アーム１７の水平部には、そのほぼ中心位置に穴３
１を有し、水平部から二つの突起３０を有している。水
平部に穴３１を設けることにより、ストッパ付き支持ア
ーム１７に音叉振動体３を強固に結合しても、所定のＱ
値を保つことができる。水平部からの突起３０は、振動
体の振動を規制すると共に、シリコンゴムが、フィレッ
トをひくように所定形状の突起を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、角速度センサに係
り、特に、振動型の角速度センサに関する。
り、特に、振動型の角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】振動型の角速度センサは、近年車両安全
装置などへ適用され、活発に開発されている。ところ
で、振動型の角速度センサの弱点は、耐衝撃性等の機械
的強度が弱いことである。そこで、車載用としての振動
ジャイロに対して、性能の向上はもとより外部振動に対
する防振機能及び衝撃による振動子の損傷を防止する緩
衝機能を両立させることが求められ、数々の工夫が成さ
れている。
装置などへ適用され、活発に開発されている。ところ
で、振動型の角速度センサの弱点は、耐衝撃性等の機械
的強度が弱いことである。そこで、車載用としての振動
ジャイロに対して、性能の向上はもとより外部振動に対
する防振機能及び衝撃による振動子の損傷を防止する緩
衝機能を両立させることが求められ、数々の工夫が成さ
れている。
【０００３】図１は、防振機能及び緩衝機能を有する従
来の音叉型振動ジャイロの構造体の分解図である。音叉
型振動ジャイロは、キャップ１、ストッパ２、振動体
３、回路基板４、ステム５から構成される。音叉振動体
３は、二つのアーム１１、１２、これらのアームを支持
するベース９及びセラミック基板８から構成される。二
つのアーム１１、１２には、駆動電極及び検出電極が張
り付けられている。
来の音叉型振動ジャイロの構造体の分解図である。音叉
型振動ジャイロは、キャップ１、ストッパ２、振動体
３、回路基板４、ステム５から構成される。音叉振動体
３は、二つのアーム１１、１２、これらのアームを支持
するベース９及びセラミック基板８から構成される。二
つのアーム１１、１２には、駆動電極及び検出電極が張
り付けられている。
【０００４】また、セラミック基板８は、駆動電極へ振
動を与えるための信号を回路基板４から受け、検出電極
からの角速度に比例した信号を回路基板４に送出する。
回路基板４は、駆動電極を励振する駆動回路及び検出電
極で検出した検出信号を処理する検出回路を有する。ま
た、回路基板４は、複数の端子１４を有し、複数のリー
ド線１３でセラミック基板８と接続される。また、端子
１４は、ステム５に設けられた端子ピン６を介し、外部
装置（図示せず）と接続されている。ステム５には、支
持アーム７が設けられており、音叉振動体３を支持す
る。セラミック基板８の断面が略Ｕ字状をしており、支
持アーム７の水平部を挟むように組み合わせられる。組
み合わせられたセラミック基板８と支持アーム７の水平
部には、セラミック基板８のＵ字状全体を満たし、水平
部を包むようにゴム状弾性体からなる接着層を設ける。
これにより、セラミック基板８は支持アーム７にフレキ
シブルに取り付けられる。支持アーム７の両端部には、
突起が設けられ、これらの突起がステム５に形成された
ホール内に挿入されている。
動を与えるための信号を回路基板４から受け、検出電極
からの角速度に比例した信号を回路基板４に送出する。
回路基板４は、駆動電極を励振する駆動回路及び検出電
極で検出した検出信号を処理する検出回路を有する。ま
た、回路基板４は、複数の端子１４を有し、複数のリー
ド線１３でセラミック基板８と接続される。また、端子
１４は、ステム５に設けられた端子ピン６を介し、外部
装置（図示せず）と接続されている。ステム５には、支
持アーム７が設けられており、音叉振動体３を支持す
る。セラミック基板８の断面が略Ｕ字状をしており、支
持アーム７の水平部を挟むように組み合わせられる。組
み合わせられたセラミック基板８と支持アーム７の水平
部には、セラミック基板８のＵ字状全体を満たし、水平
部を包むようにゴム状弾性体からなる接着層を設ける。
これにより、セラミック基板８は支持アーム７にフレキ
シブルに取り付けられる。支持アーム７の両端部には、
突起が設けられ、これらの突起がステム５に形成された
ホール内に挿入されている。
【０００５】ストッパ２は、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、シリコンゴム等の弾性体の材料で形成され、振動体
３を挿入した状態で使用する。ストッパ２は、回路基板
４を挟むことによって、音叉型振動体３のベース９近辺
で固定される。また、これらの部材を覆って保護するた
めにキャップ１が設けられている。このキャップ１とス
テム５とにより、ケースが構成される。
脂、シリコンゴム等の弾性体の材料で形成され、振動体
３を挿入した状態で使用する。ストッパ２は、回路基板
４を挟むことによって、音叉型振動体３のベース９近辺
で固定される。また、これらの部材を覆って保護するた
めにキャップ１が設けられている。このキャップ１とス
テム５とにより、ケースが構成される。
【０００６】図２は、図１の要素を組み立てた音叉型振
動ジャイロの全体図である。このように構成することに
より、外部からの振動又は衝撃によって引き起こされる
音叉型振動子の破壊を、小型な構成によって、防止する
ことができる。
動ジャイロの全体図である。このように構成することに
より、外部からの振動又は衝撃によって引き起こされる
音叉型振動子の破壊を、小型な構成によって、防止する
ことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動体
３の損傷防止として、図２に示すように、所定の位置に
緩衝部材（ストッパ２）を設けた場合でも、図３に示す
ように、耐衝撃性が悪化する場合がある。つまり、振動
体３とストッパ２の取り付け位置ズレによって、大きな
空隙が存在すると、振動体３の一部が、回路基板４に接
触し、耐衝撃性が悪化する。
３の損傷防止として、図２に示すように、所定の位置に
緩衝部材（ストッパ２）を設けた場合でも、図３に示す
ように、耐衝撃性が悪化する場合がある。つまり、振動
体３とストッパ２の取り付け位置ズレによって、大きな
空隙が存在すると、振動体３の一部が、回路基板４に接
触し、耐衝撃性が悪化する。
【０００８】また、角速度センサを小型化した場合、振
動体３とストッパ２のギャップが小さくなり、高い組み
立て精度が必要となり、コストアップの要因となる。ま
た、外部から衝撃及び振動が発生した場合、振動体は支
持アーム７で回転することになるが、この支持アーム７
における回転を抑えるために、強固に支持すると、振動
の共振先鋭度（以下、「Ｑ値」という。 ）が低下し、感
度特性が悪化する。また、Ｑ値を高めるために、支持を
弱くすると、衝撃及び振動によって、振動体３がケース
等に衝突損傷するという問題がある。
動体３とストッパ２のギャップが小さくなり、高い組み
立て精度が必要となり、コストアップの要因となる。ま
た、外部から衝撃及び振動が発生した場合、振動体は支
持アーム７で回転することになるが、この支持アーム７
における回転を抑えるために、強固に支持すると、振動
の共振先鋭度（以下、「Ｑ値」という。 ）が低下し、感
度特性が悪化する。また、Ｑ値を高めるために、支持を
弱くすると、衝撃及び振動によって、振動体３がケース
等に衝突損傷するという問題がある。
【０００９】本発明は、上記問題に鑑みなされたもので
あり、ストッパ部材を付加することなく、簡単に耐衝撃
性を高め、振動子の振動は抑圧しないで、不要な外部か
らの衝撃や振動を抑圧する。すなわち、本発明は、性能
を落とさず、低コストの角速度センサを提供することを
目的とするものである。
あり、ストッパ部材を付加することなく、簡単に耐衝撃
性を高め、振動子の振動は抑圧しないで、不要な外部か
らの衝撃や振動を抑圧する。すなわち、本発明は、性能
を落とさず、低コストの角速度センサを提供することを
目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された発
明は、振動体を保持する保持部材を具備する角速度セン
サにおいて、前記保持部材は、前記振動体の振幅を規制
する揺動規制機構を兼ね備えることを特徴とする角速度
センサである。請求項１記載の発明によれば、保持部材
は、前記振動体の振幅を規制する揺動規制機構を兼ね備
えることにより、ストッパ部材を付加することなく、簡
単に耐衝撃性を高め、性能を落とさず、低コストの角速
度センサを提供することができる。
明は、振動体を保持する保持部材を具備する角速度セン
サにおいて、前記保持部材は、前記振動体の振幅を規制
する揺動規制機構を兼ね備えることを特徴とする角速度
センサである。請求項１記載の発明によれば、保持部材
は、前記振動体の振幅を規制する揺動規制機構を兼ね備
えることにより、ストッパ部材を付加することなく、簡
単に耐衝撃性を高め、性能を落とさず、低コストの角速
度センサを提供することができる。
【００１１】請求項２に記載された発明は、請求項１記
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、振動の共
振先鋭度を落とさないための空間を有することを特徴と
する。請求項２記載の発明によれば、保持部材は、振動
の共振先鋭度を落とさないための空間を有することによ
り、支持アームに音叉振動体を強固に結合しても、所定
のＱ値を保つことができる。
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、振動の共
振先鋭度を落とさないための空間を有することを特徴と
する。請求項２記載の発明によれば、保持部材は、振動
の共振先鋭度を落とさないための空間を有することによ
り、支持アームに音叉振動体を強固に結合しても、所定
のＱ値を保つことができる。
【００１２】請求項３に記載された発明は、請求項１又
は２記載の角速度センサにおいて、前記角速度センサ
は、音叉型角速度センサであることを特徴とする。請求
項３記載の発明によれば、角速度センサは、音叉型角速
度センサであることにより、より強固な支持が可能にな
る。いうまでもなく、本発明は、各種音叉型角速度セン
サを本発明に適用することができる。
は２記載の角速度センサにおいて、前記角速度センサ
は、音叉型角速度センサであることを特徴とする。請求
項３記載の発明によれば、角速度センサは、音叉型角速
度センサであることにより、より強固な支持が可能にな
る。いうまでもなく、本発明は、各種音叉型角速度セン
サを本発明に適用することができる。
【００１３】請求項４に記載された発明は、請求項１な
いし３いずれか一項記載の角速度センサにおいて、前記
保持部材による前記振動体の保持は、弾性材料を含む材
料及び防振機能を有する材料により接合して行うことを
特徴とする。請求項４記載の発明によれば、保持部材に
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。
いし３いずれか一項記載の角速度センサにおいて、前記
保持部材による前記振動体の保持は、弾性材料を含む材
料及び防振機能を有する材料により接合して行うことを
特徴とする。請求項４記載の発明によれば、保持部材に
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。
【００１４】請求項５に記載された発明は、請求項４記
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、前記弾性
材料を含む材料及び防振機能を有する材料が、フィレッ
トをひくような形状に形成されるように所定形状の突起
を有することを特徴とする。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。
載の角速度センサにおいて、前記保持部材は、前記弾性
材料を含む材料及び防振機能を有する材料が、フィレッ
トをひくような形状に形成されるように所定形状の突起
を有することを特徴とする。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図４に本発明で用いるストッパ
付き支持アームの例を示す。ストッパ付き支持アーム１
７は、振動体を保持する保持部材であって、振動体の振
幅を規制する揺動規制機構を兼ね備えている。
て図面と共に説明する。図４に本発明で用いるストッパ
付き支持アームの例を示す。ストッパ付き支持アーム１
７は、振動体を保持する保持部材であって、振動体の振
幅を規制する揺動規制機構を兼ね備えている。
【００１６】ストッパ付き支持アーム１７は、両端に鍔
を有し台状の形状をしている。その水平部には、そのほ
ぼ中心位置に穴３１を有し、また、水平部は二つの突起
３０を有している。水平部に穴３１を設けることによ
り、ストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を強固
に結合しても、所定のＱ値を保つことができる。
を有し台状の形状をしている。その水平部には、そのほ
ぼ中心位置に穴３１を有し、また、水平部は二つの突起
３０を有している。水平部に穴３１を設けることによ
り、ストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を強固
に結合しても、所定のＱ値を保つことができる。
【００１７】ストッパ付き支持アームは、従来の支持ア
ーム７に対応するもので、ストッパ付き支持アーム１７
を取り付けた状態を図５に示す。キャップ１、音叉振動
体３、回路基板４、ステム５、端子ピン６、セラミック
基板８は図２と同じである。ストッパが存在しない。な
お、図５においては、ストッパ付き支持アーム１７と音
叉振動体３との取り付けの関係を分かり易くするため
に、図６に示すシリコンゴムが記載されていない。
ーム７に対応するもので、ストッパ付き支持アーム１７
を取り付けた状態を図５に示す。キャップ１、音叉振動
体３、回路基板４、ステム５、端子ピン６、セラミック
基板８は図２と同じである。ストッパが存在しない。な
お、図５においては、ストッパ付き支持アーム１７と音
叉振動体３との取り付けの関係を分かり易くするため
に、図６に示すシリコンゴムが記載されていない。
【００１８】図６に、ストッパ付き支持アーム１７に音
叉振動体３を装着・保持する状態を示す。図６（Ａ）
は、ストッパ付き支持アーム１７と音叉振動体３との取
り付けの位置関係を示す。図６（Ｂ）は、シリコンゴム
によるストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を装
着・保持する状態を示す。セラミック基板８の断面が略
Ｕ字状をしており、支持アーム７の水平部の穴３１を挟
むように組み合わせられる。セラミック基板８と支持ア
ーム７の水平部の穴３１を含むストッパ付き支持アーム
１７全体にシリコンゴムを満たす。これにより、セラミ
ック基板８は支持アーム７にフレキシブルに取り付けら
れる。
叉振動体３を装着・保持する状態を示す。図６（Ａ）
は、ストッパ付き支持アーム１７と音叉振動体３との取
り付けの位置関係を示す。図６（Ｂ）は、シリコンゴム
によるストッパ付き支持アーム１７に音叉振動体３を装
着・保持する状態を示す。セラミック基板８の断面が略
Ｕ字状をしており、支持アーム７の水平部の穴３１を挟
むように組み合わせられる。セラミック基板８と支持ア
ーム７の水平部の穴３１を含むストッパ付き支持アーム
１７全体にシリコンゴムを満たす。これにより、セラミ
ック基板８は支持アーム７にフレキシブルに取り付けら
れる。
【００１９】シリコンゴムは、弾性材料を含む材料及び
防振機能を有する材料であり、これにより接合（装着・
保持）することにより、外部振動から振動体を防振する
防振機能及び外部衝撃による振動体の損傷を防止する緩
衝機能を有することができる。シリコンゴムに代えて、
任意の弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材料を
用いることができる。
防振機能を有する材料であり、これにより接合（装着・
保持）することにより、外部振動から振動体を防振する
防振機能及び外部衝撃による振動体の損傷を防止する緩
衝機能を有することができる。シリコンゴムに代えて、
任意の弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材料を
用いることができる。
【００２０】また、支持アームの穴にシリコンゴムを充
填した構造であるので、よじりに対する抵抗は小さい。
水平部に設けられた突起３０は、振動体の振動を規制
（振動体の振動を面４１で止める）すると共に、シリコ
ンゴムが、フィレットをひくように所定形状の突起を有
している。弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材
料が、フィレットをひくような形状に形成されることに
より、引っ張り強度を高めることができる。また、この
突起としては、四角、三角、円形等何でもそれなりの効
果を有するが、三角状のものが好ましい。
填した構造であるので、よじりに対する抵抗は小さい。
水平部に設けられた突起３０は、振動体の振動を規制
（振動体の振動を面４１で止める）すると共に、シリコ
ンゴムが、フィレットをひくように所定形状の突起を有
している。弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材
料が、フィレットをひくような形状に形成されることに
より、引っ張り強度を高めることができる。また、この
突起としては、四角、三角、円形等何でもそれなりの効
果を有するが、三角状のものが好ましい。
【００２１】図７に他のストッパ付き支持アーム１
７1 、１７2 の例を示す。ストッパ付き支持アーム１７
1 は、支持アームを側面から見て逆コ字状としたもの
で、ストッパ付き支持アーム１７2 は、支持アームを側
面から見て逆Ｌ字状としたものである。ストッパ付き支
持アーム１７2 は、振動体３のアーム１１、１２を横に
したとき用いる。
７1 、１７2 の例を示す。ストッパ付き支持アーム１７
1 は、支持アームを側面から見て逆コ字状としたもの
で、ストッパ付き支持アーム１７2 は、支持アームを側
面から見て逆Ｌ字状としたものである。ストッパ付き支
持アーム１７2 は、振動体３のアーム１１、１２を横に
したとき用いる。
【００２２】なお、ストッパ付き支持アームは、これに
限定されることなく、任意のものを用いることができ
る。図８及び図９に他のジャイロの場合の実施例を示
す。図８は、釣り鐘型ジャイロの場合である。４６が釣
り鐘状振動体であり、その側面に駆動電極及び検出電極
４７を設ける。４８が、回転軸で４５がストッパであ
る。ストッパ４５と釣り鐘状振動体４６との間に、反響
のための空間を有する。
限定されることなく、任意のものを用いることができ
る。図８及び図９に他のジャイロの場合の実施例を示
す。図８は、釣り鐘型ジャイロの場合である。４６が釣
り鐘状振動体であり、その側面に駆動電極及び検出電極
４７を設ける。４８が、回転軸で４５がストッパであ
る。ストッパ４５と釣り鐘状振動体４６との間に、反響
のための空間を有する。
【００２３】図９は、断面三角状の音片型ジャイロであ
る。支持アームは、Ｈ型をしている。Ｈの下の空間は、
Ｑ値維持のための空間であり、Ｈの上の凹部の底で振動
体を一点で支えている。５１は振動体、５２は駆動電極
及び検出電極である。図１０は、図２と図５の構造で振
動体が損傷限界まで外部振動及び衝撃を与えたときを比
較したものである。ストッパと振動体の先端からの距離
（Ｘ）に対する衝撃の臨界Ｇで示す。従来のゴムダンパ
の場合を◆、本発明のストッパ付き支持アームの場合を
■で示す。本発明のストッパ付き支持アームの場合は、
従来のゴムダンパの場合に対して、約３から６倍だけ限
界Ｇが向上している。
る。支持アームは、Ｈ型をしている。Ｈの下の空間は、
Ｑ値維持のための空間であり、Ｈの上の凹部の底で振動
体を一点で支えている。５１は振動体、５２は駆動電極
及び検出電極である。図１０は、図２と図５の構造で振
動体が損傷限界まで外部振動及び衝撃を与えたときを比
較したものである。ストッパと振動体の先端からの距離
（Ｘ）に対する衝撃の臨界Ｇで示す。従来のゴムダンパ
の場合を◆、本発明のストッパ付き支持アームの場合を
■で示す。本発明のストッパ付き支持アームの場合は、
従来のゴムダンパの場合に対して、約３から６倍だけ限
界Ｇが向上している。
【００２４】また、図１１に、支持アームの穴の径とＱ
値の関係を示す。穴の大きさに応じて、Ｑ値が向上して
いることが分かる。以上説明したように、緩衝部材を付
加しなくても耐衝撃性の改善を図ることができ、振動の
Ｑ値を低下させることなく機械的強度を高めることがで
きる。
値の関係を示す。穴の大きさに応じて、Ｑ値が向上して
いることが分かる。以上説明したように、緩衝部材を付
加しなくても耐衝撃性の改善を図ることができ、振動の
Ｑ値を低下させることなく機械的強度を高めることがで
きる。
【００２５】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、次に述べる
種々の効果を奏することができる。請求項１記載の発明
によれば、保持部材は、前記振動体の振幅を規制する揺
動規制機構を兼ね備えることにより、ストッパ部材を付
加することなく、簡単に耐衝撃性を高め、性能を落とさ
ず、低コストの角速度センサを提供することができる。
種々の効果を奏することができる。請求項１記載の発明
によれば、保持部材は、前記振動体の振幅を規制する揺
動規制機構を兼ね備えることにより、ストッパ部材を付
加することなく、簡単に耐衝撃性を高め、性能を落とさ
ず、低コストの角速度センサを提供することができる。
【００２６】請求項２記載の発明によれば、保持部材
は、振動の共振先鋭度を落とさないための空間を有する
ことにより、支持アームに音叉振動体を強固に結合して
も、所定のＱ値を保つことができる。請求項３記載の発
明によれば、角速度センサは、音叉型角速度センサであ
ることにより、より強固な支持が可能になる。いうまで
もなく、本発明は、各種音叉型角速度センサを本発明に
適用することができる。
は、振動の共振先鋭度を落とさないための空間を有する
ことにより、支持アームに音叉振動体を強固に結合して
も、所定のＱ値を保つことができる。請求項３記載の発
明によれば、角速度センサは、音叉型角速度センサであ
ることにより、より強固な支持が可能になる。いうまで
もなく、本発明は、各種音叉型角速度センサを本発明に
適用することができる。
【００２７】請求項４記載の発明によれば、保持部材に
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。
よる前記振動体の保持は、弾性材料を含む材料及び防振
機能を有する材料により接合して行うことにより、外部
振動から振動体を防振する防振機能及び外部衝撃による
振動体の損傷を防止する緩衝機能を有する角速度センサ
を提供することができる。請求項５記載の発明によれ
ば、突起により、弾性材料を含む材料及び防振機能を有
する材料が、セルフアライメント効果によって、フィレ
ットをひくような形状に形成されることにより、引っ張
り強度を高めることができる。
【図１】従来の角速度センサの分解図である。
【図２】従来の角速度センサを説明するための図であ
る。
る。
【図３】従来のストッパによる耐衝撃性悪化を説明する
ための図である。
ための図である。
【図４】本発明の支持アームを説明するための図（その
１）である。
１）である。
【図５】本発明における振動体の取り付けを説明するた
めの図である。
めの図である。
【図６】振動体の支持アームへの取り付けを説明するた
めの図である。
めの図である。
【図７】本発明の支持アームを説明するための図（その
２）である。
２）である。
【図８】その他の振動体ジャイロの応用例を説明するた
めの図（その１）である。
めの図（その１）である。
【図９】その他の振動体ジャイロの応用例を説明するた
めの図（その２）である。
めの図（その２）である。
【図１０】本発明による耐衝撃性の改善を説明するため
の図である。
の図である。
【図１１】本発明における支持アームの穴径とＱ値の関
係を説明するための図である。
係を説明するための図である。
１ キャップ ２ ストッパ ３、４６、５１ 振動体 ４ 回路基板 ５ ステム ６ 端子ピン ７ 支持アーム ８ セラミック基板 １７、１７1 、１７2 、１７3 ストッパ付き支持ア
ーム ３０ 突起 ３１ 穴 ４３ シリコンゴム
ーム ３０ 突起 ３１ 穴 ４３ シリコンゴム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 和弘 長野県須坂市大字小山460番地 富士通メ ディアデバイス株式会社内 (72)発明者 小野 正明 長野県須坂市大字小山460番地 富士通メ ディアデバイス株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 AA02 BB12 CC01 CC05 CC20 CD02 CD06 CD13
Claims (5)
- 【請求項１】 振動体を保持する保持部材を具備する角
速度センサにおいて、前記保持部材は、前記振動体の振
幅を規制する揺動規制機構を兼ね備えることを特徴とす
る角速度センサ。 - 【請求項２】 前記保持部材は、振動の共振先鋭度を落
とさないための空間を有することを特徴とする請求項１
記載の角速度センサ。 - 【請求項３】 前記角速度センサは、音叉型角速度セン
サであることを特徴とする請求項１又は２記載の角速度
センサ。 - 【請求項４】 前記保持部材による前記振動体の保持
は、弾性材料を含む材料及び防振機能を有する材料によ
り接合して行うことを特徴とする請求項１ないし３いず
れか一項記載の角速度センサ。 - 【請求項５】 前記保持部材は、前記弾性材料を含む材
料及び防振機能を有する材料が、フィレットをひくよう
な形状に形成されるように所定形状の突起を有すること
を特徴とする請求項４記載の角速度センサ。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10316399A JP3913925B2 (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10316399A JP3913925B2 (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 角速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000292173A true JP2000292173A (ja) | 2000-10-20 |
| JP3913925B2 JP3913925B2 (ja) | 2007-05-09 |
Family
ID=14346851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10316399A Expired - Fee Related JP3913925B2 (ja) | 1999-04-09 | 1999-04-09 | 角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3913925B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| US6880399B1 (en) | 2001-11-29 | 2005-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| JP2008039469A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動ジャイロモジュール及び圧電振動ジャイロセンサ |
| US7557667B2 (en) | 2006-06-27 | 2009-07-07 | Tamagawa Seiki Co., Ltd. | Angular rate sensor |
-
1999
- 1999-04-09 JP JP10316399A patent/JP3913925B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
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| JP2008039469A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動ジャイロモジュール及び圧電振動ジャイロセンサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3913925B2 (ja) | 2007-05-09 |
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