JP2000292297A - 真空計 - Google Patents

真空計

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    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子源を供給することにより衝突時間を改善
し、点火装置を保護すると共に制御し、装置を測定する
補助圧力を使用する。 【解決手段】 冷陰極タイプの真空計はゲージヘッド２
を有し、該ゲージヘッドは陰極放電セル８と、一部分が
該セル８内に配置されている陽極１０を備えている。電
気的に動作される点火装置１８は陰極放電セル８の近傍
に配置され、点火装置１８は補助圧力センサ２０により
高圧で動作されるのを保護される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空計に関し、より
詳細には冷陰極電離真空計に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空を測定するための冷陰極電離計は時
々ぺニング真空計と呼ばれるが、真空分野では周知であ
る。それらは通常、陽極及び１個（又は１個以上）の陰
極を備えている。使用において、陽極と陰極間に大きな
電位差が加えられ、実施的な磁界は電極間の領域の永久
磁石により加えられる。陰極と陽極はゲージ内の電極を
外気から隔離する真空フィードスルーによりお互いに関
して所定の構成で保持されている。
【０００３】使用において、ゲージは測定される真空に
晒される時、放電は陰極と陽極間に形成され、電子は電
界により陽極に加速される。しかし、永久磁石により加
えられた磁界の作用は電子に非常に長く、非線型軌道、
例えば、陽極に当たる前に螺旋軌道で受け入れさせる。
そのように、電子との衝突による真空中に存在するガス
分子の電離の可能性は低圧でさえ非常に高い。衝突によ
り形成された電子は陽極により引き寄せられ、外部回路
に電流を生成し、そのサイズは所定温度での分子重量及
びガス密度、そのため真空レベルに関連する。
【０００４】逆マグネトロンタイプのゲージでは、通常
それに伴う陰極はその内部の領域又はセルを規定する予
定であり、放電は制限され、外部回路への電子流動が発
生される。
【０００５】しかし、そのようなゲージでは、時々、非
常に低い圧力、例えば、１ｘ１０-7ｍｂａｒ以下でゲー
ジの放出（衝突又は始動）の開始で問題に遭遇する。特
に、電離事象発生の低い確率のため、ゲージは衝突する
のに数分或いは数時間さえ掛かることがある。
【０００６】ＧＢ特許出願 No.2256310において、電離
型の真空計は真空に通じるため一端部に入口のある外部
陰極スリーブを有するゲージヘッドと、陰極スリーブ内
に実質上放射状に配置され、それらの間でイオン収集領
域を規定する一対の陰極ディスクとを備えている。ディ
スクの両方は中央孔を有し、陽極は陰極スリーブ内とデ
ィスクの中央孔内に配置されている。この公知の真空計
の衝突時間は孔の少なくとも１つの表面の提供により改
善され、その孔は陽極の方に存在する鋭利な点又は縁の
陰極ディスクに形成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】放電セル付近に配置さ
れ電気的に作動される点火装置を有する冷陰極型の真空
計を提供し、電子源を供給することにより衝突時間を改
善し、点火装置を保護すると共に制御し、装置を測定す
る補助圧力を使用することが本発明の目的である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によると、ゲージ
ヘッドを有する冷陰極型の真空計は測定される真空に通
じるため一端部に入口を有する外側陰極スリーブと、ス
リーブ内に配置される陰極放電セルと、陽極と、陰極放
電セル内に配置され、電気的に作動する点火装置が陰極
放電セルの近傍に配置され、補助圧力センサにより高圧
で動作されることから装置を保護する少なくとも一部分
とを備えている。
【０００９】点火装置は電気的に加熱されたフィラメン
ト又は電界放出電極であってもよい。
【００１０】同様に、補助圧力センサ又は圧力測定装置
は熱電導センサ、ガス摩擦センサ又はダイアフラムセン
サであってもよい。点火装置が電気的に加熱されたフィ
ラメントである時、前記フィラメント自体は補助圧力セ
ンサとして使用されてもよい。
【００１１】好適な実施例では、補助圧力センサはゲー
ジヘッド内で一部分を成している。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明による真空計の一部分を構
成するゲージヘッドを通る断面である添付した概略図を
参照しつつ、本発明の実施例を例示により説明する。
【００１３】図示されているように、冷陰極型の真空計
の一部分を形成するゲージヘッド２は実質的に円筒状の
陰極スリーブ４を備え、該スリーブは測定される真空に
通じるため（図示されているように）下端部に入口６を
有している。スリーブ４内で電気接点に陰極放電セル８
がある。また、陰極スリーブ４内の中央に配置され、陰
極放電セル８の内部により、例えば、ステンレス鋼製の
堅い棒の形で陽極１０がある。陽極１０はリング１４の
孔内に置かれた溶解ガラスの圧縮シール１２により適所
に保持され、その配置は陰極スリーブ４と陽極１０の間
に電気絶縁をもたらす。
【００１４】この実施例では、電気的に動作された点火
装置は電気的に加熱されたフィラメント１８の形であ
る。
【００１５】２本の棒はシール１２を通って伸び、（図
示されているように）下端部の間に伸びるのはストライ
カーフィラメント１８である。図示されているように、
ストライカーフィラメント１８は陰極放電セル１８の近
傍に配置されている。リング１４上方に配置されている
のは伝熱式センサ２０であり、補助圧力センサとして使
用される。
【００１６】図示されているように、ゲージヘッド２は
ハウジング２２に取付けられ、磁石２４により囲まれて
いる。
【００１７】使用において、電流はストライカーフィラ
メント１８を通過し、それを十分な高温度に加熱し、電
子が熱イオン放出によって遊離されるようになってい
る。これらの電子は陰極放電セル８で連続放出を開始す
る。
【００１８】伝熱式センサ２０は警報を与えるために供
給され、これは急速な酸化のためフィラメントを損傷す
るので、周囲の圧力が高い時にストライカーフィラメン
ト１８が高温度で使用されるのを防止する。
【００１９】二者択一的に、ストライカーフィラメント
自体は伝熱式センサとして動作でき、圧力が十分に低
く、それを燃やすことなくその温度を電子放出のため十
分高く上昇するかどうかを確立する。
【００２０】点火装置は電界放出電極ですることがで
き、補助圧力センサはガス摩擦センサ又はダイアフラム
センサの形とすることができるであろう。
【００２１】好適な実施例では、補助圧力センサはゲー
ジヘッド２内で一部分を成している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空計の一部分を構成するゲージ
ヘッドの概略断面図である。
【符号の説明】
２ ゲージヘッド ４ 陰極スリーブ ８ 陰極放電セル １０ 陽極 １８ 点火装置 ２０ 補助圧力センサ
フロントページの続き (72)発明者 ワレード アーメド カデル イギリス イースト サセックス ビーエ ヌ21 ２アールイー イーストボーン バ ートン ロード 45

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ゲージヘッドを有する冷陰極の真空計で
    あって、 測定される真空に通じるため一端部に入口を有する外側
    陰極スリーブと、該スリーブ内に配置された陰極放電セ
    ルと、陽極と、陰極放電セル内に配置されると共に電気
    的に動作された点火装置が陰極放電セル近傍に配置され
    る少なくとも一部分とを備え、装置は補助圧力センサに
    より高圧で動作されることから保護されることを特徴と
    する真空計。
  2. 【請求項２】 前記点火装置は電気的に加熱されたフィ
    ラメントである請求項１に記載の真空計。
  3. 【請求項３】 前記点火装置は電界放出電極である請求
    項１に記載の真空計。
  4. 【請求項４】 前記補助圧力センサは伝熱式センサであ
    る請求項１，２又は３に記載の真空計。
  5. 【請求項５】 前記補助圧力センサはガス摩擦センサで
    ある請求項１，２又は３に記載の真空計。
  6. 【請求項６】 前記補助圧力センサはダイアフラムセン
    サである請求項１，２又は３に記載の真空計。
  7. 【請求項７】 前記補助圧力センサは前記ゲージヘッド
    内の一部分を成す請求項１から６のいずれか１の請求項
    に記載の真空計。
  8. 【請求項８】 前記電気的に加熱されたフィラメント自
    体は前記補助圧力センサとして使用される請求項２に記
    載の真空計。
  9. 【請求項９】 実質的に、参考に前述すると共に添付し
    た図面に示されたように動作するように構成され、配置
    され、そして適応されたことを特徴とする真空計。
JP2000081467A 1999-03-24 2000-03-23 真空計 Expired - Lifetime JP4836306B2 (ja)

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