JP2000293887A - 光ディスク原盤露光記録装置 - Google Patents
光ディスク原盤露光記録装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学変調器の矩形状結晶投影によるフォトレ
ジスト膜上に形成されるピット形状の歪みを改善し、光
ディスクのトラック方向がより平坦になるような構成の
光ディスク露光記録装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 ＥＯ変調器３，４の矩形状結晶の平坦な
面を記録する光ディスク原盤のトラック方向に投影する
ように設け、ＥＯ変調器３，４で最大の消光比が得られ
るように１／２波長板２でレーザ光の偏波面を回転させ
る。
ジスト膜上に形成されるピット形状の歪みを改善し、光
ディスクのトラック方向がより平坦になるような構成の
光ディスク露光記録装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 ＥＯ変調器３，４の矩形状結晶の平坦な
面を記録する光ディスク原盤のトラック方向に投影する
ように設け、ＥＯ変調器３，４で最大の消光比が得られ
るように１／２波長板２でレーザ光の偏波面を回転させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクのトラ
ック方向に歪みのない平坦なピットを形成する光ディス
ク原盤露光記録装置に関する。
ック方向に歪みのない平坦なピットを形成する光ディス
ク原盤露光記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来レーザ光を光ディスク原盤となるフ
ォトレジスト膜に導く光ディスク原盤露光記録装置で
は、図７に示すように、フォトレジスト膜上に溝あるい
はピットを記録するために、電気光学変調器（ＥＯ変調
器）等の光学変調器を用い、露光量制御およびノイズリ
ダクションならびに情報信号による変調を行う。ＥＯ変
調器は電気光学効果を持つ結晶とポラライザが一列に配
置された構造を持っている。ここで図２に示すようにＥ
Ｏ変調器の結晶は矩形状の断面形状を有しており、Ｘ軸
方向の屈折率は電極９に加える電圧によって変化するた
め、Ｘ軸方向の屈折率とＹ軸方向の屈折率との差によっ
て結晶を透過するレーザ光は位相が遅れる。結晶の後段
にポラライザが配置されているので、位相差が０度の時
はポラライザを透過し、１８０度の時はポラライザを透
過しないため、電極に加える電圧によって変調器の透過
光量をコントロールできる。変調器結晶には結晶断面の
対角線方向の偏波面を持つ直線偏光を入射させると最大
の消光比が得られるため、ＥＯ変調器を固定するとき
は、ＥＯ変調器に入射されるレーザ光の偏波面とＥＯ変
調器結晶断面の対角線方向が一致するように、光軸を中
心軸として回転させ固定していた。符号４１に示すレー
ザ光源から出力されるレーザ光の偏波面は一般的にレー
ザ光源が固定されているベースに対して垂直方向あるい
は水平方向であるため、符号４２，４３に示すＥＯ変調
器はレーザ光源の偏波面に合わせ、ＥＯ変調器結晶の対
角線方向がベースに対して垂直方向あるいは水平方向と
なるように固定される。
ォトレジスト膜に導く光ディスク原盤露光記録装置で
は、図７に示すように、フォトレジスト膜上に溝あるい
はピットを記録するために、電気光学変調器（ＥＯ変調
器）等の光学変調器を用い、露光量制御およびノイズリ
ダクションならびに情報信号による変調を行う。ＥＯ変
調器は電気光学効果を持つ結晶とポラライザが一列に配
置された構造を持っている。ここで図２に示すようにＥ
Ｏ変調器の結晶は矩形状の断面形状を有しており、Ｘ軸
方向の屈折率は電極９に加える電圧によって変化するた
め、Ｘ軸方向の屈折率とＹ軸方向の屈折率との差によっ
て結晶を透過するレーザ光は位相が遅れる。結晶の後段
にポラライザが配置されているので、位相差が０度の時
はポラライザを透過し、１８０度の時はポラライザを透
過しないため、電極に加える電圧によって変調器の透過
光量をコントロールできる。変調器結晶には結晶断面の
対角線方向の偏波面を持つ直線偏光を入射させると最大
の消光比が得られるため、ＥＯ変調器を固定するとき
は、ＥＯ変調器に入射されるレーザ光の偏波面とＥＯ変
調器結晶断面の対角線方向が一致するように、光軸を中
心軸として回転させ固定していた。符号４１に示すレー
ザ光源から出力されるレーザ光の偏波面は一般的にレー
ザ光源が固定されているベースに対して垂直方向あるい
は水平方向であるため、符号４２，４３に示すＥＯ変調
器はレーザ光源の偏波面に合わせ、ＥＯ変調器結晶の対
角線方向がベースに対して垂直方向あるいは水平方向と
なるように固定される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにＥ
Ｏ変調器をレーザ光源の偏波面に合わせ固定すると、Ｅ
Ｏ変調器結晶を透過したレーザ光は結晶中の電界の影響
により結晶断面形状に応じたビーム形状の歪みを受け、
記録される光ディスク原盤のトラック方向にＥＯ変調器
の矩形状結晶の角の部分が投影し、図３に示すように形
成されるピット形状は歪んだものとなる。
Ｏ変調器をレーザ光源の偏波面に合わせ固定すると、Ｅ
Ｏ変調器結晶を透過したレーザ光は結晶中の電界の影響
により結晶断面形状に応じたビーム形状の歪みを受け、
記録される光ディスク原盤のトラック方向にＥＯ変調器
の矩形状結晶の角の部分が投影し、図３に示すように形
成されるピット形状は歪んだものとなる。
【０００４】また、光ディスク原盤露光記録装置で矩形
状結晶を持つＥＯ変調器の後段に偏向変調器を含むと
き、偏向変調器の偏向方向は偏向変調器入射偏波面と一
致しており、偏向変調器の光軸を中心軸とした固定角度
は光ディスクの溝あるいはピットのウォブリングする方
向によって決定されるため、その前段に配置されるＥＯ
変調器の固定角度は偏向変調器結晶の偏光方向に合わせ
なければならず、光軸を中心軸とした固定角度を自由に
変更することはできない。また、光ディスク原盤露光記
録装置で矩形状結晶を持つＥＯ変調器の後段に偏光ビー
ムスプリッタを含むときも同様に、偏光ビームスプリッ
タに入射するレーザ光の偏波面に合わせ、ＥＯ変調器の
固定角度が決定され、光軸を中心軸とした固定角度を自
由に変更することはできない。
状結晶を持つＥＯ変調器の後段に偏向変調器を含むと
き、偏向変調器の偏向方向は偏向変調器入射偏波面と一
致しており、偏向変調器の光軸を中心軸とした固定角度
は光ディスクの溝あるいはピットのウォブリングする方
向によって決定されるため、その前段に配置されるＥＯ
変調器の固定角度は偏向変調器結晶の偏光方向に合わせ
なければならず、光軸を中心軸とした固定角度を自由に
変更することはできない。また、光ディスク原盤露光記
録装置で矩形状結晶を持つＥＯ変調器の後段に偏光ビー
ムスプリッタを含むときも同様に、偏光ビームスプリッ
タに入射するレーザ光の偏波面に合わせ、ＥＯ変調器の
固定角度が決定され、光軸を中心軸とした固定角度を自
由に変更することはできない。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みて考案されたもの
であり、ＥＯ変調器結晶を透過したビーム形状の歪みに
よる結晶投影を積極的に利用し、フォトレジスト膜上に
形成されるピットの歪みを解消し、また偏向変調器ある
いは偏光ビームスプリッタをＥＯ変調器の後段に設ける
ことができる光ディスク原盤露光記録装置を提供するこ
とを目的とする。
であり、ＥＯ変調器結晶を透過したビーム形状の歪みに
よる結晶投影を積極的に利用し、フォトレジスト膜上に
形成されるピットの歪みを解消し、また偏向変調器ある
いは偏光ビームスプリッタをＥＯ変調器の後段に設ける
ことができる光ディスク原盤露光記録装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明ではＥＯ変調器の矩形状結晶の平坦な面が記
録される光ディスク原盤のトラック方向に投影するよう
に、ＥＯ変調器を回転させる。また、ＥＯ変調器とレー
ザ光源の間に１／２波長板を設け、ＥＯ変調器に入射さ
れるレーザ光の偏波面を回転させ、ＥＯ変調器で最大の
消光比が得られるようにする。
め、本発明ではＥＯ変調器の矩形状結晶の平坦な面が記
録される光ディスク原盤のトラック方向に投影するよう
に、ＥＯ変調器を回転させる。また、ＥＯ変調器とレー
ザ光源の間に１／２波長板を設け、ＥＯ変調器に入射さ
れるレーザ光の偏波面を回転させ、ＥＯ変調器で最大の
消光比が得られるようにする。
【０００７】以上の構成により、ＥＯ変調器の矩形状結
晶の平坦な面が光ディスク原盤のトラック方向に投影
し、なおかつＥＯ変調器の消光比が最大となる光ディス
ク原盤露光記録装置が実現できる。
晶の平坦な面が光ディスク原盤のトラック方向に投影
し、なおかつＥＯ変調器の消光比が最大となる光ディス
ク原盤露光記録装置が実現できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、レーザ光量を変調する光学変調器を備えた光ディス
ク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク原盤のトラ
ック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平坦な面が投
影するように前記光学変調器を設けたことを特徴とする
光ディスク原盤露光記録装置であり、光ディスク原盤の
トラック方向に歪みのないピットを形成するという作用
を有する。
は、レーザ光量を変調する光学変調器を備えた光ディス
ク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク原盤のトラ
ック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平坦な面が投
影するように前記光学変調器を設けたことを特徴とする
光ディスク原盤露光記録装置であり、光ディスク原盤の
トラック方向に歪みのないピットを形成するという作用
を有する。
【０００９】本発明の請求項２に記載の発明は、レーザ
光量を変調する光学変調器を備えた光ディスク原盤露光
記録装置で、記録する光ディスク原盤のトラック方向に
前記光学変調器の矩形状結晶の平坦な面が投影するよう
に前記光学変調器を設け、レーザ光源と前記光学変調器
の間に１／２波長板を設けたことを特徴とする光ディス
ク原盤露光記録装置であり、光ディスク原盤のトラック
方向に歪みのないピットを形成するとともに、ＥＯ変調
器に入射するレーザ光の偏波面を回転させることによっ
て、ＥＯ変調器で最大の消光比が得られるという作用を
有する。
光量を変調する光学変調器を備えた光ディスク原盤露光
記録装置で、記録する光ディスク原盤のトラック方向に
前記光学変調器の矩形状結晶の平坦な面が投影するよう
に前記光学変調器を設け、レーザ光源と前記光学変調器
の間に１／２波長板を設けたことを特徴とする光ディス
ク原盤露光記録装置であり、光ディスク原盤のトラック
方向に歪みのないピットを形成するとともに、ＥＯ変調
器に入射するレーザ光の偏波面を回転させることによっ
て、ＥＯ変調器で最大の消光比が得られるという作用を
有する。
【００１０】本発明の請求項３に記載の発明は、レーザ
光量を変調する光学変調器の後段に偏向変調器を備えた
光ディスク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク原
盤のトラック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平坦
な面が投影するように前記光学変調器を設け、前記光学
変調器と前記偏向変調器の間に１／２波長板を設けたこ
とを特徴とする光ディスク原盤露光記録装置であり、光
ディスク原盤のトラック方向に歪みのないピットを形成
するとともに、偏向変調器に入射されるレーザ光の偏波
面を回転させることによって、偏向変調器の偏向方向に
合わせるという作用を有する。
光量を変調する光学変調器の後段に偏向変調器を備えた
光ディスク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク原
盤のトラック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平坦
な面が投影するように前記光学変調器を設け、前記光学
変調器と前記偏向変調器の間に１／２波長板を設けたこ
とを特徴とする光ディスク原盤露光記録装置であり、光
ディスク原盤のトラック方向に歪みのないピットを形成
するとともに、偏向変調器に入射されるレーザ光の偏波
面を回転させることによって、偏向変調器の偏向方向に
合わせるという作用を有する。
【００１１】以下、本発明の実施の形態について説明す
る。
る。
【００１２】（実施の形態１）図１は本発明の実施の形
態１における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものである。図中符号１は露光記録用Ａｒ＋レーザ
光源、符号２はレーザ光の偏波面を回転させる１／２波
長板、符号３はパワーコントロールおよびノイズリダク
ション用ＥＯ変調器、符号４は情報信号による光量変調
を行うＥＯ変調器、符号５は落とし込みミラー、符号６
は集光用対物レンズ、符号７は光ディスク原盤となるフ
ォトレジスト膜付ガラス板である。また、フォトレジス
ト膜付ガラス板７は符号８で示される回転するターンテ
ーブル上に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス
板７の回転とともに落とし込みミラー５と集光用対物レ
ンズ６がガラス板の内周から外周に向かってスライドし
ていき、ＥＯ変調器４で情報信号によって光量変調され
たレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板７上
に集光し、内周から外周に向かってらせん状に溝あるい
はピットを露光記録する。
態１における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものである。図中符号１は露光記録用Ａｒ＋レーザ
光源、符号２はレーザ光の偏波面を回転させる１／２波
長板、符号３はパワーコントロールおよびノイズリダク
ション用ＥＯ変調器、符号４は情報信号による光量変調
を行うＥＯ変調器、符号５は落とし込みミラー、符号６
は集光用対物レンズ、符号７は光ディスク原盤となるフ
ォトレジスト膜付ガラス板である。また、フォトレジス
ト膜付ガラス板７は符号８で示される回転するターンテ
ーブル上に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス
板７の回転とともに落とし込みミラー５と集光用対物レ
ンズ６がガラス板の内周から外周に向かってスライドし
ていき、ＥＯ変調器４で情報信号によって光量変調され
たレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板７上
に集光し、内周から外周に向かってらせん状に溝あるい
はピットを露光記録する。
【００１３】ＥＯ変調器３，４の結晶断面形状は、図２
に示すように矩形であり、結晶断面の対角線方向に偏光
特性を有している。つまりＥＯ変調器３，４で最大の消
光比を得るためには、結晶断面の対角線方向とＥＯ変調
器３，４に入射されるレーザ光の偏波面を一致させる必
要がある。従来、光源であるＡｒ＋レーザ１から出射さ
れるレーザ光の偏波面はベースに対して垂直方向である
ため、最大の消光比が得られるようにＥＯ変調器３，４
は結晶断面の対角線方向がベースに対して垂直方向にな
るように固定されるが、ＥＯ変調器３，４を透過したレ
ーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板７上に集
光し光ディスクのピットを形成すると、図３に示すよう
に、符号１２で示す形成されるピットのトラック方向に
符号１１で示すＥＯ変調器３，４の結晶投影模様の角の
部分が現れ、歪んだピットが形成される。このピットの
歪みを改善するためＥＯ変調器３，４を回転させ、図４
に示すように、ＥＯ変調器３，４の矩形状結晶断面の平
坦な面が光ディスク原盤のトラック方向に投影されるよ
うにする。以上の構成でフォトレジスト膜付ガラス板７
上に形成されるピットのトラック方向にＥＯ変調器３，
４の矩形状結晶の平坦な面が投影され、歪みのないピッ
トを形成することができる。
に示すように矩形であり、結晶断面の対角線方向に偏光
特性を有している。つまりＥＯ変調器３，４で最大の消
光比を得るためには、結晶断面の対角線方向とＥＯ変調
器３，４に入射されるレーザ光の偏波面を一致させる必
要がある。従来、光源であるＡｒ＋レーザ１から出射さ
れるレーザ光の偏波面はベースに対して垂直方向である
ため、最大の消光比が得られるようにＥＯ変調器３，４
は結晶断面の対角線方向がベースに対して垂直方向にな
るように固定されるが、ＥＯ変調器３，４を透過したレ
ーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板７上に集
光し光ディスクのピットを形成すると、図３に示すよう
に、符号１２で示す形成されるピットのトラック方向に
符号１１で示すＥＯ変調器３，４の結晶投影模様の角の
部分が現れ、歪んだピットが形成される。このピットの
歪みを改善するためＥＯ変調器３，４を回転させ、図４
に示すように、ＥＯ変調器３，４の矩形状結晶断面の平
坦な面が光ディスク原盤のトラック方向に投影されるよ
うにする。以上の構成でフォトレジスト膜付ガラス板７
上に形成されるピットのトラック方向にＥＯ変調器３，
４の矩形状結晶の平坦な面が投影され、歪みのないピッ
トを形成することができる。
【００１４】また、ＥＯ変調器３，４で最大の消光比を
得るために、ＥＯ変調器３，４に入射されるレーザ光の
偏波面とＥＯ変調器３，４の結晶の対角線方向を一致さ
せる必要があるが、ＥＯ変調器３，４を光ディスク原盤
のトラック方向に矩形状結晶の平坦な面が投影するよう
に固定すると、レーザ光源の偏波面とＥＯ変調器結晶断
面の対角線方向にずれが生じるため、Ａｒ＋レーザとＥ
Ｏ変調器３の間に配置した１／２波長板２によってＥＯ
変調器３，４に入射されるレーザ光の偏波面を回転さ
せ、ＥＯ変調器３，４の結晶断面の対角線方向と一致さ
せる。
得るために、ＥＯ変調器３，４に入射されるレーザ光の
偏波面とＥＯ変調器３，４の結晶の対角線方向を一致さ
せる必要があるが、ＥＯ変調器３，４を光ディスク原盤
のトラック方向に矩形状結晶の平坦な面が投影するよう
に固定すると、レーザ光源の偏波面とＥＯ変調器結晶断
面の対角線方向にずれが生じるため、Ａｒ＋レーザとＥ
Ｏ変調器３の間に配置した１／２波長板２によってＥＯ
変調器３，４に入射されるレーザ光の偏波面を回転さ
せ、ＥＯ変調器３，４の結晶断面の対角線方向と一致さ
せる。
【００１５】なお、露光記録用レーザ光源として、ここ
ではＡｒ＋レーザを使用しているが、他のレーザを使用
したとしても本発明は有効であり、Ａｒ＋レーザだけに
制限されるものではない。また、ＥＯ変調器の前段にレ
ーザ光のビーム径をしぼるためのダウンコリメートレン
ズを設けることがあるが、ダウンコリメートレンズを設
けた場合も本発明は有効である。
ではＡｒ＋レーザを使用しているが、他のレーザを使用
したとしても本発明は有効であり、Ａｒ＋レーザだけに
制限されるものではない。また、ＥＯ変調器の前段にレ
ーザ光のビーム径をしぼるためのダウンコリメートレン
ズを設けることがあるが、ダウンコリメートレンズを設
けた場合も本発明は有効である。
【００１６】（実施の形態２）図５は本発明の実施の形
態２における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものであり、同図において、符号１５はベースに対
して垂直方向の偏波面を持つレーザ光を出力するＡｒ＋
レーザ光源、符号１６はレーザ光の偏波面を回転させる
ための１／２波長板、符号１７はパワーコントロールお
よびノイズリダクション用ＥＯ変調器、符号１８は情報
信号による光量変調を行うＥＯ変調器、符号１９は偏向
変調器２０に入射するレーザ光の偏波面を回転させる１
／２波長板、符号２０は光ディスク原盤に記録される溝
あるいはピットをウォブリングするための偏向変調器、
符号２１は落とし込みミラー、符号２２は集光用対物レ
ンズ、符号２３は光ディスク原盤となるフォトレジスト
膜付ガラス板である。また、フォトレジスト膜付ガラス
板２３は符号２４で示される回転するターンテーブル上
に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス板２３の
回転とともに落とし込みミラー２１と集光用対物レンズ
２２がガラス板の内周から外周に向かってスライドして
いき、ＥＯ変調器１８で情報信号によって光量変調され
たレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板２３
上に集光し、内周から外周に向かってらせん状に溝ある
いはピットを露光記録する。（実施の形態１）と異なる
のは、光ディスク原盤に形成される溝あるいはピットを
ウォブリングするための偏向変調器２０がＥＯ変調器１
７，１８の後段に設けられていることである。（実施の
形態１）と同様にフォトレジスト膜上に形成されるピッ
トのトラック方向にＥＯ変調器１７，１８の矩形状結晶
の平坦な面が投影するように、ＥＯ変調器１７，１８を
固定し、ＥＯ変調器１７，１８で最大の消光比が得られ
るように１／２波長板１６でＥＯ変調器１７，１８に入
射されるレーザ光の偏波面を回転させる。偏向変調器２
０の出射光の偏向方向は、偏向変調器２０の入射偏波面
と一致しており、また偏向変調器２０は光ディスク原盤
に形成される溝あるいはピットのウォブリング方向によ
って固定角度が決定されるため、偏向変調器２０の入射
偏波面は光ディスク原盤に形成される溝あるいはピット
のウォブリング方向によって決定される。ＥＯ変調器１
７，１８の矩形状結晶の平坦な面が記録される光ディス
ク原盤のトラック方向に投影するようにＥＯ変調器１
７，１８を固定し、最大の消光比が得られるようにＥＯ
変調器入射偏波面を１／２波長板１６で回転させている
ため、１／２波長板１９をＥＯ変調器１８と偏向変調器
２０の間に配置し、偏向変調器２０の入射偏波面を偏向
変調器の偏光方向に一致させている。以上の構成で偏向
変調器２０を備えた光ディスク原盤露光記録装置におい
てもフォトレジスト膜付ガラス板２３上に形成されるピ
ットのトラック方向にＥＯ変調器１７，１８の矩形状結
晶の平坦な面を投影させ、歪みのないピットを形成する
ことができる。
態２における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものであり、同図において、符号１５はベースに対
して垂直方向の偏波面を持つレーザ光を出力するＡｒ＋
レーザ光源、符号１６はレーザ光の偏波面を回転させる
ための１／２波長板、符号１７はパワーコントロールお
よびノイズリダクション用ＥＯ変調器、符号１８は情報
信号による光量変調を行うＥＯ変調器、符号１９は偏向
変調器２０に入射するレーザ光の偏波面を回転させる１
／２波長板、符号２０は光ディスク原盤に記録される溝
あるいはピットをウォブリングするための偏向変調器、
符号２１は落とし込みミラー、符号２２は集光用対物レ
ンズ、符号２３は光ディスク原盤となるフォトレジスト
膜付ガラス板である。また、フォトレジスト膜付ガラス
板２３は符号２４で示される回転するターンテーブル上
に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス板２３の
回転とともに落とし込みミラー２１と集光用対物レンズ
２２がガラス板の内周から外周に向かってスライドして
いき、ＥＯ変調器１８で情報信号によって光量変調され
たレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガラス板２３
上に集光し、内周から外周に向かってらせん状に溝ある
いはピットを露光記録する。（実施の形態１）と異なる
のは、光ディスク原盤に形成される溝あるいはピットを
ウォブリングするための偏向変調器２０がＥＯ変調器１
７，１８の後段に設けられていることである。（実施の
形態１）と同様にフォトレジスト膜上に形成されるピッ
トのトラック方向にＥＯ変調器１７，１８の矩形状結晶
の平坦な面が投影するように、ＥＯ変調器１７，１８を
固定し、ＥＯ変調器１７，１８で最大の消光比が得られ
るように１／２波長板１６でＥＯ変調器１７，１８に入
射されるレーザ光の偏波面を回転させる。偏向変調器２
０の出射光の偏向方向は、偏向変調器２０の入射偏波面
と一致しており、また偏向変調器２０は光ディスク原盤
に形成される溝あるいはピットのウォブリング方向によ
って固定角度が決定されるため、偏向変調器２０の入射
偏波面は光ディスク原盤に形成される溝あるいはピット
のウォブリング方向によって決定される。ＥＯ変調器１
７，１８の矩形状結晶の平坦な面が記録される光ディス
ク原盤のトラック方向に投影するようにＥＯ変調器１
７，１８を固定し、最大の消光比が得られるようにＥＯ
変調器入射偏波面を１／２波長板１６で回転させている
ため、１／２波長板１９をＥＯ変調器１８と偏向変調器
２０の間に配置し、偏向変調器２０の入射偏波面を偏向
変調器の偏光方向に一致させている。以上の構成で偏向
変調器２０を備えた光ディスク原盤露光記録装置におい
てもフォトレジスト膜付ガラス板２３上に形成されるピ
ットのトラック方向にＥＯ変調器１７，１８の矩形状結
晶の平坦な面を投影させ、歪みのないピットを形成する
ことができる。
【００１７】（実施の形態３）図６は本発明の実施の形
態３における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものであり、同図において、符号２５はベースに対
して垂直方向の偏波面を持つレーザ光を出力するＡｒ＋
レーザ光源、符号２６は偏光ビームスプリッタ２７に入
射するレーザ光の偏波面を回転させ、２つに分離される
記録光の強度配分を決定する１／２波長板、符号２７は
記録光を２つに分離するための偏光ビームスプリッタ、
符号２８，３２はレーザ光の偏波面を回転させるための
１／２波長板、符号２９，３３はパワーコントロールお
よびノイズリダクション用ＥＯ変調器、符号３０，３４
は情報信号による光量変調を行うＥＯ変調器、符号３
１，３５は偏光ビームスプリッタ３６に入射するレーザ
光の偏波面を回転させ光ディスク原盤側に透過あるいは
反射するレーザ光強度を決定する１／２波長板、符号３
６は２つの記録光を混合するための偏光ビームスプリッ
タ、符号３７は落とし込みミラー、符号３８は集光用対
物レンズ、符号３９は光ディスク原盤となるフォトレジ
スト膜付ガラス板である。また、フォトレジスト膜付ガ
ラス板３９は符号４０で示される回転するターンテーブ
ル上に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス板３
９の回転とともに落とし込みミラー３７と集光用対物レ
ンズ３８がガラス板の内周から外周に向かってスライド
していき、ＥＯ変調器３０，３４で情報信号によって光
量変調されたレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガ
ラス板３９上に集光し、内周から外周に向かってらせん
状に溝あるいはピットを露光記録する。（実施の形態
１）と異なるのは、２つの記録光を利用するためにレー
ザ光を分離する偏光ビームスプリッタ２７、および混合
する偏光ビームスプリッタ３６を含み、２つの記録光と
もにパワーコントロールおよびノイズリダクション用、
ならびに情報信号による光量変調を行うＥＯ変調器を含
んでいることである。（実施の形態１）と同様にフォト
レジスト膜上に形成されるピットのトラック方向にＥＯ
変調器の矩形状結晶の平坦な面が投影するように、ＥＯ
変調器２９、３０を固定する。ＥＯ変調器２９，３０で
最大の消光比が得られるように１／２波長板２８でＥＯ
変調器２９，３０に入射するレーザ光の偏波面を回転さ
せる。また、もう一方の記録光についても同様で、記録
される光ディスクのトラック方向にＥＯ変調器３３，３
４の矩形状結晶の平坦な面が投影するようにＥＯ変調器
３３，３４を固定し、ＥＯ変調器３３，３４で最大の消
光比が得られるように１／２波長板３２でＥＯ変調器３
３，３４に入射されるレーザ光の偏波面を回転させる。
偏光ビームスプリッタは入射光の水平偏波成分を透過
し、垂直偏波成分を反射するため、偏光ビームスプリッ
タ３６で光ディスク原盤側に最大の出力が得られるよう
に１／２波長板３１，３５で各記録光の偏波面を回転さ
せている。以上の構成により、偏光ビームスプリッタを
用いて２つの記録光を混合する光ディスク原盤露光記録
装置においても、ＥＯ変調器２９，３０およびＥＯ変調
器３３，３４で最大の消光比が得られる状態で、フォト
レジスト膜付ガラス板３９上に形成されるピットのトラ
ック方向にＥＯ変調器２９，３０およびＥＯ変調器３
３，３４の矩形状結晶の平坦な面が投影され、歪みのな
いピットが形成される。
態３における光ディスク原盤露光記録装置の構成例を示
したものであり、同図において、符号２５はベースに対
して垂直方向の偏波面を持つレーザ光を出力するＡｒ＋
レーザ光源、符号２６は偏光ビームスプリッタ２７に入
射するレーザ光の偏波面を回転させ、２つに分離される
記録光の強度配分を決定する１／２波長板、符号２７は
記録光を２つに分離するための偏光ビームスプリッタ、
符号２８，３２はレーザ光の偏波面を回転させるための
１／２波長板、符号２９，３３はパワーコントロールお
よびノイズリダクション用ＥＯ変調器、符号３０，３４
は情報信号による光量変調を行うＥＯ変調器、符号３
１，３５は偏光ビームスプリッタ３６に入射するレーザ
光の偏波面を回転させ光ディスク原盤側に透過あるいは
反射するレーザ光強度を決定する１／２波長板、符号３
６は２つの記録光を混合するための偏光ビームスプリッ
タ、符号３７は落とし込みミラー、符号３８は集光用対
物レンズ、符号３９は光ディスク原盤となるフォトレジ
スト膜付ガラス板である。また、フォトレジスト膜付ガ
ラス板３９は符号４０で示される回転するターンテーブ
ル上に固定されており、フォトレジスト膜付ガラス板３
９の回転とともに落とし込みミラー３７と集光用対物レ
ンズ３８がガラス板の内周から外周に向かってスライド
していき、ＥＯ変調器３０，３４で情報信号によって光
量変調されたレーザ光を回転するフォトレジスト膜付ガ
ラス板３９上に集光し、内周から外周に向かってらせん
状に溝あるいはピットを露光記録する。（実施の形態
１）と異なるのは、２つの記録光を利用するためにレー
ザ光を分離する偏光ビームスプリッタ２７、および混合
する偏光ビームスプリッタ３６を含み、２つの記録光と
もにパワーコントロールおよびノイズリダクション用、
ならびに情報信号による光量変調を行うＥＯ変調器を含
んでいることである。（実施の形態１）と同様にフォト
レジスト膜上に形成されるピットのトラック方向にＥＯ
変調器の矩形状結晶の平坦な面が投影するように、ＥＯ
変調器２９、３０を固定する。ＥＯ変調器２９，３０で
最大の消光比が得られるように１／２波長板２８でＥＯ
変調器２９，３０に入射するレーザ光の偏波面を回転さ
せる。また、もう一方の記録光についても同様で、記録
される光ディスクのトラック方向にＥＯ変調器３３，３
４の矩形状結晶の平坦な面が投影するようにＥＯ変調器
３３，３４を固定し、ＥＯ変調器３３，３４で最大の消
光比が得られるように１／２波長板３２でＥＯ変調器３
３，３４に入射されるレーザ光の偏波面を回転させる。
偏光ビームスプリッタは入射光の水平偏波成分を透過
し、垂直偏波成分を反射するため、偏光ビームスプリッ
タ３６で光ディスク原盤側に最大の出力が得られるよう
に１／２波長板３１，３５で各記録光の偏波面を回転さ
せている。以上の構成により、偏光ビームスプリッタを
用いて２つの記録光を混合する光ディスク原盤露光記録
装置においても、ＥＯ変調器２９，３０およびＥＯ変調
器３３，３４で最大の消光比が得られる状態で、フォト
レジスト膜付ガラス板３９上に形成されるピットのトラ
ック方向にＥＯ変調器２９，３０およびＥＯ変調器３
３，３４の矩形状結晶の平坦な面が投影され、歪みのな
いピットが形成される。
【００１８】なお、ここでは１つのレーザ光源から出力
されるレーザ光を偏光ビームスプリッタ２７で２つに分
離し、２つの記録光を作り出しているが、２つの記録光
を作り出す手段はこれに限らず、たとえば２つのレーザ
光源を用いる場合、あるいは１つのレーザ光源からハー
フミラーで２つの記録光を作り出す場合なども考えられ
るが、２つの記録光を偏光ビームスプリッタで混合する
ときに本発明は有効であり、２つの記録光を作り出す方
法に制限されるものではない。
されるレーザ光を偏光ビームスプリッタ２７で２つに分
離し、２つの記録光を作り出しているが、２つの記録光
を作り出す手段はこれに限らず、たとえば２つのレーザ
光源を用いる場合、あるいは１つのレーザ光源からハー
フミラーで２つの記録光を作り出す場合なども考えられ
るが、２つの記録光を偏光ビームスプリッタで混合する
ときに本発明は有効であり、２つの記録光を作り出す方
法に制限されるものではない。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、光ディ
スク原盤露光記録装置において、光ディスク原盤となる
フォトレジスト膜にＥＯ変調器結晶を透過したビーム形
状の歪みによって結晶の矩形形状が投影されるとき、矩
形状結晶の平坦な面を記録される光ディスク原盤のトラ
ック方向に投影させ、また１／２波長板で光学変調器に
入射するレーザ光の偏波面を調整することによって、光
学変調器で最大の消光比が得られる状態で形成されるピ
ットの歪みを解消し、また偏向変調器あるいは偏光ビー
ムスプリッタをＥＯ変調器の後段に設けることが可能と
なるという有利な効果が得られる。
スク原盤露光記録装置において、光ディスク原盤となる
フォトレジスト膜にＥＯ変調器結晶を透過したビーム形
状の歪みによって結晶の矩形形状が投影されるとき、矩
形状結晶の平坦な面を記録される光ディスク原盤のトラ
ック方向に投影させ、また１／２波長板で光学変調器に
入射するレーザ光の偏波面を調整することによって、光
学変調器で最大の消光比が得られる状態で形成されるピ
ットの歪みを解消し、また偏向変調器あるいは偏光ビー
ムスプリッタをＥＯ変調器の後段に設けることが可能と
なるという有利な効果が得られる。
【図１】本発明の光ディスク原盤露光記録装置の実施の
形態１を示す構成図
形態１を示す構成図
【図２】光ディスク原盤露光記録装置中のＥＯ変調器結
晶の模式図
晶の模式図
【図３】従来の光ディスク原盤露光記録装置で形成され
るピット形状模式図
るピット形状模式図
【図４】本発明の光ディスク原盤露光記録装置で形成さ
れるピット形状模式図
れるピット形状模式図
【図５】本発明の光ディスク原盤露光記録装置の実施の
形態２を示す構成図
形態２を示す構成図
【図６】本発明の光ディスク原盤露光記録装置の実施の
形態３を示す構成図
形態３を示す構成図
【図７】従来の光ディスク原盤露光記録装置の一例を示
す構成図
す構成図
１，１５，２５，４１ 垂直偏波面のレーザ光を出力す
るＡｒ＋レーザ光源 ２，１６，１９，２６，２８，３１，３２，３５ １／
２波長板 ３，４，１７，１８，２９，３０，３３，３４，４２，
４３ ＥＯ変調器 ５，２１，３７，４４ 落とし込みミラー ６，２２，３８，４５ 集光用対物レンズ ７，２３，３９，４６ フォトレジスト膜付きガラス板 ８，２４，４０，４７ ターンテーブル ９，ＥＯ変調器の電極 １０ ＥＯ変調器結晶 １１，１３ ＥＯ変調器結晶投影模様 １２，１４ 光ディスク原盤に形成されるピット形状 ２０ 偏向変調器 ２７，３６ 偏光ビームスプリッタ
るＡｒ＋レーザ光源 ２，１６，１９，２６，２８，３１，３２，３５ １／
２波長板 ３，４，１７，１８，２９，３０，３３，３４，４２，
４３ ＥＯ変調器 ５，２１，３７，４４ 落とし込みミラー ６，２２，３８，４５ 集光用対物レンズ ７，２３，３９，４６ フォトレジスト膜付きガラス板 ８，２４，４０，４７ ターンテーブル ９，ＥＯ変調器の電極 １０ ＥＯ変調器結晶 １１，１３ ＥＯ変調器結晶投影模様 １２，１４ 光ディスク原盤に形成されるピット形状 ２０ 偏向変調器 ２７，３６ 偏光ビームスプリッタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H099 AA05 BA09 CA01 CA08 DA05 5D119 AA23 BA01 BB09 DA01 GA02 HA36 JA31 5D121 BB26 BB38
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光量を変調する光学変調器を備え
た光ディスク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク
原盤のトラック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平
坦な面が投影するように前記光学変調器を設けたことを
特徴とする光ディスク原盤露光記録装置。 - 【請求項２】 レーザ光量を変調する光学変調器を備え
た光ディスク原盤露光記録装置で、記録する光ディスク
原盤のトラック方向に前記光学変調器の矩形状結晶の平
坦な面が投影するように前記光学変調器を設け、レーザ
光源と前記光学変調器の間に１／２波長板を設けたこと
を特徴とする光ディスク原盤露光記録装置。 - 【請求項３】 レーザ光量を変調する光学変調器の後段
に偏向変調器を備えた光ディスク原盤露光記録装置で、
記録する光ディスク原盤のトラック方向に前記光学変調
器の矩形状結晶の平坦な面が投影するように前記光学変
調器を設け、前記光学変調器と前記偏向変調器の間に１
／２波長板を設けたことを特徴とする光ディスク原盤露
光記録装置。 - 【請求項４】 レーザ光量を変調する光学変調器の後段
に偏光ビームスプリッタを備えた光ディスク原盤露光記
録装置で、記録する光ディスク原盤のトラック方向に前
記光学変調器の矩形状結晶の平坦な面が投影するように
前記光学変調器を設け、前記光学変調器と前記偏光ビー
ムスプリッタの間に１／２波長板を設けたことを特徴と
する光ディスク原盤露光記録装置。 - 【請求項５】 １／２波長板で光学変調器結晶の偏光方
向に入射偏波面を一致させたことを特徴とする請求項２
に記載の光ディスク原盤露光記録装置。 - 【請求項６】 １／２波長板で偏向変調器の偏光方向に
入射偏波面を一致させたことを特徴とする請求項３に記
載の光ディスク原盤露光記録装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11099667A JP2000293887A (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 光ディスク原盤露光記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11099667A JP2000293887A (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 光ディスク原盤露光記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000293887A true JP2000293887A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14253394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11099667A Pending JP2000293887A (ja) | 1999-04-07 | 1999-04-07 | 光ディスク原盤露光記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000293887A (ja) |
-
1999
- 1999-04-07 JP JP11099667A patent/JP2000293887A/ja active Pending
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