JP2000323082A - 透過電子顕微鏡 - Google Patents
透過電子顕微鏡Info
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- JP2000323082A JP2000323082A JP11129584A JP12958499A JP2000323082A JP 2000323082 A JP2000323082 A JP 2000323082A JP 11129584 A JP11129584 A JP 11129584A JP 12958499 A JP12958499 A JP 12958499A JP 2000323082 A JP2000323082 A JP 2000323082A
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- transmission electron
- electron beam
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Abstract
(57)【要約】
【課題】透過電子顕微鏡に関し、特に電子照射により試
料および蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフ
ィラメントライフ保護、および消費電力軽減に関する。 【解決手段】主たる構成は、透過電子顕微鏡において、
試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段
及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、
その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部から
の入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透
過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力
されなかった時に、電子ビーム強度を０あるいは予め設
定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧
を制御することを特徴とする。
料および蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフ
ィラメントライフ保護、および消費電力軽減に関する。 【解決手段】主たる構成は、透過電子顕微鏡において、
試料へ照射している電子ビームの強度を制御できる手段
及び該強度を設定する手段と、ある一定時間を測定し、
その間該透過電子顕微鏡の操作に関わる入力制御部から
の入力情報を監視することが可能な手段を有し、前記透
過電子顕微鏡がある一定時間内に、何も操作情報が入力
されなかった時に、電子ビーム強度を０あるいは予め設
定した任意の電子ビーム強度になるようにバイアス電圧
を制御することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透過電子顕微鏡（以
下、ＴＥＭと略す）に関し、特に電子照射により試料お
よび蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフィラ
メントライフ保護、および消費電力軽減に関する。
下、ＴＥＭと略す）に関し、特に電子照射により試料お
よび蛍光板が受けるダメージの軽減と、電子銃のフィラ
メントライフ保護、および消費電力軽減に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＥＭを用いた像観察において、通常一
旦電子ビームを試料に照射すると、観察中は電子ビーム
を照射したままで装置を放置することが多々ある。電子
ビームを長時間照射すると、試料および蛍光板はダメー
ジを受ける。この電子ビームを制御する方式として、特
開平8−264148 号では、ＴＥＭ像の蛍光板観察とＴＶカ
メラ撮影とでそれぞれに適した分光感度の蛍光体蛍光板
を使用することにより、試料に照射する電子ビームを最
小とし、試料の電子ビームダメージを最小とすることを
可能とする方法が示されていた。
旦電子ビームを試料に照射すると、観察中は電子ビーム
を照射したままで装置を放置することが多々ある。電子
ビームを長時間照射すると、試料および蛍光板はダメー
ジを受ける。この電子ビームを制御する方式として、特
開平8−264148 号では、ＴＥＭ像の蛍光板観察とＴＶカ
メラ撮影とでそれぞれに適した分光感度の蛍光体蛍光板
を使用することにより、試料に照射する電子ビームを最
小とし、試料の電子ビームダメージを最小とすることを
可能とする方法が示されていた。
【０００３】また、特開平9−69352号では電子線の走査
周期とＴＶカメラの走査周期を同期させることにより、
通常と変わらぬＴＥＭ像を得ることができ、電子線照射
位置を常に変化させるため、試料の電子ビームによるダ
メージを低く抑えることを可能とする方式が示されてい
た。
周期とＴＶカメラの走査周期を同期させることにより、
通常と変わらぬＴＥＭ像を得ることができ、電子線照射
位置を常に変化させるため、試料の電子ビームによるダ
メージを低く抑えることを可能とする方式が示されてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記手段
では、ＴＶカメラが装備されているＴＥＭが対象である
ため、ＴＶカメラのないＴＥＭではこの手段が使用する
ことができないという問題があった。また、新たに通常
のものとは分光感度の異なる蛍光体蛍光板や、電子線の
走査周期とＴＶカメラの走査周期を同期させる手段を、
通常のＴＥＭに追加する必要があるという問題があっ
た。さらに、試料に電子ビームを照射する時間は短縮で
きるものの、長時間電子銃の中のフィラメントに電流を
流し続けるため、フィラメント自身の寿命を縮めるとい
った問題があった。
では、ＴＶカメラが装備されているＴＥＭが対象である
ため、ＴＶカメラのないＴＥＭではこの手段が使用する
ことができないという問題があった。また、新たに通常
のものとは分光感度の異なる蛍光体蛍光板や、電子線の
走査周期とＴＶカメラの走査周期を同期させる手段を、
通常のＴＥＭに追加する必要があるという問題があっ
た。さらに、試料に電子ビームを照射する時間は短縮で
きるものの、長時間電子銃の中のフィラメントに電流を
流し続けるため、フィラメント自身の寿命を縮めるとい
った問題があった。
【０００５】本発明の目的は、従来のＴＥＭに装備を追
加することなく電子ビームの長時間照射による試料への
ダメージを最小限に抑えることであり、また電子銃の寿
命を伸ばすことにより、フィラメント交換の回数を減ら
し、オペレータなど電子顕微鏡使用者への負担を軽減す
るとともに、フィラメント交換により発生するコストを
抑え、さらに電子ビーム強度を０またはオペレータが任
意に設定した電子ビーム強度となった際、機能的に不要
となるレンズ電流，偏向コイル電流，鏡体冷却用水流に
よる電力の消費を軽減することが可能な透過電子顕微鏡
を提供することにある。
加することなく電子ビームの長時間照射による試料への
ダメージを最小限に抑えることであり、また電子銃の寿
命を伸ばすことにより、フィラメント交換の回数を減ら
し、オペレータなど電子顕微鏡使用者への負担を軽減す
るとともに、フィラメント交換により発生するコストを
抑え、さらに電子ビーム強度を０またはオペレータが任
意に設定した電子ビーム強度となった際、機能的に不要
となるレンズ電流，偏向コイル電流，鏡体冷却用水流に
よる電力の消費を軽減することが可能な透過電子顕微鏡
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、透過電子顕
微鏡において、電子ビームを出した状態である一定時間
何も操作しない状態が続いたときに、自動的に電子ビー
ム強度を０またはオペレータが設定した任意の電子ビー
ム強度に制御し、同時にレンズ，偏向コイル電流および
鏡体冷却用水流をＯＦＦすることによって達成される。
微鏡において、電子ビームを出した状態である一定時間
何も操作しない状態が続いたときに、自動的に電子ビー
ム強度を０またはオペレータが設定した任意の電子ビー
ム強度に制御し、同時にレンズ，偏向コイル電流および
鏡体冷却用水流をＯＦＦすることによって達成される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明の一実施
例を説明する。
例を説明する。
【０００８】図１は、本発明のＴＥＭにおける電子ビー
ムの制御方式の一例を示している。電子銃１から照射さ
れる電子ビーム２は、高電圧制御部３によりＯＮ／ＯＦ
Ｆや強度などの制御が行われる。電子銃１から照射され
た電子ビーム２は、レンズ４によって集束され、偏向コ
イル５によって電子ビーム２の試料面上での位置を調整
することにより、試料６表面の任意の位置に照射され
る。レンズ４および偏向コイル５はそれぞれレンズ制御
部７および偏向コイル制御部８によって制御されてい
る。ＴＥＭ像は蛍光板９上に結像され、この蛍光板９が
電子ビーム２が完全にあたらない位置に移動することに
より、その下のカメラ１０内のフィルム１１上に結像さ
れ、ＴＥＭ像が撮影される。このカメラ１０はカメラ制
御部１２によって制御されている。
ムの制御方式の一例を示している。電子銃１から照射さ
れる電子ビーム２は、高電圧制御部３によりＯＮ／ＯＦ
Ｆや強度などの制御が行われる。電子銃１から照射され
た電子ビーム２は、レンズ４によって集束され、偏向コ
イル５によって電子ビーム２の試料面上での位置を調整
することにより、試料６表面の任意の位置に照射され
る。レンズ４および偏向コイル５はそれぞれレンズ制御
部７および偏向コイル制御部８によって制御されてい
る。ＴＥＭ像は蛍光板９上に結像され、この蛍光板９が
電子ビーム２が完全にあたらない位置に移動することに
より、その下のカメラ１０内のフィルム１１上に結像さ
れ、ＴＥＭ像が撮影される。このカメラ１０はカメラ制
御部１２によって制御されている。
【０００９】高電圧制御部３，レンズ制御部７，偏向コ
イル制御部８及びカメラ制御部１２は、パーソナルコン
ピュータ１３および操作盤１４とインターフェース部１
５を介して接続されている。このＴＥＭはパーソナルコ
ンピュータ１３を中心として、パーソナルコンピュータ
１３の画面上あるいは操作盤１４から入力された操作情
報を、インターフェース部１５を介してコマンドとして
各制御部に送信し、その信号に応じて各部を操作する、
といった制御を行っている。
イル制御部８及びカメラ制御部１２は、パーソナルコン
ピュータ１３および操作盤１４とインターフェース部１
５を介して接続されている。このＴＥＭはパーソナルコ
ンピュータ１３を中心として、パーソナルコンピュータ
１３の画面上あるいは操作盤１４から入力された操作情
報を、インターフェース部１５を介してコマンドとして
各制御部に送信し、その信号に応じて各部を操作する、
といった制御を行っている。
【００１０】パーソナルコンピュータ１３からは各制御
部に対して、あらかじめ決めてある、他の制御に影響を
及ぼさないコマンド（たとえば各制御部のマイコンに書
き込まれているソフトのバージョンリクエストのコマン
ドなど）を常に送り、それに対する各制御部からの返信
をパーソナルコンピュータ１３が受け取ることにより、
各制御部間の通信チェックを行う、という動作をしてい
る。この際各制御部からインターフェース部１５に返信
されるコマンドには、パーソナルコンピュータ１３から
送信されたコマンドが正しいものか、そうでないものか
によってそれぞれ異なったものが設定されている。返信
コマンドがどちらであるかを認識することにより、常に
お互いが正常に接続及び通信しているかどうかを確認し
ている。何らかの操作情報が入力された場合、これら通
信チェック用コマンドに加えて、各制御部に送信される
制御のためのコマンドが、インターフェース部１５を介
して送られることになる。インターフェース部１５内の
マイクロプロセッサに書き込まれたインターフェース部
制御ソフトにはタイマー機能があり、オペレータが任意
に時間を決めて、その時間内に通信されたコマンドを監
視することが可能となっている。コマンドの監視時間は
２パターン以上設定することが可能となっている。
部に対して、あらかじめ決めてある、他の制御に影響を
及ぼさないコマンド（たとえば各制御部のマイコンに書
き込まれているソフトのバージョンリクエストのコマン
ドなど）を常に送り、それに対する各制御部からの返信
をパーソナルコンピュータ１３が受け取ることにより、
各制御部間の通信チェックを行う、という動作をしてい
る。この際各制御部からインターフェース部１５に返信
されるコマンドには、パーソナルコンピュータ１３から
送信されたコマンドが正しいものか、そうでないものか
によってそれぞれ異なったものが設定されている。返信
コマンドがどちらであるかを認識することにより、常に
お互いが正常に接続及び通信しているかどうかを確認し
ている。何らかの操作情報が入力された場合、これら通
信チェック用コマンドに加えて、各制御部に送信される
制御のためのコマンドが、インターフェース部１５を介
して送られることになる。インターフェース部１５内の
マイクロプロセッサに書き込まれたインターフェース部
制御ソフトにはタイマー機能があり、オペレータが任意
に時間を決めて、その時間内に通信されたコマンドを監
視することが可能となっている。コマンドの監視時間は
２パターン以上設定することが可能となっている。
【００１１】まず最初に設定したある一定時間（たとえ
ば５分）内で、あらかじめ設定されたコマンド以外が通
信されなかった（つまりバージョンリクエストのコマン
ドのみが通信されていた）、とする。インターフェース
部１５では、あらかじめ決めておいたコマンド以外は検
出されないため、ＴＥＭの操作が行われていないと判断
する。この時、高電圧制御部３に対して電子ビーム強度
を０またはオペレータが設定した任意の電子ビーム強度
にするようにバイアス電圧を制御するためのコマンドを
送信する。
ば５分）内で、あらかじめ設定されたコマンド以外が通
信されなかった（つまりバージョンリクエストのコマン
ドのみが通信されていた）、とする。インターフェース
部１５では、あらかじめ決めておいたコマンド以外は検
出されないため、ＴＥＭの操作が行われていないと判断
する。この時、高電圧制御部３に対して電子ビーム強度
を０またはオペレータが設定した任意の電子ビーム強度
にするようにバイアス電圧を制御するためのコマンドを
送信する。
【００１２】また、パーソナルコンピュータ１３からの
各制御部への通信チェックのためのコマンド送受信を行
わない場合も、各制御部間での制御に関するコマンドの
送受信をインターフェース部１５で監視し、最初に設定
したある一定時間（たとえば５分）内で、インターフェ
ース部１５において各制御部間での制御に関するコマン
ドが検出されなかった時に、高電圧制御部３に対して電
子ビーム強度を０またはオペレータが設定した任意の電
子ビーム強度にするようにバイアス電圧を制御するため
のコマンドを送信する。これにより、電子ビーム強度が
０またはあらかじめオペレータによって任意に設定され
たビーム強度になるように、電子銃１を制御することが
可能となる。
各制御部への通信チェックのためのコマンド送受信を行
わない場合も、各制御部間での制御に関するコマンドの
送受信をインターフェース部１５で監視し、最初に設定
したある一定時間（たとえば５分）内で、インターフェ
ース部１５において各制御部間での制御に関するコマン
ドが検出されなかった時に、高電圧制御部３に対して電
子ビーム強度を０またはオペレータが設定した任意の電
子ビーム強度にするようにバイアス電圧を制御するため
のコマンドを送信する。これにより、電子ビーム強度が
０またはあらかじめオペレータによって任意に設定され
たビーム強度になるように、電子銃１を制御することが
可能となる。
【００１３】次に２番目に設定したある一定時間（たと
えば１０分）内で、１番目に設定した時間の場合と同じ
ように何も通信されてなかった場合、インターフェース
部１５ではコマンドが通信されていなかったことを確認
し、高電圧制御部３に対して電子ビーム強度を０または
オペレータが設定した任意の電子ビーム強度にするよう
にフィラメント電流を制御するためのコマンドを送信す
る。これにより、フィラメント電流も制御することが可
能となる。またこの時同時に、電子ビーム２照射のため
に印加している高電圧やレンズ電流，偏向コイル電流、
および鏡体冷却用水流１６をすべてＯＦＦにするコマン
ドが、高電圧制御部３，レンズ制御部７，偏向コイル制
御部８および冷却装置制御部１７の各制御部に対して送
信する。これにより、電子ビーム強度を０またはオペレ
ータが設定した任意の電子ビーム強度にフィラメント電
流を制御した時、同時に鏡体の機能をほぼ停止すること
が可能となる。
えば１０分）内で、１番目に設定した時間の場合と同じ
ように何も通信されてなかった場合、インターフェース
部１５ではコマンドが通信されていなかったことを確認
し、高電圧制御部３に対して電子ビーム強度を０または
オペレータが設定した任意の電子ビーム強度にするよう
にフィラメント電流を制御するためのコマンドを送信す
る。これにより、フィラメント電流も制御することが可
能となる。またこの時同時に、電子ビーム２照射のため
に印加している高電圧やレンズ電流，偏向コイル電流、
および鏡体冷却用水流１６をすべてＯＦＦにするコマン
ドが、高電圧制御部３，レンズ制御部７，偏向コイル制
御部８および冷却装置制御部１７の各制御部に対して送
信する。これにより、電子ビーム強度を０またはオペレ
ータが設定した任意の電子ビーム強度にフィラメント電
流を制御した時、同時に鏡体の機能をほぼ停止すること
が可能となる。
【００１４】ある一定時間内に何の操作情報も入力され
なかった時に行われる一連の動作の直前に、バイアス電
圧，フィラメント電流，レンズ電流，偏向コイル電流な
ど、それまで動作していた条件はすべて記憶装置１８に
記憶される。
なかった時に行われる一連の動作の直前に、バイアス電
圧，フィラメント電流，レンズ電流，偏向コイル電流な
ど、それまで動作していた条件はすべて記憶装置１８に
記憶される。
【００１５】その後、ＴＥＭに対して何らかの操作情報
が入力され、操作盤１４およびパーソナルコンピュータ
１３から何らかの操作に関わるコマンドが送信されたと
き、記憶装置１８に記憶されていた状態に戻すためのコ
マンドを、記憶装置１８から各制御部に送信する。これ
により、観察時の状態に復帰することが可能となってい
る。
が入力され、操作盤１４およびパーソナルコンピュータ
１３から何らかの操作に関わるコマンドが送信されたと
き、記憶装置１８に記憶されていた状態に戻すためのコ
マンドを、記憶装置１８から各制御部に送信する。これ
により、観察時の状態に復帰することが可能となってい
る。
【００１６】また、このＴＥＭの蛍光板９には電子線量
測定器１９が接続されている。この電子線量測定器１９
はさらにインターフェース部１５に接続されており、電
子線量測定器１９で測定した電子線量は常に監視されて
おり、この値が変化した場合はＴＥＭが操作されてい
る、変化しない場合はＴＥＭが操作されていないと判断
するようになっている。これをインターフェース部１５
内のマイクロプロセッサに書込まれた制御ソフトのタイ
マー機能とリンクさせ、通信コマンドを監視する時間と
同じ間隔で、定期的に電子線量の値を監視し、オペレー
タが設定した任意の一定時間内に値が変化しなかった
時、コマンドの監視と同様の方法で、バイアス電圧及び
フィラメント電流を制御する。これにより、電子ビーム
強度が０またはあらかじめオペレータによって任意に設
定されたビーム強度になるように、電子銃１を制御する
ことが可能となる。
測定器１９が接続されている。この電子線量測定器１９
はさらにインターフェース部１５に接続されており、電
子線量測定器１９で測定した電子線量は常に監視されて
おり、この値が変化した場合はＴＥＭが操作されてい
る、変化しない場合はＴＥＭが操作されていないと判断
するようになっている。これをインターフェース部１５
内のマイクロプロセッサに書込まれた制御ソフトのタイ
マー機能とリンクさせ、通信コマンドを監視する時間と
同じ間隔で、定期的に電子線量の値を監視し、オペレー
タが設定した任意の一定時間内に値が変化しなかった
時、コマンドの監視と同様の方法で、バイアス電圧及び
フィラメント電流を制御する。これにより、電子ビーム
強度が０またはあらかじめオペレータによって任意に設
定されたビーム強度になるように、電子銃１を制御する
ことが可能となる。
【００１７】そして電子線量の値が変化したとき、記憶
装置１８に記憶されていた状態に戻すためのコマンド
を、記憶装置１８から各制御部に送信する。これによ
り、観察時の状態に復帰することが可能となっている。
装置１８に記憶されていた状態に戻すためのコマンド
を、記憶装置１８から各制御部に送信する。これによ
り、観察時の状態に復帰することが可能となっている。
【００１８】さらに、ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２０の切り
替えによってこの機能のＯＮ／OFF制御が可能となって
いる。ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２０はインターフェース部
１５の中のマイクロプロセッサのＩ／Ｏポートの１bit
に接続されている。ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２０を切り替
えることにより、このbit に“０”あるいは“１”を立
てる。このため、オペレータが故意に電子ビーム２を出
したままの状態にしたい場合、電子ビーム２を出したま
まの状態を保持することが可能となっている。
替えによってこの機能のＯＮ／OFF制御が可能となって
いる。ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２０はインターフェース部
１５の中のマイクロプロセッサのＩ／Ｏポートの１bit
に接続されている。ＯＮ／ＯＦＦスイッチ２０を切り替
えることにより、このbit に“０”あるいは“１”を立
てる。このため、オペレータが故意に電子ビーム２を出
したままの状態にしたい場合、電子ビーム２を出したま
まの状態を保持することが可能となっている。
【００１９】これらを利用することにより、従来のＴＥ
Ｍに装備を追加することなく電子ビームの照射時間と、
その際機能的に不要な部分の電源ＯＮ／ＯＦＦを自動的
に短く制御することが可能な構成となっている。
Ｍに装備を追加することなく電子ビームの照射時間と、
その際機能的に不要な部分の電源ＯＮ／ＯＦＦを自動的
に短く制御することが可能な構成となっている。
【００２０】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば以下の
ような効果が達成される。
ような効果が達成される。
【００２１】従来のＴＥＭに装備を追加することなく、
照射する電子ビーム強度を自動的に制御するため、長時
間照射による試料へのダメージを最小限に抑えることが
可能である。また、フィラメントに電流を流す時間を短
縮するため、電子銃の寿命を伸ばすことが可能であり、
フィラメント交換の回数を減らし、オペレータなど電子
顕微鏡使用者への負担を軽減するとともに、フィラメン
ト交換により発生するコストを抑えることが可能とな
る。さらに、電子ビーム強度の制御を、監視時間の長さ
でバイアス電圧とフィラメント電流の２段階に分け、は
じめにバイアス電圧、次にフィラメント電流という順番
にし、同時にレンズ，偏向コイルの電流および鏡体側冷
却装置をＯＦＦすることにより、操作されなかった時間
が短時間の場合、電子ビームの復帰が早く、長時間の場
合は消費電力軽減が可能となっている。
照射する電子ビーム強度を自動的に制御するため、長時
間照射による試料へのダメージを最小限に抑えることが
可能である。また、フィラメントに電流を流す時間を短
縮するため、電子銃の寿命を伸ばすことが可能であり、
フィラメント交換の回数を減らし、オペレータなど電子
顕微鏡使用者への負担を軽減するとともに、フィラメン
ト交換により発生するコストを抑えることが可能とな
る。さらに、電子ビーム強度の制御を、監視時間の長さ
でバイアス電圧とフィラメント電流の２段階に分け、は
じめにバイアス電圧、次にフィラメント電流という順番
にし、同時にレンズ，偏向コイルの電流および鏡体側冷
却装置をＯＦＦすることにより、操作されなかった時間
が短時間の場合、電子ビームの復帰が早く、長時間の場
合は消費電力軽減が可能となっている。
【図１】本発明の一実施例であるＴＥＭの構成図であ
る。
る。
１…電子銃、２…電子ビーム、３…高電圧制御部、４…
レンズ、５…偏向コイル、６…試料、７…レンズ制御
部、８…偏向コイル制御部、９…蛍光板、１０…カメ
ラ、１１…フィルム、１２…カメラ制御部、１３…パー
ソナルコンピュータ、１４…制御盤、１５…インターフ
ェース部、１６…鏡体冷却用水流、１７…鏡体冷却装置
制御部、１８…記憶装置、１９…電子線量測定器、２０
…ＯＮ／OFFスイッチ。
レンズ、５…偏向コイル、６…試料、７…レンズ制御
部、８…偏向コイル制御部、９…蛍光板、１０…カメ
ラ、１１…フィルム、１２…カメラ制御部、１３…パー
ソナルコンピュータ、１４…制御盤、１５…インターフ
ェース部、１６…鏡体冷却用水流、１７…鏡体冷却装置
制御部、１８…記憶装置、１９…電子線量測定器、２０
…ＯＮ／OFFスイッチ。
Claims (7)
- 【請求項１】透過電子顕微鏡において、試料へ照射して
いる電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設
定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電
子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監
視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡が
ある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時
に、電子ビーム強度を０あるいは予め設定した任意の電
子ビーム強度になるようにバイアス電圧を制御すること
を特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項２】透過電子顕微鏡において、試料へ照射して
いる電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設
定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電
子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監
視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡が
ある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時
に、電子ビーム強度を０あるいは予め設定した任意の電
子ビーム強度になるようにフィラメント電流を制御する
ことを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項３】透過電子顕微鏡において、試料へ照射して
いる電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設
定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電
子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監
視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡が
ある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時
に、前記透過電子顕微鏡のバイアス電圧またはフィラメ
ント電流が０またはオペレータが設定した任意の値に制
御され、さらにある一定の時間内に何も操作情報が入力
されなかった時に、前記透過電子顕微鏡のバイアス電圧
またはフィラメント電流が０またはオペレータが設定し
た任意の値に制御されるといった、複数段階で電子ビー
ム強度を０あるいは予め設定した任意の電子ビーム強度
に制御することを特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項４】透過電子顕微鏡において、試料へ照射して
いる電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設
定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電
子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監
視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡が
ある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時
に、前記透過電子顕微鏡が自動的に高電圧，レンズ電流
および偏向コイル電流をＯＦＦあるいは予め設定した任
意の電圧値及び電流値に制御することを特徴とする透過
電子顕微鏡。 - 【請求項５】透過電子顕微鏡において、試料へ照射して
いる電子ビームの強度を制御できる手段及び該強度を設
定する手段と、ある一定時間を測定し、その間該透過電
子顕微鏡の操作に関わる入力制御部からの入力情報を監
視することが可能な手段を有し、前記透過電子顕微鏡が
ある一定時間内に、何も操作情報が入力されなかった時
に、前記透過電子顕微鏡が自動的に鏡体冷却用水流をＯ
ＦＦすることが可能なことを特徴とする透過電子顕微
鏡。 - 【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項記載の透過電
子顕微鏡において、該透過電子顕微鏡がある一定時間内
で何も操作されなかった時に、一度ＯＦＦあるいは予め
設定した状態になったバイアス電圧，フィラメント電
流，レンズ電流，偏向コイル電流、およびＯＦＦになっ
た鏡体冷却用水流が、何らか前記透過電子顕微鏡の操作
をオペレータが行った時に、元の状態に復帰することを
特徴とする透過電子顕微鏡。 - 【請求項７】請求項１〜６のいずれか１項記載の透過電
子顕微鏡において、該透過電子顕微鏡の操作を監視する
時間を、オペレータが任意に設定することが可能なこと
を特徴とする透過電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11129584A JP2000323082A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 透過電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11129584A JP2000323082A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 透過電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000323082A true JP2000323082A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15013076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11129584A Pending JP2000323082A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 透過電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000323082A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
-
1999
- 1999-05-11 JP JP11129584A patent/JP2000323082A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004006219A (ja) * | 2002-04-11 | 2004-01-08 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
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