JP2000323762A - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
- Publication number
- JP2000323762A JP2000323762A JP11134405A JP13440599A JP2000323762A JP 2000323762 A JP2000323762 A JP 2000323762A JP 11134405 A JP11134405 A JP 11134405A JP 13440599 A JP13440599 A JP 13440599A JP 2000323762 A JP2000323762 A JP 2000323762A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- electrode
- insulating layer
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 内部電極／外部電極間の絶縁層の高耐マイグ
レーション性を確保すると同時に耐電圧を更に高めるこ
とを可能とした圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】 圧電素子１と内部電極２とを交互に積層
して一体に接合した積層体から成る圧電動作部10を有
し、個々の圧電素子１の積層方向両面にそれぞれ逆極性
の電位を印加するために、圧電動作部10の対向側面に、
それぞれ上記積層方向に連続した一対の外部電極5,5 を
設け、内部電極２を一層おきにその外縁で一対の外部電
極5,5 の一方と接続し他方と絶縁し、この絶縁のために
内部電極２の外縁と外部電極５との間に介在する絶縁層
３を備えた圧電アクチュエータにおいて、絶縁層３は内
部電極２の外縁に直接接合した内層31と外部電極５に直
接接合した外層32から成り、内層31は内部電極２の材料
に対する耐マイグレーション性が外層32より高く、外層
32は弾性率が内層31より低いことを特徴とする。
レーション性を確保すると同時に耐電圧を更に高めるこ
とを可能とした圧電アクチュエータを提供する。 【解決手段】 圧電素子１と内部電極２とを交互に積層
して一体に接合した積層体から成る圧電動作部10を有
し、個々の圧電素子１の積層方向両面にそれぞれ逆極性
の電位を印加するために、圧電動作部10の対向側面に、
それぞれ上記積層方向に連続した一対の外部電極5,5 を
設け、内部電極２を一層おきにその外縁で一対の外部電
極5,5 の一方と接続し他方と絶縁し、この絶縁のために
内部電極２の外縁と外部電極５との間に介在する絶縁層
３を備えた圧電アクチュエータにおいて、絶縁層３は内
部電極２の外縁に直接接合した内層31と外部電極５に直
接接合した外層32から成り、内層31は内部電極２の材料
に対する耐マイグレーション性が外層32より高く、外層
32は弾性率が内層31より低いことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電素子と内部電
極とを交互に積層して成る圧電アクチュエータに関す
る。
極とを交互に積層して成る圧電アクチュエータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図１に示したように、圧電素
子１と内部電極２とを交互に積層して一体に接合した積
層体により圧電動作部１０を構成した圧電アクチュエー
タが知られている。このタイプの圧電アクチュエータ
は、上記圧電素子１の積層方向両面にそれぞれ逆極性の
電位を印加するために、上記圧電動作部１０の対向側面
に、それぞれ上記積層方向に連続した対向する一対の外
部電極５，５を設け、上記内部電極２を一層おきにその
外縁と上記一対の外部電極５，５の一方と接続し他方と
絶縁し、この絶縁を行うために上記内部電極２の外縁と
上記外部電極５，５との間に介在する絶縁層３を備えて
いる。
子１と内部電極２とを交互に積層して一体に接合した積
層体により圧電動作部１０を構成した圧電アクチュエー
タが知られている。このタイプの圧電アクチュエータ
は、上記圧電素子１の積層方向両面にそれぞれ逆極性の
電位を印加するために、上記圧電動作部１０の対向側面
に、それぞれ上記積層方向に連続した対向する一対の外
部電極５，５を設け、上記内部電極２を一層おきにその
外縁と上記一対の外部電極５，５の一方と接続し他方と
絶縁し、この絶縁を行うために上記内部電極２の外縁と
上記外部電極５，５との間に介在する絶縁層３を備えて
いる。
【０００３】絶縁層３は、高耐電圧性を有する必要があ
ると共に、内部電極材料（Ａｇ等）のエレクトロマイグ
レーションを防止する耐マイグレーション性も要求され
る。特に、アクチュエータの動作電圧が高い場合には、
耐マイグレーション性が重要になる。高耐電圧を有し、
耐マイグレーション性の優れた典型的な絶縁樹脂とし
て、ポリイミド樹脂が用いられている。更に高い動作電
圧が必要な場合には、絶縁層の厚さ方向の絶縁性を確保
するために、絶縁層を更に厚くする必要がある。しか
し、ポリイミド樹脂は機械強度や弾性率も高いため、厚
く形成するとキュア収縮により大きな内部応力が発生
し、アクチュエータの動作中に絶縁層の剥離が発生する
ことがある。そのため、内部電極／外部電極間の絶縁層
の高耐マイグレーション性の確保しながら耐電圧を更に
高めることに限界があった。
ると共に、内部電極材料（Ａｇ等）のエレクトロマイグ
レーションを防止する耐マイグレーション性も要求され
る。特に、アクチュエータの動作電圧が高い場合には、
耐マイグレーション性が重要になる。高耐電圧を有し、
耐マイグレーション性の優れた典型的な絶縁樹脂とし
て、ポリイミド樹脂が用いられている。更に高い動作電
圧が必要な場合には、絶縁層の厚さ方向の絶縁性を確保
するために、絶縁層を更に厚くする必要がある。しか
し、ポリイミド樹脂は機械強度や弾性率も高いため、厚
く形成するとキュア収縮により大きな内部応力が発生
し、アクチュエータの動作中に絶縁層の剥離が発生する
ことがある。そのため、内部電極／外部電極間の絶縁層
の高耐マイグレーション性の確保しながら耐電圧を更に
高めることに限界があった。
【０００４】内部電極／外部電極間の絶縁層の亀裂発生
の防止策として、特開平７−１６９９９９号公報には、
内部電極の外縁に直接接合する応力緩和層をシリコン系
あるいはフッ素系などの離型剤で形成し、その上に弾性
エポキシ樹脂層を形成する方法が提案されている。しか
し、この方法では、シリコン系あるいはフッ素系の応力
緩和層では内部電極の材料のマイグレーションに対する
高耐マイグレーション性が得られない。
の防止策として、特開平７−１６９９９９号公報には、
内部電極の外縁に直接接合する応力緩和層をシリコン系
あるいはフッ素系などの離型剤で形成し、その上に弾性
エポキシ樹脂層を形成する方法が提案されている。しか
し、この方法では、シリコン系あるいはフッ素系の応力
緩和層では内部電極の材料のマイグレーションに対する
高耐マイグレーション性が得られない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、内部電極／
外部電極間の絶縁層の高耐マイグレーション性を確保す
ると同時に耐電圧を更に高めることを可能とした圧電ア
クチュエータを提供することを目的とする。
外部電極間の絶縁層の高耐マイグレーション性を確保す
ると同時に耐電圧を更に高めることを可能とした圧電ア
クチュエータを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子と内部
電極とを交互に積層して一体に接合した積層体から成る
圧電動作部を有し、個々の上記圧電素子の積層方向両面
にそれぞれ逆極性の電位を印加するために、上記圧電動
作部の対向側面に、それぞれ上記積層方向に連続した一
対の外部電極を設け、上記内部電極を一層おきにその外
縁で上記一対の外部電極の一方と接続し他方と絶縁し、
この絶縁のために上記内部電極の外縁と上記外部電極と
の間に介在する絶縁層を備えた圧電アクチュエータにお
いて、上記絶縁層は上記内部電極の外縁に直接接合した
内層と上記外部電極に直接接合した外層から成り、上記
内層は上記内部電極の材料に対する耐マイグレーション
性が上記外層より高く、上記外層は弾性率が上記内層よ
り低いことを特徴とする。
めに、本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子と内部
電極とを交互に積層して一体に接合した積層体から成る
圧電動作部を有し、個々の上記圧電素子の積層方向両面
にそれぞれ逆極性の電位を印加するために、上記圧電動
作部の対向側面に、それぞれ上記積層方向に連続した一
対の外部電極を設け、上記内部電極を一層おきにその外
縁で上記一対の外部電極の一方と接続し他方と絶縁し、
この絶縁のために上記内部電極の外縁と上記外部電極と
の間に介在する絶縁層を備えた圧電アクチュエータにお
いて、上記絶縁層は上記内部電極の外縁に直接接合した
内層と上記外部電極に直接接合した外層から成り、上記
内層は上記内部電極の材料に対する耐マイグレーション
性が上記外層より高く、上記外層は弾性率が上記内層よ
り低いことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の圧電アクチュエータは、
内部電極／外部電極間の絶縁層が、内部電極の外縁に直
接接合した内層と外部電極に直接接合した外層とから成
り、内層は内部電極の材料に対する耐マイグレーション
性が外層より高く、外層は弾性率が内層より低い構成と
した。
内部電極／外部電極間の絶縁層が、内部電極の外縁に直
接接合した内層と外部電極に直接接合した外層とから成
り、内層は内部電極の材料に対する耐マイグレーション
性が外層より高く、外層は弾性率が内層より低い構成と
した。
【０００８】アクチュエータの動作電圧を高める際に、
内部電極材料のマイグレーションを防止するのに必要な
絶縁層の厚さは、絶縁層厚さ方向の耐電圧を確保するの
に必要な厚さのに比べて小さくてよい。すなわち、内層
は余り厚く形成しなくとも耐マイグレーション性を確保
できる。耐マイグレーション性を付与する内層の材料と
しては、ポリイミド樹脂が適している。
内部電極材料のマイグレーションを防止するのに必要な
絶縁層の厚さは、絶縁層厚さ方向の耐電圧を確保するの
に必要な厚さのに比べて小さくてよい。すなわち、内層
は余り厚く形成しなくとも耐マイグレーション性を確保
できる。耐マイグレーション性を付与する内層の材料と
しては、ポリイミド樹脂が適している。
【０００９】一方、絶縁層厚さ方向の耐電圧を確保する
ためには、内層よりも弾性率の低い外層を厚く形成す
る。キュア収縮が起きたときに、外層の低弾性率材料に
発生する内部応力は、内層の高弾性率材料に発生する内
部応力より小さい。したがって、従来のように内層と同
じ材料で絶縁層全体を形成したときに比べて、本発明に
より外層を低弾性率の材料で形成することにより、キュ
ア収縮により絶縁層に発生する内部応力を低減できるの
で、アクチュエータ作動中の絶縁層の剥離を防止できる
絶縁層厚さが増大し、絶縁層厚さ方向の耐電圧を高める
ことができる。
ためには、内層よりも弾性率の低い外層を厚く形成す
る。キュア収縮が起きたときに、外層の低弾性率材料に
発生する内部応力は、内層の高弾性率材料に発生する内
部応力より小さい。したがって、従来のように内層と同
じ材料で絶縁層全体を形成したときに比べて、本発明に
より外層を低弾性率の材料で形成することにより、キュ
ア収縮により絶縁層に発生する内部応力を低減できるの
で、アクチュエータ作動中の絶縁層の剥離を防止できる
絶縁層厚さが増大し、絶縁層厚さ方向の耐電圧を高める
ことができる。
【００１０】高耐マイグレーション性を備え高弾性率の
内層を形成するポリイミド樹脂に対して、低弾性率の外
層を形成する材料としては、ポリエーテルアミド樹脂、
シリコーン樹脂、テトラフルオロエチレン樹脂が適して
いる。以下に、実施例により本発明を更に詳細に説明す
る。
内層を形成するポリイミド樹脂に対して、低弾性率の外
層を形成する材料としては、ポリエーテルアミド樹脂、
シリコーン樹脂、テトラフルオロエチレン樹脂が適して
いる。以下に、実施例により本発明を更に詳細に説明す
る。
【００１１】
【実施例】ＰＺＴ圧電素子（直径φ１４mm、厚さ０．５
mm）と、Ａｇ内部電極およびＡｇ外部電極を備えた図１
の構造の圧電動作部を有する圧電アクチュエータを作製
した。ただし、内部電極２と外部電極５との間に介在さ
せる絶縁層３は、表１に示したように従来の１層構造の
ものまたは本発明による２層構造のものを形成した。
mm）と、Ａｇ内部電極およびＡｇ外部電極を備えた図１
の構造の圧電動作部を有する圧電アクチュエータを作製
した。ただし、内部電極２と外部電極５との間に介在さ
せる絶縁層３は、表１に示したように従来の１層構造の
ものまたは本発明による２層構造のものを形成した。
【００１２】本発明による２層構造の絶縁層は、図２に
示したように絶縁層３が内部電極に直接接合した内層３
１と外部電極に直接接合した外層３２とから成る。本発
明による２層構造の絶縁層を有する圧電アクチュエータ
は下記の手順で作製した。先ず、圧電素子１と内部電極
２の積層体の側面に、内部電極２の外縁とその両側のＰ
ＺＴ素子表面の一部を覆うようにポリイミドを塗布し、
８０℃で乾燥した後、３４０℃でキュアすることによ
り、厚さ１０μｍのポリイミド樹脂から成る内層３１を
形成した。
示したように絶縁層３が内部電極に直接接合した内層３
１と外部電極に直接接合した外層３２とから成る。本発
明による２層構造の絶縁層を有する圧電アクチュエータ
は下記の手順で作製した。先ず、圧電素子１と内部電極
２の積層体の側面に、内部電極２の外縁とその両側のＰ
ＺＴ素子表面の一部を覆うようにポリイミドを塗布し、
８０℃で乾燥した後、３４０℃でキュアすることによ
り、厚さ１０μｍのポリイミド樹脂から成る内層３１を
形成した。
【００１３】次いで、上記の内層３１全体を覆うように
ポリエーテルアミドを塗布し、８０℃で乾燥した後、１
８０℃でキュアすることにより、厚さ２０μｍのポリエ
ーテルアミド樹脂から成る外層３２を形成した。その
後、Ａｇペーストの塗布・乾燥・焼き付けにより、外部
電極５を形成した。
ポリエーテルアミドを塗布し、８０℃で乾燥した後、１
８０℃でキュアすることにより、厚さ２０μｍのポリエ
ーテルアミド樹脂から成る外層３２を形成した。その
後、Ａｇペーストの塗布・乾燥・焼き付けにより、外部
電極５を形成した。
【００１４】従来の１層構造の絶縁層を有する圧電アク
チュエータは下記の手順で形成した。圧電素子１と内部
電極２の積層体の側面に、内部電極２の外縁とその両側
のＰＺＴ素子表面の一部を覆うようにポリイミドを塗布
し、８０℃で乾燥した後、３４０℃でキュアすることに
より、厚さ１０μｍまたは２０μｍのポリイミド樹脂か
ら成る絶縁層３を形成した。また、ポリイミドの代わり
にポリエーテルアミドを塗布し、８０℃で乾燥した後、
１８０℃でキュアすることにより、厚さ２０μｍのポリ
エーテルアミド樹脂から成る絶縁層３を形成した。
チュエータは下記の手順で形成した。圧電素子１と内部
電極２の積層体の側面に、内部電極２の外縁とその両側
のＰＺＴ素子表面の一部を覆うようにポリイミドを塗布
し、８０℃で乾燥した後、３４０℃でキュアすることに
より、厚さ１０μｍまたは２０μｍのポリイミド樹脂か
ら成る絶縁層３を形成した。また、ポリイミドの代わり
にポリエーテルアミドを塗布し、８０℃で乾燥した後、
１８０℃でキュアすることにより、厚さ２０μｍのポリ
エーテルアミド樹脂から成る絶縁層３を形成した。
【００１５】その後、Ａｇペーストの塗布・乾燥・焼き
付けにより、外部電極５を形成した。作製した各圧電ア
クチュエータについて下記条件で高温作動試験を行っ
た。 〔高温作動試験条件〕 雰囲気 ：１２０℃ 印加電圧：−２００Ｖ〜＋４００Ｖ 周波数 ：１００Ｈｚ 〔評価項目〕ショートが発生した作動回数。
付けにより、外部電極５を形成した。作製した各圧電ア
クチュエータについて下記条件で高温作動試験を行っ
た。 〔高温作動試験条件〕 雰囲気 ：１２０℃ 印加電圧：−２００Ｖ〜＋４００Ｖ 周波数 ：１００Ｈｚ 〔評価項目〕ショートが発生した作動回数。
【００１６】試験結果も表１にまとめて示す。
【００１７】
【表１】 表１に示したように、本発明により厚さ１０μｍのポリ
イミド樹脂から成る内層と厚さ２０μｍのポリエーテル
アミドから成る外層の２層で構成した絶縁層を備えた圧
電アクチュエータは、１×１０8 回の作動回数でもショ
ートは発生しなかった。
イミド樹脂から成る内層と厚さ２０μｍのポリエーテル
アミドから成る外層の２層で構成した絶縁層を備えた圧
電アクチュエータは、１×１０8 回の作動回数でもショ
ートは発生しなかった。
【００１８】これに対して、従来の１層構造の絶縁層を
備えた圧電アクチュエータは、いずれもショートが発生
した。すなわち、従来例１は、厚さ１０μｍのポリイミ
ド樹脂から成る１層構造の絶縁層を形成したが、絶縁層
厚さの不足により耐電圧が不足したため、作動回数２×
１０7 回で、内部電極の外縁から絶縁層を厚さ方向に貫
通して外部電極に至る経路でショートが発生した。
備えた圧電アクチュエータは、いずれもショートが発生
した。すなわち、従来例１は、厚さ１０μｍのポリイミ
ド樹脂から成る１層構造の絶縁層を形成したが、絶縁層
厚さの不足により耐電圧が不足したため、作動回数２×
１０7 回で、内部電極の外縁から絶縁層を厚さ方向に貫
通して外部電極に至る経路でショートが発生した。
【００１９】従来例２は、厚さ２０μｍのポリイミド樹
脂から成る１層構造の絶縁層を形成したが、ポリイミド
のキュア収縮時に大きな内部応力が発生したため、作動
回数３×１０7 回で、絶縁層と内部電極外縁および両隣
の圧電素子との界面が剥離し、この剥離箇所を経路とし
てショートが発生した。従来例３は、厚さ２０μｍのポ
リエーテルアミドから成る１層構造の絶縁層を形成した
が、ポリエーテルアミドの耐マイグレーション性が不足
したため、内部電極材料であるＡｇのマイグレーション
が起きて内部電極外縁から絶縁層を厚さ方向に貫通して
外部電極に至る経路でショートが発生した。
脂から成る１層構造の絶縁層を形成したが、ポリイミド
のキュア収縮時に大きな内部応力が発生したため、作動
回数３×１０7 回で、絶縁層と内部電極外縁および両隣
の圧電素子との界面が剥離し、この剥離箇所を経路とし
てショートが発生した。従来例３は、厚さ２０μｍのポ
リエーテルアミドから成る１層構造の絶縁層を形成した
が、ポリエーテルアミドの耐マイグレーション性が不足
したため、内部電極材料であるＡｇのマイグレーション
が起きて内部電極外縁から絶縁層を厚さ方向に貫通して
外部電極に至る経路でショートが発生した。
【００２０】なお、比較例として、本発明によるポリイ
ミド内層／ポリエーテルアミド外層の組み合わせに対し
て、層の構成材料の順序を逆転させたポリエーテルアミ
ド内層／ポリイミド外層という組み合わせも想定でき
る。しかし実際には、キュア温度の高いポリイミドを先
にキュアし、その後でキュア温度の低いポリエーテルア
ミドをキュアする順序のみが実行可能であり、その逆は
実行できない。
ミド内層／ポリエーテルアミド外層の組み合わせに対し
て、層の構成材料の順序を逆転させたポリエーテルアミ
ド内層／ポリイミド外層という組み合わせも想定でき
る。しかし実際には、キュア温度の高いポリイミドを先
にキュアし、その後でキュア温度の低いポリエーテルア
ミドをキュアする順序のみが実行可能であり、その逆は
実行できない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内部電極／外部電極間の絶縁層の高耐マイグレーション
性を確保すると同時に耐電圧を更に高めることを可能と
した圧電アクチュエータが提供される。
内部電極／外部電極間の絶縁層の高耐マイグレーション
性を確保すると同時に耐電圧を更に高めることを可能と
した圧電アクチュエータが提供される。
【図１】図１は、圧電アクチュエータの圧電動作部を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】図２は、本発明による圧電アクチュエータの内
部電極／外部電極間に介在させる２層構造の絶縁層とそ
の周辺を拡大して示す断面図である。
部電極／外部電極間に介在させる２層構造の絶縁層とそ
の周辺を拡大して示す断面図である。
１…圧電素子 ２…内部電極（または内部電極形成用導電ペースト） ３…絶縁層 31…絶縁層３の内層 32…絶縁層３の外層 ５…外部電極 １０…圧電動作部
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電素子と内部電極とを交互に積層して
一体に接合した積層体から成る圧電動作部を有し、個々
の上記圧電素子の積層方向両面にそれぞれ逆極性の電位
を印加するために、上記圧電動作部の対向側面に、それ
ぞれ上記積層方向に連続した一対の外部電極を設け、上
記内部電極を一層おきにその外縁で上記一対の外部電極
の一方と接続し他方と絶縁し、この絶縁のために上記内
部電極の外縁と上記外部電極との間に介在する絶縁層を
備えた圧電アクチュエータにおいて、 上記絶縁層は上記内部電極の外縁に直接接合した内層と
上記外部電極に直接接合した外層とから成り、上記内層
は上記内部電極の材料に対する耐マイグレーション性が
上記外層より高く、上記外層は弾性率が上記内層より低
いことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記高弾性率の層がポリイミド樹脂から
成り、前記低弾性率の層がポリエーテルアミド樹脂、シ
リコーン樹脂およびテトラフルオロエチレン樹脂から成
る群から選択した１種から成ることを特徴とする請求項
１記載の圧電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134405A JP2000323762A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11134405A JP2000323762A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 圧電アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000323762A true JP2000323762A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15127626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11134405A Pending JP2000323762A (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000323762A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005086110A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
| JP2019514198A (ja) * | 2016-03-16 | 2019-05-30 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | 圧電アクチュエータ素子および圧電アクチュエータ素子を製造する製造方法 |
| JP2022102224A (ja) * | 2020-12-25 | 2022-07-07 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
-
1999
- 1999-05-14 JP JP11134405A patent/JP2000323762A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005086110A (ja) * | 2003-09-10 | 2005-03-31 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
| JP2019514198A (ja) * | 2016-03-16 | 2019-05-30 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | 圧電アクチュエータ素子および圧電アクチュエータ素子を製造する製造方法 |
| JP2022102224A (ja) * | 2020-12-25 | 2022-07-07 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
| JP7489313B2 (ja) | 2020-12-25 | 2024-05-23 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004526328A (ja) | 電気的エレメント用のパシベーション材料および多層構造の圧電エレメント | |
| US9698333B2 (en) | Piezoelectric element unit and driving device | |
| JP3724262B2 (ja) | 熱電素子モジュール | |
| JP3668072B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2000323762A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| JP2006351602A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ素子 | |
| JPH05218519A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP3894680B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3881474B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2707782B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
| US20150048720A1 (en) | Piezoelectric actuator module and method of manufacturing the same | |
| JPH04279070A (ja) | 積層型セラミック素子 | |
| JP2000270568A (ja) | 積層型圧電セラミック | |
| JP6906506B2 (ja) | 電気セラミック構成素子、とりわけ多層圧電アクチュエータ | |
| JPH0422115A (ja) | セラミック電子部品及びその製造方法 | |
| JPH01226186A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH02250678A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP3358669B2 (ja) | 積層型圧電セラミックアクチュエータ | |
| JPH0496285A (ja) | 積層型圧電体 | |
| JPH09162451A (ja) | 圧電積層体 | |
| JP2004063886A (ja) | 積層型圧電セラミック素子 | |
| JPH04316376A (ja) | 積層型セラミック素子 | |
| JPH07162049A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH05175569A (ja) | 圧電バイモルフ素子の製造方法 | |
| JPH07169999A (ja) | 圧電アクチュエータ |