JP2000331576A - 真空開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベローズを不要にし、コンパクトでかつ可動
電極を長距離かつ高速に駆動可能な真空開閉装置を得
る。 【解決手段】 可動電極５に連結した可動電極棒４に反
発板２が固定され、反発板２との間で反発力を発生させ
るパルス駆動コイル３ａ、３ｂが真空容器１１０内部に
固定されている。また、開極状態では開極方向に、閉極
状態では閉極方向に反発力よりも小さな力で保持する接
圧開極ばね１０９が設けられている。さらに、反発板が
真空容器に固定され、パルス駆動コイルが可動電極棒４
に固定されてもよい。パルス駆動コイルは、真空容器の
外部に設けてもよい。反発力よりも小さな力で開極状態
に保持する開極ばね１１７を設けてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、接離自在な電極
を有し、この電極が接触、隔離をすることによって、閉
極、開極の動作が行われる開閉装置に関するもので、特
に、高速真空スイッチとして用いられる真空開閉装置の
構造の簡易化、性能の向上を図るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空開閉装置の例として、特開平
９−３２６２２２号公報に示された開閉装置が知られて
いる。図５は特開平９−３２６２２２号公報に示されて
いる従来の開閉装置の構造を示す断面図である。図にお
いて、図５（ａ）は開閉装置の閉極状態の図であり、一
方図５（ｂ）は開閉装置の開極状態の図である。１は通
常の真空スイッチ管であり、真空スイッチ管１は内部に
固定電極６と可動電極５が配置され、真空容器１０で覆
われ内部が真空状態に維持されている。可動電極５は真
空スイッチ管１の外部の駆動部分であり、反発部を構成
する反発板２と可動電極棒４によって結合されている。
可動電極棒４は真空スイッチ管１の真空容器壁とはベロ
ーズ８を介して結合し、可動電極棒４が駆動されても真
空スイッチ管１は内部の真空状態が保たれるように密封
されている。３ａは反発板２に電流を誘起する開極用パ
ルス駆動コイル、３ｂは反発板２に電流を誘起する閉極
用パルス駆動コイル、７ａは固定電極６と電気的に接続
される固定電極側端子、７ｂは可動電極５と電気的に接
続される可動電極側端子、９ａおよび９ｂは接圧開極ば
ねである。

【０００３】次に動作について説明する。閉極状態では
両電極５、６は接圧開極ばね９ａ、９ｂによって閉極す
る方向に接圧がかけられている。閉極状態から開極状態
にするために、まず開極用パルス駆動コイル３ａにパル
ス電流を流すとそれによって作られるパルス磁界が対向
する反発板２にも作られることにより、反発板２にはこ
の磁界を減少させる方向に渦電流が発生する。このた
め、この渦電流と開極用パルス駆動コイル３ａの電流が
互いに反発する向きの力を受けて反発板２は、図中下方
向（接圧開極ばね側）に駆動される。反発板２は可動電
極棒４を介して可動電極５と機械的に接続されているの
で、反発板２が下方に動くと共に可動電極５も接圧開極
ばね９ａ、９ｂの図中上向き（真空スイッチ管側）の力
に抗して下方に駆動され開極状態になる。このとき、可
動電極棒４も下方に駆動されるが、この可動電極棒４に
ベローズ８の一端に固定されているのでベローズ８の一
端を下方に引くことになる。ベローズ８の他端は真空容
器１０に固定されているので、ベローズ８は可動電極棒
４の動きと共に縮むことになる。一方、開極状態から閉
極状態にするときは、同様にしてベローズ８は伸びるこ
とになる。

【０００４】このような開極、閉極動作に伴うベローズ
８の伸縮によりベローズ８は弾性疲労を受けることにな
る。通常、真空スイッチ管１の開閉極速度０．５から２
ｍ／ｓ程度であるから通常の開閉極動作寿命は１万回程
度である。しかし、可動電極５や可動電極棒４の駆動速
度が速くあるいは駆動距離が大きいとベローズ８はその
伸縮により寿命は大幅に短くなり破れて真空スイッチ管
１の真空漏れを引き起こすことになる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空開閉装置で
は、可動電極を真空容器の外部から駆動するので、真空
を保ちかつ可動電極を外部へ機械的に取り出すためにベ
ローズを用いてきた。しかしながら、可動電極を高速に
または長距離駆動すると寿命が極端に低下してしまい可
動電極の駆動速度や駆動距離に限界があった。この発明
は、このような課題を解決するためになされたもので、
ベローズそのものを不要にした簡単な構成により、可動
電極を長距離かつ高速に駆動可能な真空開閉装置を得る
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る真空開閉
装置は、内部がほぼ真空状態に維持された真空容器と、
ともに真空容器内部に設けられ真空容器に固定された固
定電極および固定電極と接離可能に移動できる可動電極
からなる一対の電極と、真空容器内部に設けられ真空容
器および可動電極のうちの一方に固定され導電体からな
る反発部と、真空容器および可動電極のうちの他方に固
定され反発部に電流を誘起させ渦電流を流し反発部との
間で一対の電極を開極あるいは閉極する方向に反発力を
発生する駆動コイルとを備えたものである。

【０００７】また、この発明に係る真空開閉装置は、反
発部が可動電極に固定され、駆動コイルが真空容器内部
に設けられ、真空容器に固定され、電極の開閉極方向
に、反発部を挟持して少なくとも２以上設けられたもの
である。

【０００８】また、この発明に係る真空開閉装置は、駆
動コイルが真空容器内部に設けられ可動電極に固定さ
れ、反発部が真空容器に固定され、開閉極方向に、駆動
コイルを挟持して少なくとも２以上設けられたものであ
る。

【０００９】また、この発明に係る真空開閉装置は、駆
動コイルが真空容器外部に設けられ真空容器に固定さ
れ、反発部が可動電極に固定され、開閉極方向に、駆動
コイルを挟持して少なくとも２以上設けられたものであ
る。

【００１０】また、この発明に係る真空開閉装置は、真
空容器内部に設けられ、電極を開極状態では開極方向
に、閉極状態では閉極方向に、反発力よりも小さな力
で、保持するばね機構を備えたものである。

【００１１】また、この発明に係る真空開閉装置は、真
空容器内部に設けられ、反発力よりも小さな力で電極を
開極状態に保持する弾性体を備えたものである。

【００１２】また、この発明に係る真空開閉装置は、反
発部が可動電極に固定され、駆動コイルが開閉極方向に
駆動コイルと対向した真空容器外部に設けられるととも
に、真空容器内に設けられ真空容器に固定され、反発部
との間で弾性体を挟持する弾性体押さえ板を備えたもの
である。

【００１３】

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態である真空開閉装置の構造を示す断面図で
ある。図１（ａ）は真空開閉装置の閉極状態の図であ
り、図１（ｂ）は開閉装置の開極状態の図である。以降
図において、従来例である図５と同一もしくは同等の部
材および部位には、同一符号を付し、重複する説明は省
略する。

【００１４】中空円筒の真空容器１１０は、内部がほぼ
真空状態に維持されている。真空容器１１０の内部に
は、円筒棒状の固定電極６が設けられ、一端に円板状の
大径部を有し、他端が真空容器１１０の端面１１０ａに
固定されている。固定電極６は、真空容器１１０の外部
に設けられた固定電極側端子７ａと電気的に接続されて
いる。固定電極６の大径部と対向して、真空容器１１０
の内部には固定電極６と接離可能に移動できる円板状の
可動電極５が設けられ、固定電極６とともに一対の電極
を構成している。可動電極５は略円筒棒状の可動電極棒
４の一端に固着され一体となっている。可動電極棒４の
他端の外周部には、例えば皿ばねからなる接圧開極ばね
９の内周部が固着されている。一方、接圧開極ばね９の
外周部は真空容器１１０に固着されている。

【００１５】また、可動電極棒４の中央部付近には、導
電体からなる反発部を構成する円板状の反発板２が固着
されている。反発板２を挟持して、真空容器１１０の内
部には、反発板２に電流を誘起する開極用パルス駆動コ
イル３ａおよび閉極用パルス駆動コイル３ｂが所定の間
隔をあけて設けられている。さらに、可動電極棒４に
は、開極用パルス駆動コイル３ａに近接して中空円板状
の絶縁部材１１３が固着され、その可動電極５側には、
可動自在で可動電極５と真空容器１１０の外部に設けら
れた可動電極側端子とを電気的に接続するシャント１１
１が設けられている。

【００１６】開極用パルス駆動コイル３ａおよび閉極用
パルス駆動コイル３ｂは、反発板２に電流を誘起させ渦
電流を流し、反発板２との間で一対の電極５、６を開極
あるいは閉極する方向に反発力を発生する。真空容器１
１０の内部の可動電極棒４の他端に対向する位置には、
ストッパ１１４が真空容器１１０に固着され設けられて
いる。可動電極棒４がこのストッパ１１４に当接した状
態が図１（ｂ）の開極状態であり、図１（ａ）の閉極状
態での可動電極棒４とストッパ１１４との距離が可動電
極５の駆動距離となる。

【００１７】真空容器１１０内には固定電極６および可
動電極５から発生する金属蒸気が真空容器１１０内の真
空壁１１０ｂに付着しないようするために、また電界を
平等化するために、例えばステンレスで作られた略薄肉
円筒状のシールド１１５が設けられている。また、開極
用パルス駆動コイル３ａに外部からパルス電流を供給す
るための電流リード１１２ａ、１１２ｂおよび閉極用パ
ルス駆動コイル３ｂに外部からパルス電流を供給するた
めの電流リード１１２ｃ、１１２ｄが真空容器１１０を
貫通して設けられている。

【００１８】接圧開極ばね１０９は非線形ばね特性を有
する。すなわち、図１（ａ）の閉極状態から図中下向き
（ストッパ１１４側）に接圧開極ばね９が押し下げられ
るに従って接圧開極ばね１０９の上向きの力（固定電極
６側）は弱くなり一定距離押し下げられると力は働かな
くなりさらに押し下げられると逆に下向き（ストッパ１
１４側）の力を発生する。一方、図１（ｂ）の開極状態
から図中上向きに接圧開極ばね９が押し上げるに従って
接圧開極ばね１０９の下向きの力（固定電極６側）は弱
くなり一定距離押し上げられると力は働かなくなりさら
に押し上げられると逆に上向きの力を発生する。また、
接圧開極ばね１０９の保持力と開極用パルス駆動コイル
３ａおよび反発板２あるいは閉極用パルス駆動コイル３
ｂおよび反発板２により発生する反発力との関係では、
接圧開極ばね１０９は、図１（ｂ）の開極状態では開極
方向に、図１（ａ）の閉極状態では閉極方向に、反発力
よりも小さな力で可動電極５を保持する保持力を備えた
ばね機構を構成している。したがって、可動電極５と連
結された機械的駆動部分を真空容器１１０内部に収め、
外部から電気または磁気エネルギーを与えるだけで可動
電極５を真空容器１１０の外部と非接触状態で駆動する
ことになる

【００１９】次に動作について説明する。図１（ａ）閉
極状態では接圧開極ばね１０９によって両電極の間に必
要な接触圧力を発生しているので、通常電流は固定電極
側端子７ａから固定電極６、可動電極５、可動電極棒
４、シャント１１１を介して可動電極側端子７ｂまでの
間を流れている。閉極状態から開極状態へ変化させるす
なわち開極させるときは、電流リード１１２ａ、１１２
ｂを介して開極用パルス駆動コイル３ａにパルス電流を
流してそのときに発生する反発板２に流れる渦電流によ
る電磁反発力を発生させて反発板２を図中下方に駆動し
ようとする。

【００２０】電磁反発力が接圧開極ばね１０９の力より
大きくなると反発板２はそれが固定されている可動電極
棒４を介して可動電極５を下向きに駆動することによっ
て開極し始める。接圧開極ばね１０９は非線形ばね特性
を持っているので、図中下向きに接圧開極ばね９が押し
下げられるにしたがって上向きの力は弱くなり一定距離
押し下げられると力は働かなくなりさらに押し下げられ
ると逆に下向きの力を発生する。このため、可動電極５
は一定以上の距離、下向きに駆動されると電磁反発力と
バネ力によって更に押し下げられ可動電極棒４がストッ
パ１１４によって止められるまで移動し電極は図１
（ｂ）の開極状態となる。

【００２１】この実施形態に係る真空開閉装置は以上の
ように、可動電極５と連結された可動電極棒４、反発板
２等の機械的な可動部分を真空容器１１０内に収め、外
部から電気または磁気エネルギーを与えるだけで可動電
極を非接触で駆動することになるようにコンパクトに構
成されている。また、図５のベローズ８がないので、可
動電極５を高速で長距離駆動しても寿命が大幅に短くな
ることはなく、高速かつ多頻度の開閉動作が可能な真空
開閉装置を得られる。また、反発板に比べ重量が重い開
極用パルス駆動コイル３ａおよび閉極用パルス駆動コイ
ル３ｂは真空容器１１０に固定され、軽量な反発板２が
可動電極棒４とともに駆動するので、可動電極棒４の加
速力を高められ、可動電極５を高速に駆動できる。

【００２２】なお、反発板２の両側に設けられた開極用
パルス駆動コイル３ａおよび閉極用パルス駆動コイル３
ｂは、それぞれ１つずつ設けることには限定されず、開
極、閉極に必要な反発力に応じて複数設けてもよい。

【００２３】実施の形態２．図２は、この発明の別の実
施の形態である真空開閉装置の構造を示す断面図であ
る。図２（ａ）は真空開閉装置の閉極状態の図であり、
図２（ｂ）は真空開閉装置の開極状態の図である。パル
ス駆動コイル３が真空容器１１０内部に設けられ、可動
電極５に固着された可動電極棒４に固定されている。略
中空円板状の導電体からなる開極用反発板２ａおよび閉
極用反発板２ｂが、真空容器１１０内部に固定され、開
閉極方向に、パルス駆動コイル３を挟持して設けられて
いる点が図１と異なる。図２（ａ）の閉極状態では、開
極用反発板２ａとパルス駆動コイル３とが接近し、図２
（ｂ）の開極状態では、閉極用反発板２ｂとパルス駆動
コイル３とが接近するように構成されている。

【００２４】次に動作について説明する。図２（ａ）閉
極状態で、パルス駆動コイル３にパルス電流を流すと、
開極用反発板２ａおよび閉極用反発板２ｂに渦電流が流
れ、電磁反発力が発生する。この反発力は、パルス駆動
コイル３と開極用反発板２ａあるいは閉極用反発板２ｂ
との間のほぼ距離の３乗に反比例する。したがって、パ
ルス駆動コイル３と閉極用反発板２ｂ間の上向きの反発
力は無視できるほどに小さいので、パルス駆動コイル３
と開極用反発板２ａ間の下向きの反発力が接圧開極ばね
１０９の保持力に上回り可動電極５は下方に駆動され
る。図２（ｂ）開極状態では、パルス駆動コイル３にパ
ルス電流を流すと、パルス駆動コイル３が閉極用反発板
２ｂと接近しているので、ちょうど開極動作とは逆の動
きをし閉極動作がなされる。

【００２５】この実施形態に係る真空開閉装置は以上の
ように構成されているので、パルス駆動コイル３は１つ
のみでよく、安価でかつ小型の２つの反発板２ａ、２ｂ
を使用することで実施の形態１と同様な効果をもつ安価
で軽量な真空開閉装置を得られる。

【００２６】なお、パルス駆動コイル３の両側に設けら
れた開極用反発板２ａおよび閉極用反発板２ｂは、それ
ぞれ１つずつ設けることには限定されず、開極、閉極に
必要な反発力に応じて複数設けてもよい。

【００２７】実施の形態３．図３は、この発明の別の実
施の形態である真空開閉装置の構造を示す断面図であ
る。図３（ａ）は真空開閉装置の閉極状態の図であり、
図３（ｂ）は真空開閉装置の開極状態の図である。パル
ス駆動コイル３がくびれ部２１０ａを備えた真空容器２
１０外部に設けられ、真空容器２１０に固定されるとと
もに、開極用反発板２ａおよび閉極用反発板２ｂが可動
電極棒４に固定され、開閉極方向にパルス駆動コイル３
を挟持して可動電極棒４に固定されている点が図１と異
なる。図３（ａ）の閉極状態では、開極用反発板２ａと
パルス駆動コイル３とが接近し、図３（ｂ）の開極状態
では、閉極用反発板２ｂとパルス駆動コイル３とが接近
するように構成されているので、実施の形態２と同様な
反発力が発生し、開極用反発板２ａおよび閉極用反発板
２ｂの動きに連動して可動電極５が動き、電極を開閉極
する。

【００２８】このように、この実施形態に係る真空開閉
装置はパルス駆動コイル３が真空容器２１０外部に設け
られている。真空容器２１０は通常真空状態を封じ切り
で長期間保つために４００℃程度のベーキングを行う。
そのため、パルス駆動コイル３を真空中に配置する場
合、パルス駆動コイルの絶縁材として有機絶縁物を使用
できず無機絶縁物を使用する必要があった。しかしなが
ら、このように構成すればパルス駆動コイル３は真空容
器２１０の外部にあるため、安価で信頼性に優れた有機
絶縁物を使用することができるので、高速駆動可能でか
つ安価で信頼性の高い真空開閉装置をを得られる。

【００２９】実施の形態４．図４は、この発明の別の実
施の形態である真空開閉装置の構造を示す断面図であ
る。図４（ａ）は真空開閉装置の閉極状態の図であり、
図４（ｂ）は真空開閉装置の開極状態の図である。パル
ス駆動コイル３により発生する反発力を電極の閉極時の
みに使用し、電極の開極は開極ばね１１７の弾性力で行
う点が上述した実施の形態と異なる。

【００３０】可動電極棒４の可動電極５が固着した端面
と反対側の端面には円板状の導電体からなる閉極用反発
板２ｃが固着されている。真空容器１１０の底面の壁面
を介して真空容器１１０の外部には、開閉極方向に閉極
用反発板２ｃと対向してパルス駆動コイル３が設けら
れ、真空容器１１０に固定されている。真空容器１１０
の内部には、可動電極棒４に固着された絶縁部材１１３
と閉極用反発板２ｃとの間に位置するように弾性体押さ
え板である中空円板状のばね固定板１１６が真空容器１
１０の内壁に固着されている。ばね固定板１１６と閉極
用反発板２ｃとの間には、一端がばね固定板１１６に固
定され、他端が閉極用反発板２ｃに固定された弾性体で
あるコイルスプリングからなる開極ばね１１７が設けら
れている。開極ばね１１７は、図４（ａ）の閉極状態で
閉極用反発板２ｃとパルス駆動コイル３とにより発生す
る反発力よりも小さな力で電極を開極状態に保持してい
る。

【００３１】次に動作について説明する。図４（ａ）閉
極状態で、パルス駆動コイル３にパルス電流を流すと、
閉極用反発板２ｃに渦電流が流れ上向きに電磁反発力が
発生する。この反発力は開極ばね１１７の保持力を上回
り可動電極５は上方に駆動される。閉極後は両電極の衝
突による反発力と開極ばね１１７の弾性力により自動的
に開極する。

【００３２】この実施形態に係る真空開閉装置は以上の
ように構成されているので、可動電極をリンク機構など
を介することなく直接に高速に駆動できるので、閉極操
作時の動作時間、動作速度等ばらつきであるジッターを
少なくすることができる。さらにパルス駆動コイル３は
真空容器１１０の外部に設けられているので、絶縁材と
して安価で信頼性に優れた有機絶縁物を使用することが
できるので、高速駆動可能でジッターが少なくかつ大電
流を投入することが可能な真空開閉装置を得られる。

【００３３】

【発明の効果】この発明に係る真空開閉装置によれば、
内部がほぼ真空状態に維持された真空容器と、ともに真
空容器内部に設けられ真空容器に固定された固定電極お
よび固定電極と接離可能に移動できる可動電極からなる
一対の電極と、真空容器内部に設けられ真空容器および
可動電極のうちの一方に固定され導電体からなる反発部
と、真空容器および可動電極のうちの他方に固定され反
発部に電流を誘起させ渦電流を流し反発部との間で一対
の電極を開極あるいは閉極する方向に反発力を発生する
駆動コイルとを備えているので、可動部分はすべて同一
真空容器内部にあり、可動電極を外部へ機械的に取り出
すためのベローズが不要で、可動電極を長距離かつ高速
に駆動可能な真空開閉装置を得られる。

【００３４】また、この発明に係る真空開閉装置によれ
ば、反発部が可動電極に固定され、駆動コイルが真空容
器内部に設けられ、真空容器に固定され、電極の開閉極
方向に、反発部を挟持して少なくとも２以上設けられい
るので、反発部に比べ重量が重い駆動コイルは真空容器
に固定され、軽量な反発部が可動部分にあるので、可動
部分の加速力を高められ、電極を高速に駆動できる真空
開閉装置を得られる。また、開極時、閉極時とも電磁反
発力を用いた高速の開閉極動作が可能な真空開閉装置を
得られる。

【００３５】また、この発明に係る真空開閉装置によれ
ば、駆動コイルが真空容器内部に設けられ可動電極に固
定され、反発部が真空容器に固定され、開閉極方向に、
駆動コイルを挟持して少なくとも２以上設けられいるの
で、１つの駆動コイルで開極、閉極の２つの動作が可能
であり、小型で安価な真空開閉装置が得られるととも
に、この真空開閉装置に供給するパルス電源も単純に構
成できる。

【００３６】また、この発明に係る真空開閉装置によれ
ば、駆動コイルが真空容器外部に設けられ真空容器に固
定され、反発部が可動電極に固定され、開閉極方向に、
駆動コイルを挟持して少なくとも２以上設けられている
ので、真空容器外部にある駆動コイルの絶縁材として安
価で信頼性に優れた有機絶縁物を使用することができ、
高速駆動可能でかつ安価で信頼性の高い真空開閉装置を
得られる。

【００３７】また、この発明に係る真空開閉装置は、真
空容器内部に設けられ、電極を開極状態では開極方向
に、閉極状態では閉極方向に、反発力よりも小さな力
で、保持するばね機構を備えているので、開極状態およ
び閉極状態を維持するために駆動コイルにパルス電流を
供給する必要がない。

【００３８】また、この発明に係る真空開閉装置によれ
ば、真空容器内部に設けられ、反発力よりも小さな力で
電極を開極状態に保持する弾性体を備えているので、常
時は弾性体により自然に開極状態に保持する単純な構造
の真空開閉装置を得られる。

【００３９】また、この発明に係る真空開閉装置は、反
発部が可動電極に固定され、駆動コイルが開閉極方向に
駆動コイルと対向した真空容器外部に設けられるととも
に、真空容器内に設けられ真空容器に固定され、反発部
との間で弾性体を挟持する弾性体押さえ板を備えてい
る。可動部分はすべて真空容器内部にあり、駆動コイル
は真空容器の外部に設けられているので、駆動コイルの
絶縁材として安価で信頼性に優れた有機絶縁物を使用す
ることができるとともに、高速駆動可能でジッターが少
なくかつ大電流を投入することが可能な真空開閉装置を
得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１の真空開閉装置の断
面図であり、図１（ａ）は閉極状態、図１（ｂ）は開極
状態を示す。

【図２】 この発明の実施の形態２の真空開閉装置の断
面図であり、図２（ａ）は閉極状態、図２（ｂ）は開極
状態を示す。

【図３】 この発明の実施の形態３の真空開閉装置の断
面図であり、図３（ａ）は閉極状態、図３（ｂ）は開極
状態を示す。

【図４】 この発明の実施の形態４の真空開閉装置の断
面図であり、図４（ａ）は閉極状態、図４（ｂ）は開極
状態を示す。

【図５】 従来の開閉装置の断面図であり、図５（ａ）
は閉極状態、図５（ｂ）は開極状態を示す。

【符号の説明】

２ 反発板（反発部）、２ａ 開極用反発板（反発
部）、２ｂ 閉極用反発板（反発部）、２ｃ 閉極用反
発板（反発部）、３ パルス駆動コイル（駆動コイ
ル）、３ａ 開極用パルス駆動コイル（駆動コイル）、
３ｂ 閉極用パルス駆動コイル（駆動コイル）、５ 可
動電極、６ 固定電極、１０９ 接圧開極ばね（ばね機
構）、１１０、２１０ 真空容器、１１６ ばね固定板
（弾性体押さえ板）、１１７ 開極ばね（弾性体）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 知恵 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5G028 AA01 AA08 DB02 DB07

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部がほぼ真空状態に維持された真空容
   器と、 ともに上記真空容器内部に設けられ、上記真空容器に固
   定された固定電極および上記固定電極と接離可能に移動
   できる可動電極からなる一対の電極と、 上記真空容器内部に設けられ、上記真空容器および上記
   可動電極のうちの一方に固定され、導電体からなる反発
   部と、 上記真空容器および上記可動電極のうちの他方に固定さ
   れ、上記反発部に電流を誘起させ渦電流を流し、上記反
   発部との間で上記一対の電極を開極あるいは閉極する方
   向に反発力を発生する駆動コイルとを備えた真空開閉装
   置。
2. 【請求項２】 上記反発部が上記可動電極に固定され、 上記駆動コイルが、上記真空容器内部に設けられ、上記
   真空容器に固定され、上記電極の上記開閉極方向に、上
   記反発部を挟持して少なくとも２以上設けられたことを
   特徴とする請求項１記載の真空開閉装置。
3. 【請求項３】 上記駆動コイルが、上記真空容器内部に
   設けられ、上記可動電極に固定され、 上記反発部が、上記真空容器に固定され、上記開閉極方
   向に、上記駆動コイルを挟持して少なくとも２以上設け
   られたことを特徴とする請求項１記載の真空開閉装置。
4. 【請求項４】 上記駆動コイルが、上記真空容器外部に
   設けられ、上記真空容器に固定され、 上記反発部が、上記可動電極に固定され、上記開閉極方
   向に、上記駆動コイルを挟持して少なくとも２以上設け
   られたことを特徴とする請求項１記載の真空開閉装置。
5. 【請求項５】上記真空容器内部に設けられ、 上記電極を上記開極状態では開極方向に、上記閉極状態
   では閉極方向に、上記反発力よりも小さな力で、保持す
   るばね機構を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の
   いずれか記載の真空開閉装置。
6. 【請求項６】 上記真空容器内部に設けられ、 上記反発力よりも小さな力で上記電極を開極状態に保持
   する弾性体を備えたことを特徴とする請求項１記載の真
   空開閉装置。
7. 【請求項７】 上記反発部が、上記可動電極に固定さ
   れ、 上記駆動コイルが、上記開閉極方向に上記駆動コイルと
   対向した上記真空容器外部に設けられるとともに、 上記真空容器内に設けられ、上記真空容器に固定され、
   上記反発部との間で上記弾性体を挟持する弾性体押さえ
   板を備えたことを特徴とする請求項６記載の真空開閉装
   置。