JP2000334836A - フィルムラミネータ - Google Patents
フィルムラミネータInfo
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Abstract
ができて、しわを発生することなく基板にフィルムを貼
り付けることができるフィルムラミネータを提供するこ
とである。 【解決手段】基板送り装置から順次搬送されてくる基板
の片面又は両面に、ラミネーションロールによりフィル
ムを貼り付けるものにおいて、ラミネーションロールに
バックアップロールを設け、ラミネーションロールとバ
ックアップロールの少なくとも一方をクラウンロールと
し、ラミネーションロールおよびクラウンロールの双方
にそれぞれ所望の圧力を付加する。
Description
晶デイスプレイ基板あるいはプラズマデイスプレイ基板
その他各種基板の製造工程において、それら基板の表面
に感光性レジストフィルム等のドライフィルムを貼り付
けるためのフィルムラミネータに関するものである。
のドライフィルムを貼り付ける従来のフィルムラミネー
タ(貼付装置とも云う)は、基板にドライフィルムを介
して接するラミネーションロールとしてフラットロール
を用いていた。
イフィルムを貼り付ける場合に、ラミネーションロール
がドライフィルムを介して基板を押す圧力を均一にし
て、基板全体にわたり均一な圧力でドライフィルムを貼
り付けることが必要であるが、一般にラミネーションロ
ールの両端を加圧するためラミネーションロールは撓
み、加圧力とラミネーションロールの剛性から決まる曲
線状の圧力分布が定まる。即ち、ラミネーションロール
の両端において基板を押す圧力が高く、中央部になる程
圧力が低下する。この傾向は、ラミネーションロールの
両端での加圧力を上昇させる程顕著となる。
付けようとして、ラミネーションロールの加圧力を増す
と、基板の両端部の圧力は高くなるが中央部の圧力は低
いため、基板中央部のドライフィルムの密着力が低下す
ることになる。更に、この圧力分布が極端になるとドラ
イフィルムにしわが発生し、貼付性能が著しく低下す
る。
載の発明のように、ラミネーションロールの加圧力を増
すために、バックアップロールを用いることが提案され
ている。
アップロールの使用で圧力分布を均一としても、ラミネ
ーションロールの軸方向における基板サイズ(以下、基
板幅という)が異なると、ラミネーションロールの圧力
分布は変化して、貼付性能は低下することが確かめられ
た。
ても均一な圧力を基板に印加することができて、しわを
発生することなく基板にフィルムを貼り付けることがで
きるフィルムラミネータを提供することにある。
明の特徴とするところは、基板送り装置から順次搬送さ
れてくる基板の片面又は両面に、ラミネーションロール
によりフィルムを貼り付けるものにおいて、前記ラミネ
ーションロールにバックアップロールを設け、前記ラミ
ネーションロールと前記バックアップロールの少なくと
も一方をクラウンロールとし、前記ラミネーションロー
ルおよび前記バックアップロールの双方にそれぞれ所望
の加圧力を付加するようにしたことにある。
クラウンロールとクラウンロールの組み合わせでは、各
ロールの両端へ加圧力を付与すると基板に対する圧力分
布の傾向を逆方向とすることができるので、ラミネーシ
ョンロールとバックアップロールの少なくとも一方をク
ラウンロールとし、そのようなラミネーションロール両
端の加圧力とバックアップロール両端の加圧力を調整す
ることにより、ラミネーションロールの加圧力{または
線圧(=加圧力÷ロール長)という)}を高くし、ある
いは基板幅が変化しても、ラミネーションロールでの基
板に対する圧力分布を均一にすることができる。
に示した一実施形態により説明する。図1において、基
板Bは入口コンベアの搬送ロール1上を搬送される。繰
出ロール2から繰り出されたレジストフィルムなどのド
ライフィルム3は、そのカバーフィルム4が巻取ロール
5により巻取られる。カバーフィルムが除去されたドラ
イフィルム3は、ロール6を介してフラットロールより
なるラミネーションロール7により搬送され基板B上に
貼付けられる。このラミネーションロール7の外側にク
ラウンロールよりなるバックアップロール8がある。ラ
ミネーションロール7の外周はゴムで覆われており、ゴ
ムの弾力性により両ロール7、8の摩擦による傷つきの
防止となり、しかも基板Bにドライフィルム3を貼り付
ける際の追従性向上の効果がある。なお、この弾性被覆
は省略してもよい。
両端への加圧力は、クランプアーム9を介してエアシリ
ンダ10で付与する。また、バックアップロール8につ
いてはエアシリンダ11で加圧力を付与する。加圧力の
調節を容易にするべくエアシリンダ10、11は独立の
駆動系としている。
ドライフィルム3をカッタ12で切断し、さらに、出口
コンベアの搬送ロール13で下流に送る。
いて左下から右上の方向に搬送され、ドライフィルム3
は上下対称に基板Bに供給され、基板Bの上下に貼り付
けられる。ここでは、が、出口コンベアの搬送ロール1
3上の基板Bは基板Bと貼り付けられるドライフィルム
3の形状関係を判り易くするために、貼り付けた上側の
ドライフィルム3の図示を省略した。
ルム3を貼り付けるが、前述のようにフラットロールで
あるラミネーションロール7の加圧力と、クラウンロー
ルのバックアップロール8の加圧力を調整することによ
り基板Bに対する圧力分布を均一にし、基板Bの上下各
面にしわを伴うことなく確実にドライフィルム3を貼り
付けることができる。
いて説明する。図2(a)は、従来方式の1つ、すなわ
ち、フラットロールよりなるラミネーションロール7の
みで基板Bの上下面にあるドライフィルム3を加圧する
状態を示している。
方向にPの加圧力を加えると、ラミネーションロール7
の自重及び加圧力Pとラミネーションロール7の剛性で
決まる撓みがラミネーションロール7に発生する。この
ときの撓みによる基板への圧力(ロール圧)を模式的に
図2(b)に示した。
曲線aで示すように撓み量が小で基板Bに対する圧力
(ロール圧)の分布は基板の幅W方向において比較的平
坦であるが、加圧力Pが大きい(線圧が大である)と、
曲線bで示すように撓み量も大きく基板Bに対する圧力
分布(ロール圧)は両端部で急峻になる。即ち、線圧を
大きくすると基板Bの中央部での圧力の低下が大とな
り、基板Bの中央部でドライフィルム3の密着力が低下
することになり、しかも、圧力分布不均一によるドライ
フィルム3の基板B上にしわが発生する原因になること
が分かる。
ラミネーションロール7としてクラウンロールのみを用
いた例を示している。この場合、図3(b)における曲
線cのように、ある線圧では圧力分布(基板Bへのロー
ル圧)は均一になるが、線圧を更に高くすると曲線dの
ように圧力分布は両端部で低下し、逆に線圧を下げると
曲線eで示すように両端部で上昇するようになる。
ロールでも図3のクラウンロールでも、基板幅が小さく
なると線圧を上げた場合と同様の圧力分布に変化し、基
板幅が大きくなると線圧を下げた場合と同様の圧力分布
に変化する。
施形態になるラミネーションロール7とバックアップロ
ール8を示しており、フラットロールよりなるラミネー
ションロール7への加圧力をP1、クラウンロールより
なるバックアップロール8への加圧力をP2とする。
図2(b)と同様に図4(c)の曲線hの形となる。一
方バックアップロール8による圧力分布は、クラウン形
状をもたせているため図4(b)の曲線fのようにな
る。この曲線hと曲線fの補完(特性を相互に打ち消し
合う)の結果としてラミネーションロール7がドライフ
ィルム3を介して基板Bを押す圧力分布は図4(d)の
曲線jの形となって、基板幅Wが変わっても均一な圧力
を印加することができる。従って、ドライフィルム3を
基板Bの全面にわたって、均一な圧力で押し良好な貼付
性能を得る、即ち、基板幅が変わっても、しわを発生す
ることなく基板Bにドライフィルム3を貼り付けること
ができる。
で、ラミネーションロール7の線圧を高くする必要があ
る場合には加圧力P1を大とし(図4(c)の曲線
i)、バックアップロール8の加圧力P2を調整し図4
(b)の曲線gの圧力分布にすると、図4(d)の曲線
kのように圧力分布は均一になる。このように、お互い
の加圧力P1、P2を調整することにより自在に所望の
圧力分布を得ることができる。同様に基板Bの基板幅が
変化した場合も、加圧力P1、P2を調整することによ
り、幅方向での均一な圧力分布の範囲を変更することが
でき、変化した基板幅に合った均一な圧力分布を得るこ
とができる。
トロールへの加圧力と圧力分布の関係(図4(c)に示
した特性)、任意のクラウン量と径をもつクラウンロー
ルへの加圧力と圧力分布の関係(図4(b)に示した特
性)を前以って計測しておくことで、基板幅に見合う各
ロール7、8への加圧力を容易に設定することができ
る。
ーションロール7をクラウンロールとし、バックアップ
ロール8を円筒状のフラットロールとする場合や、図6
のようにラミネーションロール7、バックアップロール
8の反対側を平面台20としたものでもよい。
ール7を図5の実施形態のようにクラウンロールとしバ
ックアップロール8をフラットロールとしてもよい。さ
らに、図5、図6においてラミネーションロール7とバ
ックアップロール8の双方をクラウンロールとしてもよ
い。
基板Bの片面のみに貼り付ける場合であれば、このドラ
イフィルム3と反対側の基板Bに接するラミネーション
ロール7はゴム被覆を省略することもできる。
ール8を同径にすると加圧力P1、P2の圧力調整が容
易である。さらに、ラミネーションロール7側をバック
アップロール8よりも小径にすると、ドライフィルム3
を介しての基板Bへのラミネーションロール7の押圧面
積が小となって基板Bの押圧が効果的になり、逆にラミ
ネーションロール7側を大径にすると基板Bへの押圧面
積が大となり、基板Bへの押圧がソフトになる。
Bに連続して供給され、貼り付け後にカッタ12で切断
される例を示しているが、ドライフィルム3を基板Bの
寸法に合わせて前以ってカッタで切断した枚葉型の貼付
装置でも、本発明は実施できる。
板幅が変わっても均一な圧力を印加することができて、
しわを発生することなく基板にフィルムを貼り付けるこ
とができるフィルムラミネータを得ることができる。
を示す概略斜視図である。
を用いた場合の圧力分布の状況を示す図である。
を用いた場合の圧力分布の状況を示す図である。
ロールとしてフラットロールを用い、バックアップロー
ルとしてクラウンロールを用い各ロールへの加圧力を変
えた場合の基板に対する圧力分布の状況を示す図であ
る。
ールとバックアップロールの組合わせを示す図である。
ョンロールとバックアップロールの組合わせを示す図で
ある。
Claims (4)
- 【請求項1】基板送り装置から順次搬送されてくる基板
の片面又は両面に、ラミネーションロールによりフィル
ムを貼り付けるものにおいて、 前記ラミネーションロールにバックアップロールを設
け、前記ラミネーションロールと前記バックアップロー
ルの少なくとも一方をクラウンロールとし、前記ラミネ
ーションロールおよび前記バックアップロールの双方に
それぞれ所望の加圧力を付加するようにしたことを特徴
とするフィルムラミネータ。 - 【請求項2】上記請求項1に記載のものにおいて、前記
ラミネーションロールは弾性被覆を備えたものであるこ
とを特徴とするフィルムラミネータ。 - 【請求項3】上記請求項1に記載のものにおいて、前記
基板の片面に前記フィルムを貼付けるものにあっては、
前記基板を平面台に載置して、前記ラミネーションロー
ルと前記バックアップロールの各々を加圧することを特
徴とするフィルムラミネータ。 - 【請求項4】上記請求項1に記載のものにおいて、前記
ラミネーションロールと前記バックアップロールは同径
もしくは異なる径であることを特徴とするフィルムラミ
ネータ。
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|---|---|---|---|
| JP15018299A JP3896389B2 (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | フィルムラミネータ |
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Publications (2)
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| JP2000334836A true JP2000334836A (ja) | 2000-12-05 |
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- 1999-05-28 JP JP15018299A patent/JP3896389B2/ja not_active Expired - Fee Related
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