JP2000338242A - 光源手段と光波距離計 - Google Patents
光源手段と光波距離計Info
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- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 本発明は、距離測定に用いる光源手段等に係
わり、特に、干渉性の低い光源を用いることにより距離
を測定することにできる光源手段と光波距離計を提供す
ることを目的とする。 ［構成］ 本発明は、光源駆動部が光源部を駆動し、受
光部が、光源部からの光を測定対象物を経由して受光
し、演算処理手段が受光部の受光信号に基づいて、測定
対象物までの距離を算出する様になっており、ＳＬＤ
（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）又はレーザー
ダイオードからなる光源部が、可視光又は不可視光を発
光することができる。
わり、特に、干渉性の低い光源を用いることにより距離
を測定することにできる光源手段と光波距離計を提供す
ることを目的とする。 ［構成］ 本発明は、光源駆動部が光源部を駆動し、受
光部が、光源部からの光を測定対象物を経由して受光
し、演算処理手段が受光部の受光信号に基づいて、測定
対象物までの距離を算出する様になっており、ＳＬＤ
（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）又はレーザー
ダイオードからなる光源部が、可視光又は不可視光を発
光することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は距離測定に用いる光源手
段等に係わり、特に、干渉性の低い光源を用いることに
より距離を測定することにできる光源手段と光波距離計
に関するものである。
段等に係わり、特に、干渉性の低い光源を用いることに
より距離を測定することにできる光源手段と光波距離計
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の光波距離計は発光ダイオードを使
用し、被測定物であるコーナーキューブから反射してき
たエコーパルスを受信して、光パルスの受信時間から距
離を測定していた。従って光波距離計の最大測長可能距
離は、光源部の輝度により決定され、発光ダイオードを
使用した光波距離計の最大測長可能距離は、２〜３Ｋｍ
程度となっていた。
用し、被測定物であるコーナーキューブから反射してき
たエコーパルスを受信して、光パルスの受信時間から距
離を測定していた。従って光波距離計の最大測長可能距
離は、光源部の輝度により決定され、発光ダイオードを
使用した光波距離計の最大測長可能距離は、２〜３Ｋｍ
程度となっていた。
【０００３】この最大測長可能距離を延ばすためには、
輝度の高い半導体レーザーを採用することが考えられ
る。連続発光の半導体レーザーは、その大きさ及び消費
電力が従来の発光ダイオードと同程度であり、駆動電流
による直接変調も可能であり、発光ダイオードとの置き
換えも容易となっている。更に連続発光の半導体レーザ
ーは、発光応答速度も発光ダイオードに比較して速いた
め、変調周波数をより高くした高精度の光波距離計を実
現することができる。更に半導体パルスレーザーは、従
来の連続発振半導体レーザーを採用した光波距離計と測
距方式は異なるが、大きなピークパワーを有するので最
大測長可能距離の増大と、コーナーキューブを使用しな
いノンプリズム測定を行うことができるという特徴があ
る。
輝度の高い半導体レーザーを採用することが考えられ
る。連続発光の半導体レーザーは、その大きさ及び消費
電力が従来の発光ダイオードと同程度であり、駆動電流
による直接変調も可能であり、発光ダイオードとの置き
換えも容易となっている。更に連続発光の半導体レーザ
ーは、発光応答速度も発光ダイオードに比較して速いた
め、変調周波数をより高くした高精度の光波距離計を実
現することができる。更に半導体パルスレーザーは、従
来の連続発振半導体レーザーを採用した光波距離計と測
距方式は異なるが、大きなピークパワーを有するので最
大測長可能距離の増大と、コーナーキューブを使用しな
いノンプリズム測定を行うことができるという特徴があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の光波距離計は、連続発振半導体レーザー及び半導体
パルスレーザーの何れを使用した方式であっても、発光
ダイオードを使用した光波距離計と比較して発光スペク
トルが狭く、可干渉性が高いという問題点がある。
来の光波距離計は、連続発振半導体レーザー及び半導体
パルスレーザーの何れを使用した方式であっても、発光
ダイオードを使用した光波距離計と比較して発光スペク
トルが狭く、可干渉性が高いという問題点がある。
【０００５】そして光源部の可干渉性が高いと、不要な
干渉が各所に発生するという問題点がある。例えば、マ
ルチモード光ファイバー内におけるスペックル、マルチ
モード光ファイバー射出端におけるスペックルによるニ
ア・フィールド・パターン及びファー・フィールド・パ
ターンのムラ、そして発光波長のモードジャンプによる
スペックルの変動、更に強度変調を行った場合の変調波
形の変動等である。
干渉が各所に発生するという問題点がある。例えば、マ
ルチモード光ファイバー内におけるスペックル、マルチ
モード光ファイバー射出端におけるスペックルによるニ
ア・フィールド・パターン及びファー・フィールド・パ
ターンのムラ、そして発光波長のモードジャンプによる
スペックルの変動、更に強度変調を行った場合の変調波
形の変動等である。
【０００６】特に光波距離計では、発光側光学系のスペ
ックルによる波形ムラが発生したり、光源部のモードジ
ャンプ等によるスペックルの変動や、更に射出された光
の干渉状態が大気の揺らぎにより変動して空間的な波形
ムラを発生するという問題点がある。そして、これらの
波形ムラが発生すると、変調波形の重心位置が変動して
測定精度の劣化を招くという問題点があった。
ックルによる波形ムラが発生したり、光源部のモードジ
ャンプ等によるスペックルの変動や、更に射出された光
の干渉状態が大気の揺らぎにより変動して空間的な波形
ムラを発生するという問題点がある。そして、これらの
波形ムラが発生すると、変調波形の重心位置が変動して
測定精度の劣化を招くという問題点があった。
【０００７】この干渉性を低下させるため図７に示すよ
うな光波距離計が案出されている。この光波距離計は、
光源部１と、光源側光ファイバー８１と、第１のコンデ
ンサレンズ２と、発光側光ファイバー８２と、一対の分
割プリズム４１、４２と、光路切り替えチョッパ５と、
反射プリズム９と、内部光路６と、対物レンズ１０、受
光側光ファイバー８３と、第２のコンデンサレンズ３
と、ＡＰＤ７１とから構成されている。
うな光波距離計が案出されている。この光波距離計は、
光源部１と、光源側光ファイバー８１と、第１のコンデ
ンサレンズ２と、発光側光ファイバー８２と、一対の分
割プリズム４１、４２と、光路切り替えチョッパ５と、
反射プリズム９と、内部光路６と、対物レンズ１０、受
光側光ファイバー８３と、第２のコンデンサレンズ３
と、ＡＰＤ７１とから構成されている。
【０００８】そして、コーナキューブ１１は、光波距離
計本体から離れた位置に配置される測定対象物に該当す
るものであり、光を反射する機能を有している。
計本体から離れた位置に配置される測定対象物に該当す
るものであり、光を反射する機能を有している。
【０００９】光源部１は複数の半導体レーザー１０１、
１０２、１０３とから構成されている。半導体レーザー
は、それぞれ異なる中心波長（λ１、λ２、λ３）で発
光する様になっている。そして、これらの半導体レーザ
ーは同時に変調及び駆動されている。
１０２、１０３とから構成されている。半導体レーザー
は、それぞれ異なる中心波長（λ１、λ２、λ３）で発
光する様になっている。そして、これらの半導体レーザ
ーは同時に変調及び駆動されている。
【００１０】半導体レーザー１０１、１０２、１０３に
は、光源用コンデンサレンズ１０１１、１０２１、１０
３１が設けられており、光源側光ファイバー８１の端部
８１１、８１２、８１３に結合させる様になっている。
は、光源用コンデンサレンズ１０１１、１０２１、１０
３１が設けられており、光源側光ファイバー８１の端部
８１１、８１２、８１３に結合させる様になっている。
【００１１】光源側光ファイバー８１の射出端を束ねる
様に構成されており、光源部１の３個の半導体レーザー
から射出された変調光を混合し、低干渉性の２次光源を
発光側光ファイバー８２の受光端８２ａに結合する様に
なっている。
様に構成されており、光源部１の３個の半導体レーザー
から射出された変調光を混合し、低干渉性の２次光源を
発光側光ファイバー８２の受光端８２ａに結合する様に
なっている。
【００１２】光路切り替えチョッパ５は光束を切り替え
るものである。ＡＰＤ７１は受光手段に該当するもので
あり、光源部１から発射された光線を受光する。分割プ
リズム４１はハーフミラー４１１と４１２とから構成さ
れており、分割プリズム４２はハーフミラー４２１と４
２２とからなっている。光源部１側と分割プリズム４１
の間は、発光側光ファイバー８２で結ばれている。更に
分割プリズム４２と受光素子７側との間は、受光側光フ
ァイバー８３で結ばれている。
るものである。ＡＰＤ７１は受光手段に該当するもので
あり、光源部１から発射された光線を受光する。分割プ
リズム４１はハーフミラー４１１と４１２とから構成さ
れており、分割プリズム４２はハーフミラー４２１と４
２２とからなっている。光源部１側と分割プリズム４１
の間は、発光側光ファイバー８２で結ばれている。更に
分割プリズム４２と受光素子７側との間は、受光側光フ
ァイバー８３で結ばれている。
【００１３】対物レンズ１０から射出された変調光は、
コーナキューブ１１で反射され、再び対物レンズ１０通
り反射プリズム９で反射され分割プリズム４２に送られ
る。受信パルス光は分割プリズム４２のハーフミラー４
２１を透過し、受光側光ファイバー８３の受光端８３ａ
に結合される。
コーナキューブ１１で反射され、再び対物レンズ１０通
り反射プリズム９で反射され分割プリズム４２に送られ
る。受信パルス光は分割プリズム４２のハーフミラー４
２１を透過し、受光側光ファイバー８３の受光端８３ａ
に結合される。
【００１４】なお、光路切り替えチョッパ５が内部測距
光路６を選択した場合には、変調光は、内部測距光路６
を通って分割プリズム４２に送られる。変調光は、ハー
フミラー４２１と４２２と反射され、受光側光ファイバ
ー８３の受光端８３ａに結合される。そして受光側光フ
ァイバー８３の射出端８３ｂから射出された変調光は、
第２のコンデンサレンズ３１、３２によりＡＰＤ７１に
結合する。
光路６を選択した場合には、変調光は、内部測距光路６
を通って分割プリズム４２に送られる。変調光は、ハー
フミラー４２１と４２２と反射され、受光側光ファイバ
ー８３の受光端８３ａに結合される。そして受光側光フ
ァイバー８３の射出端８３ｂから射出された変調光は、
第２のコンデンサレンズ３１、３２によりＡＰＤ７１に
結合する。
【００１５】図８は、発光側光ファイバー８２の射出端
８２ｂにおけるスペックルの強度分布の様子を示したも
のである。ここでスペックルとは、レーザ光の断面に生
じる模様のことである。即ち、表面のいろいろな場所で
反射されたレーザー光が干渉し合うために生じるもので
ある。
８２ｂにおけるスペックルの強度分布の様子を示したも
のである。ここでスペックルとは、レーザ光の断面に生
じる模様のことである。即ち、表面のいろいろな場所で
反射されたレーザー光が干渉し合うために生じるもので
ある。
【００１６】発光側ファイバー８２の射出端８２ｂにお
けるスペックルは、それぞれ中心波長の異なる半導体レ
ーザーによって作られるスペックルパターンの和とな
り、全体としてスペックルのコントラストを低下させる
ことができる。しかし、光源を複数使うことはコストが
かかることは言うまでもなく、発光量の均一なものが必
要となる問題がある。
けるスペックルは、それぞれ中心波長の異なる半導体レ
ーザーによって作られるスペックルパターンの和とな
り、全体としてスペックルのコントラストを低下させる
ことができる。しかし、光源を複数使うことはコストが
かかることは言うまでもなく、発光量の均一なものが必
要となる問題がある。
【００１７】図９は、光波距離計から射出される光束の
大気伝播時の影響を示したものである。大気は温度、気
圧、湿度等により屈折率が変化する。特に日中は太陽光
の影響により、大気に屈折率のムラが生じ、屈折率が時
間的に変動して陽炎が発生している。この大気の屈折率
の変化は、光速に影響を与えるため、発光波長に対する
光学的距離の変化として現れる。コーナーキューブ１１
が遠方に配置されている長距離測定の場合には影響が大
きくなるという問題点がある。
大気伝播時の影響を示したものである。大気は温度、気
圧、湿度等により屈折率が変化する。特に日中は太陽光
の影響により、大気に屈折率のムラが生じ、屈折率が時
間的に変動して陽炎が発生している。この大気の屈折率
の変化は、光速に影響を与えるため、発光波長に対する
光学的距離の変化として現れる。コーナーキューブ１１
が遠方に配置されている長距離測定の場合には影響が大
きくなるという問題点がある。
【００１８】光波距離計から射出される光束の内、図９
に示す様な、コーナーキューブ１１で反射される部分の
光束１１００を検討する。大気の揺らぎにより、光束１
１００の一部の光束の光学的距離が変化したとすると、
この光束１１００は、光波距離計本体で受信される段階
で干渉状態を起こすことになる。大気の揺らぎは、時間
的に変動しているため、受光段階での干渉も時間的に変
動することとなり、これが変調波形の変動として測距精
度に影響を与えることになる。
に示す様な、コーナーキューブ１１で反射される部分の
光束１１００を検討する。大気の揺らぎにより、光束１
１００の一部の光束の光学的距離が変化したとすると、
この光束１１００は、光波距離計本体で受信される段階
で干渉状態を起こすことになる。大気の揺らぎは、時間
的に変動しているため、受光段階での干渉も時間的に変
動することとなり、これが変調波形の変動として測距精
度に影響を与えることになる。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題に鑑
み案出されたもので、可視光又は不可視光を発光するた
めのＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）か
らなり、距離測定に用いる光源部と、この光源部を駆動
するための光源駆動部とから構成されている。
み案出されたもので、可視光又は不可視光を発光するた
めのＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）か
らなり、距離測定に用いる光源部と、この光源部を駆動
するための光源駆動部とから構成されている。
【００２０】また本発明は、可視光又は不可視光を発光
するための可視光を発光するレーザーダイオードからな
り、距離測定に用いる光源部と、この光源部を３ｎｓｅ
ｃ未満のパルスで駆動するための光源駆動部とから構成
されている。
するための可視光を発光するレーザーダイオードからな
り、距離測定に用いる光源部と、この光源部を３ｎｓｅ
ｃ未満のパルスで駆動するための光源駆動部とから構成
されている。
【００２１】更に本発明の光波距離計は、光源部と、こ
の光源部を駆動するための光源駆動部と、前記光源部か
らの光を測定対象物を経由して受光するための受光部
と、この受光部の受光信号に基づいて、前記測定対象物
までの距離を算出するための演算処理手段とを備えた光
波距離計であって、前記光源部が、可視光又は不可視光
を発光するＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオー
ド）から構成されている。
の光源部を駆動するための光源駆動部と、前記光源部か
らの光を測定対象物を経由して受光するための受光部
と、この受光部の受光信号に基づいて、前記測定対象物
までの距離を算出するための演算処理手段とを備えた光
波距離計であって、前記光源部が、可視光又は不可視光
を発光するＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオー
ド）から構成されている。
【００２２】そして本発明の光波距離計は、可視光又は
不可視光を発光するための光源部と、この光源部を駆動
するための光源駆動部と、前記光源部からの光を測定対
象物を経由して受光するための受光部と、この受光部の
受光信号に基づいて、前記測定対象物までの距離を算出
するための演算処理手段とを備えた光波距離計であっ
て、前記光源部が、可視光又は不可視光を発光するレー
ザーダイオードであり、前記光源駆動部が、前記光源部
を３ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動することを特徴として
いる。
不可視光を発光するための光源部と、この光源部を駆動
するための光源駆動部と、前記光源部からの光を測定対
象物を経由して受光するための受光部と、この受光部の
受光信号に基づいて、前記測定対象物までの距離を算出
するための演算処理手段とを備えた光波距離計であっ
て、前記光源部が、可視光又は不可視光を発光するレー
ザーダイオードであり、前記光源駆動部が、前記光源部
を３ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動することを特徴として
いる。
【００２３】また本発明のレーザーポインターは、可視
光を発光する光源手段を利用した構成となっている。
光を発光する光源手段を利用した構成となっている。
【００２４】
【発明の実施の形態】以上の様に構成された本発明は、
可視光又は不可視光を発光するためのＳＬＤ（スーパー
・ルミネッセンス・ダイオード）からなる光源部が可視光
を発光し、光源駆動部が、距離測定に用いる光源部を駆
動することができる。
可視光又は不可視光を発光するためのＳＬＤ（スーパー
・ルミネッセンス・ダイオード）からなる光源部が可視光
を発光し、光源駆動部が、距離測定に用いる光源部を駆
動することができる。
【００２５】また本発明は、可視光又は不可視光を発光
するためのレーザーダイオードからなる光源部が可視光
を発光し、光源駆動部が、距離測定に用いる光源部を３
ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動することができる。
するためのレーザーダイオードからなる光源部が可視光
を発光し、光源駆動部が、距離測定に用いる光源部を３
ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動することができる。
【００２６】更に本発明の光波距離計は、光源駆動部が
光源部を駆動し、受光部が、光源部からの光を測定対象
物を経由して受光し、演算処理手段が受光部の受光信号
に基づいて、測定対象物までの距離を算出する様になっ
ており、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオー
ド）からなる光源部が、可視光又は不可視光を発光する
ことができる。
光源部を駆動し、受光部が、光源部からの光を測定対象
物を経由して受光し、演算処理手段が受光部の受光信号
に基づいて、測定対象物までの距離を算出する様になっ
ており、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオー
ド）からなる光源部が、可視光又は不可視光を発光する
ことができる。
【００２７】そして本発明の光波距離計は、光源駆動部
が光源部を駆動し、受光部が光源部からの光を測定対象
物を経由して受光し、演算処理手段が受光部の受光信号
に基づいて、測定対象物までの距離を算出する様になっ
ており、レーザーダイオードからなる光源部が可視光又
は不可視光を発光し、光源駆動部が、光源部を３ｎｓｅ
ｃ未満のパルスで駆動することができる。
が光源部を駆動し、受光部が光源部からの光を測定対象
物を経由して受光し、演算処理手段が受光部の受光信号
に基づいて、測定対象物までの距離を算出する様になっ
ており、レーザーダイオードからなる光源部が可視光又
は不可視光を発光し、光源駆動部が、光源部を３ｎｓｅ
ｃ未満のパルスで駆動することができる。
【００２８】また本発明のレーザーポインターは、可視
光を発光する光源手段を利用することができる。
光を発光する光源手段を利用することができる。
【００２９】
【００３０】光波距離計の光源としてＬＥＤが適してい
るのは、その発光スペクトル幅が非常に広く、干渉性が
低いからである。
るのは、その発光スペクトル幅が非常に広く、干渉性が
低いからである。
【００３１】一般にスペクトルの広さによる可干渉性の
指標として、フーリエ分光法によるインターフェログラ
ムの観測が行われる。これらの測定には図３（ａ）に示
すマイケルソン干渉計２０００が使用され、マイケルソ
ン干渉計２０００は、ビームスプリッタ２００１と、可
動平面鏡２００２と、検出器２００３と、固定平面鏡２
００４と、測定光源２００５とから構成されている。
指標として、フーリエ分光法によるインターフェログラ
ムの観測が行われる。これらの測定には図３（ａ）に示
すマイケルソン干渉計２０００が使用され、マイケルソ
ン干渉計２０００は、ビームスプリッタ２００１と、可
動平面鏡２００２と、検出器２００３と、固定平面鏡２
００４と、測定光源２００５とから構成されている。
【００３２】測定光源２００５からの光は、ビームスプ
リッタ２００１により光路ａと光路ｂに分割される。光
路ａの光は固定平面鏡２００４で反射され、ビームスプ
リッタ２００１を透過して検出器２００３に入射する。
また光路ｂの光は可動平面鏡２００２で反射され、ビー
ムスプリッタ２００１を反射して検出器２００３に入射
する様になっている。
リッタ２００１により光路ａと光路ｂに分割される。光
路ａの光は固定平面鏡２００４で反射され、ビームスプ
リッタ２００１を透過して検出器２００３に入射する。
また光路ｂの光は可動平面鏡２００２で反射され、ビー
ムスプリッタ２００１を反射して検出器２００３に入射
する様になっている。
【００３３】そして可動平面鏡２００２を移動させた時
の検出器２００３で検出される光の強度は、インターフ
ェログラムと呼ばれ、図３（ｂ）の様な形となる。なお
図３（ｂ）の横軸は、可動平面鏡２００２の移動による
光路長の変化であり、縦軸は検出器２００３で検出され
る光の強度である。
の検出器２００３で検出される光の強度は、インターフ
ェログラムと呼ばれ、図３（ｂ）の様な形となる。なお
図３（ｂ）の横軸は、可動平面鏡２００２の移動による
光路長の変化であり、縦軸は検出器２００３で検出され
る光の強度である。
【００３４】そして図３（ｂ）の波形をフーリエ変換す
ることにより、図３（ｃ）に示される測定光源２００５
のスペクトルを得ることができる。これらの方法によ
り、スペクトルの広さによる可干渉性の指標を得るの
が、フーリエ分光法である。
ることにより、図３（ｃ）に示される測定光源２００５
のスペクトルを得ることができる。これらの方法によ
り、スペクトルの広さによる可干渉性の指標を得るの
が、フーリエ分光法である。
【００３５】図４（ａ）から図４（ｄ）に基づいて、光
源のスペクトルとインターフェログラムの関係を示すこ
とにする。
源のスペクトルとインターフェログラムの関係を示すこ
とにする。
【００３６】図４（ａ）はＬＥＤ単体の場合を示すもの
であり、図４（ｂ）は半導体レーザーを複数採用し、各
半導体レーザーの中心波長が全て一致している場合を示
す場合であり、図４（ｃ）は半導体レーザーを複数採用
し、各半導体レーザーの中心波長が、各半導体レーザー
（光源）の波長の広がり程度に離れている場合を示す場
合であり、図４（ｄ）は半導体レーザーを複数採用し、
各半導体レーザーの中心波長が、不均等に離れている場
合の関係を示すものである。
であり、図４（ｂ）は半導体レーザーを複数採用し、各
半導体レーザーの中心波長が全て一致している場合を示
す場合であり、図４（ｃ）は半導体レーザーを複数採用
し、各半導体レーザーの中心波長が、各半導体レーザー
（光源）の波長の広がり程度に離れている場合を示す場
合であり、図４（ｄ）は半導体レーザーを複数採用し、
各半導体レーザーの中心波長が、不均等に離れている場
合の関係を示すものである。
【００３７】なおインターフェログラムは、その抱絡線
のみを描いている。
のみを描いている。
【００３８】以上の様に図４（ａ）から図４（ｂ）を参
照すれば、ＬＥＤ単体の場合（図４（ａ））に比較し
て、半導体レーザーを複数採用し、各半導体レーザーの
中心波長が全て一致している場合（図４（ｂ））は、か
なり広範囲に干渉する。
照すれば、ＬＥＤ単体の場合（図４（ａ））に比較し
て、半導体レーザーを複数採用し、各半導体レーザーの
中心波長が全て一致している場合（図４（ｂ））は、か
なり広範囲に干渉する。
【００３９】また各半導体レーザーの中心波長が全て一
致している場合（図４（ｂ））に比較して、半導体レー
ザーを複数採用し、各半導体レーザーの中心波長が、各
半導体レーザー（光源）の波長の広がり程度に離れてい
る場合（図４（ｃ））には、２次的な干渉を生じるが、
第１次的な干渉の範囲は小さな範囲となり、その範囲は
各半導体レーザーの中心波長が全て一致している場合の
５分の１程度となっている。
致している場合（図４（ｂ））に比較して、半導体レー
ザーを複数採用し、各半導体レーザーの中心波長が、各
半導体レーザー（光源）の波長の広がり程度に離れてい
る場合（図４（ｃ））には、２次的な干渉を生じるが、
第１次的な干渉の範囲は小さな範囲となり、その範囲は
各半導体レーザーの中心波長が全て一致している場合の
５分の１程度となっている。
【００４０】そして半導体レーザーを複数採用し、各半
導体レーザーの中心波長が、不均等に離れている場合
（図４（ｄ））には、更に干渉の範囲が小さくなり、１
次的な干渉の範囲は、各半導体レーザーの中心波長が全
て一致している場合と比較して１０分の１程度となって
いる。
導体レーザーの中心波長が、不均等に離れている場合
（図４（ｄ））には、更に干渉の範囲が小さくなり、１
次的な干渉の範囲は、各半導体レーザーの中心波長が全
て一致している場合と比較して１０分の１程度となって
いる。
【００４１】以上により、光源のスペクトル幅が広い場
合には、干渉性が低くなり光波距離計に適していること
がわかる。またスペクトル幅が狭く干渉性が高い場合で
も、スペクトルの本数が多くなれば干渉性が低くなり、
同様に光波距離計に適した光源であることがわかる。
合には、干渉性が低くなり光波距離計に適していること
がわかる。またスペクトル幅が狭く干渉性が高い場合で
も、スペクトルの本数が多くなれば干渉性が低くなり、
同様に光波距離計に適した光源であることがわかる。
【００４２】図７の従来例では、光源の数を増やすこと
でスペクトルの本数を増やし、光源の干渉性を低下させ
たが、本発明では、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・
ダイオード）の使用や、ＬＤ（レーザー・ダイオード）
のパルス駆動により、光源のスペクトルの幅及び本数を
増加させ、光源の干渉を低下させることができる。
でスペクトルの本数を増やし、光源の干渉性を低下させ
たが、本発明では、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・
ダイオード）の使用や、ＬＤ（レーザー・ダイオード）
のパルス駆動により、光源のスペクトルの幅及び本数を
増加させ、光源の干渉を低下させることができる。
【００４３】図５（ａ）から図５（ｃ）とは、ＬＥＤ
（ライト・エミッティング・ダイオード）、ＬＤ（レー
ザー・ダイオード）及びＳＬＤ（スーパー・ルミネッセン
ス・ダイオード）を直流（若しくは低周波）電流で駆動
した時のスペクトル幅を表している。なお、スペクトル
幅はスペクトル半値幅Δλで定義する。
（ライト・エミッティング・ダイオード）、ＬＤ（レー
ザー・ダイオード）及びＳＬＤ（スーパー・ルミネッセン
ス・ダイオード）を直流（若しくは低周波）電流で駆動
した時のスペクトル幅を表している。なお、スペクトル
幅はスペクトル半値幅Δλで定義する。
【００４４】ここでスペクトル半値幅Δλとは、スペク
トラ形状を包絡線近似した場合の半値全幅(ＦＷＨＭ)を
意味するものである。
トラ形状を包絡線近似した場合の半値全幅(ＦＷＨＭ)を
意味するものである。
【００４５】図５（ａ）は、ＬＥＤ（ライト・エミッテ
ィング・ダイオード）のスペクトル幅を示すもので、ス
ペクトル半値幅Δλは、５０ｎｍとなっている。
ィング・ダイオード）のスペクトル幅を示すもので、ス
ペクトル半値幅Δλは、５０ｎｍとなっている。
【００４６】図５（ｂ）は、ＬＤ（レーザー・ダイオー
ド）のスペクトル幅を示すもので、スペクトル半値幅Δ
λは、０.２ｎｍとなっている。
ド）のスペクトル幅を示すもので、スペクトル半値幅Δ
λは、０.２ｎｍとなっている。
【００４７】図５（ｃ）は、ＳＬＤ（スーパー・ルミネ
ッセンス・ダイオード）のスペクトル幅を示すもので、
スペクトル半値幅Δλは、１０ｎｍとなっている。
ッセンス・ダイオード）のスペクトル幅を示すもので、
スペクトル半値幅Δλは、１０ｎｍとなっている。
【００４８】従って、ＬＤ（レーザー・ダイオード）を
通常の使用方法では、スペクトル半値幅Δλが最も短
く、不要な干渉が発生しやすいという問題点がある。
通常の使用方法では、スペクトル半値幅Δλが最も短
く、不要な干渉が発生しやすいという問題点がある。
【００４９】そこで、図５（ｂ）のＬＤ（レーザー・ダ
イオード）を、図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満
という短いパルスで駆動した場合のスペクトル幅を示し
たのが、図６（ｂ）である。
イオード）を、図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満
という短いパルスで駆動した場合のスペクトル幅を示し
たのが、図６（ｂ）である。
【００５０】ＬＤ（レーザー・ダイオード）を３ｎｓｅ
ｃ未満という短いパルスで駆動すると、励起が不完全と
なり、図６（ｂ）に示す様に複数の波長で発振する様に
なり、スペクトル半値幅Δλが広くなる。この結果、不
要な干渉が発生しにくいという効果がある。
ｃ未満という短いパルスで駆動すると、励起が不完全と
なり、図６（ｂ）に示す様に複数の波長で発振する様に
なり、スペクトル半値幅Δλが広くなる。この結果、不
要な干渉が発生しにくいという効果がある。
【００５１】
【００５２】次に、ＬＤ（レーザー・ダイオード）を、
図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満という短いパル
スで駆動した場合の実施例を図面に基づいて説明する。
図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満という短いパル
スで駆動した場合の実施例を図面に基づいて説明する。
【００５３】図１に示す様に本実施例の光波距離計は、
光源部１と、光源側光ファイバー８１と、第１のコンデ
ンサレンズ２と、発光側光ファイバー８２と、一対の分
割プリズム４１、４２と、光路切り替えチョッパ５と、
反射プリズム９と、内部光路６と、対物レンズ１０、受
光側光ファイバー８３と、第２のコンデンサレンズ３
と、ＡＰＤ７１とから構成されている。
光源部１と、光源側光ファイバー８１と、第１のコンデ
ンサレンズ２と、発光側光ファイバー８２と、一対の分
割プリズム４１、４２と、光路切り替えチョッパ５と、
反射プリズム９と、内部光路６と、対物レンズ１０、受
光側光ファイバー８３と、第２のコンデンサレンズ３
と、ＡＰＤ７１とから構成されている。
【００５４】そして、コーナキューブ１１は、光波距離
計本体から離れた位置に配置される測定対象物に該当す
るものであり、光を反射する機能を有している。
計本体から離れた位置に配置される測定対象物に該当す
るものであり、光を反射する機能を有している。
【００５５】光源部１は、ＬＤ（レーザー・ダイオー
ド）を、図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満という
短いパルスで駆動したものである。なお光源部１の発光
波長は、可視光となっている。
ド）を、図６（ａ）で示す様に、３ｎｓｅｃ未満という
短いパルスで駆動したものである。なお光源部１の発光
波長は、可視光となっている。
【００５６】なお光源部は、３ｎｓｅｃ未満という短い
パルスで駆動されたＬＤ（レーザー・ダイオード）に代
えて、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）
にすることもできる。このＳＬＤ（スーパー・ルミネッ
センス・ダイオード）の発光波長も可視光となってい
る。
パルスで駆動されたＬＤ（レーザー・ダイオード）に代
えて、ＳＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）
にすることもできる。このＳＬＤ（スーパー・ルミネッ
センス・ダイオード）の発光波長も可視光となってい
る。
【００５７】半導体レーザー１は、第１のコンデンサレ
ンズ２が設けられており、発光側光ファイバー８２の端
部８２ａに集光させる様になっている。
ンズ２が設けられており、発光側光ファイバー８２の端
部８２ａに集光させる様になっている。
【００５８】光路切り替えチョッパ５は光束を切り替え
るものである。ＡＰＤ７１は受光手段に該当するもので
あり、光源部１から発射された光線を受光する。分割プ
リズム４１はハーフミラー４１１と４１２とから構成さ
れており、分割プリズム４２はハーフミラー４２１と４
２２とからなっている。光源部１側と分割プリズム４１
の間は、発光側光ファイバー８２で結ばれている。更に
分割プリズム４２と受光素子７側との間は、受光側光フ
ァイバー８３で結ばれている。
るものである。ＡＰＤ７１は受光手段に該当するもので
あり、光源部１から発射された光線を受光する。分割プ
リズム４１はハーフミラー４１１と４１２とから構成さ
れており、分割プリズム４２はハーフミラー４２１と４
２２とからなっている。光源部１側と分割プリズム４１
の間は、発光側光ファイバー８２で結ばれている。更に
分割プリズム４２と受光素子７側との間は、受光側光フ
ァイバー８３で結ばれている。
【００５９】対物レンズ１０から射出された変調光は、
コーナキューブ１１で反射され、再び対物レンズ１０通
り反射プリズム９で反射され分割プリズム４２に送られ
る。受信パルス光は分割プリズム４２のハーフミラー４
２１を透過し、受光側光ファイバー８３の受光端８３ａ
に結合される。
コーナキューブ１１で反射され、再び対物レンズ１０通
り反射プリズム９で反射され分割プリズム４２に送られ
る。受信パルス光は分割プリズム４２のハーフミラー４
２１を透過し、受光側光ファイバー８３の受光端８３ａ
に結合される。
【００６０】なお、光路切り替えチョッパ５が内部測距
光路６を選択した場合には、変調光は、内部測距光路６
を通って分割プリズム４２に送られる。変調光は、ハー
フミラー４２１と４２２と反射され、受光側光ファイバ
ー８３の受光端８３ａに結合される。そして受光側光フ
ァイバー８３の射出端８３ｂから射出された変調光は、
第２のコンデンサレンズ３１、３２によりＡＰＤ７１に
結合する。
光路６を選択した場合には、変調光は、内部測距光路６
を通って分割プリズム４２に送られる。変調光は、ハー
フミラー４２１と４２２と反射され、受光側光ファイバ
ー８３の受光端８３ａに結合される。そして受光側光フ
ァイバー８３の射出端８３ｂから射出された変調光は、
第２のコンデンサレンズ３１、３２によりＡＰＤ７１に
結合する。
【００６１】そしてＡＰＤ７１は、受光部に該当するも
のである。
のである。
【００６２】なお光源部１以外は、図７で示した従来技
術と同様であるから説明を省略する。
術と同様であるから説明を省略する。
【００６３】次に本実施例の電気回路の構成を詳細に説
明する。
明する。
【００６４】図２に示す実施例は、水晶発信器１００と
第１の分周器１１０とシンセサイザー１２０と第２の分
周器１３０と光源部１と半導体レーザードライバー１５
０とＡＰＤ７１とアンプ１６０と波形整形回路１７０と
カウンタ１８０とピークホールド回路１９０とレベル判
定回路２００と、バンドパスフィルタ２１０とサンプル
ホールド（Ｓ／Ｈ）２２０とＡＤコンバータ３００とメ
モリ４００とＣＰＵ５００とから構成されている。
第１の分周器１１０とシンセサイザー１２０と第２の分
周器１３０と光源部１と半導体レーザードライバー１５
０とＡＰＤ７１とアンプ１６０と波形整形回路１７０と
カウンタ１８０とピークホールド回路１９０とレベル判
定回路２００と、バンドパスフィルタ２１０とサンプル
ホールド（Ｓ／Ｈ）２２０とＡＤコンバータ３００とメ
モリ４００とＣＰＵ５００とから構成されている。
【００６５】水晶発振器１００は、基準信号発生手段の
１つであり、１５ＭＨｚの基準信号を発生させている。
この基準信号は、第１の分周器１１０とシンセサイザー
１２０とバンドパスフィルタ２１０とカウンタ１８０と
に供給されている。第１の分周器１１０に供給された基
準信号は、第１の分周器１１０で１／１００に分周され
て１５０ＫＨｚとなりシンセサイザー１２０に送られ
る。シンセサイザー１３０は、第１の分周器１１０から
供給された１５０ＫＨｚと水晶発振器１００から供給さ
れた１５ＭＨｚで１５.１５ＭＨｚを作り、第２の分周
器１３０に送出する様になっている。第２の分周器１３
０は、シンセサイザー１２０から供給された１５.１５
ＭＨｚを１／５０００に分周して３０３０ＫＨｚを作
り、ドライバ回路１４０に送る様になっている。なお、
第１の分周器１１０、第２の分周器１３０、シンセサイ
ザ１２０の出力信号は、２値化の信号である。
１つであり、１５ＭＨｚの基準信号を発生させている。
この基準信号は、第１の分周器１１０とシンセサイザー
１２０とバンドパスフィルタ２１０とカウンタ１８０と
に供給されている。第１の分周器１１０に供給された基
準信号は、第１の分周器１１０で１／１００に分周され
て１５０ＫＨｚとなりシンセサイザー１２０に送られ
る。シンセサイザー１３０は、第１の分周器１１０から
供給された１５０ＫＨｚと水晶発振器１００から供給さ
れた１５ＭＨｚで１５.１５ＭＨｚを作り、第２の分周
器１３０に送出する様になっている。第２の分周器１３
０は、シンセサイザー１２０から供給された１５.１５
ＭＨｚを１／５０００に分周して３０３０ＫＨｚを作
り、ドライバ回路１４０に送る様になっている。なお、
第１の分周器１１０、第２の分周器１３０、シンセサイ
ザ１２０の出力信号は、２値化の信号である。
【００６６】そして半導体レーザードライバー１５０
は、光源部１のＬＤ（レーザー・ダイオード）を、３ｎ
ｓｅｃ未満という短いパルスで駆動するためのものであ
る。半導体レーザードライバー１５０は、光源駆動部に
該当するものである。
は、光源部１のＬＤ（レーザー・ダイオード）を、３ｎ
ｓｅｃ未満という短いパルスで駆動するためのものであ
る。半導体レーザードライバー１５０は、光源駆動部に
該当するものである。
【００６７】光源部１から発射された変調光は、光学系
を通過しＡＰＤ７１で受光される。このＡＰＤ７１は受
光素子７の１つであり、ｐｎ接合に深いバイアスを加え
てナダレ増倍を誘起させ、利得を得ることのできるダイ
オードである。ＡＰＤ７１は、内部参照光路を通った変
調光と、外部測距光路を通った変調光を受光する。ＡＰ
Ｄ７１により変調光は電気信号に変換され、増幅アンプ
１６０に送られる。
を通過しＡＰＤ７１で受光される。このＡＰＤ７１は受
光素子７の１つであり、ｐｎ接合に深いバイアスを加え
てナダレ増倍を誘起させ、利得を得ることのできるダイ
オードである。ＡＰＤ７１は、内部参照光路を通った変
調光と、外部測距光路を通った変調光を受光する。ＡＰ
Ｄ７１により変調光は電気信号に変換され、増幅アンプ
１６０に送られる。
【００６８】アンプ１６０は、ＡＰＤ７１から入力され
た電気信号を増幅するものであり、増幅された検出信号
は、波形整形回路１７０とピークポールド回路１９０と
に供給される。
た電気信号を増幅するものであり、増幅された検出信号
は、波形整形回路１７０とピークポールド回路１９０と
に供給される。
【００６９】波形整形回路１７０は、受信信号をサンプ
ルホールド（Ｓ／Ｈ）２２０とカウンタ１８０に供給す
る様になっている。カウンタ１８０は、変調光が受信さ
れるまでの時間を、水晶発振器１００からの１５ＭＨｚ
によりカウントする様になっている。
ルホールド（Ｓ／Ｈ）２２０とカウンタ１８０に供給す
る様になっている。カウンタ１８０は、変調光が受信さ
れるまでの時間を、水晶発振器１００からの１５ＭＨｚ
によりカウントする様になっている。
【００７０】水晶発振器１００からバンドパスフィルタ
２１０に送られた１５ＭＨｚは正弦波となり、サンプル
ホールド回路２２０に送出される。このサンプルホール
ド回路２２０は、波形整形回路１７０から出力された受
信信号によりサンプルホールドし、更にＡＤコンバータ
３００でＡＤ変換された後、変換されたデジタルデータ
は予め定められたメモリ４００に記憶される様になって
いる。なおＡＤ変換が終了すると、ＣＰＵ５００に対し
て変換終了信号を出力する様になっている。
２１０に送られた１５ＭＨｚは正弦波となり、サンプル
ホールド回路２２０に送出される。このサンプルホール
ド回路２２０は、波形整形回路１７０から出力された受
信信号によりサンプルホールドし、更にＡＤコンバータ
３００でＡＤ変換された後、変換されたデジタルデータ
は予め定められたメモリ４００に記憶される様になって
いる。なおＡＤ変換が終了すると、ＣＰＵ５００に対し
て変換終了信号を出力する様になっている。
【００７１】以上の様に実行される光源部１の発光か
ら、ＡＤ変換されたデータのメモリ４００への格納まで
の処理を、外部測距光路と内部参照光路について行う。
即ち、内部参照光路によるＡＤ変換データと外部測距光
路のＡＤ変換データの波形の位相差φが光路差に相当す
ることになる。各波形にフーリエ変換を施し、基本成分
波の位相情報を求め、その位相差から１０ｍ単位以下の
精密測定距離を求めることができる。なお、粗測定距離
についても、外部測距光路と内部参照光路におけるカウ
ンタ１８０のカウンター差から１０ｍの精度で求めるこ
とができる。そして粗測定距離と精密測定距離を組み合
わせることにより、光波距離計から測定対象物までの実
際の距離を求めることができる。これらの動作を行うＣ
ＰＵ５００を含む構成が演算処理手段に該当するもので
ある。
ら、ＡＤ変換されたデータのメモリ４００への格納まで
の処理を、外部測距光路と内部参照光路について行う。
即ち、内部参照光路によるＡＤ変換データと外部測距光
路のＡＤ変換データの波形の位相差φが光路差に相当す
ることになる。各波形にフーリエ変換を施し、基本成分
波の位相情報を求め、その位相差から１０ｍ単位以下の
精密測定距離を求めることができる。なお、粗測定距離
についても、外部測距光路と内部参照光路におけるカウ
ンタ１８０のカウンター差から１０ｍの精度で求めるこ
とができる。そして粗測定距離と精密測定距離を組み合
わせることにより、光波距離計から測定対象物までの実
際の距離を求めることができる。これらの動作を行うＣ
ＰＵ５００を含む構成が演算処理手段に該当するもので
ある。
【００７２】なお、本実施例の光源手段は、可視光のＳ
ＬＤ、ＬＤであることから、合焦機構と連動させること
により、レーザーポインタの機能も有する。
ＬＤ、ＬＤであることから、合焦機構と連動させること
により、レーザーポインタの機能も有する。
【００７３】また、電気的構成はパルス駆動の方式を記
載しているが、例えば、位相差測定方式を用いても本発
明の効果は同様に得ることができることは勿論である。
載しているが、例えば、位相差測定方式を用いても本発
明の効果は同様に得ることができることは勿論である。
【００７４】そして、本実施例の光源手段は可視光を発
光するもので説明したが、不可視光を発光するものでも
よい。
光するもので説明したが、不可視光を発光するものでも
よい。
【００７５】
【効果】以上の様に構成された本発明は、可視光又は不
可視光を発光するためのレーザーダイオードからなり、
距離測定に用いる光源部と、この光源部を３ｎｓｅｃ未
満のパルスで駆動するための光源駆動部とから構成され
ているので、不要な干渉が発生しにくい光源を実現でき
るという卓越した効果がある。
可視光を発光するためのレーザーダイオードからなり、
距離測定に用いる光源部と、この光源部を３ｎｓｅｃ未
満のパルスで駆動するための光源駆動部とから構成され
ているので、不要な干渉が発生しにくい光源を実現でき
るという卓越した効果がある。
【００７６】更に本発明は、光源部と、この光源部を駆
動するための光源駆動部と、前記光源部からの光を測定
対象物を経由して受光するための受光部と、この受光部
の受光信号に基づいて、前記測定対象物までの距離を算
出するための演算処理手段とを備えた光波距離計であっ
て、前記光源部が、可視光又は不可視光を発光するレー
ザーダイオードであり、前記光源駆動部が、前記光源部
を３ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動する構成を有するの
で、大きなピークパワーを備え、遠距離測定を実現する
ことができるという効果がある。
動するための光源駆動部と、前記光源部からの光を測定
対象物を経由して受光するための受光部と、この受光部
の受光信号に基づいて、前記測定対象物までの距離を算
出するための演算処理手段とを備えた光波距離計であっ
て、前記光源部が、可視光又は不可視光を発光するレー
ザーダイオードであり、前記光源駆動部が、前記光源部
を３ｎｓｅｃ未満のパルスで駆動する構成を有するの
で、大きなピークパワーを備え、遠距離測定を実現する
ことができるという効果がある。
【００７７】
【図１】本発明の実施例の構成を示す図である。
【図２】本実施例の電気的構成を示す図である。
【図３】マイケルソン干渉計２０００を説明する図であ
る。
る。
【図４】光源のスペクトルとインターフェログラムの関
係を示す図である。
係を示す図である。
【図５】本発明の原理を説明する図である。
【図６】本発明の原理を説明する図である。
【図７】従来技術を説明する図である。
【図８】従来技術を説明する図である。
【図９】従来技術を説明する図である。
１ 光源部 ２ 第１のコンデンサレンズ ３ 第２のコンデンサレンズ ４１ 分割プリズム ４２ 分割プリズム ５ 光路切り替えチョッパ ７１ ＡＰＤ ８１ 光源側光ファイバー ８２ 発光側光ファイバー ８３ 受光側光ファイバー ９ プリズム １０ 対物レンズ １１ コーナーキューブ １００ 水晶発振器 １１０ 第１の分周器 １２０ シンセサイザー １３０ 第２の分周器 １５０ 半導体レーザードライバー １６０ アンプ １７０ 波形整形回路 １８０ カウンタ １９０ ピークホールド回路 ２００ レベル判定回路 ２１０ バンドパスフィルタ ２２０ サンプルホールド回路 ３００ ＡＤコンバータ ４００ メモリ ５００ ＣＰＵ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳田 義克 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内 Ｆターム(参考） 2F065 AA06 DD05 FF32 GG06 GG12 GG23 JJ18 LL02 LL04 QQ03 QQ23 QQ51 2F112 AD01 5J084 AA05 AD01 BA04 BA05 BA21 BA36 BA57 BB02 BB11 BB14 BB31 CA03 CA23 CA27 CA31 CA53 CA61 CA70 DA01 DA09 EA07
Claims (5)
- 【請求項１】 可視光又は不可視光を発光するためのＳ
ＬＤ（スーパー・ルミネッセンス・ダイオード）からなる
光源部と、この光源部を駆動するための光源駆動部とか
らなる距離測定に用いる光源手段。 - 【請求項２】 可視光又は不可視光を発光するためのレ
ーザーダイオードからなる光源部と、この光源部を３ｎ
ｓｅｃ未満のパルスで駆動するための光源駆動部とから
なる距離測定に用いる光源手段。 - 【請求項３】 光源部と、この光源部を駆動するための
光源駆動部と、前記光源部からの光を測定対象物を経由
して受光するための受光部と、この受光部の受光信号に
基づいて、前記測定対象物までの距離を算出するための
演算処理手段とを備えた光波距離計であって、前記光源
部が、可視光又は不可視光を発光するＳＬＤ（スーパー
・ルミネッセンス・ダイオード）からなる光波距離計。 - 【請求項４】 光源部と、この光源部を駆動するための
光源駆動部と、前記光源部からの光を測定対象物を経由
して受光するための受光部と、この受光部の受光信号に
基づいて、前記測定対象物までの距離を算出するための
演算処理手段とを備えた光波距離計であって、前記光源
部が、可視光又は不可視光を発光するレーザーダイオー
ドであり、前記光源駆動部が、前記光源部を３ｎｓｅｃ
未満のパルスで駆動することを特徴とする光波距離計。 - 【請求項５】 請求項１又は請求項２の光源手段が可視
光を発光するためのものであり、この光源手段を使用し
たレーザーポインター。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP11144138A JP2000338242A (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 光源手段と光波距離計 |
| EP00110283A EP1055938A3 (en) | 1999-05-24 | 2000-05-23 | Light source means and light wave range finder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144138A JP2000338242A (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 光源手段と光波距離計 |
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|---|---|
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| JP11144138A Pending JP2000338242A (ja) | 1999-05-24 | 1999-05-24 | 光源手段と光波距離計 |
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| JP (1) | JP2000338242A (ja) |
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2000
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