JP2000501686A - ３軸式位置決め用ジャッキ並びに該ジャッキを用いたサーボ制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ３軸（X、Y、Z）中少なくとも１軸が動力化された３軸式位置決め用ジャッキ（40）であって、可動支持部材とこの可動支持部材を垂直方向に変位させるための装置（44）とを備えた基部（41）と、ジャッキ（40）の可動ヘッド（45）と基部（41）との間の連結を行う軸（43）とを有する。連結軸（43）はヘッド（45）が基部（41）に対して側方に変位するのを可能にする玉継手型の二重リンクを形成するべく構成され、この連結軸（43）の下端は可動支持部材内のエラストマー材料の部材に支承されている。工作機械や長いパイプのような重量物を位置決めし整列させるために使用される。

Description

【発明の詳細な説明】 ３軸式位置決め用ジャッキ並びに該ジャッキを用いたサーボ制御方法 本発明は、数拾トンにも達し得る重量物をマイクロメートルのオーダーの精度 で位置決めしながら支持することの可能な３軸式位置決め用ジャッキに関する。 本発明は、また、斯るジャッキを用いた制御方法に関する。 今日、基礎に対して構造物を位置決めしたり形成したりする場合には、基礎と 構造物との間に配置されたジャッキを使用している。これらのジャッキは手動又 は電動で調節されるもので、操作員は所望の位置に達するまで繰り返し調節作業 を行う。しかし、実際にはこのようにして高精度を得るのは不可能でないまでも 非常に困難である。 斯る構造物を位置決めするため、アクチュエータとして一般にジャッキが使用 されており、最も知られているのは、 −機械式ジャッキと、 −油圧式ジャッキ、 である。 機械式ジャッキは、最も伝統的なもので、ステッピングモータによって作動さ れるマイクロメートル型ボールねじが用いてある。多くの場合、補償装置は大き な負荷がねじにかかるのを軽減する。油圧式ジャッキの原理は良く知られており 、油圧式ジャッキは広く使用されているので、本発明の新規なジャッキが従来技 術と類似でなければ説明は無駄であろう。 油圧式ジャッキにおいては、シールリングを備えたピストンはジャッキの基部 内に進入するようになっており、ジャッキの基部の室は非圧縮性の液体で完全に 満たされている。ピストンは、導管、ポンプ、停止弁、および貯槽を介して液体 を注入又は排出して室の液体の容積を変えることにより変位するか、或いは、シ ールリングを備えた作動ピストンをねじ・ナット機構によって作動させて室の形 状を変えることにより変位する。液体はほぼ非圧縮性であるので、ピストンは室 の容積が実質的に一定になるように変位する。 しかしながら、非常に大きな力を作用させることの可能なこの種のジャッキに は次の３つの難点がある。 −装置が汚れやすく、シールリングが摩耗し劣化するので油圧室のシール性は 相対的になる。 −マイクロメートルのオーダーの位置決めが不可能であり、用いる液体の僅か な漏洩と大きな膨張係数により位置決め不良が生じる。 −一般に制作費が高く、摩擦表面は精密で高品質の加工を要する。 フランス特許2,179,572号には第１油圧ジャッキを備えた倍力装置が開示して あり、このジャッキのピストン軸はジャッキの基部と一体の筺体内に摺動可能に 装着してあり、この筺体は第２ジャッキの室を形成しており、第２ジャッキはや はり摺動ピストンを備えており、このピストンはこの室に封入された流体静力学 的圧力伝達用エラストマーの作用を受けるようになっている。 また、ドイツ特許3,916,539号には、圧力を受けた軸によって作動される主ピ ストンを備えた圧力伝達装置又は圧力装置が記載されている。このピストンは室 内に封入されたエラストマー塊に作用するもので、エラストマー塊は２つの作動 ピストンに向かって圧力を伝達する。これらのピストンの変位は圧電式アクチュ エータによって制御される。 これらの倍力装置は作用流体としてエラストマー塊を使用している。しかし、 これらの倍力装置は、ここで必要としているような精度を達成できる位置決め用 ジャッキとしての機能を果たすことはできない。即ち、フランス特許2,179,572 号に記載された装置においては、第１ジャッキ又は作動ジャッキは油圧式ジャッ キであるので、高精度を求めるのが困難である。他方、ドイツ特許3,916,539号 に開示された伝達装置は、倍力装置ではないので、位置決め用ジャッキとして使 用することができない。何故ならば、その主ピストンは圧電式アクチュエータに よって作動される作動ピストンの断面よりも小さい断面を有し、従って作動ピス トンのところで僅かなストロークが得られると共に主ピストンの大きなストロー クが得られ、その結果、必要とする程度の精度を得ることができないからである 。 本発明の目的は、如上の不便を解消し、高い位置決め精度を得ることが可能で 、しかも従来のジャッキよりも安価に製造可能で信頼性に優れた３軸式位置決め 用ジャッキを提供することにある。 上記目的は３軸中少なくとも１軸が動力化された本発明の３軸式位置決め用ジ ャッキによって達成されるもので、このジャッキは、 −可動支持手段と前記可動支持手段を垂直方向に変位させるための手段とを 備えた基部と、 −前記ジャッキの可動ヘッドと基部との間の連結を行う軸、 とを備えている。 本発明に従えば、前記連結軸はヘッドが基部に対して側方に変位するのを可能 にする玉継手型の二重リンクを形成するべく構成され、前記可動支持手段はエラ ストマー塊を備え、連結軸の下端はこのエラストマー塊に支承されている。 斯るジャッキは、玉継手型の二重リンクがあるので、従来技術のジャッキが達 成することができる精度よりも高精度の三次元位置決めを可能にする。エラスト マー材料製の部材を使用したので、重量構造物の位置制御に特に有利な力伝達機 能と緩衝機能が得られる。 更に、本発明のジャッキの第１実施例においては、エラストマー材料製の部材 は好ましくは作用流体として使用することができる。 即ち、３軸中少なくとも１軸が動力化された３軸式位置決め用ジャッキであっ て、 −作動流体が封入された室とジャッキのヘッドと基部との間の連結を行う軸 とを収容する孔を備えた基部と、 −少なくとも１つの動力化された作動ピストンを備え、ヘッドの垂直方向変 位を得るべく前記封入室の形状を変化させるための手段、 とを備え、前記作動流体はエラストマー塊からなることを特徴とする３軸式位置 決め用ジャッキが提供される。 この第１実施例では、固体のエラストマー塊（これは荷重下では準流体として 振る舞う）は動力化された作動ピストンによって変形せられる。この変形の結果 、 室の容積が一定になるように作用ピストンが変位する。絶対座標に関して本発明 のジャッキをサーボ制御すれば、変形可能な構造物を整列させることを要する設 備において本発明のジャッキを容易に使用することが可能になる。 本発明の新規なジャッキが良好に作動するための条件は、エラストマーを圧縮 するピストンに加えられた荷重によって生成する圧力が、エラストマーが準流体 として振る舞うに充分であること（但し、ジャッキの基部に設けた孔とピストン との間の構造上の遊びを介してポリマーが押し出される程度までエラストマーの 粘性が降下しないこと）である。このジャッキは、孔−ピストン対の断面と用い るエラストマーのショア硬度に比例した最大荷重および最小荷重を有する。 本発明の第２実施例においては、可動支持手段は玉継手の作用をするエラスト マー部材を収容するための可動部材を備え、この可動部材は基部に対して摺動可 能に装着されマイクロメートル型ボールねじ手段によって作動されることを特徴 とする３軸式位置決め用ジャッキが提供される。 好ましくは、このジャッキは、連結軸の上端と可動ヘッドとの間で玉継手の作 用をする第２のエラストマー片を更に備えている。 凸状の両端を有する骨形の連結軸を設けることができ、この場合には好ましく はエラストマー部材は連結軸の各端部を支承するようになった凹みを備えている 。また、平らな支持面を有する円筒形のエラストマーペレットを使用することが でき、連結軸の平らな或いはほぼ平らな端部はペレットの支持面に支承される。 本発明のジャッキはコンパクトで小型である。他方、本発明のジャッキは製造 容易であり、従って経済的である。シール部材が破損するおそれがないので、そ の作動は確実である。更に、サーボ制御手段に連結すれば、位置決めの解像度が 高いので、本発明のジャッキは非常に精密な位置決めを可能にする。 従って、本発明の３軸式位置決め用ジャッキによれば、絶対座標に対して或い は複数の構造物同士間で重量構造物を高精度で位置決めするのに特に有効なアク チュエータが得られる。何故ならば、本発明の位置決め用ジャッキを複数個（例 えば、３軸中２軸が動力化された３軸式位置決め用ジャッキを３つ）組み合わせ れば、物体の６自由度を制御することができるからである。 本発明の範囲内で、 −３軸中２軸が動力化され、１軸は垂直、他の１軸は平面的、残りの１軸は 自由又は案内されているような３軸式位置決め用ジャッキ、 −３軸中垂直１軸が動力化され、平面的な残りの２軸は自由又は案内されて いるような３軸式位置決め用ジャッキ、 を設けることができる。 ３軸中２軸が動力化された３軸式位置決め用ジャッキは、更に、ジャッキのヘ ッドを第１水平軸に沿って側方変位させるための少なくとも１つの動力式ストッ パ（動力化されたストッパ）を備えることができる。この動力式ストッパは例え ば減速ギヤ付きモータによって駆動される駆動ねじを有する。 他方、動力化されていない水平軸に沿ってジャッキのヘッドを手動で案内若し くは変位させるため、ネジとそのカウンタストッパを設けることができる。 本発明の３軸式位置決め用ジャッキは、好ましくは、動力化された少なくとも １軸に沿って絶対座標に関して位置がサーボ制御される。 本発明の１軸式又は３軸式ジャッキの特定の実施態様においては、 −ジャッキのストロークを増加させ又は予調節するため室の外周に追加的作 動ピストンを分配配置して、これらの作動ピストンを動力式又は手動のねじ・ナ ット機構によって作動させることができ、 −極小荷重下での用途のためにエラストマーの（バネによる）機械的予荷重 機構を設けることができ、 −サーボ制御態様のために変位センサーをジャッキに付設することができる 。 ジャッキの相対的サーボ制御を可能にするため、これら全ての実施態様に変位 センサーを付設することができる。 本発明の更に他の観点に従えば、本発明は本発明の位置決め用ジャッキによっ て支持された構造物の位置をサーボ制御する方法を提供するもので、この方法は 、構造物の位置を計測することと、計測結果と位置コマンドに基づいて各ジャッ キをサーボ制御することを包含する。 好ましくは、サーボ制御された１軸を有する本発明のジャッキをＮ個使用する ことにより、変形可能な固体に作用させ、その幾何学形状を画定する（例えば、 大型機械のサーボ水準作業や長いパイプのアラインメント、或いは大型サイズの 変形可能固体の形状の補正、或いはまた大型工作機械の機台の平坦性や巨大質量 の並進運動の直線性の実現）。 １つ若しくは複数の絶対座標に関して計測を行うセンサーを用いて本発明のＮ 個のジャッキをサーボ制御することも本発明の範囲に属する。 本発明の他の特徴や効果は以下の記載から更に明らかとなろう。非限定的な実 施例を示す添付図面において： 第１図は２軸が動力化された本発明の３軸ジャッキの実施例の断面図； 第２図は第１図に示したジャッキの一部切欠き下面図； 第３図は１軸が動力化された本発明の３軸ジャッキの実施例の断面図； 第４図は第３図に示したジャッキの上部の一部切欠き上面図； 第５図は本発明の３軸ジャッキの他の実施態様の第１実施例の断面図； 第６図は本発明の３軸ジャッキの前記他の実施態様の第２実施例の断面図； 第７図は構造物の６自由度を制御するために本発明のジャッキ３台を用いた例 を示し； 第８図は変形不可能な構造物の絶対座標に対する空間位置を検出するために用 いるセンサーの第１の組み合わせを示し； 第９図は制御方法において構造物の空間位置を検出するために用いるセンサー の第２の組み合わせを示し； 第１０図は本発明の制御方法において構造物の空間位置を検出するために用い るセンサーの第３の組み合わせを示し； 第１１図は長いパイプを整列させるために一組の本発明のジャッキを使用する 例を示す。 次に、第１図から第６図を参照にしながら、１軸又は２軸が動力化された本発 明の３変位軸を備えたジャッキの幾つかの実施例を説明する。 これらのジャッキは空間内に物体を位置決めしサーボ制御する場合に特に好適 である。即ち、空間内に物体を位置決めし保持するためには、その６つの自由軸 を管理する必要がある。これらの自由軸は、一般に、異なる軸を管理すると共に 位置決めすべき物体の質量を支持する３つのアクチュエータによって制御される 。従来から用いられているやり方は、垂直軸Ｚに沿って位置決めされた３つのジ ャッキを使用するもので、これらのジャッキは、同時運動によってこの垂直軸を 管理し制御すると共に、差動運動によって水平面ＯｘとＯｙ内における回転を管 理し制御する。いづれか１つのジャッキの下に配置した交叉運動表はＸ軸および Ｙ軸の水平変位を管理する。他の２つのジャッキのいづれかの下に配置されＹ軸 に沿って配置された第３単純並進運動は最後のＺ軸を管理するためにやはり必要 である。 従って、３軸ジャッキを３つ使用することは、非常に限られた空間の中に垂直 運動と平面運動という２つの運動を組み合わせるという利点がある。３つの３軸 ジャッキによって物体を支持することにより物体の６自由度を制御することがで きる。この場合、支持すべき物体の位置のサーボ制御は、構造物の変位を直接に 計測するセンサーによって制御される。計測は、地面に関して行われる（相対的 サーボ制御）か、或いは、トートワイヤー、光線、液体表面、若しくはそれらの 均等手段のような絶対座標に関して行われる。こうすれば２つ又は複数のブロッ クを互いに位置決めすることができる。 実施例の特定の変化形においては、 −垂直軸Ｚと横軸Ｘとの２軸に沿った動力式変位（動力化された変位）を可 能にするジャッキ４０（第１図および第２図）、 −垂直軸に沿った動力式変位と水平軸ＸおよびＹに沿った手動調節可能なス トッパによる変位とを可能にするジャッキ６０（第３図および第４図）、 を想定することができる。 第１図を参照するに、本発明のジャッキ４０の基部４１は孔410を備え、この 孔にはエラストマーの第１ペレット２と二重玉継手型の骨形のピストン４３が収 容されており、このピストンの下端はペレット２に支承されている。このジャッ キは更に孔456を備えた可動ヘッド４５と円筒形周辺部450を備え、この孔456に はエラストマーの第２ペレット455が収容してあり、ピストン４３の上端はこ の第２ペレット455に支承されている。 垂直方向運動Ｚはエラストマー２に対する作動ピストン４４の作用により得ら れるもので、手動調節可能な作動ピストン４４は位置決めの初期調節を可能にし ており、少なくとも１つの作動ピストン４は位置をサーボ制御するために動力化 されている。ピストンの幾何学形状は、垂直運動の外に、Ｘ軸およびＹ軸周りの 回転を可能にするもので、これらの回転はＸ軸およびＹ軸に関するジャッキ４０ のヘッドの並進運動を夫々発生させる。エラストマーペレット455は第２室内に 封入してあり、この第２室の形状は調節ねじ453、454によって手動操作される２ つの作動ピストン451、452の変位によって修正される。 これにより、垂直ストロークを増加させると共に、ヘッドに対するジャッキ基 部の非平行性に耐えることができる。 水平軸Ｘに関する動力化は基部４１の外周４２に当接する動力式ストッパを介 して行われ、このストッパはＸ軸制御用の減速ギヤ付きモータ４８によって作動 され、このストッパは、 −Ｘ軸に関する案内と遊びの調節を行うカウンタストッパ461と、 −駆動ねじ４６、 を備えている。 減速ギヤ付きモータ４８は固定手段４９によってジャッキ４０のヘッド４５に 固定してある。駆動ねじ４６は減速ギヤ付きモータ４８の軸によって駆動される 動力式ヨーク４７によって並進移動される。第２の水平軸Ｙは第２図に示したよ うに弛緩可能なねじストッパ５０、５１によって単純にロックされている。 第３図および第４図（これらの図では第１図および第２図の構成要素と同じも のは同じ参照番号で示す）に示したこの実施例の変化形においては、２つの水平 軸Ｘ、Ｙはジャッキ６０の上方部分６５を横断するねじ６１、６２；６６、６７ によって調節可能な非動力式手動ストッパ610、620、660、670によって作動され る。このジャッキ６０はエラストマーペレット２を収容した孔410とピストン６ ３を備え、このピストンの玉継手型の基部はエラストマーペレット２上に安息し ており、その上端は玉継手の第２機能を果たすボール431を支承するべく構成さ れた凹み433を備えており、上部６５もこのボールを支承する適当な凹み432を備 えている。 第５図および第６図（これらの図に共通の構成要素は共通の参照番号で示す） に示した実施例を参照するに、本発明の３軸ジャッキの他の実施例においては、 玉継手はエラストマー材料で形成してあり、連結軸に沿う変位はマイクロメート ル型ボールねじ装置によって行われる。即ち、ジャッキ５０は基部５１を備え、 この基部の円筒形の上部５２には孔521が設けてあり、この孔内でマイクロメー トル型ボールねじ装置510によって位置制御される可動部材550が摺動する。可動 部材550はエラストマー材料製の第１部材554を支承するように設計されており、 この第１部材には二重玉継手型の骨形ピストン５３の下端が嵌合している。ピス トン５３の上端531はジャッキ５０の可動ヘッド５５の孔556内に嵌合されたエラ ストマー材料製の第２部材555内に収容されている。 可動ヘッド５５のＺ方向垂直運動はステッピングモータなどによって駆動され るマイクロメートル型ボールねじ装置510に対する作用によって得られる。２つ のエラストマー片554、555は玉継手の連結と緩衝を同時に行う。 ピストン５３の幾何学形状は、垂直運動の外に、Ｘ軸およびＹ軸周りの回転を 可能にするもので、これらの回転はＸ軸およびＹ軸に関するジャッキ５０のヘッ ドの並進運動を夫々発生させる。水平軸Ｘに関する動力化は基部５１の上部５２ の外周に当接する動力式ストッパを介して行われ、このストッパはＸ軸制御用の 減速ギヤ付きモータ５８によって作動され、このストッパは、 −Ｘ軸に関する案内と遊びの調節を行うカウンタストッパ561と、 −駆動ねじ５６、 を備えている。 減速ギヤ付きモータ５８は固定手段５９によりジャッキ５０のヘッド５５の円 筒形外周部551に固定してある。駆動ねじ５６は減速ギヤ付きモータ５８の軸に よって駆動される動力式ヨーク５７によって並進移動される。第２の水平軸Ｙは ねじストッパによって単純にロックされている。 マイクロメートル型ボールねじを備えた第５図に示した実施例の第２使用例に おいては、ジャッキ３０のピストン３３はほぼ平らな下端332および上端331を備 え、これらの端部は夫々エラストマー材料の第１部材354および第２部材355に当 接している。これらの第１部材354および第２部材355は例えば円柱形ペレットの 形を備え、夫々摺動部材550の内部におよび可動ヘッド５５の内側に設けた孔556 内に収容してある。 次に、第７図から第１１図を参照しながら、本発明のジャッキを用いた位置決 めサーボ制御方法の実施例、並びに、構造物の位置計測に用いるセンサーの組み 合わせを説明する。 本発明のサーボ制御方法は、例えば、変形可能な構造物の幾何学形状を維持す るために実施することができる。外部絶対座標に関してサーボ制御された動力化 された１軸を有するＮ個のジャッキを使用すれば、地面の運動、機械的応力、な どを補償することが可能になり、例えば長いパイプの整列（アラインメント）や 工作機械の水準作業をすることができる。 第１１図は長いパイプを整列させるためのシステムの第１のレイアウトを示す もので、このレイアウトにおいては、絶対的基準線はトートワイヤーＦによって 画定されている。長いパイプ111は、補正すべき軸Ｚに沿って配置した本発明の ジャッキの第１群Ｖ１〜Ｖ６の上に載置されており、他方、本発明のジャッキの 第２群Ｖ’１〜Ｖ’６はパイプ111に沿って水平軸Ｘに沿って配置してある。１ 群の２軸偏位計Ｅ１〜Ｅ６はトートワイヤーに対する２軸偏位を計測してパイプ 111のアラインメントを訂正するのを可能にする。 第２のレイアウトにおいては、基準線は水平面を画定する水面によって画定す ることができる。 第３のレイアウトにおいては、基準線は１軸式又は２軸式傾斜計によって画定 することができる。 本発明の３軸ジャッキは例えば２つ又はＮ個の変形可能な構造物８０の空間位 置を制御するために使用することができる。本発明の制御方法の範囲内において 、地面８４に配置された本発明の３つの位置決め用３軸ジャッキ８１、８２、８ ３に夫々支持された変形可能な構造物８０の６自由度の制御が行われ、夫々の位 置 決め用ジャッキ８１、８２、８３には垂直変位軸Ａ１、Ａ２、Ａ３と横方向変位 軸Ａ４、Ａ５、Ａ６が割り当ててある。本発明の夫々の位置決め用ジャッキ８１ 、８２、８３は構造物の垂直変位ＺとチルトΘｘ、Θｙを制御する作動ピストン を駆動するための第１の減速ギヤ付きモータ812、822、832を備えている。２つ の位置決め用ジャッキ８１、８２は、更に、構造物の変位ＹとΘｚを制御する動 力式ストッパを駆動するための第２の減速ギヤ付きモータ818、828を備えている 。第３の位置決め用ジャッキ８３は水平軸Ｘに沿った変位を制御する手動調節可 能なストッパを備えている。 この制御方法は、絶対基準点Ｒに対する各構造物８０の空間位置を検出するこ とと、この基準点に対して３つの位置決め用ジャッキ８１、８２、８３を閉ルー プ制御することを包含する。 第８図に示した第１のレイアウトにおいては、絶対基準点は２本のトートワイ ヤーによって画定されており、位置の計測は次を包含する： −第１水平軸Ｘに沿って張った第１ワイヤーＦ１に関して、構造物８０の第 １点で垂直軸Ｚに沿って行う１つの単軸ワイヤー方向偏位計測ＥＣＺ、および、 −第２水平軸Ｘに沿って張った第２ワイヤーＦ２に関して、異なる他の２点 で夫々垂直軸Ｚおよび第２水平軸Ｙに沿って行う２つの２軸方向偏位計測ＥＣＤ １、ＥＣＤ２。 第９図に示した第２のレイアウトにおいては、絶対基準点は２本のトートワイ ヤーによって画定されており、位置の計測は次を包含する： −第１水平軸Ｘに沿って張った第１ワイヤーＦ１に関する、垂直軸Ｚに沿っ た１つの単軸方向偏位計測ＥＣＺ、 −第１ワイヤーＦ１に平行に張った第２ワイヤーＦ２に関して異なる２点で 第２水平軸Ｙに沿って行う２つの単軸方向偏位計測ＥＣＹ１、ＥＣＹ２、および 、 −第１水平軸Ｘおよび第２水平軸Ｙを夫々中心とする垂直軸Ｚに対する構造 物８０の傾斜の２つの測定値Ｄｘ、Ｄｙを出力するための２つの傾斜計測 ＩＮ。 第１０図に示した第３のレイアウトにおいては、位置の計測は次を包含する： −垂直軸Ｚに沿って構造物８０の第１点で行う高度計測ＡＬ、 −第１水平軸Ｘに沿って張った第２ワイヤーＦ２に関して異なる２点で第２ 水平軸Ｙに沿って行う２つの単軸方向偏位計測ＥＣＹ１、ＥＣＹ２、および、 −第１水平軸Ｘおよび第２水平軸Ｙを夫々中心とする垂直軸Ｚに対する構造 物８０の傾斜の２つの測定値Ｄｘ、Ｄｙを出力するための２つの２軸方向傾斜計 測ＩＮ。 位置測定は例えば位置決め用ジャッキのところで行うことができるが、構造物 の他の点で行うことも全く可能である。夫々の位置決め用ジャッキ８１、８２、 ８３に垂直軸Ｚに沿った計測を担当させ、２つの位置決め用ジャッキ８１、８２ に第２水平軸Ｙに沿った２つの計測を担当させる。 勿論、本発明は前述した実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸 脱することなく種々の設計変更を加えることができる。例えば、位置決め用ジャ ッキの他の変化形を想定することができる。位置センサーの他の組み合わせを推 考することもできる。エラストマー塊を形成するため、ポリウレタンや天然ゴム を使用することができる。このエラストマー塊は多数のエラストマーボールで構 成することができる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．３軸（X、Y、Z）中少なくとも１軸が動力化された３軸式位置決め用ジャッ キ（30、40、50、60）であって、 −可動支持手段（2、550）と前記可動支持手段を垂直方向に変位させるため の手段（44、510）とを備えた基部（41、51）と、 −前記ジャッキ（40）の可動ヘッド（45、55、65）と基部（41、51）との間 の連結を行う軸（33、43、53、63）、 とを備え、 その特徴は、前記連結軸（33、43、53、63）はヘッド（45、55、65）が基部（ 41、51）に対して側方に変位するのを可能にする玉継手型の二重リンクを形成す るべく構成され、前記可動支持手段はエラストマー塊（2、554、354）を備え、 連結軸（33、43、53、63）の下端はこのエラストマー塊に支承されていることか らなる３軸式位置決め用ジャッキ。 ２．３軸中２軸（X、Y）が動力化された請求項１に基づく３軸式位置決め用ジャ ッキ（30、40、50）であって、更に、ジャッキの前記ヘッドを第１水平軸に沿っ て側方変位させるための少なくとも１つの動力式ストッパを備えていることを特 徴とする３軸式位置決め用ジャッキ。 ３．更に、２つの水平軸（X、Y）の少なくとも一方に沿って手動で案内若しくは 変位を行うための手段（50、51）、特にネジとそのカウンタストッパ、を備えて いることを特徴とする請求項１又は２に基づく３軸式位置決め用ジャッキ（40） 。 ４．３軸（X、Y、Z）中少なくとも１軸（ Z）が動力化された前記請求項のいづ れかに基づく３軸式位置決め用ジャッキ（40、60）であって、 −作動流体（2）が封入された室とジャッキ（40）のヘッド（45、65）と基 部（41）との間の連結を行う軸（43、63）とを収容する孔を備えた基部（41） と、 −少なくとも１つの動力化された作動ピストン（4）を備え、ヘッド（45） の垂直方向変位を得るべく前記封入室の形状を変化させるための手段、 とを備え、前記作動流体（2）はエラストマー塊からなることを特徴とする３軸 式位置決め用ジャッキ。 ５．前記ジャッキ（20、40、60）のストロークを増加させるべく前記室の外周に 配置された少なくとも１つの追加的作動ピストン（24、44）を更に備えているこ とを特徴とする請求項４に基づく３軸式位置決め用ジャッキ（20、40、60）。 ６．前記可動支持手段は玉継手の作用をするエラストマー塊（554、354）を収容 するための可動部材（550）を備え、前記可動部材は基部（51）に対して摺動可 能に装着されマイクロメートル型ボールねじ手段（510）によって作動されるこ とを特徴とする請求項１に基づく３軸式位置決め用ジャッキ（30、50）。 ７．連結軸（33、53）の上端と可動ヘッド（55）との間で玉継手の作用をする第 ２のエラストマー片（355、555）を更に備えていることを特徴とする請求項６に 基づく３軸式位置決め用ジャッキ（30、50）。 ８．少なくとも１つのエラストマー片（554、555）は連結軸（53）のほぼ凸状の 端部（531、532）を支承するべく配置された凹みを備えていることを特徴とする 請求項６又は７に基づく位置決め用ジャッキ（50）。 ９．少なくとも１つのエラストマー片（354、555）は連結軸（33）の端部を支承 するためのほぼ平らな面を呈するペレットの形を備えていることを特徴とする請 求項６から８のいづれかに基づく位置決め用ジャッキ（30）。 １０．ジャッキは１つ若しくは複数の位置センサーが出力する信号に基づいて閉 ループでジャッキの軸に沿って位置制御されることを特徴とする前記請求項のい づれかに基づく３軸式位置決め用ジャッキ。 １１．前記位置センサーはジャッキのヘッドに配置されていることを特徴とする 請求項１０に基づく位置決め用ジャッキ。 １２．前記位置センサーはジャッキに担持された物体に配置されていることを特 徴とする請求項１０に基づく位置決め用ジャッキ。 １３．前記位置センサーはジャッキの基部に連結された１つ若しくは複数の照準 に指向していることを特徴とする請求項１０から１２のいづれかに基づく位置決 め用ジャッキ。 １４．前記位置センサーはジャッキの基部から独立した１つ若しくは複数の照準 に指向していることを特徴とする請求項１０から１２のいづれかに基づく位置決 め用ジャッキ。 １５．請求項１４に基づく３つのジャッキによって支持された変形可能な固体の 位置をサーボ制御する方法。 １６．請求項１０に基づく３つの２軸サーボジャッキによって夫々が支持された 複数の変形可能な固体の相対位置をサーボ制御する方法。 １７．位置計測は、 −絶対基準点（R）に関連させた第１水平軸（X）に沿って張った第１ワイヤ ー（F1）に関して、絶対基準点（R）に関連させた垂直軸（Z）に沿って構造物（ 80）の第１点で行う１つの単軸方向偏位計測（ECZ）、および、 −第１水平軸（X）に沿って張った第２ワイヤー（F2）に関して、夫々垂直 軸（Z）および第２水平軸（Y）に沿って異なる他の２点で行う２つの２軸方向偏 位計測（ECD1、ECD2）、 を包含することを特徴とする請求項１５又は１６に基づく方法。 １８．位置計測は、 −絶対基準点（R）に関連させた第１水平軸（X）に沿って張った第１ワイヤ ー（F1）に関する、絶対基準点（R）に関連させた垂直軸（Z）に沿った１つの単 軸方向偏位計測（ECZ）、 −第１水平軸に沿って張った第２ワイヤー（F2）に関して、絶対基準点（R ）に関連させた第２水平軸（Y）に沿って異なる２点で行う２つの単軸方向偏位 計測（ECY1、ECY2）、および、 −第１水平軸（X）および第２水平軸（Y）を夫々中心とする垂直軸（Z）に 対する構造物（80）の傾斜の２つの測定値（Dx、Dy）を出力するための２つの傾 斜計測（IN）、 を包含することを特徴とする請求項１５又は１６に基づく方法。 １９．位置計測は、 −絶対基準点（R）に関連させた垂直軸（Z）に沿って構造物（80）の第１点 で行う高度計測（AL）、 −第１水平軸（X）に沿って張ったワイヤー（F2）に関して、絶対基準点（R ）に関連させた第２水平軸（Y）に沿って異なる２点で行う２つの単軸方向偏位 計測（ECY1、ECY2）、および、 −第１水平軸（X）および第２水平軸（Y）を夫々中心とする垂直軸（Z）に 対する構造物（80）の傾斜の２つの測定値（Dx、Dy）を出力するための２つの傾 斜計測（IN）、 を包含することを特徴とする請求項１５又は１６に基づく方法。