JP2001237135A - ガラス膜の形成方法およびその装置、金属膜の形成方法およびその装置、ならびに電子部品の製造方法 - Google Patents
ガラス膜の形成方法およびその装置、金属膜の形成方法およびその装置、ならびに電子部品の製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フェライトコア等の被膜形成体の表面に、均
一かつ均質のガラス膜や金属膜を効率良く形成するこ
と。 【解決手段】 回転可能なメッシュ状容器２内に被膜形
成体７を配し、メッシュ状容器２を矢印Ａ方向に回転さ
せながら、被膜形成体７に霧状のガラススラリー６（金
属スラリー）を吹き付けて被膜形成体７にガラス塗膜
（金属塗膜）を形成し、同時に、被膜形成体７に温風を
吹き付けてガラス塗膜（金属塗膜）を乾燥させ、被膜形
成体７の表面に均一かつ均質のガラス膜（金属膜）を形
成する。
一かつ均質のガラス膜や金属膜を効率良く形成するこ
と。 【解決手段】 回転可能なメッシュ状容器２内に被膜形
成体７を配し、メッシュ状容器２を矢印Ａ方向に回転さ
せながら、被膜形成体７に霧状のガラススラリー６（金
属スラリー）を吹き付けて被膜形成体７にガラス塗膜
（金属塗膜）を形成し、同時に、被膜形成体７に温風を
吹き付けてガラス塗膜（金属塗膜）を乾燥させ、被膜形
成体７の表面に均一かつ均質のガラス膜（金属膜）を形
成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被膜形成体の表面
にガラス膜を形成するガラス膜の形成方法およびその装
置、被膜形成体の表面に金属膜を形成する金属膜の形成
方法およびその装置、ならびに、電子部品の製造方法に
関するものである。
にガラス膜を形成するガラス膜の形成方法およびその装
置、被膜形成体の表面に金属膜を形成する金属膜の形成
方法およびその装置、ならびに、電子部品の製造方法に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、フェライトコアにスパイラル状
の導体パターンを設けたチップコイル等の電子部品にお
いては、その耐環境性や絶縁性を高めるため、あるい
は、メッキ処理する際のメッキ液等の浸透を防止するた
め、導体パターンを形成する前に、保護膜としてガラス
膜を形成することが有効である。
の導体パターンを設けたチップコイル等の電子部品にお
いては、その耐環境性や絶縁性を高めるため、あるい
は、メッキ処理する際のメッキ液等の浸透を防止するた
め、導体パターンを形成する前に、保護膜としてガラス
膜を形成することが有効である。
【０００３】従来、フェライトコアへのガラス膜の形成
方法としては、 （１）ガラス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるガ
ラスペースト（あるいはガラススラリー）中にフェライ
トコアを浸漬させ、これを焼成する方法 （２）フェライトコアにスクリーン印刷でガラスペース
トを付与し、これを焼成する方法 等が知られている。
方法としては、 （１）ガラス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるガ
ラスペースト（あるいはガラススラリー）中にフェライ
トコアを浸漬させ、これを焼成する方法 （２）フェライトコアにスクリーン印刷でガラスペース
トを付与し、これを焼成する方法 等が知られている。
【０００４】他方、従来、フェライトコアへの導体パタ
ーン形成としては、 （３）フェライトコアに金属粉末を含む導体ペーストを
スクリーン印刷して金属膜パターンを形成した後、これ
を焼成する方法 （４）金属粉末やガラス粉末を含む導体ペースト中にフ
ェライトコアを浸漬して得られた金属塗膜を乾燥させ、
さらにそれを焼成した後、パターニングする方法 （５）無電解メッキによって金属膜を形成した後、パタ
ーニングする方法 等が知られている。
ーン形成としては、 （３）フェライトコアに金属粉末を含む導体ペーストを
スクリーン印刷して金属膜パターンを形成した後、これ
を焼成する方法 （４）金属粉末やガラス粉末を含む導体ペースト中にフ
ェライトコアを浸漬して得られた金属塗膜を乾燥させ、
さらにそれを焼成した後、パターニングする方法 （５）無電解メッキによって金属膜を形成した後、パタ
ーニングする方法 等が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フェラ
イトコアへのガラス膜の形成方法に関し、上記（１）の
手法では、フェライトコア表面に均一な厚みのガラス膜
を形成することが難しく、また、フェライトコアを保持
する部分にはガラス膜を形成することができない。ま
た、上記（２）の手法では、フェライトコアの端面ごと
にスクリーン印刷を施す必要があるため、印刷回数が増
加して生産性が低下し、さらに、フェライトコアの表面
に凹凸がある場合は、均一な膜厚のガラス膜形成が困難
である。
イトコアへのガラス膜の形成方法に関し、上記（１）の
手法では、フェライトコア表面に均一な厚みのガラス膜
を形成することが難しく、また、フェライトコアを保持
する部分にはガラス膜を形成することができない。ま
た、上記（２）の手法では、フェライトコアの端面ごと
にスクリーン印刷を施す必要があるため、印刷回数が増
加して生産性が低下し、さらに、フェライトコアの表面
に凹凸がある場合は、均一な膜厚のガラス膜形成が困難
である。
【０００６】ところで、フェライトコア等の被膜形成体
表面にガラス膜を形成する手法として、特開平８−２２
２４１１号公報には、ガラス粉末にバインダ樹脂を添加
してガラス造粒粉を作製し、これをチップ状の被膜形成
体（電子部品素体）と共に、回転する耐熱性容器内で混
合しながら熱処理して、被膜形成体表面にガラス膜を形
成する方法が開示されている。
表面にガラス膜を形成する手法として、特開平８−２２
２４１１号公報には、ガラス粉末にバインダ樹脂を添加
してガラス造粒粉を作製し、これをチップ状の被膜形成
体（電子部品素体）と共に、回転する耐熱性容器内で混
合しながら熱処理して、被膜形成体表面にガラス膜を形
成する方法が開示されている。
【０００７】しかし、この方法では、ガラス粉末の粘度
が高い場合あるいはガラス粉末が結晶化ガラス粉末の場
合には、容器内での被膜形成体とガラス造粒粉との均一
な混合が困難であり、ガラス膜の膜厚が不均一になり易
い。また、被膜形成体が容器内壁に固着したり、団粒が
発生することにより、製造効率が低下してしまうことが
ある。
が高い場合あるいはガラス粉末が結晶化ガラス粉末の場
合には、容器内での被膜形成体とガラス造粒粉との均一
な混合が困難であり、ガラス膜の膜厚が不均一になり易
い。また、被膜形成体が容器内壁に固着したり、団粒が
発生することにより、製造効率が低下してしまうことが
ある。
【０００８】また、フェライトコアへの導体パターン形
成方法に関し、上記（３）の手法では、フェライトコア
の端面ごとにスクリーン印刷を施す必要があるため、印
刷回数が増加して生産性が低下し易く、また、フェライ
トコア表面に凹凸がある場合は、均一な膜厚の金属膜を
形成することが困難である。さらに、上記（４）の手法
では、フェライトコア表面への均一な厚みの塗膜形成が
困難であり、また、その保持部分には金属塗膜を形成す
ることができない。
成方法に関し、上記（３）の手法では、フェライトコア
の端面ごとにスクリーン印刷を施す必要があるため、印
刷回数が増加して生産性が低下し易く、また、フェライ
トコア表面に凹凸がある場合は、均一な膜厚の金属膜を
形成することが困難である。さらに、上記（４）の手法
では、フェライトコア表面への均一な厚みの塗膜形成が
困難であり、また、その保持部分には金属塗膜を形成す
ることができない。
【０００９】また、上記（５）の手法では、予めフェラ
イトコア表面を活性化処理する必要があり、また、一般
に、その厚膜化は困難である。さらに、メッキ液を使用
するので、その廃液処理の問題があり、また、メッキ液
の浸透による信頼性の劣化を引き起こすことがある。
イトコア表面を活性化処理する必要があり、また、一般
に、その厚膜化は困難である。さらに、メッキ液を使用
するので、その廃液処理の問題があり、また、メッキ液
の浸透による信頼性の劣化を引き起こすことがある。
【００１０】本発明は、上述した実情に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、フェライトコアのような被膜
形成体の表面に、均一で均質なガラス膜を効率良く形成
する、ガラス膜の形成方法およびその装置を提供するこ
とにある。また、均一で均質なガラス膜を有し、耐環境
性や絶縁性に優れた電子部品の製造方法を提供すること
にある。
ものであり、その目的は、フェライトコアのような被膜
形成体の表面に、均一で均質なガラス膜を効率良く形成
する、ガラス膜の形成方法およびその装置を提供するこ
とにある。また、均一で均質なガラス膜を有し、耐環境
性や絶縁性に優れた電子部品の製造方法を提供すること
にある。
【００１１】本発明のさらに他の目的は、フェライトコ
アのような被膜形成体の表面に、均一で均質な金属膜を
効率良く形成する、金属膜の形成方法およびその装置を
提供することにある。また、均一で均質な金属膜を有
し、信頼性の高い電子部品の製造方法を提供することに
ある。
アのような被膜形成体の表面に、均一で均質な金属膜を
効率良く形成する、金属膜の形成方法およびその装置を
提供することにある。また、均一で均質な金属膜を有
し、信頼性の高い電子部品の製造方法を提供することに
ある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
（Ａ）回転可能な容器内に被膜形成体を配する第１工程
と、（Ｂ）前記容器を回転させながら前記被膜形成体に
ガラススラリーを吹き付けて、その表面にガラス塗膜を
形成する第２工程と、（Ｃ）前記容器を回転させながら
前記被膜形成体を加温し、前記ガラス塗膜を乾燥させる
第３工程と、を有することを特徴とするガラス膜の形成
方法に係るものである。
（Ａ）回転可能な容器内に被膜形成体を配する第１工程
と、（Ｂ）前記容器を回転させながら前記被膜形成体に
ガラススラリーを吹き付けて、その表面にガラス塗膜を
形成する第２工程と、（Ｃ）前記容器を回転させながら
前記被膜形成体を加温し、前記ガラス塗膜を乾燥させる
第３工程と、を有することを特徴とするガラス膜の形成
方法に係るものである。
【００１３】また、本発明は、（ａ）回転可能な容器
と、（ｂ）前記容器内に配される被膜形成体にガラスス
ラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜を形成するた
めのスラリー吐出部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温し
て前記ガラス塗膜を乾燥させるための加温部と、を備え
ることを特徴とするガラス膜の形成装置を提供するもの
である。
と、（ｂ）前記容器内に配される被膜形成体にガラスス
ラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜を形成するた
めのスラリー吐出部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温し
て前記ガラス塗膜を乾燥させるための加温部と、を備え
ることを特徴とするガラス膜の形成装置を提供するもの
である。
【００１４】また、本発明は、本発明のガラス膜の形成
方法によって、電子部品素体にガラス膜を形成すること
を特徴とする電子部品の製造方法（以下、第１の電子部
品の製造方法とする）を提供するものである。
方法によって、電子部品素体にガラス膜を形成すること
を特徴とする電子部品の製造方法（以下、第１の電子部
品の製造方法とする）を提供するものである。
【００１５】さらに、本発明は、（Ａ）回転可能な容器
内に被膜形成体を配する第１工程と、（Ｂ）前記容器を
回転させながら前記被膜形成体に金属スラリーを吹き付
けて、その表面に金属塗膜を形成する第２工程と、
（Ｃ）前記容器を回転させながら前記被膜形成体を加温
し、前記金属塗膜を乾燥させる第３工程と、を有するこ
とを特徴とする金属膜の形成方法に係るものである。
内に被膜形成体を配する第１工程と、（Ｂ）前記容器を
回転させながら前記被膜形成体に金属スラリーを吹き付
けて、その表面に金属塗膜を形成する第２工程と、
（Ｃ）前記容器を回転させながら前記被膜形成体を加温
し、前記金属塗膜を乾燥させる第３工程と、を有するこ
とを特徴とする金属膜の形成方法に係るものである。
【００１６】また、本発明は、（ａ）回転可能な容器
と、（ｂ）前記容器内に配される被膜形成体に金属スラ
リーを吹き付ける、その表面に金属塗膜を形成するため
のスラリー吐出部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温して
前記金属塗膜を乾燥させるための加温部と、を備えるこ
とを特徴とする金属膜の形成装置を提供するものであ
る。
と、（ｂ）前記容器内に配される被膜形成体に金属スラ
リーを吹き付ける、その表面に金属塗膜を形成するため
のスラリー吐出部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温して
前記金属塗膜を乾燥させるための加温部と、を備えるこ
とを特徴とする金属膜の形成装置を提供するものであ
る。
【００１７】また、本発明は、本発明の金属膜の形成方
法によって、電子部品素体に金属膜を形成することを特
徴とする電子部品の製造方法（以下、第２の電子部品の
製造方法とする）を提供するものである。
法によって、電子部品素体に金属膜を形成することを特
徴とする電子部品の製造方法（以下、第２の電子部品の
製造方法とする）を提供するものである。
【００１８】本発明のガラス膜の形成方法よれば、回転
可能な容器内に被膜形成体を配し、この容器を回転させ
ながら、被膜形成体にガラススラリーを吹き付けてその
表面にガラス塗膜を形成し、さらに、この容器を回転さ
せながら、被膜形成体を加温してガラス塗膜を乾燥させ
るので、被膜形成体の表面に均一で均質なガラス膜を効
率良く形成することができる。
可能な容器内に被膜形成体を配し、この容器を回転させ
ながら、被膜形成体にガラススラリーを吹き付けてその
表面にガラス塗膜を形成し、さらに、この容器を回転さ
せながら、被膜形成体を加温してガラス塗膜を乾燥させ
るので、被膜形成体の表面に均一で均質なガラス膜を効
率良く形成することができる。
【００１９】また、本発明のガラス膜の形成装置によれ
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体にガラススラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜
を形成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を
加温してガラス塗膜を乾燥させるための加温部とを備え
るので、上述した本発明のガラス膜の形成方法を再現性
良く実施することができる。
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体にガラススラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜
を形成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を
加温してガラス塗膜を乾燥させるための加温部とを備え
るので、上述した本発明のガラス膜の形成方法を再現性
良く実施することができる。
【００２０】さらに、本発明の第１の電子部品の製造方
法によれば、本発明のガラス膜の形成方法に基づいて被
膜形成体（電子部品素体）にガラス膜を形成するので、
表面に均一で均質なガラス膜を有し、耐環境性や絶縁性
に優れた電子部品を効率良く製造することができる。
法によれば、本発明のガラス膜の形成方法に基づいて被
膜形成体（電子部品素体）にガラス膜を形成するので、
表面に均一で均質なガラス膜を有し、耐環境性や絶縁性
に優れた電子部品を効率良く製造することができる。
【００２１】また、本発明の金属膜の形成方法によれ
ば、回転可能な容器内に被膜形成体を配し、この容器を
回転させながら、被膜形成体に金属スラリーを吹き付け
てその表面に金属塗膜を形成し、さらに、この容器を回
転させながら、被膜形成体を加温して金属塗膜を乾燥さ
せるので、被膜形成体の表面に均一で均質な金属膜を効
率良く形成することができる。
ば、回転可能な容器内に被膜形成体を配し、この容器を
回転させながら、被膜形成体に金属スラリーを吹き付け
てその表面に金属塗膜を形成し、さらに、この容器を回
転させながら、被膜形成体を加温して金属塗膜を乾燥さ
せるので、被膜形成体の表面に均一で均質な金属膜を効
率良く形成することができる。
【００２２】また、本発明の金属膜の形成装置によれ
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体に金属スラリーを吹き付け、その表面に金属塗膜を形
成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を加温
して金属塗膜を乾燥させるための加温部とを備えるの
で、本発明の金属膜の形成方法を再現性良く実施するこ
とができる。
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体に金属スラリーを吹き付け、その表面に金属塗膜を形
成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を加温
して金属塗膜を乾燥させるための加温部とを備えるの
で、本発明の金属膜の形成方法を再現性良く実施するこ
とができる。
【００２３】さらに、本発明の第２の電子部品の製造方
法によれば、本発明の金属膜の形成方法に基づいて被膜
形成体（電子部品素体）に金属膜を形成するので、表面
に均一で均質な金属膜を有し、信頼性の高い電子部品を
効率良く製造することができる。
法によれば、本発明の金属膜の形成方法に基づいて被膜
形成体（電子部品素体）に金属膜を形成するので、表面
に均一で均質な金属膜を有し、信頼性の高い電子部品を
効率良く製造することができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】まず、被膜形成体にガラス膜を形
成する手法について説明する。
成する手法について説明する。
【００２５】本発明のガラス膜の形成方法は、（Ａ）回
転可能な容器内に、フェライトコアのような被膜形成体
を配する第１工程と、（Ｂ）この容器を回転させながら
ガラススラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面にガラ
ス塗膜を形成する第２工程と、（Ｃ）さらに、回転する
容器内で被膜形成体を加温して、ガラス塗膜を乾燥させ
る第３工程と、を有するものである。
転可能な容器内に、フェライトコアのような被膜形成体
を配する第１工程と、（Ｂ）この容器を回転させながら
ガラススラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面にガラ
ス塗膜を形成する第２工程と、（Ｃ）さらに、回転する
容器内で被膜形成体を加温して、ガラス塗膜を乾燥させ
る第３工程と、を有するものである。
【００２６】つまり、回転する容器内でガラススラリー
を吹き付けてガラス塗膜を形成するので、均一かつ均質
なガラス塗膜を形成することができ、さらに、回転する
容器内で被膜形成体を加温して、ガラス塗膜中の溶剤成
分等を揮発させ、ガラス塗膜を十分に乾燥させるので、
被膜形成体同士の団粒を生じることなく、高品質のガラ
ス塗膜を形成することができる。また、容器内に複数の
被膜形成体を配すれば、一度に複数の被膜形成体に高品
質のガラス膜を効率良く形成することができる。
を吹き付けてガラス塗膜を形成するので、均一かつ均質
なガラス塗膜を形成することができ、さらに、回転する
容器内で被膜形成体を加温して、ガラス塗膜中の溶剤成
分等を揮発させ、ガラス塗膜を十分に乾燥させるので、
被膜形成体同士の団粒を生じることなく、高品質のガラ
ス塗膜を形成することができる。また、容器内に複数の
被膜形成体を配すれば、一度に複数の被膜形成体に高品
質のガラス膜を効率良く形成することができる。
【００２７】ただし、本発明のガラス膜の形成方法にお
いて、被膜形成体はフェライトコアに限定されるもので
はなく、その他、チップバリスタ、チップサーミスタな
ど、保護コートおよび絶縁コートが必要なチップ型電子
部品へのガラス膜形成にも適用することができる。な
お、ガラススラリー中のガラスは、例えば、ホウ珪酸鉛
系ガラス、ホウ珪酸ビスマス系ガラス、ホウ珪酸亜鉛系
ガラス等の非晶質ガラス粉末や結晶化ガラス粉末等を使
用できる。
いて、被膜形成体はフェライトコアに限定されるもので
はなく、その他、チップバリスタ、チップサーミスタな
ど、保護コートおよび絶縁コートが必要なチップ型電子
部品へのガラス膜形成にも適用することができる。な
お、ガラススラリー中のガラスは、例えば、ホウ珪酸鉛
系ガラス、ホウ珪酸ビスマス系ガラス、ホウ珪酸亜鉛系
ガラス等の非晶質ガラス粉末や結晶化ガラス粉末等を使
用できる。
【００２８】また、本発明のガラス膜の形成方法におい
ては、上記の第２工程と第３工程とを同時に実施するこ
とが望ましい。すなわち、回転する容器内に配された被
膜形成体に対して、ガラススラリーの吹き付けと同時に
加温処理を施すことによって、被膜形成体の表面に形成
されたガラス塗膜から溶剤成分を円滑に揮発させつつ、
ガラス塗膜の厚みを均一に増加させることができる。こ
のような処理によって、例えば膜厚５〜１００μｍの極
めて高品質のガラス膜を形成できる。
ては、上記の第２工程と第３工程とを同時に実施するこ
とが望ましい。すなわち、回転する容器内に配された被
膜形成体に対して、ガラススラリーの吹き付けと同時に
加温処理を施すことによって、被膜形成体の表面に形成
されたガラス塗膜から溶剤成分を円滑に揮発させつつ、
ガラス塗膜の厚みを均一に増加させることができる。こ
のような処理によって、例えば膜厚５〜１００μｍの極
めて高品質のガラス膜を形成できる。
【００２９】また、容器をメッシュ状容器とし、メッシ
ュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状のガラ
ススラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面にガラス塗
膜を形成することができる。また、この際、メッシュ状
容器の外部に設けられた温風導入部から温風を導入する
ことによって、ガラス塗膜を乾燥させることができる。
メッシュ状の容器を用いることによって、容器内に均一
に温風を導入することができ、また、ガラス塗膜中の溶
剤成分を円滑に揮発させることができる。
ュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状のガラ
ススラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面にガラス塗
膜を形成することができる。また、この際、メッシュ状
容器の外部に設けられた温風導入部から温風を導入する
ことによって、ガラス塗膜を乾燥させることができる。
メッシュ状の容器を用いることによって、容器内に均一
に温風を導入することができ、また、ガラス塗膜中の溶
剤成分を円滑に揮発させることができる。
【００３０】また、ガラススラリーは、ガラス粉末、バ
インダ樹脂および溶剤からなり、ガラス粉末とバインダ
樹脂との重量比が８０／２０〜２５／７５であって、か
つ、ガラス粉末とバインダ樹脂との合計量と前記溶剤と
の重量比が７０／３０〜２０／８０であることが望まし
い。
インダ樹脂および溶剤からなり、ガラス粉末とバインダ
樹脂との重量比が８０／２０〜２５／７５であって、か
つ、ガラス粉末とバインダ樹脂との合計量と前記溶剤と
の重量比が７０／３０〜２０／８０であることが望まし
い。
【００３１】ガラス粉末に対するバインダ樹脂の添加量
が２０重量％未満であると、コーティングされたガラス
塗膜の強度が低く、ガラス塗膜が剥離することがある。
他方、ガラス粉末に対するバインダ樹脂の添加量が７５
重量％を超えると、被膜形成体同士が団粒し、均一かつ
均質なガラス膜の形成が困難になり易い。また、ガラス
粉末とバインダ樹脂の合計重量に対する溶剤の添加量が
３０重量％未満であると、ガラススラリーの粘度が高く
なりすぎて、被膜形成体同士の団粒が発生することがあ
る。他方、ガラス粉末とバインダ樹脂の合計重量に対す
る溶剤の添加量が８０重量％を超えると、相対的にガラ
ススラリー中のガラス粉末量が少なくなって、均一かつ
十分な膜厚のコーティングが困難になる傾向にあり、あ
るいは、十分な膜厚を得るには長い時間を要することに
なって生産性が低下することがある。
が２０重量％未満であると、コーティングされたガラス
塗膜の強度が低く、ガラス塗膜が剥離することがある。
他方、ガラス粉末に対するバインダ樹脂の添加量が７５
重量％を超えると、被膜形成体同士が団粒し、均一かつ
均質なガラス膜の形成が困難になり易い。また、ガラス
粉末とバインダ樹脂の合計重量に対する溶剤の添加量が
３０重量％未満であると、ガラススラリーの粘度が高く
なりすぎて、被膜形成体同士の団粒が発生することがあ
る。他方、ガラス粉末とバインダ樹脂の合計重量に対す
る溶剤の添加量が８０重量％を超えると、相対的にガラ
ススラリー中のガラス粉末量が少なくなって、均一かつ
十分な膜厚のコーティングが困難になる傾向にあり、あ
るいは、十分な膜厚を得るには長い時間を要することに
なって生産性が低下することがある。
【００３２】また、霧状のガラススラリーにおける液滴
サイズは直径０．５〜１００μｍ程度が望ましく、この
ようなサイズの液滴であれば、大量の被膜形成体に対し
て、均一かつ均質なガラス膜を効率良く形成することが
できる。また、ガラス粉末の平均粒径（Ｄ５０）は０．
１〜１０μｍの範囲内であることが望ましい。前述した
平均粒径のガラス粉末を用い、前述したサイズの液滴を
噴霧することにより、例えば、膜厚５〜１００μｍ、さ
らには、１０〜５０μｍであって、均一かつ均質のガラ
ス膜を形成できる。また、ガラススラリーの粘度は、均
一かつ均質のガラス膜を形成するために０．０１Ｐａ・
ｓ〜１０Ｐａ・ｓが望ましい。
サイズは直径０．５〜１００μｍ程度が望ましく、この
ようなサイズの液滴であれば、大量の被膜形成体に対し
て、均一かつ均質なガラス膜を効率良く形成することが
できる。また、ガラス粉末の平均粒径（Ｄ５０）は０．
１〜１０μｍの範囲内であることが望ましい。前述した
平均粒径のガラス粉末を用い、前述したサイズの液滴を
噴霧することにより、例えば、膜厚５〜１００μｍ、さ
らには、１０〜５０μｍであって、均一かつ均質のガラ
ス膜を形成できる。また、ガラススラリーの粘度は、均
一かつ均質のガラス膜を形成するために０．０１Ｐａ・
ｓ〜１０Ｐａ・ｓが望ましい。
【００３３】また、ガラス塗膜を乾燥した後のガラス膜
については、これをガラスの軟化点以上で焼成すること
が望ましい。すなわち、ガラスの軟化点以上で焼成する
ことによって、被膜形成体の表面に緻密で高強度のガラ
ス膜を形成することができ、ひいては、耐環境性や絶縁
性に優れた絶縁保護膜を有した電子部品を形成できる。
については、これをガラスの軟化点以上で焼成すること
が望ましい。すなわち、ガラスの軟化点以上で焼成する
ことによって、被膜形成体の表面に緻密で高強度のガラ
ス膜を形成することができ、ひいては、耐環境性や絶縁
性に優れた絶縁保護膜を有した電子部品を形成できる。
【００３４】また、得られたガラス膜上には所望の導体
パターンを形成することができる。この導体パターンは
スクリーン印刷によって形成してもよい。あるいは、全
面を無電解メッキした後、これをレーザ加工等によって
パターニングしてもよいし、フォトリソグラフィ法を利
用してパターニングしてもよい。この導体パターンは、
特に、本発明の金属膜の形成方法によって作製した金属
膜をレーザーやフォトリソグラフィ法等によってパター
ニングして形成することが望ましい。
パターンを形成することができる。この導体パターンは
スクリーン印刷によって形成してもよい。あるいは、全
面を無電解メッキした後、これをレーザ加工等によって
パターニングしてもよいし、フォトリソグラフィ法を利
用してパターニングしてもよい。この導体パターンは、
特に、本発明の金属膜の形成方法によって作製した金属
膜をレーザーやフォトリソグラフィ法等によってパター
ニングして形成することが望ましい。
【００３５】次に、被膜形成体に金属膜を形成する手法
について説明する。
について説明する。
【００３６】本発明の金属膜の形成方法は、（Ａ）回転
可能な容器内に、フェライトコアのような被膜形成体を
配する第１工程と、（Ｂ）この容器を回転させながら金
属スラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面に金属塗膜
を形成する第２工程と、（Ｃ）さらに、回転する容器内
で被膜形成体を加温して、金属塗膜を乾燥させる第３工
程と、を有するものである。
可能な容器内に、フェライトコアのような被膜形成体を
配する第１工程と、（Ｂ）この容器を回転させながら金
属スラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面に金属塗膜
を形成する第２工程と、（Ｃ）さらに、回転する容器内
で被膜形成体を加温して、金属塗膜を乾燥させる第３工
程と、を有するものである。
【００３７】つまり、上述したガラス膜の形成方法と同
様に、回転する容器内で被膜形成体に金属スラリーを吹
き付けて金属塗膜を形成するので、均一かつ均質な金属
塗膜を形成することができ、さらに、回転する容器内で
被膜形成体を加温し、金属塗膜中の溶剤成分等を揮発さ
せてそれを十分に乾燥させるので、被膜形成体同士が団
粒することなく、高品質の金属膜を形成することができ
る。また、容器内に複数の被膜形成体を配すれば、一度
に複数の被膜形成体に高品質の金属膜を効率良く形成で
きる。
様に、回転する容器内で被膜形成体に金属スラリーを吹
き付けて金属塗膜を形成するので、均一かつ均質な金属
塗膜を形成することができ、さらに、回転する容器内で
被膜形成体を加温し、金属塗膜中の溶剤成分等を揮発さ
せてそれを十分に乾燥させるので、被膜形成体同士が団
粒することなく、高品質の金属膜を形成することができ
る。また、容器内に複数の被膜形成体を配すれば、一度
に複数の被膜形成体に高品質の金属膜を効率良く形成で
きる。
【００３８】ただし、本発明の金属膜の形成方法におい
て、被膜形成体はフェライトコアに限定されるものでは
なく、その他、チップ誘電体共振器、チップバリスタ、
チップサーミスタ等、表面に電極膜等を形成するチップ
部品への金属膜形成にも適用することができる。
て、被膜形成体はフェライトコアに限定されるものでは
なく、その他、チップ誘電体共振器、チップバリスタ、
チップサーミスタ等、表面に電極膜等を形成するチップ
部品への金属膜形成にも適用することができる。
【００３９】また、本発明の金属ガラス膜の形成方法に
おいては、上記の第２工程と第３工程とを同時に実施す
ることが望ましい。すなわち、回転する容器内に配され
た被膜形成体に対して、金属スラリーの吹き付けと同時
に加温処理を施すことによって、被膜形成体の表面に形
成された金属塗膜から溶剤成分を円滑に揮発させつつ、
金属塗膜（金属膜）の厚みを均一に増加させることがで
きる。このような処理によって、例えば膜厚１〜５０μ
ｍの極めて高品質の金属膜を形成できる。
おいては、上記の第２工程と第３工程とを同時に実施す
ることが望ましい。すなわち、回転する容器内に配され
た被膜形成体に対して、金属スラリーの吹き付けと同時
に加温処理を施すことによって、被膜形成体の表面に形
成された金属塗膜から溶剤成分を円滑に揮発させつつ、
金属塗膜（金属膜）の厚みを均一に増加させることがで
きる。このような処理によって、例えば膜厚１〜５０μ
ｍの極めて高品質の金属膜を形成できる。
【００４０】また、容器をメッシュ状容器とし、メッシ
ュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状の金属
スラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面に金属塗膜を
形成することができる。また、この際、メッシュ状容器
の外部に設けられた温風導入部から温風を導入すること
によって、金属塗膜を乾燥させることが望ましい。メッ
シュ状の容器を用いることによって、容器内に均一に温
風を導入することができ、また、金属塗膜中の溶剤成分
を円滑に揮発させることができる。
ュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状の金属
スラリーを吹き付けて、被膜形成体の表面に金属塗膜を
形成することができる。また、この際、メッシュ状容器
の外部に設けられた温風導入部から温風を導入すること
によって、金属塗膜を乾燥させることが望ましい。メッ
シュ状の容器を用いることによって、容器内に均一に温
風を導入することができ、また、金属塗膜中の溶剤成分
を円滑に揮発させることができる。
【００４１】ここで、金属スラリーは、金属粉末、ガラ
ス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるものとするこ
とが望ましい。金属粉末としては、例えば、Ａｇ、Ｐ
ｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ等、およびその
混合物や合金等が挙げられる。また、ガラス粉末は、例
えばホウ珪酸鉛系ガラス、ホウ珪酸ビスマス系ガラス、
ホウ珪酸亜鉛系ガラス等、一般に厚膜導体ヘペーストに
使用されるガラスや、ケミカルボンド剤と言われるＣｒ
2Ｏ3、ＭｎＯ2、ＣｕＯ、Ｃｕ2Ｏ等の金属酸化物が使用
される。
ス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるものとするこ
とが望ましい。金属粉末としては、例えば、Ａｇ、Ｐ
ｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ等、およびその
混合物や合金等が挙げられる。また、ガラス粉末は、例
えばホウ珪酸鉛系ガラス、ホウ珪酸ビスマス系ガラス、
ホウ珪酸亜鉛系ガラス等、一般に厚膜導体ヘペーストに
使用されるガラスや、ケミカルボンド剤と言われるＣｒ
2Ｏ3、ＭｎＯ2、ＣｕＯ、Ｃｕ2Ｏ等の金属酸化物が使用
される。
【００４２】この金属スラリーは、金属粉末およびガラ
ス粉末の合計量とバインダ樹脂との重量比が８０／２０
〜２５／７５であって、かつ、金属粉末、ガラス粉末お
よびバインダ樹脂の合計量と溶剤との重量比が７０／３
０〜２０／８０であることが望ましい。
ス粉末の合計量とバインダ樹脂との重量比が８０／２０
〜２５／７５であって、かつ、金属粉末、ガラス粉末お
よびバインダ樹脂の合計量と溶剤との重量比が７０／３
０〜２０／８０であることが望ましい。
【００４３】金属粉末およびガラス粉末の合計量に対す
るバインダ樹脂の添加量が２０重量％未満であると、コ
ーティングされた金属塗膜の強度が低く、金属塗膜が剥
離することがある。他方、金属粉末およびガラス粉末の
合計量に対するバインダ樹脂の添加量が７５重量％を超
えると、被膜形成体同士が団粒し、均一かつ均質な金属
膜の形成が困難になり易い。また、金属粉末、ガラス粉
末およびバインダ樹脂の合計量に対する溶剤の重量比が
３０重量％未満であると、金属スラリーの粘度が高くな
りすぎて、被膜形成体同士の団粒が発生することがあ
る。他方、ガラス粉末およびバインダ樹脂の合計量に対
する溶剤の重量比が８０重量％を超えると、相対的に金
属スラリー中の金属粉末含有量が少なくなってしまい、
得られる金属膜の導電性が低下する傾向にある。
るバインダ樹脂の添加量が２０重量％未満であると、コ
ーティングされた金属塗膜の強度が低く、金属塗膜が剥
離することがある。他方、金属粉末およびガラス粉末の
合計量に対するバインダ樹脂の添加量が７５重量％を超
えると、被膜形成体同士が団粒し、均一かつ均質な金属
膜の形成が困難になり易い。また、金属粉末、ガラス粉
末およびバインダ樹脂の合計量に対する溶剤の重量比が
３０重量％未満であると、金属スラリーの粘度が高くな
りすぎて、被膜形成体同士の団粒が発生することがあ
る。他方、ガラス粉末およびバインダ樹脂の合計量に対
する溶剤の重量比が８０重量％を超えると、相対的に金
属スラリー中の金属粉末含有量が少なくなってしまい、
得られる金属膜の導電性が低下する傾向にある。
【００４４】さらに、この金属スラリーは、金属粉末と
ガラス粉末との重量比が９９／１〜６０／４０であるこ
とが望ましい。金属粉末に対するガラス粉末の添加量が
１重量％未満であると、金属塗膜と被膜形成体（ユニッ
ト）との接合強度が低くなり、金属塗膜が剥離してしま
うことがある。他方、その添加量が４０重量％を超える
と、得られた金属膜の比抵抗の上昇やハンダ付性の劣化
等に至ることがある。
ガラス粉末との重量比が９９／１〜６０／４０であるこ
とが望ましい。金属粉末に対するガラス粉末の添加量が
１重量％未満であると、金属塗膜と被膜形成体（ユニッ
ト）との接合強度が低くなり、金属塗膜が剥離してしま
うことがある。他方、その添加量が４０重量％を超える
と、得られた金属膜の比抵抗の上昇やハンダ付性の劣化
等に至ることがある。
【００４５】また、霧状の金属スラリーにおける液滴サ
イズは直径０．５〜１００μｍ程度が望ましく、このよ
うなサイズの液滴であれば、大量の被膜形成体に対し
て、均一かつ均質な金属膜を効率良く形成することがで
きる。また、金属粉末の平均粒径（Ｄ５０）は０．１〜
１０μｍ範囲内にあることが望ましい。このような金属
粉末を用いて、前述したサイズの液滴を噴霧することに
より、例えば、膜厚１〜５０μｍ、さらには、５〜２０
μｍであって、均一かつ均質の金属膜を形成できる。ま
た、金属スラリーの粘度は、均一かつ均質の金属塗膜を
形成するために、０．０１Ｐａ・ｓ〜１０Ｐａ・ｓが望
ましい。また、金属スラリー中にガラス粉末を含有する
場合、ガラス粉末の平均粒径は０．１μｍ〜５μｍが望
ましい。
イズは直径０．５〜１００μｍ程度が望ましく、このよ
うなサイズの液滴であれば、大量の被膜形成体に対し
て、均一かつ均質な金属膜を効率良く形成することがで
きる。また、金属粉末の平均粒径（Ｄ５０）は０．１〜
１０μｍ範囲内にあることが望ましい。このような金属
粉末を用いて、前述したサイズの液滴を噴霧することに
より、例えば、膜厚１〜５０μｍ、さらには、５〜２０
μｍであって、均一かつ均質の金属膜を形成できる。ま
た、金属スラリーの粘度は、均一かつ均質の金属塗膜を
形成するために、０．０１Ｐａ・ｓ〜１０Ｐａ・ｓが望
ましい。また、金属スラリー中にガラス粉末を含有する
場合、ガラス粉末の平均粒径は０．１μｍ〜５μｍが望
ましい。
【００４６】また、金属スラリー中にガラス粉末を含有
する場合、金属塗膜を乾燥した後の金属膜については、
これをガラスの軟化点以上で焼成することが望ましい。
すなわち、ガラスの軟化点以上で焼成することによっ
て、被膜形成体の表面に緻密で高強度の金属膜を形成す
ることができ、ひいては、信頼性の高い電子部品を形成
できる。
する場合、金属塗膜を乾燥した後の金属膜については、
これをガラスの軟化点以上で焼成することが望ましい。
すなわち、ガラスの軟化点以上で焼成することによっ
て、被膜形成体の表面に緻密で高強度の金属膜を形成す
ることができ、ひいては、信頼性の高い電子部品を形成
できる。
【００４７】また、得られた金属膜は所望の導体形状に
パターニングすることができる。このパターニングはレ
ーザによるものであってもよいし、フォトリソグラフィ
法によるものであってもよい。なお、被膜形成体表面の
金属膜形成を望まない箇所には、予め金属スラリーが付
着しにくくなるような処理を施しておいてもよい。
パターニングすることができる。このパターニングはレ
ーザによるものであってもよいし、フォトリソグラフィ
法によるものであってもよい。なお、被膜形成体表面の
金属膜形成を望まない箇所には、予め金属スラリーが付
着しにくくなるような処理を施しておいてもよい。
【００４８】次に、本発明のガラス膜の形成装置を具体
的な実施形態に基づいて説明する。
的な実施形態に基づいて説明する。
【００４９】図１に示すガラス膜形成装置は、温風導入
部３および排気部４を備えた外側容器１内に、複数の被
膜形成体７を封入し得る容器２を備えている。容器２
は、図中矢印Ａ方向に回転可能に設けられており、か
つ、容器２の外部から被膜形成体７への温風の吹き付け
が可能なように、メッシュ状の金網で形成されている。
そして、容器２の中央部にはガラススラリー吐出部とな
るノズル５が備えられており、ノズル５は、霧状のガラ
ススラリー６が被膜形成体７に向けて吹き付けられるよ
うに形成されている。
部３および排気部４を備えた外側容器１内に、複数の被
膜形成体７を封入し得る容器２を備えている。容器２
は、図中矢印Ａ方向に回転可能に設けられており、か
つ、容器２の外部から被膜形成体７への温風の吹き付け
が可能なように、メッシュ状の金網で形成されている。
そして、容器２の中央部にはガラススラリー吐出部とな
るノズル５が備えられており、ノズル５は、霧状のガラ
ススラリー６が被膜形成体７に向けて吹き付けられるよ
うに形成されている。
【００５０】このようなガラス膜形成装置によれば、回
転する容器２内にて、複数の被膜形成体７が均等に掻き
混ぜられ、さらに、被膜形成体７への霧状のガラススラ
リー吹き付けと、ガラス塗膜の乾燥とを同時に実施され
るので、被膜形成体７同士が団粒することなく、かつ、
被膜形成体７上に均一で均質なガラス塗膜を形成するこ
とができる。また、容器２内には複数の被膜形成体７を
配することができるので、一度に大量のガラス膜形成体
を製造することができる。
転する容器２内にて、複数の被膜形成体７が均等に掻き
混ぜられ、さらに、被膜形成体７への霧状のガラススラ
リー吹き付けと、ガラス塗膜の乾燥とを同時に実施され
るので、被膜形成体７同士が団粒することなく、かつ、
被膜形成体７上に均一で均質なガラス塗膜を形成するこ
とができる。また、容器２内には複数の被膜形成体７を
配することができるので、一度に大量のガラス膜形成体
を製造することができる。
【００５１】特に、容器２はメッシュ状容器であって、
メッシュ状容器２の内部にガラススラリー吐出部である
ノズル５を備え、さらに、被膜形成体７に温風を吹き付
けるための温風導入部３を容器２の外部に備えるので、
ガラススラリーの噴霧量を調節し易く、大量の被膜形成
体７に均一かつ均質のガラス塗膜を形成することがで
き、さらに、大量の被膜形成体への加温状態を均一化し
て、ガラス塗膜を良好に乾燥させることができる。
メッシュ状容器２の内部にガラススラリー吐出部である
ノズル５を備え、さらに、被膜形成体７に温風を吹き付
けるための温風導入部３を容器２の外部に備えるので、
ガラススラリーの噴霧量を調節し易く、大量の被膜形成
体７に均一かつ均質のガラス塗膜を形成することがで
き、さらに、大量の被膜形成体への加温状態を均一化し
て、ガラス塗膜を良好に乾燥させることができる。
【００５２】なお、本発明の金属膜の形成装置は、上述
したガラス膜の形成装置と実質的に同様の構成を有する
ものである。
したガラス膜の形成装置と実質的に同様の構成を有する
ものである。
【００５３】すなわち、図１に示した装置において、温
風導入部３’および排気部４’を備えた外側容器１’内
に、複数の被膜形成体７’を封入し得る容器２’を備え
ている。そして、容器２’は、図中矢印Ａ方向に回転可
能に設けられており、かつ、容器２’の外部から被膜形
成体７’への温風の吹き付けが可能なように、メッシュ
状の金網で形成されている。そして、容器２’の中央部
には金属スラリー吐出部となるノズル５’が備えられて
おり、ノズル５’は、霧状の金属スラリー６’が被膜形
成体７’に向けて吹き付けられるように形成されてい
る。
風導入部３’および排気部４’を備えた外側容器１’内
に、複数の被膜形成体７’を封入し得る容器２’を備え
ている。そして、容器２’は、図中矢印Ａ方向に回転可
能に設けられており、かつ、容器２’の外部から被膜形
成体７’への温風の吹き付けが可能なように、メッシュ
状の金網で形成されている。そして、容器２’の中央部
には金属スラリー吐出部となるノズル５’が備えられて
おり、ノズル５’は、霧状の金属スラリー６’が被膜形
成体７’に向けて吹き付けられるように形成されてい
る。
【００５４】このような金属膜の形成装置によれば、回
転する容器２’内にて、複数の被膜形成体７’が均等に
掻き混ぜられ、さらに、被膜形成体７’への霧状の金属
スラリー吹き付けと、金属塗膜の乾燥とを同時に実施さ
れるので、被膜形成体７’同士が団粒することなく、か
つ、被膜形成体７’表面に均一で均質な金属塗膜を形成
することができる。また、容器２’内には複数の被膜形
成体７’を配することができるので、一度に大量の金属
膜形成体を製造できる。
転する容器２’内にて、複数の被膜形成体７’が均等に
掻き混ぜられ、さらに、被膜形成体７’への霧状の金属
スラリー吹き付けと、金属塗膜の乾燥とを同時に実施さ
れるので、被膜形成体７’同士が団粒することなく、か
つ、被膜形成体７’表面に均一で均質な金属塗膜を形成
することができる。また、容器２’内には複数の被膜形
成体７’を配することができるので、一度に大量の金属
膜形成体を製造できる。
【００５５】特に、容器２’はメッシュ状容器であっ
て、メッシュ状容器２’の内部に金属スラリー吐出部で
あるノズル５’を備え、さらに、被膜形成体７’に温風
を吹き付けるための温風導入部３’を容器２’の外部に
備えるので、金属スラリーの噴霧量を調節し易く、大量
の被膜形成体７’に均一かつ均質の金属塗膜を効率良く
形成することができ、さらに、大量の被膜形成体７’へ
の加温状態を均一化して、金属塗膜を良好に乾燥させる
ことができる。
て、メッシュ状容器２’の内部に金属スラリー吐出部で
あるノズル５’を備え、さらに、被膜形成体７’に温風
を吹き付けるための温風導入部３’を容器２’の外部に
備えるので、金属スラリーの噴霧量を調節し易く、大量
の被膜形成体７’に均一かつ均質の金属塗膜を効率良く
形成することができ、さらに、大量の被膜形成体７’へ
の加温状態を均一化して、金属塗膜を良好に乾燥させる
ことができる。
【００５６】次に、図１に示したガラス膜形成装置（金
属膜形成装置）を用いて、フェライトコア上にガラス膜
および金属膜を形成する具体例を説明する。
属膜形成装置）を用いて、フェライトコア上にガラス膜
および金属膜を形成する具体例を説明する。
【００５７】まず、図２（Ａ）に示すようなフェライト
コア１１を複数個準備し、これをガラス膜形成装置にお
けるメッシュ状の容器２内に封入する。次いで、容器２
を図中矢印Ａ方向に回転させ、被膜形成体７（ここでは
フェライトコア１１）を掻き混ぜながら、ノズル５より
ガラススラリー６を噴霧し、さらに、温風導入口３から
温風を導入して、この状態を所定時間保持する。する
と、図２（Ｂ）に示すように、フェライトコア１１上に
ガラス塗膜１２ａが形成される。なお、ガラススラリー
６は、バインダ樹脂および溶剤にガラス粉末を混合、分
散してなるスラリー状物質である。その後、ガラス塗膜
１２ａを形成したフェライトコア１１を取り出し、ガラ
ス塗膜１２ａの軟化温度以上でガラス塗膜１２を焼成す
ることによって、ガラス膜１２ｂを有したフェライトコ
ア１１を形成する。
コア１１を複数個準備し、これをガラス膜形成装置にお
けるメッシュ状の容器２内に封入する。次いで、容器２
を図中矢印Ａ方向に回転させ、被膜形成体７（ここでは
フェライトコア１１）を掻き混ぜながら、ノズル５より
ガラススラリー６を噴霧し、さらに、温風導入口３から
温風を導入して、この状態を所定時間保持する。する
と、図２（Ｂ）に示すように、フェライトコア１１上に
ガラス塗膜１２ａが形成される。なお、ガラススラリー
６は、バインダ樹脂および溶剤にガラス粉末を混合、分
散してなるスラリー状物質である。その後、ガラス塗膜
１２ａを形成したフェライトコア１１を取り出し、ガラ
ス塗膜１２ａの軟化温度以上でガラス塗膜１２を焼成す
ることによって、ガラス膜１２ｂを有したフェライトコ
ア１１を形成する。
【００５８】次いで、ガラス膜１２ｂを有したフェライ
トコア１１を金属膜形成装置におけるメッシュ状の容器
２’内に封入し、容器２’を図中矢印Ａ方向に回転さ
せ、被膜形成体７’（ここでは、ガラス膜１２ｂを有す
るフェライトコア１１）を掻き混ぜながら、被膜形成体
７’に対して、ノズル５’より金属スラリー６’を噴霧
し、さらに、温風導入口３’から温風を導入して、この
状態を所定時間保持する。すると、図２（Ｃ）に示すよ
うに、ガラス膜１２ｂ上に金属塗膜１３ａが形成され
る。その後、金属塗膜１３ａを有したフェライトコア１
１を取り出し、そして、金属塗膜１３ａ中のガラスの軟
化温度以上で焼成し、フェライトコア１１上に、ガラス
膜１２ｂおよび金属膜を形成する。
トコア１１を金属膜形成装置におけるメッシュ状の容器
２’内に封入し、容器２’を図中矢印Ａ方向に回転さ
せ、被膜形成体７’（ここでは、ガラス膜１２ｂを有す
るフェライトコア１１）を掻き混ぜながら、被膜形成体
７’に対して、ノズル５’より金属スラリー６’を噴霧
し、さらに、温風導入口３’から温風を導入して、この
状態を所定時間保持する。すると、図２（Ｃ）に示すよ
うに、ガラス膜１２ｂ上に金属塗膜１３ａが形成され
る。その後、金属塗膜１３ａを有したフェライトコア１
１を取り出し、そして、金属塗膜１３ａ中のガラスの軟
化温度以上で焼成し、フェライトコア１１上に、ガラス
膜１２ｂおよび金属膜を形成する。
【００５９】そして、金属膜をレーザー加工によってパ
ターニングし、図２（Ｄ）および図３に示すように、フ
ェライトコア１１上のガラス膜１２ｂ表面に、スパイラ
ル状の導体パターン１３ｂおよび端面電極１３ｃを有す
るチップコイル１０を完成する。
ターニングし、図２（Ｄ）および図３に示すように、フ
ェライトコア１１上のガラス膜１２ｂ表面に、スパイラ
ル状の導体パターン１３ｂおよび端面電極１３ｃを有す
るチップコイル１０を完成する。
【００６０】以上、本発明の電子部品の製造方法をフェ
ライトコア上へのガラス膜形成、金属膜形成に適用した
例を説明したが、本発明は、上述した例に限定されるも
のではない。
ライトコア上へのガラス膜形成、金属膜形成に適用した
例を説明したが、本発明は、上述した例に限定されるも
のではない。
【００６１】例えば、本発明の電子部品の製造方法は、
フェライトコアを電子部品素体として用いたチップコイ
ルの他、チップバリスタの表面保護膜やチップ積層コン
デンサの抗折強度改善用保護膜等の製造方法にも適用す
ることができる。また、本発明によれば、回転する容器
内に封入する電子部品素体（または被膜形成体）は、大
小異なるサイズのものであってもよい。
フェライトコアを電子部品素体として用いたチップコイ
ルの他、チップバリスタの表面保護膜やチップ積層コン
デンサの抗折強度改善用保護膜等の製造方法にも適用す
ることができる。また、本発明によれば、回転する容器
内に封入する電子部品素体（または被膜形成体）は、大
小異なるサイズのものであってもよい。
【００６２】また、図２（Ｂ）に示したガラス塗膜１２
ａを有するフェライトコア１１を焼成した後、ガラス塗
膜１２ｂの表面に無電解メッキ等によって金属膜を形成
した後、これをレーザー加工やフォトリソグラフィ法に
よってパターニングし、スパイラル状の導体パターンや
端面電極を形成してもよい。
ａを有するフェライトコア１１を焼成した後、ガラス塗
膜１２ｂの表面に無電解メッキ等によって金属膜を形成
した後、これをレーザー加工やフォトリソグラフィ法に
よってパターニングし、スパイラル状の導体パターンや
端面電極を形成してもよい。
【００６３】また、本発明において、均一かつ均質のガ
ラス膜を効率良く形成するためには、ガラススラリーの
組成や噴霧量、容器内に導入する温風の温度、容器の回
転速度なども重要なパラメータである。
ラス膜を効率良く形成するためには、ガラススラリーの
組成や噴霧量、容器内に導入する温風の温度、容器の回
転速度なども重要なパラメータである。
【００６４】例えば、ガラススラリーの噴霧量は０．５
〜１０ｍｌ／分が望ましい。その噴霧量が０．５ｍｌ／
分未満ではガラス塗膜の形成に時間がかかり、他方、１
０ｍｌ／分を超えると、被膜形成体同士の団粒が生じて
しまうことがある。また、容器内に導入する温風の温度
は、ガラススラリーを構成する溶剤の沸点±５０℃程度
が望ましく、溶剤が有機系溶剤の場合は４０〜８０℃、
水系溶剤の場合は８０〜１２０℃程度が適当である。さ
らに、容器の回転速度は１０〜５０ｒｐｍが望ましい。
その回転速度が１０ｒｐｍ未満であると被膜形成体同士
が団粒し易く、他方、５０ｒｐｍを超えると、ガラス塗
膜にピンホールやクラックの発生が見られることがあ
る。また、回転は、一定速度であってもよいが、不規則
な回転であってもよい。なお、本発明において「回転」
は揺動を含む概念である。
〜１０ｍｌ／分が望ましい。その噴霧量が０．５ｍｌ／
分未満ではガラス塗膜の形成に時間がかかり、他方、１
０ｍｌ／分を超えると、被膜形成体同士の団粒が生じて
しまうことがある。また、容器内に導入する温風の温度
は、ガラススラリーを構成する溶剤の沸点±５０℃程度
が望ましく、溶剤が有機系溶剤の場合は４０〜８０℃、
水系溶剤の場合は８０〜１２０℃程度が適当である。さ
らに、容器の回転速度は１０〜５０ｒｐｍが望ましい。
その回転速度が１０ｒｐｍ未満であると被膜形成体同士
が団粒し易く、他方、５０ｒｐｍを超えると、ガラス塗
膜にピンホールやクラックの発生が見られることがあ
る。また、回転は、一定速度であってもよいが、不規則
な回転であってもよい。なお、本発明において「回転」
は揺動を含む概念である。
【００６５】他方、金属スラリーの噴霧量は０．５〜１
０ｍｌ／分が望ましい。その噴霧量が０．５ｍｌ／分未
満では金属塗膜の形成に時間がかかり、他方、１０ｍｌ
／分を超えると、被膜形成体同士の団粒が生じてしまう
ことがある。また、容器内に導入する温風の温度は、金
属スラリーを構成する溶剤の沸点±５０℃程度が望まし
く、溶剤が有機系溶剤の場合は４０〜８０℃、水系溶剤
の場合は８０〜１２０℃程度が適当である。さらに、容
器の回転速度は１０〜５０ｒｐｍが望ましい。その回転
速度が１０ｒｐｍ未満であると被膜形成体同士が団粒し
易く、他方、５０ｒｐｍを超えると、金属塗膜にピンホ
ールやクラックの発生が見られることがある。
０ｍｌ／分が望ましい。その噴霧量が０．５ｍｌ／分未
満では金属塗膜の形成に時間がかかり、他方、１０ｍｌ
／分を超えると、被膜形成体同士の団粒が生じてしまう
ことがある。また、容器内に導入する温風の温度は、金
属スラリーを構成する溶剤の沸点±５０℃程度が望まし
く、溶剤が有機系溶剤の場合は４０〜８０℃、水系溶剤
の場合は８０〜１２０℃程度が適当である。さらに、容
器の回転速度は１０〜５０ｒｐｍが望ましい。その回転
速度が１０ｒｐｍ未満であると被膜形成体同士が団粒し
易く、他方、５０ｒｐｍを超えると、金属塗膜にピンホ
ールやクラックの発生が見られることがある。
【００６６】但し、これらのパラメータは、被膜形成体
の種類や個数、ガラススラリーや金属スラリーの組成、
容器のサイズ等により変動するものであって、上述した
値に限定されるものではない。また、ガラススラリーや
金属スラリーの噴霧量、容器内に導入する温風の温度等
は、被膜形成体へのガラス膜（あるいは金属膜）形成の
間、同一条件を保持してもよいが、ガラス塗膜（或いは
金属膜）の膜厚や乾燥状態等によって、各条件を変えな
がら、実施してもよい。
の種類や個数、ガラススラリーや金属スラリーの組成、
容器のサイズ等により変動するものであって、上述した
値に限定されるものではない。また、ガラススラリーや
金属スラリーの噴霧量、容器内に導入する温風の温度等
は、被膜形成体へのガラス膜（あるいは金属膜）形成の
間、同一条件を保持してもよいが、ガラス塗膜（或いは
金属膜）の膜厚や乾燥状態等によって、各条件を変えな
がら、実施してもよい。
【００６７】また、容器の形状は、図１に示したような
六角形状でなくても構わない。すなわち、複数の被膜形
成体が均一に掻き混ぜられるような形状であればよく、
多角形状や円形状であってもよい。特に、円形状の容器
の場合、被膜形成体を均一に掻き混ぜるため、その内壁
に複数のバッフル板を設けることが望ましい。
六角形状でなくても構わない。すなわち、複数の被膜形
成体が均一に掻き混ぜられるような形状であればよく、
多角形状や円形状であってもよい。特に、円形状の容器
の場合、被膜形成体を均一に掻き混ぜるため、その内壁
に複数のバッフル板を設けることが望ましい。
【００６８】さらに、ガラススラリーは、主に、ガラス
粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるものであるが、
場合によっては、アルミナやジルコニア等のセラミック
フィラーやその他の添加剤を加えてもよい。同様に、金
属スラリーに対しても、アルミナやジルコニア等のセラ
ミックフィラーやその他の添加剤を加えてもよい。特
に、金属スラリーには、その接着強度を改善できること
から、下地となっているガラス膜と同様の主成分組成を
有したガラス粉末を添加することが望ましい。
粉末、バインダ樹脂および溶剤からなるものであるが、
場合によっては、アルミナやジルコニア等のセラミック
フィラーやその他の添加剤を加えてもよい。同様に、金
属スラリーに対しても、アルミナやジルコニア等のセラ
ミックフィラーやその他の添加剤を加えてもよい。特
に、金属スラリーには、その接着強度を改善できること
から、下地となっているガラス膜と同様の主成分組成を
有したガラス粉末を添加することが望ましい。
【００６９】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。
明する。
【００７０】実施例１ まず、平均粒径が０．５〜２０μｍの範囲のホウ珪酸系
ガラス粉末を作製し、下記表１に示すガラス粉末／樹脂
量比、（ガラス粉末＋樹脂）／溶剤量比となるように、
ブチラール系樹脂、有機溶剤を加え、これを１６時間、
ボールミルで混合した。なお、有機溶剤はトルエンとエ
タノールを重量比で１：１に混合したものを用いた。
ガラス粉末を作製し、下記表１に示すガラス粉末／樹脂
量比、（ガラス粉末＋樹脂）／溶剤量比となるように、
ブチラール系樹脂、有機溶剤を加え、これを１６時間、
ボールミルで混合した。なお、有機溶剤はトルエンとエ
タノールを重量比で１：１に混合したものを用いた。
【００７１】次いで、上述のガラス膜形成装置を用い
て、７００ｇのフェライトコア（１．０ｍｍ×１．０ｍ
ｍ×２．０ｍｍ：０．０１ｇ／１個）表面にガラス塗膜
を形成した。ここでは、容器の回転スピードを２５ｒｐ
ｍ、温風温度４０〜８０℃の範囲とし、スラリー吐出量
とコーティング時間は適宜調整した。また、容器は、奥
行き３０ｃｍ、直径３０ｃｍのＳＵＳ製メッシュ状容器
である。
て、７００ｇのフェライトコア（１．０ｍｍ×１．０ｍ
ｍ×２．０ｍｍ：０．０１ｇ／１個）表面にガラス塗膜
を形成した。ここでは、容器の回転スピードを２５ｒｐ
ｍ、温風温度４０〜８０℃の範囲とし、スラリー吐出量
とコーティング時間は適宜調整した。また、容器は、奥
行き３０ｃｍ、直径３０ｃｍのＳＵＳ製メッシュ状容器
である。
【００７２】そして、得られたフェライトコアについ
て、目視でその表面を観察して、ガラス膜の形成状態を
確認し、しかる後、ホウ珪酸ガラス粉末の軟化温度以上
である８５０℃で焼成処理を施して焼成後のコーティン
グ状態についても確認した。ガラス塗膜の形成状態（コ
ーティング状態）、ならびに、焼成後のガラス膜の状態
を下記表１に併せて示す。なお、下記表１に示すコーテ
ィング状態は、ガラス塗膜のコーティング状態であり、
コーティング状態が良好なものは、焼成後のガラス膜の
状態も良好であった。
て、目視でその表面を観察して、ガラス膜の形成状態を
確認し、しかる後、ホウ珪酸ガラス粉末の軟化温度以上
である８５０℃で焼成処理を施して焼成後のコーティン
グ状態についても確認した。ガラス塗膜の形成状態（コ
ーティング状態）、ならびに、焼成後のガラス膜の状態
を下記表１に併せて示す。なお、下記表１に示すコーテ
ィング状態は、ガラス塗膜のコーティング状態であり、
コーティング状態が良好なものは、焼成後のガラス膜の
状態も良好であった。
【００７３】
【表１】
【００７４】表１から、試料番号１に示すように、ガラ
スに対するバインダ樹脂の添加量が２０重量％未満では
コーティング膜の強度が低く、ガラス塗膜の剥離が発生
する傾向にあった。他方、試料番号７に示すようにバイ
ンダ樹脂の添加量が７５重量％を超えると、フェライト
コア同士がくっついてしまい、団粒が生じて均一なコー
ティングができていなかった。
スに対するバインダ樹脂の添加量が２０重量％未満では
コーティング膜の強度が低く、ガラス塗膜の剥離が発生
する傾向にあった。他方、試料番号７に示すようにバイ
ンダ樹脂の添加量が７５重量％を超えると、フェライト
コア同士がくっついてしまい、団粒が生じて均一なコー
ティングができていなかった。
【００７５】また、ガラス粉末とバインダ樹脂の合計重
量に対する溶剤の添加量に関し、試料番号８に示すよう
に、その添加量が３０重量％未満ではスラリー粘度が高
く、フェライトコア同士のくっつきが起こり、団粒が生
じてしまった。他方、試料番号１１に示すように、その
添加量が８０重量％を超えると、ガラススラリー中のガ
ラス量が少なくなり、均一にコーティングできないもの
があった。また、必要な膜厚を得るためには長時間のコ
ーティングが必要となり、実用的ではないと思われる。
量に対する溶剤の添加量に関し、試料番号８に示すよう
に、その添加量が３０重量％未満ではスラリー粘度が高
く、フェライトコア同士のくっつきが起こり、団粒が生
じてしまった。他方、試料番号１１に示すように、その
添加量が８０重量％を超えると、ガラススラリー中のガ
ラス量が少なくなり、均一にコーティングできないもの
があった。また、必要な膜厚を得るためには長時間のコ
ーティングが必要となり、実用的ではないと思われる。
【００７６】これに対して、試料番号２〜６、９および
１０のように、ガラス粉末に対するバインダ樹脂の添加
量を２０〜７５重量％とし、かつ、ガラスとバインダ樹
脂の合計重量に対する溶剤の添加量を３０〜８０重量％
とした場合、ピンホールやクラックが発生せず、均一で
均質なガラス膜を形成することができ、ひいては、フェ
ライトコアの耐環境性や信頼性が大きく向上した。
１０のように、ガラス粉末に対するバインダ樹脂の添加
量を２０〜７５重量％とし、かつ、ガラスとバインダ樹
脂の合計重量に対する溶剤の添加量を３０〜８０重量％
とした場合、ピンホールやクラックが発生せず、均一で
均質なガラス膜を形成することができ、ひいては、フェ
ライトコアの耐環境性や信頼性が大きく向上した。
【００７７】実施例２ まず、金属スラリーを次のように作製した。すなわち、
平均粒径が０．５〜１０μｍの範囲のＡｇ粉末、平均粒
径が０．５〜１０μｍの範囲のホウ珪酸ガラス粉末をそ
れぞれ作製し、下記表２に示すＡｇ粉末／ガラス粉末
比、（Ａｇ粉末＋ガラス粉末）／樹脂比、（Ａｇ粉末＋
ガラス粉末＋樹脂）／溶剤比となるように、ブチラール
系樹脂、有機溶剤を加え、１６時間ボールミルで混合さ
せた。なお、有機溶剤は、トルエンとエタノールを重量
比で１：１に混合したものを用いた。
平均粒径が０．５〜１０μｍの範囲のＡｇ粉末、平均粒
径が０．５〜１０μｍの範囲のホウ珪酸ガラス粉末をそ
れぞれ作製し、下記表２に示すＡｇ粉末／ガラス粉末
比、（Ａｇ粉末＋ガラス粉末）／樹脂比、（Ａｇ粉末＋
ガラス粉末＋樹脂）／溶剤比となるように、ブチラール
系樹脂、有機溶剤を加え、１６時間ボールミルで混合さ
せた。なお、有機溶剤は、トルエンとエタノールを重量
比で１：１に混合したものを用いた。
【００７８】次いで、上述の金属膜形成装置を用いて、
表面にガラス膜を有する７００ｇのフェライトコア
（１．０ｍｍ×１．０ｍｍ×２．０ｍｍ：０．０１ｇ／
１個）への金属膜形成を試みた。ここでは、容器の回転
スピードを２５ｒｐｍ、温風温度４０〜８０℃の範囲と
し、スラリー吐出量とコーティング時間は適宜調整し
た。また、容器は、奥行き３０ｃｍ、直径３０ｃｍのＳ
ＵＳ製メッシュ状容器である。
表面にガラス膜を有する７００ｇのフェライトコア
（１．０ｍｍ×１．０ｍｍ×２．０ｍｍ：０．０１ｇ／
１個）への金属膜形成を試みた。ここでは、容器の回転
スピードを２５ｒｐｍ、温風温度４０〜８０℃の範囲と
し、スラリー吐出量とコーティング時間は適宜調整し
た。また、容器は、奥行き３０ｃｍ、直径３０ｃｍのＳ
ＵＳ製メッシュ状容器である。
【００７９】そして、得られたフェライトコアについ
て、目視でその表面を観察して、金属膜の形成状態を確
認すると同時に、ホウ珪酸ガラスの軟化温度以上である
８５０℃で焼成処理を施して焼成後のコーティング状態
についても確認した。金属塗膜の形成状態（コーティン
グ状態）、ならびに、焼成後の金属膜の状態を下記表１
に併せて示す。なお、下記表１に示すコーティング状態
は、金属塗膜のコーティング状態であり、コーティング
状態が良好なものは、焼成後の金属膜の状態も良好であ
った。
て、目視でその表面を観察して、金属膜の形成状態を確
認すると同時に、ホウ珪酸ガラスの軟化温度以上である
８５０℃で焼成処理を施して焼成後のコーティング状態
についても確認した。金属塗膜の形成状態（コーティン
グ状態）、ならびに、焼成後の金属膜の状態を下記表１
に併せて示す。なお、下記表１に示すコーティング状態
は、金属塗膜のコーティング状態であり、コーティング
状態が良好なものは、焼成後の金属膜の状態も良好であ
った。
【００８０】
【表２】
【００８１】表２から、試料番号１２に示すように、金
属粉末に対するガラス粉末の添加量が１重量％未満で
は、コーティング可能であるものの、焼成後の金属膜と
フェライトコア表面のガラス膜との接合が弱く、金属膜
の剥離が生じることがあった。他方、試料番号１６に示
すように、ガラス粉末の添加量が４０重量％を超える
と、金属膜の比抵抗が高くなりすぎ、実質的に導体とし
ての機能が低下する傾向にあった。
属粉末に対するガラス粉末の添加量が１重量％未満で
は、コーティング可能であるものの、焼成後の金属膜と
フェライトコア表面のガラス膜との接合が弱く、金属膜
の剥離が生じることがあった。他方、試料番号１６に示
すように、ガラス粉末の添加量が４０重量％を超える
と、金属膜の比抵抗が高くなりすぎ、実質的に導体とし
ての機能が低下する傾向にあった。
【００８２】また、試料番号１７に示すように、金属粉
末およびガラス粉末の合計量に対する樹脂の添加量が２
０重量％未満ではコーティング膜の強度が低く、金属膜
の剥離に至ることがあった。また、試料番号１０に示す
ように、金属粉末およびガラス粉末の合計量に対する樹
脂の添加量が７５重量％を超えると、フェライトコア同
士がくっついてしまい、団粒が生じて均一なコーティン
グが困難であった。
末およびガラス粉末の合計量に対する樹脂の添加量が２
０重量％未満ではコーティング膜の強度が低く、金属膜
の剥離に至ることがあった。また、試料番号１０に示す
ように、金属粉末およびガラス粉末の合計量に対する樹
脂の添加量が７５重量％を超えると、フェライトコア同
士がくっついてしまい、団粒が生じて均一なコーティン
グが困難であった。
【００８３】また、試料番号２２に示すように、金属粉
末、ガラス粉末および樹脂の合計重量に対する溶剤の添
加量が３０重量％未満では、金属スラリーの粘度が高
く、フェライトコア同士がくっつき、団粒が生じてしま
った。他方、試料番号２５に示すように、溶剤の添加量
が８０重量％を超えると、金属スラリー中の金属粉末及
びガラス粉末量が少なくなり、均一にコーティングでき
ないものがあった。また、必要な膜厚を得るためには長
時間のコーティングが必要となり、実用的ではないと思
われる。
末、ガラス粉末および樹脂の合計重量に対する溶剤の添
加量が３０重量％未満では、金属スラリーの粘度が高
く、フェライトコア同士がくっつき、団粒が生じてしま
った。他方、試料番号２５に示すように、溶剤の添加量
が８０重量％を超えると、金属スラリー中の金属粉末及
びガラス粉末量が少なくなり、均一にコーティングでき
ないものがあった。また、必要な膜厚を得るためには長
時間のコーティングが必要となり、実用的ではないと思
われる。
【００８４】これに対して、試料番号１３〜１５、１８
〜２０、２３および２４のように、金属粉末に対するガ
ラス粉末の添加量を１〜４０重量％、金属粉末およびガ
ラス粉末の合計量に対する樹脂の添加量を２０〜７５重
量％、かつ、金属粉末、ガラス粉末および樹脂の合計重
量に対する溶剤の添加量を３０〜８０重量％とした場
合、ピンホールやクラックが発生せず、均一で均質な金
属膜を形成することができ、ひいては、信頼性の高いチ
ップコイルを効率良く製造することができた。
〜２０、２３および２４のように、金属粉末に対するガ
ラス粉末の添加量を１〜４０重量％、金属粉末およびガ
ラス粉末の合計量に対する樹脂の添加量を２０〜７５重
量％、かつ、金属粉末、ガラス粉末および樹脂の合計重
量に対する溶剤の添加量を３０〜８０重量％とした場
合、ピンホールやクラックが発生せず、均一で均質な金
属膜を形成することができ、ひいては、信頼性の高いチ
ップコイルを効率良く製造することができた。
【００８５】
【発明の効果】本発明のガラス膜の形成方法よれば、回
転する容器内に被膜形成体を配し、この容器を回転させ
ながら、被膜形成体にガラススラリーを吹き付けて、そ
の表面にガラス塗膜を形成し、さらに、この容器内で被
膜形成体を加温してガラス塗膜を乾燥させるので、被膜
形成体同士が団粒することなく、その表面に均一で均質
なガラス塗膜を形成することができる。また、容器内に
複数の被膜形成体を配し、一度に大量の被膜形成体にガ
ラス膜を形成することも可能である。
転する容器内に被膜形成体を配し、この容器を回転させ
ながら、被膜形成体にガラススラリーを吹き付けて、そ
の表面にガラス塗膜を形成し、さらに、この容器内で被
膜形成体を加温してガラス塗膜を乾燥させるので、被膜
形成体同士が団粒することなく、その表面に均一で均質
なガラス塗膜を形成することができる。また、容器内に
複数の被膜形成体を配し、一度に大量の被膜形成体にガ
ラス膜を形成することも可能である。
【００８６】また、本発明のガラス膜の形成装置によれ
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体にガラススラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜
を形成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を
加温してガラス塗膜を乾燥させるための加温部とを備え
るので、上述した本発明のガラス膜の形成方法を再現性
良く実施することができる。
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体にガラススラリーを吹き付け、その表面にガラス塗膜
を形成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を
加温してガラス塗膜を乾燥させるための加温部とを備え
るので、上述した本発明のガラス膜の形成方法を再現性
良く実施することができる。
【００８７】また、本発明の第１の電子部品の製造方法
によれば、本発明のガラス膜の形成方法に基づいて電子
部品素体にガラス膜を形成するので、電子部品素体の表
面に均一な膜厚のガラス膜を効率良く形成して、耐環境
性や絶縁性に優れた電子部品を容易に製造することがで
きる。
によれば、本発明のガラス膜の形成方法に基づいて電子
部品素体にガラス膜を形成するので、電子部品素体の表
面に均一な膜厚のガラス膜を効率良く形成して、耐環境
性や絶縁性に優れた電子部品を容易に製造することがで
きる。
【００８８】また、本発明の金属膜の形成方法によれ
ば、回転する容器内に被膜形成体を配し、この容器を回
転させながら、被膜形成体に金属スラリーを吹き付けて
その表面に金属塗膜を形成し、さらに、この容器内で被
膜形成体を加温して金属塗膜を乾燥させるので、被膜形
成体の表面に均一で均質な金属膜を効率良く形成するこ
とができる。また、容器内に複数の被膜形成体を配し、
一度に大量の被膜形成体に金属膜を形成することも可能
である。
ば、回転する容器内に被膜形成体を配し、この容器を回
転させながら、被膜形成体に金属スラリーを吹き付けて
その表面に金属塗膜を形成し、さらに、この容器内で被
膜形成体を加温して金属塗膜を乾燥させるので、被膜形
成体の表面に均一で均質な金属膜を効率良く形成するこ
とができる。また、容器内に複数の被膜形成体を配し、
一度に大量の被膜形成体に金属膜を形成することも可能
である。
【００８９】また、本発明の金属膜の形成装置によれ
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体に金属スラリーを吹き付け、その表面に金属塗膜を形
成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を加温
して金属塗膜を乾燥させるための加温部とを備えるの
で、本発明の金属膜の形成方法を再現性良く実施するこ
とができる。
ば、回転可能な容器と、この容器内に配される被膜形成
体に金属スラリーを吹き付け、その表面に金属塗膜を形
成するためのスラリー吐出部と、この被膜形成体を加温
して金属塗膜を乾燥させるための加温部とを備えるの
で、本発明の金属膜の形成方法を再現性良く実施するこ
とができる。
【００９０】さらに、本発明の第２の電子部品の製造方
法によれば、本発明の金属膜の形成方法に基づいて電子
部品素体に金属膜を形成するので、表面に均一で均質な
金属膜を有し、信頼性の高い電子部品を効率良く製造す
ることができる。
法によれば、本発明の金属膜の形成方法に基づいて電子
部品素体に金属膜を形成するので、表面に均一で均質な
金属膜を有し、信頼性の高い電子部品を効率良く製造す
ることができる。
【図１】本発明によるガラス膜形成装置（金属膜形成装
置）の一例を示す概略断面図である。
置）の一例を示す概略断面図である。
【図２】フェライトコアへのガラス膜付与工程および金
属膜付与工程を説明するための概略断面図である。
属膜付与工程を説明するための概略断面図である。
【図３】同、フェライトコアの概略斜視図である。
１…外側容器 ２…メッシュ状容器 ３…温風導入部 ４…排気部 ５…ノズル ６…ガラススラリー ７…被膜形成体
Claims (24)
- 【請求項１】 （Ａ）回転可能な容器内に被膜形成体を
配する第１工程と、（Ｂ）前記容器を回転させながら前
記被膜形成体にガラススラリーを吹き付けて、その表面
にガラス塗膜を形成する第２工程と、（Ｃ）前記容器を
回転させながら前記被膜形成体を加温し、前記ガラス塗
膜を乾燥させる第３工程と、を有することを特徴とす
る、ガラス膜の形成方法。 - 【請求項２】 前記第２工程と前記第３工程とを同時に
実施することを特徴とする、請求項１に記載のガラス膜
の形成方法。 - 【請求項３】 前記容器をメッシュ状容器とし、このメ
ッシュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状の
前記ガラススラリーを吹き付けて、前記被膜形成体の表
面に前記ガラス塗膜を形成することを特徴とする、請求
項１または２に記載のガラス膜の形成方法。 - 【請求項４】 前記メッシュ状容器の外部に設けられた
温風導入部から温風を導入して、前記ガラス塗膜を乾燥
させることを特徴とする、請求項３に記載のガラス膜の
形成方法。 - 【請求項５】 前記ガラススラリーは、ガラス粉末、バ
インダ樹脂および溶剤からなり、前記ガラス粉末と前記
バインダ樹脂との重量比が８０／２０〜２５／７５であ
って、かつ、前記ガラス粉末と前記バインダ樹脂との合
計量と前記溶剤との重量比が７０／３０〜２０／８０で
あることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記
載のガラス膜の形成方法。 - 【請求項６】 前記ガラス塗膜を乾燥した後、そのガラ
スの軟化温度以上で焼成することを特徴とする、請求項
１乃至５のいずれかに記載のガラス膜の形成方法。 - 【請求項７】 （ａ）回転可能な容器と、（ｂ）前記容
器内に配される被膜形成体にガラススラリーを吹き付
け、その表面にガラス塗膜を形成するためのスラリー吐
出部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温して前記ガラス塗
膜を乾燥させるための加温部と、を備えることを特徴と
するガラス膜の形成装置。 - 【請求項８】 前記容器はメッシュ状容器であって、前
記メッシュ状容器内には、被膜形成体に霧状のガラスス
ラリーを吹き付ける前記スラリー吐出部が設けられてい
ることを特徴とする、請求項７に記載のガラス膜の形成
装置。 - 【請求項９】 前記メッシュ状容器の外部には、前記加
温部として、前記容器内に温風を導入しうる温風導入部
が設けられていることを特徴とする、請求項８に記載の
ガラス膜の形成装置。 - 【請求項１０】 請求項１乃至６のいずれかに記載のガ
ラス膜の形成方法によって、電子部品素体にガラス膜を
形成することを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 【請求項１１】 前記ガラス膜上に所望の導体パターン
を形成することを特徴とする、請求項１０に記載の電子
部品の製造方法。 - 【請求項１２】 （Ａ）回転可能な容器内に被膜形成体
を配する第１工程と、（Ｂ）前記容器を回転させながら
前記被膜形成体に金属スラリーを吹き付けて、その表面
に金属塗膜を形成する第２工程と、（Ｃ）前記容器を回
転させながら前記被膜形成体を加温し、前記金属塗膜を
乾燥させる第３工程と、を有することを特徴とする、金
属膜の形成方法。 - 【請求項１３】 前記第２工程と前記第３工程とを同時
に実施することを特徴とする、請求項１２に記載の金属
膜の形成方法。 - 【請求項１４】 前記容器をメッシュ状容器とし、この
メッシュ状容器内に設けられたスラリー吐出部から霧状
の前記金属スラリーを吹き付けて、前記被膜形成体の表
面に前記金属塗膜を形成することを特徴とする、請求項
１２または１３に記載の金属膜の形成方法。 - 【請求項１５】 前記メッシュ状容器の外部に設けられ
た温風導入部から温風を導入して、前記金属塗膜を乾燥
させることを特徴とする、請求項１４に記載の金属膜の
形成方法。 - 【請求項１６】 前記金属スラリーは、金属粉末、ガラ
ス粉末、バインダ樹脂および溶剤からなることを特徴と
する、請求項１２乃至１５のいずれかに記載の金属膜の
製造方法。 - 【請求項１７】 前記金属スラリーは、前記金属粉末お
よび前記ガラス粉末の合計量と前記バインダ樹脂との重
量比が８０／２０〜２５／７５であって、かつ、前記金
属粉末、前記ガラス粉末および前記バインダ樹脂の合計
量と前記溶剤との重量比が７０／３０〜２０／８０であ
ることを特徴とする、請求項１６に記載の金属膜の形成
方法。 - 【請求項１８】 前記金属スラリーは、前記金属粉末と
前記ガラス粉末との重量比が９９／１〜６０／４０であ
ることを特徴とする、請求項１６または１７に記載の金
属膜の形成方法。 - 【請求項１９】 前記金属塗膜を乾燥した後、前記ガラ
ス粉末の軟化温度以上で焼成することを特徴とする、請
求項１６乃至１８に記載の金属膜の形成方法。 - 【請求項２０】 （ａ）回転可能な容器と、（ｂ）前記
容器内に配される被膜形成体に金属スラリーを吹き付け
る、その表面に金属塗膜を形成するためのスラリー吐出
部と、（ｃ）前記被膜形成体を加温して前記金属塗膜を
乾燥させるための加温部と、を備えることを特徴とする
金属膜の形成装置。 - 【請求項２１】 前記容器はメッシュ状容器であって、
前記メッシュ状容器内には、被膜形成体に霧状の金属ス
ラリーを吹き付ける前記スラリー吐出部が設けられてい
ることを特徴とする、請求項２０に記載の金属膜の形成
装置。 - 【請求項２２】 前記メッシュ状容器の外部には、前記
加温部として、前記容器内に温風を導入しうる温風導入
部が設けられていることを特徴とする、請求項２１に記
載の金属膜の形成装置。 - 【請求項２３】 請求項１２乃至１９のいずれかに記載
の金属膜の形成方法によって、電子部品素体に金属膜を
形成することを特徴とする、電子部品の製造方法。 - 【請求項２４】 前記金属膜を所望の導体形状にパター
ニングすることを特徴とする、請求項２３に記載の電子
部品の製造方法。
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