JP2002107384A - 電流センサ - Google Patents
電流センサInfo
- Publication number
- JP2002107384A JP2002107384A JP2000300624A JP2000300624A JP2002107384A JP 2002107384 A JP2002107384 A JP 2002107384A JP 2000300624 A JP2000300624 A JP 2000300624A JP 2000300624 A JP2000300624 A JP 2000300624A JP 2002107384 A JP2002107384 A JP 2002107384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- current
- conductor
- small window
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】センサ検出感度方向の外乱ノイズをキャンセル
する事ができ、コンパクト化も可能なMI素子を用いた
電流センサを提供する。 【解決手段】抵抗値の異なる一次導体1と二次導体1’
に夫々切り欠きを設けて、一体化した導体の中央部が小
窓2なり、小窓2内には微小磁界領域が発生するのを利
用し、中央線Oと零磁界領域Gが一致しないことで、小
窓2内の中央線O上にMI素子3を内蔵することで微小
磁場領域中の微小磁場勾配により、微小磁界を一つのM
I素子3又は13で高精度に検出できる磁気センサとし
て、簡単な検出回路4によりセンサ値の出力を電流出力
6として簡単な電流出力回路で出力している。
する事ができ、コンパクト化も可能なMI素子を用いた
電流センサを提供する。 【解決手段】抵抗値の異なる一次導体1と二次導体1’
に夫々切り欠きを設けて、一体化した導体の中央部が小
窓2なり、小窓2内には微小磁界領域が発生するのを利
用し、中央線Oと零磁界領域Gが一致しないことで、小
窓2内の中央線O上にMI素子3を内蔵することで微小
磁場領域中の微小磁場勾配により、微小磁界を一つのM
I素子3又は13で高精度に検出できる磁気センサとし
て、簡単な検出回路4によりセンサ値の出力を電流出力
6として簡単な電流出力回路で出力している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気インピーダンス素
子(以下MI素子)を用いた電流センサに関するもの
で、特に過電流が流れても大丈夫な車載用の電流検出に
おいて、特に高感度で広範囲に渡って検出磁界をえられ
るMI素子を用いた電流センサに関するものである。
子(以下MI素子)を用いた電流センサに関するもの
で、特に過電流が流れても大丈夫な車載用の電流検出に
おいて、特に高感度で広範囲に渡って検出磁界をえられ
るMI素子を用いた電流センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のオートブレーカでは、主回路の通
電導体を一次導体としてここに鉄心に二次コイルを巻回
した通常の変流器を採用して電流検出を行っている。こ
れらの配線用しゃ断器,漏電しゃ断器などのオートブレ
ーカは、市場要求として小形、コンパクト化された製品
が求められており、この要望に沿って各種部品の小形
化、部品の配置などを改良するなどして外形寸法の縮小
化を進めているがこれには限界がある。
電導体を一次導体としてここに鉄心に二次コイルを巻回
した通常の変流器を採用して電流検出を行っている。こ
れらの配線用しゃ断器,漏電しゃ断器などのオートブレ
ーカは、市場要求として小形、コンパクト化された製品
が求められており、この要望に沿って各種部品の小形
化、部品の配置などを改良するなどして外形寸法の縮小
化を進めているがこれには限界がある。
【0003】一方、各種の磁気センサが開発され、その
応用例としてホール素子、磁気抵抗素子などを使用し、
一次導体に流れる電流をその電流に比例した磁界強度の
形で計測する磁気センサ式変流器なども知られている。
応用例としてホール素子、磁気抵抗素子などを使用し、
一次導体に流れる電流をその電流に比例した磁界強度の
形で計測する磁気センサ式変流器なども知られている。
【0004】しかも、これら磁気センサは通常の変流器
に比べて比較にならない程の超小形であり、この磁気セ
ンサ式変流器を通常の変流器に置き換えて採用すれば、
前記したオートブレーカの小形、コンパクト化を推進す
る上で大いに期待される。
に比べて比較にならない程の超小形であり、この磁気セ
ンサ式変流器を通常の変流器に置き換えて採用すれば、
前記したオートブレーカの小形、コンパクト化を推進す
る上で大いに期待される。
【0005】しかしながら、配線用しゃ断器,漏電しゃ
断器などのオートブレーカは、フレームによって定格電
流が最小5Aから最大6000A程度まで広範囲に系列
化されており、電子式オートブレーカでは定格電流を複
数段階に調整することが可能である。これに対して、前
記したホール素子、磁気抵抗素子などは、不平衡電圧な
どの影響により微小磁場の下では分解能が低下するとい
った特性面での固有の問題があり、定格電流の小さいフ
レームでは高精度な電流計測が難しい。
断器などのオートブレーカは、フレームによって定格電
流が最小5Aから最大6000A程度まで広範囲に系列
化されており、電子式オートブレーカでは定格電流を複
数段階に調整することが可能である。これに対して、前
記したホール素子、磁気抵抗素子などは、不平衡電圧な
どの影響により微小磁場の下では分解能が低下するとい
った特性面での固有の問題があり、定格電流の小さいフ
レームでは高精度な電流計測が難しい。
【0006】これに対して、微小磁界を高い精度で検出
可能な磁気センサとしてフラックスゲート素子、あるい
はMI素子などが知られている。とくに、フラックスゲ
ート素子、MI素子の動作範囲は高々10ガウス以下の
微小磁界であり、このままでは定格電流の大きなオート
ブレーカへの適用が困難である。そこで、微小磁界の検
出に高い精度を発揮するフラックスゲート素子、MI素
子など磁気センサを採用して一次導体に流れる電流を広
範囲で精度良く計測できる磁気センサ応用の変流器を提
供する手段が用いられている。
可能な磁気センサとしてフラックスゲート素子、あるい
はMI素子などが知られている。とくに、フラックスゲ
ート素子、MI素子の動作範囲は高々10ガウス以下の
微小磁界であり、このままでは定格電流の大きなオート
ブレーカへの適用が困難である。そこで、微小磁界の検
出に高い精度を発揮するフラックスゲート素子、MI素
子など磁気センサを採用して一次導体に流れる電流を広
範囲で精度良く計測できる磁気センサ応用の変流器を提
供する手段が用いられている。
【0007】それらの手段は、一次導体の中央部分に電
流通路を二分する小窓を開口し、該小窓の中心部位にフ
ラックスゲート素子、 あるいはMI素子の磁気センサ
を配置することにより達成される。なお、前記の一次導
体には平角導体を用いて実施するのがよい。周知のよう
に、導体に電流が流れると導体の周辺に磁界が発生し、
その磁界の方向、磁界強度はビオ・サバールの法則によ
って決まる。また、並行に配置した2本の導体に同じ向
きに同じ電流を流すと、導体相互間の中央では磁界強度
がゼロとなり、その両側で導体に近づくにつれて磁界強
度が大きくなる。
流通路を二分する小窓を開口し、該小窓の中心部位にフ
ラックスゲート素子、 あるいはMI素子の磁気センサ
を配置することにより達成される。なお、前記の一次導
体には平角導体を用いて実施するのがよい。周知のよう
に、導体に電流が流れると導体の周辺に磁界が発生し、
その磁界の方向、磁界強度はビオ・サバールの法則によ
って決まる。また、並行に配置した2本の導体に同じ向
きに同じ電流を流すと、導体相互間の中央では磁界強度
がゼロとなり、その両側で導体に近づくにつれて磁界強
度が大きくなる。
【0008】そこで、電流の流れる一次導体に平角導体
を採用し、この導体の中央部分を切欠して通電路を二分
するように小窓を開口すれば、この小窓を挟んだ両側の
導体部分が前記した2本の並行導体と同様な状態とな
り、小窓の空間における磁界強度はその中心でゼロ,両
サイド方向へ行くにしたがって磁界強度が高くなるよう
な分布を呈し、特に中心に近い部分に微小磁界領域が形
成される。
を採用し、この導体の中央部分を切欠して通電路を二分
するように小窓を開口すれば、この小窓を挟んだ両側の
導体部分が前記した2本の並行導体と同様な状態とな
り、小窓の空間における磁界強度はその中心でゼロ,両
サイド方向へ行くにしたがって磁界強度が高くなるよう
な分布を呈し、特に中心に近い部分に微小磁界領域が形
成される。
【0009】したがって、前記小窓内の中心部位に形成
される微小磁界領域に位置を合わせてフラックスゲート
素子、 あるいはMI素子を設置すれば、これら磁気セ
ンサにより一次導体に流れる電流を小電流から大電流ま
での広範囲で精度よく検出できる。
される微小磁界領域に位置を合わせてフラックスゲート
素子、 あるいはMI素子を設置すれば、これら磁気セ
ンサにより一次導体に流れる電流を小電流から大電流ま
での広範囲で精度よく検出できる。
【0010】しかも、この小窓を磁気センサの外形寸法
に対応しておけば、磁気センサの素子は小窓内に収まる
ので、磁気センサを設置するために余分なスペースが不
要となる。
に対応しておけば、磁気センサの素子は小窓内に収まる
ので、磁気センサを設置するために余分なスペースが不
要となる。
【0011】これらの実施例を図面に基づいてわかりや
すく説明する。図3において、31は配線用しゃ断器、
漏電しゃ断器などのオートブレーカに組み込まれた主回
路導体としての一次導体(平角導体)、32は一次導体
31の長手方向にそって通電路を二分するようにその中
央に切欠き開口した小窓、33は該小窓32の中の中央
部位に位置を合わせて配置したフラックスゲート素子、
あるいはMI素子の磁気センサ、34は、磁気センサ
33に接続した電流検出回路である。
すく説明する。図3において、31は配線用しゃ断器、
漏電しゃ断器などのオートブレーカに組み込まれた主回
路導体としての一次導体(平角導体)、32は一次導体
31の長手方向にそって通電路を二分するようにその中
央に切欠き開口した小窓、33は該小窓32の中の中央
部位に位置を合わせて配置したフラックスゲート素子、
あるいはMI素子の磁気センサ、34は、磁気センサ
33に接続した電流検出回路である。
【0012】なお、図中では一次導体31の幅をA、厚
さをB、小窓の幅をC、長さをDとし、一次導体31の
長手方向(電流Iの通流方向)に沿った中心線をOで表
している。
さをB、小窓の幅をC、長さをDとし、一次導体31の
長手方向(電流Iの通流方向)に沿った中心線をOで表
している。
【0013】例えば、一次導体31の幅Aを20mm、厚
さBを3mm、小窓32の幅Cを5mm、長さDを10mmと
し、一次導体に100Aの電流を流した場合における小
窓72の内部の磁界強度を計算により求めたところ、そ
の磁界強度分布は図5のようになる。なお、磁界強度分
布は前記中心線Oに対して導体の幅方向に対称であり、
図5はその片側半分の磁界強度分布を示している。
さBを3mm、小窓32の幅Cを5mm、長さDを10mmと
し、一次導体に100Aの電流を流した場合における小
窓72の内部の磁界強度を計算により求めたところ、そ
の磁界強度分布は図5のようになる。なお、磁界強度分
布は前記中心線Oに対して導体の幅方向に対称であり、
図5はその片側半分の磁界強度分布を示している。
【0014】図5に表した磁界強度分布図から明らかな
ように、中心線Oに沿った小窓2内の中心点では磁界強
度がゼロであり、その周域には幅方向に約1mm幅の範囲
で磁界強度が5ガウス以下の微小磁界領域(斜め破線で
表す)が存在している。
ように、中心線Oに沿った小窓2内の中心点では磁界強
度がゼロであり、その周域には幅方向に約1mm幅の範囲
で磁界強度が5ガウス以下の微小磁界領域(斜め破線で
表す)が存在している。
【0015】したがって、この微小磁界領域に位置を合
わせて小窓内にフラックスゲート素子、あるいはMI素
子の磁気センサ33を配置することにより、一次導体3
1に流れる電流、つまりオートブレーカの主回路に流れ
る負荷電流を小電流から大電流まで広範囲に精度よく検
出することができる。
わせて小窓内にフラックスゲート素子、あるいはMI素
子の磁気センサ33を配置することにより、一次導体3
1に流れる電流、つまりオートブレーカの主回路に流れ
る負荷電流を小電流から大電流まで広範囲に精度よく検
出することができる。
【0016】このような構成にすることにより、一次導
体31の中央に小窓32を開口してその内方に微小磁界
領域を形成するとともに、この小窓内の中心部位に位置
を合わせてフラックスゲート素子、 あるいはMI素子
33のように微小磁界の検出精度が高い磁気センサを設
置したことにより、一次導体31に流れる電流を広範囲
で精度よく検出することができる。
体31の中央に小窓32を開口してその内方に微小磁界
領域を形成するとともに、この小窓内の中心部位に位置
を合わせてフラックスゲート素子、 あるいはMI素子
33のように微小磁界の検出精度が高い磁気センサを設
置したことにより、一次導体31に流れる電流を広範囲
で精度よく検出することができる。
【0017】しかも、外形寸法が超小形である磁気セン
サは一次導体31に開口した小窓内に収まるように配置
することができることから、通常の変流器のように一次
導体31の周辺に変流器を設置するための特別スペース
を確保する必要がなく、したがって当該変流器を配線用
しゃ断器、漏電しゃ断器などのオートブレーカに採用す
ることで、オートブレーカの製品の小形,コンパクト化
が達成できる。
サは一次導体31に開口した小窓内に収まるように配置
することができることから、通常の変流器のように一次
導体31の周辺に変流器を設置するための特別スペース
を確保する必要がなく、したがって当該変流器を配線用
しゃ断器、漏電しゃ断器などのオートブレーカに採用す
ることで、オートブレーカの製品の小形,コンパクト化
が達成できる。
【0018】このように、従来の技術では、一次導体に
流れる電流を、この電流に比例する磁界強度の形で計測
する磁気センサ応用の変流器において、平角導体として
なる一次導体部の中央部分に電流通路を二分する小窓を
有し、該小窓の中央部に微小磁界を形成し、この微小磁
界領域に磁気センサを配置して一次導体に流れる電流を
計測している。
流れる電流を、この電流に比例する磁界強度の形で計測
する磁気センサ応用の変流器において、平角導体として
なる一次導体部の中央部分に電流通路を二分する小窓を
有し、該小窓の中央部に微小磁界を形成し、この微小磁
界領域に磁気センサを配置して一次導体に流れる電流を
計測している。
【0019】
【発明が解決するための課題】一次導体の中央部に小窓
を開口し、磁気センサを設置していた為、MI素子を中
心部に置くと中心部では磁界が、零であるためMI素子
の置く位置精度により磁場測定が正負にばらつき、測定
誤差が大きくなってしまいセンサ設置位置にかなりの高
精度を要してしまう。
を開口し、磁気センサを設置していた為、MI素子を中
心部に置くと中心部では磁界が、零であるためMI素子
の置く位置精度により磁場測定が正負にばらつき、測定
誤差が大きくなってしまいセンサ設置位置にかなりの高
精度を要してしまう。
【0020】また、一次導体の中央部に小窓を開口し、
磁気センサを一個設置していた為、外乱ノイズと信号の
区別また、熱ドリフトをキャンセルする事ができず、測
定信頼性に欠ける。
磁気センサを一個設置していた為、外乱ノイズと信号の
区別また、熱ドリフトをキャンセルする事ができず、測
定信頼性に欠ける。
【0021】そこで本出願人は、一次導体と二次導体に
流れる電流を、該電流に比例する磁界強度の形で計測す
る電流センサにおいて、一次導体と二次導体の中央部に
切り欠きをいれて、該一次導体と二次導体を一体化する
ことで、電流通路を分岐する小窓を開口し、該小窓内に
検出感度方向が逆になる一対のMI素子を用いた磁気セ
ンサを設け、該MI素子を用いた磁気センサでのセンサ
値の差をとることで、磁界検出をすることで、センサ検
出感度方向の外乱ノイズをキャンセルする事ができ、コ
ンパクト化も可能なMI素子を用いた電流センサを提供
している。
流れる電流を、該電流に比例する磁界強度の形で計測す
る電流センサにおいて、一次導体と二次導体の中央部に
切り欠きをいれて、該一次導体と二次導体を一体化する
ことで、電流通路を分岐する小窓を開口し、該小窓内に
検出感度方向が逆になる一対のMI素子を用いた磁気セ
ンサを設け、該MI素子を用いた磁気センサでのセンサ
値の差をとることで、磁界検出をすることで、センサ検
出感度方向の外乱ノイズをキャンセルする事ができ、コ
ンパクト化も可能なMI素子を用いた電流センサを提供
している。
【0022】また、どのようなMI素子でも確かに高精
度の磁気検出が可能であるが、MI素子のMI特性のバ
ラツキや、インピーダンスの変化率のピークが±数[O
e]であり、バイアス磁界を印加したりしてシフトさせ
ることで非対称としており、非対称とした特性のピーク
の一方も+数[Oe]で、詳細には、+3[Oe]付近
であるため線形領域が、±3[Oe]と狭く従来のMI
素子の検出回路では、±3[Oe]の範囲でしかリニア
リティを得ることが出来なかった。また±4[Oe]、
±5[Oe]と出力が飽和する領域では、検出が不可能
である。
度の磁気検出が可能であるが、MI素子のMI特性のバ
ラツキや、インピーダンスの変化率のピークが±数[O
e]であり、バイアス磁界を印加したりしてシフトさせ
ることで非対称としており、非対称とした特性のピーク
の一方も+数[Oe]で、詳細には、+3[Oe]付近
であるため線形領域が、±3[Oe]と狭く従来のMI
素子の検出回路では、±3[Oe]の範囲でしかリニア
リティを得ることが出来なかった。また±4[Oe]、
±5[Oe]と出力が飽和する領域では、検出が不可能
である。
【0023】本発明においては、一次導体と二次導体に
流れる電流が大電流であっても小窓内に、発生する外部
磁界HB[Oe]を小さくすることができ、簡単な電流
検出回路で電流検出が可能になった。
流れる電流が大電流であっても小窓内に、発生する外部
磁界HB[Oe]を小さくすることができ、簡単な電流
検出回路で電流検出が可能になった。
【0024】更には、一次導体と二次導体を同一導電性
材料とすることで電流を1/2に分岐している。また、
一次導体と二次導体を異なる導電性材料とすることで導
電性材料の抵抗値が異なるので電流比をその抵抗値によ
って、分岐することができる。
材料とすることで電流を1/2に分岐している。また、
一次導体と二次導体を異なる導電性材料とすることで導
電性材料の抵抗値が異なるので電流比をその抵抗値によ
って、分岐することができる。
【0025】
【課題を解決するための手段】請求項1は、一次導体と
二次導体に流れる電流を、該電流に比例する磁界強度の
形で計測する電流センサにおいて、一次導体と二次導体
の中央部に切り欠きをいれて、該一次導体と二次導体を
一体化することで、電流通路を分岐する小窓を開口し、
該小窓内にMI素子を用いた磁気センサを設け、該MI
素子を用いた磁気センサでの磁界検出をすることを特徴
とする電流センサであり請求項2は、請求項1におい
て、前記小窓内に微小磁場勾配を発生させ、該小窓内に
MI素子内蔵させることを特徴とする電流センサであ
る。
二次導体に流れる電流を、該電流に比例する磁界強度の
形で計測する電流センサにおいて、一次導体と二次導体
の中央部に切り欠きをいれて、該一次導体と二次導体を
一体化することで、電流通路を分岐する小窓を開口し、
該小窓内にMI素子を用いた磁気センサを設け、該MI
素子を用いた磁気センサでの磁界検出をすることを特徴
とする電流センサであり請求項2は、請求項1におい
て、前記小窓内に微小磁場勾配を発生させ、該小窓内に
MI素子内蔵させることを特徴とする電流センサであ
る。
【0026】請求項3では、前記MI素子は、MI特性
が対称であることを特徴とする請求項1、2記載の電流
センサであり、請求項4では、前記MI特性が非対称で
あることを特徴とする請求項1、2記載の電流センサで
ある。
が対称であることを特徴とする請求項1、2記載の電流
センサであり、請求項4では、前記MI特性が非対称で
あることを特徴とする請求項1、2記載の電流センサで
ある。
【0027】請求項5は、前記一次導体と二次導体を異
なる導電性材料を用いることを特徴とする請求項1記載
の電流センサで、請求項6は、前記一次導体と二次導体
を同一導電性材料を用いることを特徴とする請求項1記
載の電流センサを提供している。
なる導電性材料を用いることを特徴とする請求項1記載
の電流センサで、請求項6は、前記一次導体と二次導体
を同一導電性材料を用いることを特徴とする請求項1記
載の電流センサを提供している。
【0028】
【発明の実施形態】以下、本発明の実施形態を図面に基
づいて説明する。ここでは、磁性体薄膜からなる薄膜磁
気インピーダンス素子(以下薄膜MI素子)で説明する
が、ワイヤータイプの磁気インピーダンス素子でも同様
である。図1において、1、1'は、磁界検出感度が逆
になる磁気インピーダンス素子からなる磁気センサを組
み込んだ主回路導体としての一次導体と二次導体を一体
化したした平角導体、2は、一次導体1、二次導体1'
の長手方向にそって通電路を分岐するようにその中央に
切欠きをいれ、一次導体と二次導体を一体化して設けた
小窓、3は、磁気インピーダンス素子(薄膜MI素子)
は、その小窓2の中に、磁気インピーダンス素子3(薄
膜MI素子)からなる検出磁界感度が逆方向になるよう
に薄膜MI素子3を夫々内蔵する。4は、薄膜MI素子
3からなる磁気センサに接続した電流検出回路である。
づいて説明する。ここでは、磁性体薄膜からなる薄膜磁
気インピーダンス素子(以下薄膜MI素子)で説明する
が、ワイヤータイプの磁気インピーダンス素子でも同様
である。図1において、1、1'は、磁界検出感度が逆
になる磁気インピーダンス素子からなる磁気センサを組
み込んだ主回路導体としての一次導体と二次導体を一体
化したした平角導体、2は、一次導体1、二次導体1'
の長手方向にそって通電路を分岐するようにその中央に
切欠きをいれ、一次導体と二次導体を一体化して設けた
小窓、3は、磁気インピーダンス素子(薄膜MI素子)
は、その小窓2の中に、磁気インピーダンス素子3(薄
膜MI素子)からなる検出磁界感度が逆方向になるよう
に薄膜MI素子3を夫々内蔵する。4は、薄膜MI素子
3からなる磁気センサに接続した電流検出回路である。
【0029】なお、図中では一次導体1と二次導体1'
の長手方向(電流Iの通流方向)に沿った中心線をOで
表している。また、図2では、図1のA−A断面図を示
している。5は、その磁力線である。小窓2内では、そ
の磁界強度が微小磁場領域となっており、その磁力線5
も点線で示されている。
の長手方向(電流Iの通流方向)に沿った中心線をOで
表している。また、図2では、図1のA−A断面図を示
している。5は、その磁力線である。小窓2内では、そ
の磁界強度が微小磁場領域となっており、その磁力線5
も点線で示されている。
【0030】また、一次導体1と二次導体1'が同一導
電性材料からなる場合は、磁界強度は前記中心線Oに対
して導体の幅方向に対称であるが、異なる導電性材料か
らなる場合は夫々の抵抗値が異なり、低抵抗の方に導体
に流れる電流の方が多くなるため電流密度にが高くな
り、磁界強度は、前記中心線Oに対して導体の幅方向に
対称にはならず、電流密度が高い低抵抗値の導体の磁界
強度が強くなるり、電流密度が低い高抵抗値が導体の磁
界強度の方が弱く、零磁界領域Gが高抵抗値をもつ導体
側に発生する。
電性材料からなる場合は、磁界強度は前記中心線Oに対
して導体の幅方向に対称であるが、異なる導電性材料か
らなる場合は夫々の抵抗値が異なり、低抵抗の方に導体
に流れる電流の方が多くなるため電流密度にが高くな
り、磁界強度は、前記中心線Oに対して導体の幅方向に
対称にはならず、電流密度が高い低抵抗値の導体の磁界
強度が強くなるり、電流密度が低い高抵抗値が導体の磁
界強度の方が弱く、零磁界領域Gが高抵抗値をもつ導体
側に発生する。
【0031】従って、中心線Oと微小磁界内の零磁界領
域Gが一致しない。その為、中心線Oに沿って、薄膜M
I素子3を一つ配置することができる。その時、従来の
ように位置制度を必要としない。また、微小磁場内で、
微小磁場勾配が発生し一つの薄膜MI素子でも簡単な電
流検出回路4で高精度に簡単なセンサ値を出力できる。
域Gが一致しない。その為、中心線Oに沿って、薄膜M
I素子3を一つ配置することができる。その時、従来の
ように位置制度を必要としない。また、微小磁場内で、
微小磁場勾配が発生し一つの薄膜MI素子でも簡単な電
流検出回路4で高精度に簡単なセンサ値を出力できる。
【0032】なお各薄膜MI素子3にて感知する磁界H
は、磁力線の半径をrとすると H=(I/2πr) で表れせられる磁界H[Oe]を形成する。この磁界は
薄膜MI素子に適した微小磁界領域となり微小磁場勾配
内が得られその中に薄膜MI素子3を設けることを設け
ることで微小磁場を検出している。
は、磁力線の半径をrとすると H=(I/2πr) で表れせられる磁界H[Oe]を形成する。この磁界は
薄膜MI素子に適した微小磁界領域となり微小磁場勾配
内が得られその中に薄膜MI素子3を設けることを設け
ることで微小磁場を検出している。
【0033】従って、薄膜MI素子3、に微小磁場内に
微小磁場勾配により、検出回路4が形成することができ
る為、薄膜MI素子3により微小磁場を検出して、その
磁気センサにより電流検出ができる。
微小磁場勾配により、検出回路4が形成することができ
る為、薄膜MI素子3により微小磁場を検出して、その
磁気センサにより電流検出ができる。
【0034】また、薄膜MI素子3は、インピーダンス
変化率―外部磁界Hexが、外部磁界の正負で、殆ど対
称となるためバイアス磁界ΔHex[Oe]を必要とす
る。そして、そのバイアス磁界を印加し特性を非対称と
している。
変化率―外部磁界Hexが、外部磁界の正負で、殆ど対
称となるためバイアス磁界ΔHex[Oe]を必要とす
る。そして、そのバイアス磁界を印加し特性を非対称と
している。
【0035】前述した検出電流によって小窓内に発生す
る微小磁界内の微小磁場領域内に対して、バイアス磁界
ΔHbが印加さてれいるように配置されたMI素子素子
3の両端電圧電圧V1を読み取り、I1の電流を得ること
で簡単な構造の検出回路4を用いて微小磁場領域の出力
を得ることが出来る。
る微小磁界内の微小磁場領域内に対して、バイアス磁界
ΔHbが印加さてれいるように配置されたMI素子素子
3の両端電圧電圧V1を読み取り、I1の電流を得ること
で簡単な構造の検出回路4を用いて微小磁場領域の出力
を得ることが出来る。
【0036】尚、薄膜MI素子3では、前述のMI特性
があらかじめ対称となっているので、バイアス磁界ΔH
b[Oe]を印加し、MI特性をシフトさせ非対称とし
ている。交差型薄膜MI素子13では、MI特性が非対
称となっているのでその必要はない。薄膜MI素子3で
も、アモルファス薄膜を利用した積層型の軟磁性体薄膜
の磁化容易軸を利用した交差型薄膜MI素子13は、特
に図示しないが、両端にアルミのワイヤボンディング、
Auワイヤ等からなる電極又は直接半田によりリ−ド線
に接続し、高周波電流を両端に通電している。
があらかじめ対称となっているので、バイアス磁界ΔH
b[Oe]を印加し、MI特性をシフトさせ非対称とし
ている。交差型薄膜MI素子13では、MI特性が非対
称となっているのでその必要はない。薄膜MI素子3で
も、アモルファス薄膜を利用した積層型の軟磁性体薄膜
の磁化容易軸を利用した交差型薄膜MI素子13は、特
に図示しないが、両端にアルミのワイヤボンディング、
Auワイヤ等からなる電極又は直接半田によりリ−ド線
に接続し、高周波電流を両端に通電している。
【0037】従って、従来は±数[Oe]の狭い磁界の
範囲でしか検出が出来なかったが、一次導体1と二次電
流1'に切り欠きを入れ一体化した導体の中央部に小窓
2を設けることで大電流が流れても、小窓2内に発生す
る磁場は、微小磁場領域となり、その内部の零磁界領域
(中心線O)が一致しないことで、微小磁場領域内で微
笑磁場勾配を得、零磁界領域にもMI素子を夫々内蔵す
ることで、どの様な回路でもそれらの検出出力のセンサ
値を得て電流出力6が得られ、出力電圧VOUT[V]−
被検出電流値[A]の関係を得ることが可能になった。
範囲でしか検出が出来なかったが、一次導体1と二次電
流1'に切り欠きを入れ一体化した導体の中央部に小窓
2を設けることで大電流が流れても、小窓2内に発生す
る磁場は、微小磁場領域となり、その内部の零磁界領域
(中心線O)が一致しないことで、微小磁場領域内で微
笑磁場勾配を得、零磁界領域にもMI素子を夫々内蔵す
ることで、どの様な回路でもそれらの検出出力のセンサ
値を得て電流出力6が得られ、出力電圧VOUT[V]−
被検出電流値[A]の関係を得ることが可能になった。
【0038】また特に図示しないが、一次導体1と二次
導体1'が同じ導電体材料で一体化されている時は、当
然上記の中央線Oと零磁界領域Gが一致する。その時
は、中央線O上にMI素子3を内蔵し、微小磁場領域内
の微小磁場勾配を利用して、中央線OよりずらしMI素
子3を配置することで、高精度な微小磁界を検出しセン
サ値として出力して、簡単な電流検出回路6で電流出力
を得ることができ、MI素子設置位置の高精度化も必要
としない。
導体1'が同じ導電体材料で一体化されている時は、当
然上記の中央線Oと零磁界領域Gが一致する。その時
は、中央線O上にMI素子3を内蔵し、微小磁場領域内
の微小磁場勾配を利用して、中央線OよりずらしMI素
子3を配置することで、高精度な微小磁界を検出しセン
サ値として出力して、簡単な電流検出回路6で電流出力
を得ることができ、MI素子設置位置の高精度化も必要
としない。
【0039】MI特性が薄膜MI素子同様対称となるF
eCoSiBの磁性線ワイヤを利用した磁性線のMI素
子は、特に図示しないが、本出願に含まれることは言う
までもない。
eCoSiBの磁性線ワイヤを利用した磁性線のMI素
子は、特に図示しないが、本出願に含まれることは言う
までもない。
【0040】MI特性が非対称となる軟磁性体薄膜を利
用した積層型である交差型薄膜MI素子13の構造は、
特に図示しないが、従来のようにバイアス磁界ΔHex
[Oe]を印加する必要もなく、夫々異なる抵抗値をも
つ一次導体1、二次導体1'内に切り欠きを入れ一体化
し小窓2を設け、その小窓2内に交差型薄膜MI素子1
3を内蔵することで、検出回路4の出力のセンサ値をと
り電流出力6とすることも当然本出願に含まれる。
用した積層型である交差型薄膜MI素子13の構造は、
特に図示しないが、従来のようにバイアス磁界ΔHex
[Oe]を印加する必要もなく、夫々異なる抵抗値をも
つ一次導体1、二次導体1'内に切り欠きを入れ一体化
し小窓2を設け、その小窓2内に交差型薄膜MI素子1
3を内蔵することで、検出回路4の出力のセンサ値をと
り電流出力6とすることも当然本出願に含まれる。
【0041】このように、夫々抵抗値の異なる一次導体
と二次導体に切り欠きをいれ一体化することで小窓を設
け、その小窓が、一体化した導体の中央部であっても小
窓内に微小磁場領域をを発生させ、そのMI素子を用い
た磁気センサ3を小窓2内に内蔵し、中央線Oと零磁界
領域Gを一致させず、微小磁場領域内に微小磁場勾配が
発生するので中央線O上に一つのMI素子3又は13を
小窓2内に内蔵することで配置位置に高精度化を必要と
せず、MI素子3又は13を内蔵し高精度な微小磁界を
検出しセンサ値を電流検出回路で電流出力6として出力
する。
と二次導体に切り欠きをいれ一体化することで小窓を設
け、その小窓が、一体化した導体の中央部であっても小
窓内に微小磁場領域をを発生させ、そのMI素子を用い
た磁気センサ3を小窓2内に内蔵し、中央線Oと零磁界
領域Gを一致させず、微小磁場領域内に微小磁場勾配が
発生するので中央線O上に一つのMI素子3又は13を
小窓2内に内蔵することで配置位置に高精度化を必要と
せず、MI素子3又は13を内蔵し高精度な微小磁界を
検出しセンサ値を電流検出回路で電流出力6として出力
する。
【0042】また、導体に流れる電流を広範囲で精度よ
く検出することができる。しかも、外形寸法が超小形で
ある磁気センサは、一体化した導体の小窓2内に内蔵す
るように配置するため、車両用等などの高電流が流れる
電流センサに最適である。また、一つのMI素子3又は
13を用いた電流センサであり、コンパクト化も実現で
き、特別なスペースを確保する必要がない。
く検出することができる。しかも、外形寸法が超小形で
ある磁気センサは、一体化した導体の小窓2内に内蔵す
るように配置するため、車両用等などの高電流が流れる
電流センサに最適である。また、一つのMI素子3又は
13を用いた電流センサであり、コンパクト化も実現で
き、特別なスペースを確保する必要がない。
【0043】MI特性が薄膜MI素子同様対称となるF
eCoSiBの磁性線ワイヤを利用した磁性線のMI素
子は、特に図示しないが、本出願に含まれることは言う
までもない。
eCoSiBの磁性線ワイヤを利用した磁性線のMI素
子は、特に図示しないが、本出願に含まれることは言う
までもない。
【0044】MI特性が非対称となる軟磁性体薄膜を利
用した積層型である交差型薄膜MI素子13の構造は、
特に図示しないが、従来のようにバイアス磁界ΔHex
[Oe]を印加する必要もなく、小窓2に内蔵すること
で、電流検出回路4の出力をセンサ値として電流出力6
とすることも当然本出願に含まれる。
用した積層型である交差型薄膜MI素子13の構造は、
特に図示しないが、従来のようにバイアス磁界ΔHex
[Oe]を印加する必要もなく、小窓2に内蔵すること
で、電流検出回路4の出力をセンサ値として電流出力6
とすることも当然本出願に含まれる。
【0045】
【発明の効果】このように本発明では、一次導体と二次
導体に切り欠きを入れ一体化することで、小窓を設け小
窓内に微小磁場領域を発生させ、その小窓内の微小磁場
勾配を利用することで、抵抗値が異なる一次導体と二次
導体及び抵抗値が同じ一次導体と二次導体に流れる電流
によって発生する磁界強度により、MI素子でも微小磁
界を簡単な検出回路でセンサ値を出力し、簡単な電流検
出回路で電流検出をできる電流センサであり、小窓内で
の位置制度を従来のように高精度に合わせずとも簡単
に、安定な磁界検出をすることができる電流センサであ
る。また、バイアス磁界を印加しなくても同様な効果を
達成でき、更には、コンパクト化を達成でき車両用とし
ては余分なスペースを取る必要がなく大電流にも対応で
きる電流センサを達成できた。
導体に切り欠きを入れ一体化することで、小窓を設け小
窓内に微小磁場領域を発生させ、その小窓内の微小磁場
勾配を利用することで、抵抗値が異なる一次導体と二次
導体及び抵抗値が同じ一次導体と二次導体に流れる電流
によって発生する磁界強度により、MI素子でも微小磁
界を簡単な検出回路でセンサ値を出力し、簡単な電流検
出回路で電流検出をできる電流センサであり、小窓内で
の位置制度を従来のように高精度に合わせずとも簡単
に、安定な磁界検出をすることができる電流センサであ
る。また、バイアス磁界を印加しなくても同様な効果を
達成でき、更には、コンパクト化を達成でき車両用とし
ては余分なスペースを取る必要がなく大電流にも対応で
きる電流センサを達成できた。
【図1】本発明に関する実施形態にてMI素子を磁気セ
ンサとして設けた電流センサを示す上面図である。
ンサとして設けた電流センサを示す上面図である。
【図2】本発明に関する図1のA−A断面図である。
【図3】従来の一次導体を使い小窓を開口した電流セン
サを示す図である。
サを示す図である。
【図4】従来の一次導体の磁界を示す図である。
1、・・・一次導体 1’、・・・二次導体 2、・・・小窓 3、・・・薄膜MI素子 4、・・・電流検出回路 5、・・・電流検出出力 13、・・・交差型薄膜MI素子 O・・・中心線 G・・・零磁界領域線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 一彦 東京都目黒区中目黒2丁目9番地13号 ス タンレー電気株式会社内 (72)発明者 風間 拓也 東京都目黒区中目黒2丁目9番地13号 ス タンレー電気株式会社内 Fターム(参考) 2G017 AA01 AB07 AD51 2G025 AA05 AB01
Claims (6)
- 【請求項1】一次導体と二次導体に流れる電流を、該電
流に比例する磁界強度の形で計測する電流センサにおい
て、一次導体と二次導体の中央部に切り欠きをいれて、
該一次導体と二次導体を一体化することで、電流通路を
分岐する小窓を開口し、該小窓内にMI素子を用いた磁
気センサを設け、該MI素子を用いた磁気センサでの磁
界検出をすることを特徴とする電流センサ。 - 【請求項2】請求項1において、前記小窓内に微小磁場
勾配を発生させ、該小窓内にMI素子内蔵させることを
特徴とする電流センサ。 - 【請求項3】前記MI素子は、MI特性が対称であるこ
とを特徴とする請求項1、2記載の電流センサ。 - 【請求項4】前記MI特性が非対称であることを特徴と
する請求項1、2記載の電流センサ。 - 【請求項5】前記一次導体と二次導体を異なる導電性材
料を用いることを特徴とする請求項1記載の電流セン
サ。 - 【請求項6】前記一次導体と二次導体を同一導電性材料
を用いることを特徴とする請求項1記載の電流センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000300624A JP2002107384A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 電流センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000300624A JP2002107384A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 電流センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002107384A true JP2002107384A (ja) | 2002-04-10 |
Family
ID=18782281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000300624A Pending JP2002107384A (ja) | 2000-09-29 | 2000-09-29 | 電流センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002107384A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1467214A3 (en) * | 2003-04-11 | 2005-10-19 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Current sensor and current detection unit using the same |
| JP2011095234A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Kohshin Electric Corp | 多相電流の検出装置 |
| CN103733079A (zh) * | 2011-09-13 | 2014-04-16 | 阿尔卑斯绿色器件株式会社 | 电流传感器 |
| WO2015115472A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 日立金属株式会社 | 電流量検出器 |
| WO2016080470A1 (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法並びにそれを用いた電流量検出器 |
-
2000
- 2000-09-29 JP JP2000300624A patent/JP2002107384A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1467214A3 (en) * | 2003-04-11 | 2005-10-19 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Current sensor and current detection unit using the same |
| US6989666B2 (en) | 2003-04-11 | 2006-01-24 | Canon Denshi Kabushiki Kaisha | Current sensor and current detection unit using the same |
| JP2011095234A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Kohshin Electric Corp | 多相電流の検出装置 |
| CN103733079A (zh) * | 2011-09-13 | 2014-04-16 | 阿尔卑斯绿色器件株式会社 | 电流传感器 |
| CN103733079B (zh) * | 2011-09-13 | 2015-12-23 | 阿尔卑斯绿色器件株式会社 | 电流传感器 |
| WO2015115472A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 日立金属株式会社 | 電流量検出器 |
| JPWO2015115472A1 (ja) * | 2014-01-31 | 2017-03-23 | 日立金属株式会社 | 電流量検出器 |
| WO2016080470A1 (ja) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法並びにそれを用いた電流量検出器 |
| JPWO2016080470A1 (ja) * | 2014-11-18 | 2017-08-24 | 日立金属株式会社 | 磁気センサ及びその製造方法並びにそれを用いた電流量検出器 |
| CN107110920A (zh) * | 2014-11-18 | 2017-08-29 | 日立金属株式会社 | 磁传感器及其制造方法以及使用该磁传感器的电流量检测器 |
| CN107110920B (zh) * | 2014-11-18 | 2019-09-24 | 日立金属株式会社 | 磁传感器及其制造方法以及使用该磁传感器的电流量检测器 |
| US10545198B2 (en) | 2014-11-18 | 2020-01-28 | Hitachi Metals, Ltd. | Magnetic sensor, manufacturing method thereof, and current detector using the same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7504927B2 (en) | Current sensor | |
| US7501928B2 (en) | Current sensor | |
| JP4105142B2 (ja) | 電流センサ | |
| US7394240B2 (en) | Current sensor | |
| US7589612B2 (en) | Current sensor | |
| US6949927B2 (en) | Magnetoresistive magnetic field sensors and motor control devices using same | |
| US20070188946A1 (en) | Magnetic sensor and current sensor | |
| US7365535B2 (en) | Closed-loop magnetic sensor system | |
| EP2284555A1 (en) | Magnetic sensor including a bridge circuit | |
| US20060012459A1 (en) | Sensor and method for measuring a current of charged particles | |
| JP2011149827A (ja) | 通電情報計測装置 | |
| JP2005502888A (ja) | 磁気センサのセット及びオフセットストラップの効率を改善する方法及びシステム | |
| JP2021148636A (ja) | 電流センサ及びその製造方法、電気制御装置、並びに電流センサの設計方法 | |
| EP4455685A1 (en) | Current sensor | |
| JP2005503565A (ja) | グラジオメータによる電流検出器のための回路構成体及び当該回路構成体を備える検出器チップ | |
| JP2002107385A (ja) | 電流センサ | |
| JPS63253264A (ja) | 電流検出器 | |
| JP2002107386A (ja) | 電流センサ | |
| JPH08136587A (ja) | 磁気センサ応用の変流器 | |
| JPH0293373A (ja) | 電流検出器 | |
| JPH01105178A (ja) | 電流検出器 | |
| JP2002107383A (ja) | 電流センサ | |
| JP2022076722A (ja) | 電流センサ及び電気制御装置 | |
| Takayama et al. | Integrated thin film magneto-impedance sensor head using plating process | |
| JP2002277491A (ja) | 電流センサ |