JP2003068902A - パッケージ封止におけるリッドの位置決め治具 - Google Patents
パッケージ封止におけるリッドの位置決め治具Info
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Abstract
溶接において、溶接前にリッドをパッケージ上に位置決
めするリッドの位置決め治具を提供する。 【解決手段】位置決めして保持されたパッケージ101
を中心として、前後左右4方向に放射状に位置決めプレ
ート12A、12B、12C、12Dを配置し、これら
の先端を該パッケージ101の側面上端部にそれぞれ当
接させることで、該パッケージ101上に載置されたリ
ッド102を該パッケージ101の上面の範囲内に収め
る。4つの位置決めプレートは、カム4の作用によりレ
バー7を回動させることで一括して該パッケージ101
を中心とした半径方向に摺動し、リッド102の位置決
めを実現する。
Description
水晶振動子等のチップを収納したパッケージの開口部を
塞ぐようにリッドをシーム溶接することで、該パッケー
ジを気密封止する封止作業の際、事前に該パッケージに
対して該リッドを位置決めする治具に関する。
等のパッケージ封止においては、次のような方法が広く
一般に行われている。図8はパッケージ封止後の状態の
縦断面図である。同図において、101は上面に開口部
を持つパッケージ、102はリッド、103は半導体チ
ップ、104は半導体チップ103を電気的に接続する
ワイヤ、105はパッケージ101がセラミック等の非
金属である場合、パッケージ101の開口部縁辺に形成
するメタライズ層である。
パッケージ101の開口部縁辺にシーム溶接することを
意味し、図9で示すように一対のローラ電極111A、
111Bを用い、この一対のローラ電極をリッド102
の対向する縁部に沿って転接させながら所定の圧力とパ
ルセーション電流を加えることで、その接合部に発生す
るジュール熱により溶接を行うものである。
われているマニュアルシーム溶接機によるパッケージ封
止の動作を説明する。テーブル51はワークを載置する
ためのものであり、その中心には位置規制ピン52が上
方に突出し、また位置規制ピン52から所定の距離をお
いて回転規制ピン53が突出している。テーブル51は
図示しない駆動手段により、矢印アで示すように前後方
向に移動し、セッティングエリアAと溶接エリアBのそ
れぞれに停止するとともに溶接時においても前後に移動
し、ローラ電極111A、111Bがリッド102の縁
部を転接するように作用する。
ているときは、図示しない駆動手段により、矢印イで示
すように前記位置規制ピン52を中心として水平方向に
回転し、90°の角度をおいて停止するものである。こ
こで従来は、パッケージ保持台54を使用してパッケー
ジ101をテーブルの上に載置する。パッケージ保持台
54の底面には図示しない穴が2箇所に凹設されてお
り、このうち1箇所は保持すべきパッケージ101の中
心位置の直下に位置し、他の一箇所は、前記位置規制ピ
ン52と回転規制ピン53の間隔と同等の間隔をおいて
凹設されている。
Aに停止した状態で、パッケージ保持台54をテーブル
51に載置する。この時パッケージ保持台54の底面に
ある2箇所の位置決め穴のうち、保持すべきパッケージ
101の中心位置の直下にある穴は前記位置規制ピン5
2に、他の一箇所の穴は前記回転規制ピン53にそれぞ
れ嵌合する。これにより、水平方向においては、パッケ
ージ保持台54はテーブル51に対して所定の位置と角
度で保持されることとなる。
台54に搭載する。この際、図示しない保持手段によ
り、パッケージ101はパッケージ保持台54の所定の
位置に所定の角度で保持される。さらに、人手により、
リッド102をパッケージ101上に位置決めして載置
する。この位置決めは、目視によりリッド102の外周
部がパッケージ101の上面外周からはみ出さないよう
に慎重に行わなければならない。
テーブル51をセッティングエリアAから溶接エリアB
に移動させる。このときのテーブル51の動作は、移動
時の振動及び起動・停止時の衝撃が十分に小さく、載置
されただけのリッド102が位置ずれを起こさない程度
のものでなくてはならない。
隔を溶接位置に合わせる。ローラ電極111A、111
Bは、左右方向に延設されたガイドレール55により左
右方向に摺動可能に保持されるとともに上下方向に延設
されたガイドレール56A、56Bにより上下方向に摺
動可能に保持された一対の電極保持部57A、57Bの
下端部に回転自在に保持されており、図示しない駆動手
段により左右方向の間隔および上下方向の位置が制御可
能となっている。
接位置に設定されたのち、該ローラ電極111A、11
1Bを下降させ、その下端部をリッドに当接させるとと
もに図示しない給電ケーブルから所定の電流を供給し、
テーブル51を前方あるいは後方に移動させることで、
リッド102の対向する2辺をシーム溶接する。次にテ
ーブル51を90°回転させ、残りの対向する2辺も同
様にシーム溶接する。
ブル51を元の角度に90°回転させ、さらにセッティ
ングエリアAに移動させ、パッケージ101を人手によ
り取り出す。以上一連の溶接動作は、人手によるワーク
のセッティング及び取り出し作業以外は、シーケンスプ
ログラムにより自動実行させることができる。
リッド102に対してそのままシーム溶接を行っている
が、この際、溶接開始時にローラ電極111A、111
Bが下降しリッド102に接触することで、リッド10
2が僅かに移動し、位置ずれを起こしやすいという欠点
があった。そこでシーム溶接の前工程として、リッド1
02をパッケージ101に仮止めするスポット溶接が広
く行われている。
はスポット溶接専用の棒状電極により、リッド102の
外周近傍の少なくとも2箇所をスポット溶接することに
よってなされるが、シーム溶接を行うためのローラ電極
111A、111Bを利用して仮止めを行うのが、その
ままシーム溶接の工程に移行できるので効率的である。
02をパッケージ101の開口部に位置決めして載置す
ることが必要であるが、前述したように、マニュアルシ
ーム溶接機においては、リッド102の位置決めは人手
で行っている。この場合ピンセット等でリッド102を
摘み上げ、パッケージ101上に目視で位置合わせしな
がら載置する作業が、パッケージ1個毎に行われる。
よるリッド102の位置決め作業は、位置にばらつきが
生じ、シーム溶接の仕上がり状態が安定しない。さらに
位置ずれが著しい場合には封止不良をまねくことにもな
る。また、前記一連の作業は窒素雰囲気中で行われるの
が一般であり、大気を遮断するための透明ケースの外か
ら手だけを該ケース内に入れて作業することは、作業の
難易度を更に増している。
易度も増し、作業時間も難易度に応じて長くかかるた
め、パッケージ封止作業全体の所用時間にも大きく影響
している。本発明は、上記課題を解決するためになされ
たもので、リッド102の位置決めを機械的に行うよう
にして、人手作業によるための前述したような不利益を
大幅に低減するリッドの位置決め治具を提供することを
目的とする。
するために、パッケージの開口部に載置されたリッドを
位置決めするリッドの位置決め治具として、下面に位置
決め穴を有し、溶接機のテーブル上に位置決めして載置
されるベースプレートと、該ベースプレートの略中央部
にパッケージを位置決めして保持するパッケージ保持手
段と、該パッケージ保持手段に保持されたパッケージの
側面上端部に前後左右4方向から当接し、該パッケージ
上に載置されたリッドを該パッケージ上面の範囲内に収
めるべく設けた、該パッケージとの当接部が水平方向に
偏平な板状部材の端面である4つの位置決め手段と、該
4つの位置決め手段を、該パッケージを中心とし前後左
右の放射状に一括して摺動可能とするカムによる駆動手
段と、該パッケージに当接した状態の該4つの位置決め
手段のうち、任意の位置決め手段を選択的に該パッケー
ジから離隔可能とし、さらに離隔した位置決め手段をプ
ランジャにより保持する機構と、を備えたことを特徴と
するリッドの位置決め治具を提供するものである。
ジとの当接部である水平方向に偏平な板状部材の端面
を、下方から上方に至るにしたがってリッド側に突出す
る傾斜面にすることにより、パッケージ上面の外形寸法
よりリッドの外形寸法の方が小さい場合にも、該リッド
を該パッケージ上面の中央に位置決めすることができ
る。さらに、4つの位置決め手段に溶接機の電極下端部
が係合するための突起を設けることにより、該4つの位
置決め手段のうち任意の位置決め手段を選択的にパッケ
ージから離隔する手段として、溶接機の電極の動作を利
用することができる。
行えるので、作業者はリッドをパッケージの上面に載置
するだけでよい。したがって、人手作業の場合必然的に
発生する作業結果のばらつき、ここではリッドの位置の
ばらつきを回避することができる。その結果溶接の品質
が安定し、封止不良も減少する。また、従来の作業で
は、人手でリッドを載置し位置決めしてから溶接を開始
するまでは、リッドを保持する手段がなかった。
してから溶接動作の途中まで、つまり、第1のシーム溶
接によりリッドの4辺中対向する2辺がシーム溶接さ
れ、治具によるリッドの保持が必要なくなるまでリッド
を保持し続けることが可能となる。したがって、テーブ
ル51の移動による振動衝撃あるいは電極111A、1
11Bが溶接開始時にリッドに接触することにより生ず
るリッドの位置ずれを回避することができる。
図2、図3、図4、図5、図6及び図7に基づいて説明
する。図1は本発明の1実施形態を示す上面図、図2は
図1におけるX−X断面図、図3はマニュアルシーム溶
接機とリッドの位置決め治具を示す斜視図、図4はリッ
ドの位置決め治具にパッケージを搭載する状態を示す上
面図、図5はリッドの位置決め治具によりリッドを位置
決めする状態を示す上面図、図6はリッドの位置決め治
具がリッドを位置決めした状態の拡大図、図7は溶接直
前のローラ電極の動作と作用を示す縦断面図である。
ベースの中心に固定され上方に突出した原点軸、4は原
点軸3にベアリング5を介して水平方向に回転自在に軸
着されたカム、6はカム4に固定されカム4と共に水平
方向に回転自在な回転プレート、7は回転プレート6に
固定され、支柱8A及び8Bにより規制された角度内
(位置Cから位置E)においてカム4及び回転プレート
6と共に回転自在なレバー、9は支柱8A、8B、8
C、8Dによりベース2に固定された固定プレート。
レート9の上面にそれぞれ90°の角度間隔を成して固
定されたスライドレール、10Eは同じく固定プレート
9の上面に固定されたスライドレール、11A、11
B、11C、11D、11Eはそれぞれスライドレール
10A、10B、10C、10D、10E上を摺動する
スライドブロック。
ク11A、11Bに螺設されリッド102の左右方向の
位置決めを行う位置決めプレート、12C、12Dはそ
れぞれスライドブロック11C、11Dに螺設されリッ
ド102の前後方向の位置決めを行う位置決めプレー
ト、12Eはスライドブロック11Eに螺設されパッケ
ージ101の保持を行う保持プレート、13は4個の位
置決めプレート12A、12B、12C、12Dをリッ
ド102の方向へ牽引する引っ張りコイルばね、14は
保持プレート12Eをパッケージ101の方向へ牽引す
る引っ張りコイルばね。
ぞれスライドブロック11A、11B、11C、11D
に設けられた突起、15Eはスライドブロック11Eに
設けられたつまみ、16はベース2の上面に突出するよ
うに設けられたつまみ、17はカム4の回転に応動する
ように、スライドブロック11A、11B、11C、1
1Dのそれぞれの下面に螺着されたカムフォロア、18
は回転プレート6を押圧するようにスライドブロック1
1A、11B、11C、11Dのそれぞれの下面に螺着
されたプランジャ、19は回転プレート6に形成され、
原点軸3を中心とした同一半径上にある4つの円弧形状
のスリット、20は固定プレート9の上面中央部に螺設
され、パッケージ101の保持手段となる位置決めブロ
ックである。
基づいて説明した一般的なマニュアルシーム溶接機にお
いて、本発明によるリッドの位置決め治具が如何なる状
態で使用されるかを示している。リッドの位置決め治具
1は、図10におけるパッケージ保持台54と同様に、
その底面に図示しない位置決め用の穴が2箇所凹設され
ており、この穴がテーブル51の上面に設けられた位置
規制ピン52および回転規制ピン53と嵌合することに
より、テーブル51上の所定の位置に所定の角度で載置
される。リッドの位置決め治具1は、常時このようにテ
ーブル51上に載置された状態で使用される。
ッドの位置決め治具1に搭載することから始まる。図1
で示すレバー7は、規制手段である支柱8A、8Bによ
り位置Cから位置Eまでのみ原点軸3を中心として回転
する。まず、このレバー7を位置Eに移動させる。この
レバー7が位置Eにある状態を図5(a)に示す。図5
は図1の中からリッド102の位置決めに直接作用する
部品を中心に抽出して示してある。
カム4に回転プレート6を介して固定されており、レバ
ー7が位置Eにあるときにカム4のなす角度は、カム4
に応動する4つのカムフォロア17が原点軸3から最も
離れた状態になる角度となる。つまりこの状態は、スラ
イドブロック11A、11B、11C、11D及び位置
決めプレート12A、12B、12C、12Dが原点軸
3から最も離れた位置にある状態である。
5Eを人手で矢印ウの方向に押圧する。このときつまみ
16とつまみ15Eを指で掴むようにすると、この動作
は片手で容易に行うことができる。これに伴いスライド
ブロック11E及び保持プレート12Eはスライドレー
ル10E上を原点軸3から離れる方向に移動する。この
状態でパッケージ101を位置決めブロック20の上に
載置し、つまみ15Eを解放する。
2が形成されており、突起21はパッケージ101の右
側面の位置、突起22はパッケージ101の手前側面の
位置をそれぞれ規制する。したがって図4(b)で示す
ようにつまみ15Eを解放すると、引っ張りコイルばね
14の牽引力により保持プレート12Eは矢印エの方向
にパッケージ101を押圧する。その結果パッケージ1
01は、突起21、22及び保持プレート12Eに挟ま
れ、所定の位置と角度で保持される。
パッケージ101上にリッド102を人手により載置す
る。続いて図5(a)、図5(b)、図5(c)で示す
ように、レバー7を位置Eから位置Dを経由して位置C
まで人手で回転させる。レバー7の回転に伴いカム4も
回転し、引っ張りコイルばね13の牽引力でカム4に応
動するカムフォロア17は徐々に原点軸3に向かって移
動する。したがって、カムフォロア17に連動する4つ
の位置決めプレート12A、12B、12C、12Dは
それぞれパッケージ101及びリッド102に向かって
移動し、やがて図5(c)に示すようにパッケージ10
1の4側面上端部とリッド102の4辺に当接し、リッ
ド102の位置決めを達成する。
いて、プランジャ18はスリット19が形成された回転
プレート6の上面を常時押圧している。しかし、プレー
ト9に形成された4つのスリット19は短い円弧形状で
あり、カム4に伴って回転するため、レバー7が位置E
から位置Cに至るまでのいずれの角度においても、プラ
ンジャ18と係合することはない。プランジャ18がス
リット19の端部の横をすり抜けるような動作を呈す
る。したがって位置決めプレート12A、12B、12
C、12Dは、リッド102に向かって滑らかに移動す
る。
めされた状態の詳細図を図6に示す。図6は、位置決め
プレート12A、12Bによるリッド102の左右方向
の位置決めの状態を示しているが、リッド102の前後
方向の位置決めも、位置決めプレート12A、12Bが
それぞれ12C、12Dに置き換わるだけで、同様の位
置関係である。
ジ101の上面の外形寸法より若干小さく作られてい
る。そこで本実施例では、位置決めプレート12A、1
2B、12C、12Dそれぞれにおいて、リッド102
に当接すべき先端の形状を図6の如く傾斜面にして、リ
ッド102の位置がパッケージ101の上面において偏
らないようにしている。以上のリッド102の位置決め
作業は、図3において、リッドの位置決め治具1の載置
されているテーブル51が、セッティングエリアAに停
止している状態で行われる。
溶接動作の始動命令を与える。これからの溶接動作は全
て所定のプログラムにより自動的に行われる。まず、図
3で示すテーブル51が、リッドの位置決め治具1を搭
載したまま溶接エリアBに移動する。この時リッド10
2は4方向から位置決めプレート12A、12B、12
C、12Dにより保持された状態にある。しかし、リッ
ド102をパッケージ101にシーム溶接あるいは仮止
めするには、溶接を行うべき対向する一対の辺から位置
決めプレートを離隔させなければならない。
極111A、111Bが所定量下降し、図7(a)の矢
印オで示すように間隔を広げる。この動作によりローラ
電極111B、111Aの下端部の外側面は、突起15
A、15Bに当接し、さらに間隔を広げることにより、
図7(b)で示すようにスライドブロック11A、11
Bを押し広げ、これらの下面にそれぞれ螺着されたプラ
ンジャ18が回転プレート6に形成されたスリット19
にそれぞれ係合する。
ク11A、11B、11C、11Dがカム4に応動して
動作する場合、原点軸3を中心とした半径方向において
スリット19の外側から内側あるいは内側から外側に移
動するがスリット19に係合することがなく、レバー7
が位置Cにある状態においてスライドブロック11A、
11B、11C、11Dを半径方向の外側に移動させた
ときは、スリット19に係合するものである。なお本実
施例では、スリット19は回転プレート6の板厚方向に
貫通した円弧状のスリットであるが、これが、回転プレ
ート6の上面に凹設された円弧状の非貫通の溝であって
も、同等の作用を奏することは自明である。
り、ローラ電極111B、111Aが突起15A、15
Bから離隔しても、スライドブロック11A、11Bは
引っ張りコイルばね13の牽引力に抗して静止状態を維
持する。つまり、位置決めプレート12A、12Bがリ
ッド102の左右両辺から離隔し、なおかつ、残りの位
置決めプレート12C、12Dがリッド102の前後両
辺を保持した状態を維持する。そしてこの間にローラ電
極111A、111Bはリッド102の左右両辺をシー
ム溶接あるいは仮止めスポット溶接後シーム溶接する。
了したのち、テーブル51は、図3の矢印イで示すよう
に、位置決めピン52を中心に90°回転し停止する。
その後前述した溶接動作と同様に、残った一対の位置決
めプレート12C、12Dをローラ電極111A、11
1Bの動作でリッド102から各々離隔させ、プランジ
ャ18の作用により静止させる。このときリッド102
は既に2辺が溶接済みなので位置ずれの心配がない。
は完了する。封止完了後、パッケージ101を搭載した
テーブル51は90°回転して元の角度に戻り、図3で
示す溶接エリアBからセッティングエリアAに移動し、
この時点でマニュアル溶接機の自動運転が終了する。封
止が完了したパッケージ101は人手により取り出す。
図4(a)で示すように、まず、レバー7を位置Eに回
転さることにより4つ全てのプランジャ18をスリット
19から解放し、その後つまみ15Eを矢印ウの方向に
押圧することにより保持プレート12Eをパッケージ1
01から離隔させてパッケージ101を取り出す。
てきたリッドの位置決め作業を機械的に行うことが可能
になり、リッドの位置のばらつきによる溶接品質のばら
つき、あるいは封止不良を削減することができる。さら
に、本発明によるリッドの位置決め治具は、リッドを位
置決めした後もリッドを保持し続けるので、リッドをパ
ッケージ上に載置し位置決めしてから溶接の工程に入る
までの時間におけるリッドの位置ずれの危険性も排除で
きる。
な位置決め作業をレバーを回動させるという1つの操作
で実現できるので、位置決め作業に要する時間を大幅に
削減できる。加えて、人手によりリッドを位置決めする
というような微細な作業は作業者に神経を使わせ、これ
を連続して行えば、作業者に多くの疲労が蓄積すること
は容易に想像できる。このように疲労を伴う作業から作
業者を解放して、生産性を高めることにも本発明は寄与
する。
種が変更になることは通常考えられることで、特にワー
クの供給から搬送、溶接、検査までを一貫して自動運転
するような自動シーム溶接機に比べて、本発明が対象と
しているマニュアル溶接機においては、品種変更の頻度
が高いことは言うまでもない。そこで、本発明によるリ
ッドの位置決め治具では、パッケージの品種変更に伴う
パッケージとリッドの外形寸法変更に対応するため、図
1で示すところの位置決めプレート12A、12B、1
2C、12D、保持プレート12E及び位置決めブロッ
ク20がすべて螺設によって構成されており、これらを
ネジの脱着により交換すれば容易にしかも安価に品種変
更に対応できるものである。
具を示す斜視図
状態を示す上面図
する状態を示す上面図
状態の拡大図
面図
斜視図
ール 11A、11B、11C、11D、11E スライドブ
ロック 12A、12B、12C、12D 位置決めプレート 12E 保持プレート 13 引っ張りコイルばね 14 引っ張りコイルばね 15A、15B、15C、15D 突起 15E つまみ 16 つまみ 17 カムフォロア 18 プランジャ 19 スリット 20 位置決めブロック
Claims (3)
- 【請求項1】 半導体チップ等を収納したパッケージの
開口部に金属製のリッド(蓋)を載置し、該リッドを該
パッケージ開口部縁辺にシーム溶接するパッケージの封
止作業において、溶接のためにパッケージの開口部に載
置されたリッドを位置決めするリッドの位置決め治具で
あって、 下面に位置決め穴を有し、溶接機のテーブル上に位置決
めして載置されるベースプレートと、 該ベースプレートの上側略中央部にパッケージを位置決
めして保持するパッケージ保持手段と、 該パッケージ保持手段に保持されたパッケージの側面上
端部に前後左右4方向から当接し、該パッケージ上に載
置されたリッドを該パッケージ上面の範囲内に収めるべ
く設けた、該パッケージとの当接部が水平方向に偏平な
板状部材の端面である4つの位置決め手段と、 該4つの位置決め手段を、該パッケージを中心とし前後
左右の放射状に一括して摺動可能とするカムによる駆動
手段と、 該パッケージに当接した状態の該4つの位置決め手段の
うち、任意の対向する位置決め手段を選択的に該パッケ
ージから離隔可能とし、さらに離隔した該位置決め手段
をプランジャにより保持する機構と、を備えたことを特
徴とするリッドの位置決め治具。 - 【請求項2】 4つの位置決め手段のパッケージとの当
接部である水平方向に偏平な板状部材の端面が、下方か
ら上方に至るにしたがってリッド側に突出する傾斜面で
あることを特徴とする請求項1記載のリッドの位置決め
治具。 - 【請求項3】 任意の対向する位置決め手段を選択的に
パッケージから離隔する手段として溶接機の電極の動作
を利用するために、4つの位置決め手段に該電極の下端
部が係合するための突起を設けたことを特徴とする請求
項1または2記載のリッドの位置決め治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257280A JP3723476B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | パッケージ封止におけるリッドの位置決め治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001257280A JP3723476B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | パッケージ封止におけるリッドの位置決め治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003068902A true JP2003068902A (ja) | 2003-03-07 |
| JP3723476B2 JP3723476B2 (ja) | 2005-12-07 |
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ID=19084973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001257280A Expired - Lifetime JP3723476B2 (ja) | 2001-08-28 | 2001-08-28 | パッケージ封止におけるリッドの位置決め治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3723476B2 (ja) |
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