JP2003140323A - 運搬用台車および感光板の運搬方法 - Google Patents
運搬用台車および感光板の運搬方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 67
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Handcart (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
減できる運搬用台車および当該運搬用台車を用いた感光
板の運搬方法を提供することにある。 【解決手段】運搬用台車1は、キャスター13が取り付
けられた基台部10と、基台部10に対してその姿勢を
水平姿勢または傾斜姿勢に切換え可能に取り付けらたガ
ラス乾板2を支持するための支持部20と、支持部20
を水平姿勢または傾斜姿勢に切り替える姿勢切替え部3
0と、ガラス乾板2に形成された感光層を感光させない
波長領域を有する安全光で、基台部10の周囲を照明す
るための照明部50とを備える。
Description
の感光板を運搬するための運搬用台車および当該運搬用
台車を用いた感光板の運搬方法に関する。
ディスプレイパネル(PDP)などのフラットパネルデ
ィスプレイ(FPD)用のマスターパターン板、若しく
はプリント基板用のマスターパターン板であるマスク板
は、例えば次のようにして作製される。まず、暗室状態
の露光室内において、エマルジョン系またはクロム系の
ガラス乾板(感光板)上に形成された感光層に、例えば
特開平11―328398号公報に記載されるフラット
ベッド型のレーザプロッタにより所定のパターンを描画
して露光処理する。
ッタ内で水平姿勢で支持されたガラス乾板をレーザプロ
ッタから取り出す。この取り出したガラス乾板を、作業
者がその端部を手で持ちながら暗室状態にある通路を通
って暗室状態にある液処理室まで運搬する。そして、作
業者は液処理室内でガラス乾板を略水平姿勢で揺すらせ
つつ、容器に貯留された現像液中に浸漬させて現像処理
する。最後にエマルジョン系のガラス乾板の場合は、ガ
ラス乾板に水洗、乾燥処理等を実行してマスク板が完成
し、クロム系のガラス乾板の場合は水洗、乾燥等に加え
てエッチング処理を実行してマスク板が完成する。
よび液処理室が設けられた工場の省スペース化を図るた
めに前記通路の通路幅は狭い。また、この通路内は運搬
するガラス乾板の感光層を感光させない波長領域を有す
る例えば赤色の安全光でしか照明できないために薄暗
い。さらに、フラットパネルディスプレイの大型化等に
伴ってマスク板とすべきガラス乾板も大型化し、その重
量も増えている。このような大型化したガラス乾板を狭
くて薄暗い通路を介して、上述のように作業者が手で持
ちながら運搬する作業は、作業者に大きな負担を与える
という問題を発生させる。
ガラス乾板を運搬する際の作業者の負担を軽減できる運
搬用台車および当該運搬用台車を用いた感光板の運搬方
法を提供することにある。
めに請求項1に係る発明は、感光板を水平姿勢で露光処
理する露光手段から、暗室状態の通路を介して、感光板
を略水平姿勢で現像処理する現像手段まで、感光板を運
搬するための運搬用台車において、車輪が取り付けられ
た基台部と、基台部に対してその姿勢を水平姿勢または
傾斜姿勢に切換え可能に取り付けらた感光板を支持する
ための支持部と、支持部を水平姿勢または傾斜姿勢に切
り替える姿勢切替え手段と、前記感光板に形成された感
光層を感光させない波長領域を有する安全光で、基台部
の周囲を照明するための照明手段とを備えたことを特徴
とする。
で露光処理する露光手段から、暗室状態の通路を介し
て、感光板を略水平姿勢で現像処理する現像手段まで、
感光板を運搬する感光板の運搬方法において、前記露光
手段により露光処理され水平姿勢にある感光板を、露光
手段から請求項1に記載される運搬用台車の水平姿勢に
ある支持部上に搭載する搭載工程と、搭載工程後に感光
板を支持した前記支持部を姿勢切換え手段により水平姿
勢から傾斜姿勢とする第1の姿勢切換え工程と、第1の
姿勢切換え工程後に傾斜姿勢で感光板を支持した前記運
搬用台車を、その照明手段によって基台部の周囲を安全
光で照明しつつ前記現像手段の近傍まで前記通路を介し
て移動させる移動工程と、移動工程後に感光板を支持し
た前記支持部を姿勢切換え手段により傾斜姿勢から水平
姿勢とする第2の姿勢切換え工程と、第2の姿勢切換え
工程後に前記支持部上に水平姿勢で支持された感光板
を、前記現像手段に略水平姿勢で受け渡す受渡し工程と
を含むことを特徴とする。
の一例について図面を参照しながら説明する。図1は後
述の支持部20が水平姿勢にあるときの運搬用台車の正
面図であり、図2は支持部20が水平姿勢にあるときの
運搬用台車の上面図であり、図3は支持部20が傾斜姿
勢にあるときの運搬用台車の正面図である。これらの図
に示す運搬用台車1は、一点鎖線で示す矩形の感光板で
あるガラス乾板2を運搬するものであり、基台部10、
支持部20、姿勢切換え部30、取っ手部40および照
明部50から構成される。ガラス乾板2は、例えばその
表面にエマルジョン系またはクロム系の感光層が形成さ
れ、その大きさが700mm×800mm、その厚みが
6mm、その重量が約20kgである。また、ガラス乾
板2の感光層が感光する感光波長領域は、例えば400
nmから700nmの範囲内である。
台形箱型形状の基台本体11を備え、この基台本体11
の下部の4隅に4個のキャスター(車輪)13がそれぞ
れ取り付けられている。キャスター13はX方向に沿っ
た軸周りに回転自在であり、Z方向に沿った軸周りに旋
回自在に基台本体11に設けられている。基台本体11
の上部には図示しないブラケット等を用いて天板15が
固定されている。天板15のX方向側端に、Y方向に沿
って2個の板状部材17が固定され、これら板状部材1
7に後述する姿勢切換部30の蝶番31の−X方向側片
がそれぞれ固定されている。
持板21を備える。支持板21の下面のX方向における
略中央部には2個の上記蝶番31のX方向側片がそれぞ
れ固定されている。略逆L字状の支持部材23は支持板
21のX方向側の端面にY方向に沿って取り付けられて
いる。この支持部材23は、図3に示すように支持部2
0が傾斜姿勢とされたときに支持板21上のガラス乾板
2のX方向側端部(下端部)を支持する。
マグネット33、第2のマグネット35および伸縮ステ
ー37を備える。2個の蝶番31は上述のように基台部
10に対して支持部20を、蝶番31のY方向に沿った
軸周りに回動自在に連結する。第1のマグネット33
は、天板15の−X方向端のY方向における中央部に図
示しないブラケットを用いて固定されている。この第1
のマグネット33は、図1に示すように支持板21が水
平姿勢であるときに支持板21の下面に設けられた図示
しないマグネット当り部材に当接してその磁力により支
持部20を水平姿勢に保持する。2個の第2のマグネッ
ト35は基台本体11のX方向側上部であり、Y方向に
おける両側面に図示しないブラケットを用いてそれぞれ
固定されている。第2のマグネット35は図3に示す傾
斜姿勢にある支持部20の傾斜角度に応じて傾斜してお
り、傾斜姿勢にある支持板21の下面に設けられた図示
しないマグネット当り部材に当接してその磁力により支
持部20を傾斜姿勢に保持する。
個の伸縮ステー37が設けられ、これら伸縮ステー37
は伸縮自在であり、基台部10と支持部20とを連結す
る。具体的には伸縮ステー37の下方端付近に設けられ
た回動軸37aが基台本体11に対して取り付けられる
とともに、伸縮ステー37の上端に設けられた回動軸3
7bがブラケット37cにより支持板21に取り付けら
れている。そして、伸縮ステー37は、図1に示すよう
に支持部20が水平姿勢にあるときは縮んだ状態とな
り、図3に示すように支持部20が傾斜姿勢にあるとき
は伸びた状態となる。この伸縮ステー37の伸縮機構
は、支持部20の姿勢切換え動作を補助し、円滑な姿勢
切換え動作を可能とする。
斜姿勢にあるときにその伸びた状態を保持するロック機
構を設けて、傾斜姿勢にある支持部20が運搬作業時
に、その自重や運搬作業に伴う衝撃により水平姿勢に戻
ることを防止しても良い。第2のマグネット35の磁力
が十分に強い場合は伸縮ステー37の上記ロック機構は
無くても良いし、蝶番31のみで円滑な姿勢切換え動作
を実現できる場合は伸縮ステー37は無くても良い。
から−Y方向側に張り出した天板15の上面に固定され
ている。なお、図1および図3において底板41は、実
線で示されるべきところを、ガラス乾板2、支持板21
および蝶番31の様子を理解し易いように点線で示され
ている。底板41のX方向に沿った両端には一対のブラ
ケット43が立設され、この一対のブラケット43の上
部を連結するように握り部材45が設けられている。
のLED群53および切換えスイッチ55などから構成
されている。第1のLED群51は、ガラス乾板21の
感光層を感光させない例えば赤色の安全光を発光する例
えば3個のLEDを備え、基台本体11の下方の空間を
安全光で照明するように図示しないブラケットにより基
台本体11の下方中央部に固定されている。第2のLE
D群53は安全光を発光する例えば3個のLEDを備
え、基台本体11よりY方向、すなわち運搬作業時の運
搬用台車1の進行方向側にある空間を安全光で照明する
ように図示しないブラケットにより基台本体11のY方
向側下方に固定されている。上記安全光は、ガラス乾板
21に形成された感光層が感光しない波長領域を有する
光であれば良く、本実施形態においては上述のように感
光層の感光波長領域が400nmから700nmの範囲
内であるので、その波長が700nmより大きい赤色光
を安全光としている。
1および第2のLED群53を点灯状態または消灯状態
に切り替えるためのスイッチであり、各LED群51,
53および図示しない電源に電気的に接続されている。
2を運搬する運搬作業について、図1から図3および図
4を用いて説明する。図4の(a)は例えばプリント基
板を製造するための工場内に設けられた各室の配置状態
の一例を示す平面図である。図4の(a)に示す収納室
100は露光処理前の複数のガラス乾板2を収納するた
めの部屋である。露光室110、120、130、14
0にはレーザプロッタなどの露光装置がそれぞれ配備さ
れ、これら各室内でガラス乾板2に対して露光処理が実
行される。液処理室150には、現像用器具やエッチン
グ用器具等の液処理用器具が配備され、上記各露光室で
露光処理されたガラス乾板2に対して現像処理等の液処
理が実行される。上述の収納室100、各露光室110
等および液処理室150には通路160が隣接してお
り、ガラス乾板2は通路160および各室に設けられた
図示しない開閉扉を介して作業者により運搬される。
0は、その内部にガラス乾板2が存在しているときは暗
室状態とされ、例えば赤色の安全光のみによって照明さ
れている。また、各室内および通路160が室壁により
区画されているので、例えば露光室110内に設けられ
た装置の調整作業時等にその室内を明るくした際に、こ
の照明光が暗室状態にある他の各室や通路160に侵入
しない。さらに、液処理室150が他の各室や通路16
0に対して室壁により区画されているので、液処理室1
50内の現像液から生じるアルカリ性の雰囲気やエッチ
ング液から生じる酸性の雰囲気が、露光室110等、収
納室100および通路160に存在するガラス乾板2に
悪影響を与えることもない。
ガラス乾板2を図1および図2に示す運搬用台車1の水
平姿勢に保持された支持部20の支持板21上に、感光
層が形成されたガラス乾板2の感光面が上を向くよう
に、かつ、ガラス乾板2のX方向側端面を支持部材23
の内面に当接させるようにしてガラス乾板2を搭載す
る。このとき、照明部50の切替えスイッチ55は点灯
側にあり第1のLED群51および第2のLED群53
は点灯している。次に作業者は、支持板21のX方向に
おける両端部付近を両手で掴んで、支持板21のX方向
側端部を押し下げるとともに−X方向側端部を引き上げ
て、ガラス乾板2を搭載した支持部20を蝶番31の回
動軸周りに例えば70度だけ回動させて、図3に示すよ
うに支持部20を傾斜姿勢とする。
ラス乾板2の感光面と反対側の下面が支持板21に支持
されているとともに、その下端部が支持部材23により
支持される。そして、作業者は−Y方向側から取っ手部
40の握り部材45を両手で掴んで、傾斜姿勢の支持部
20によりガラス乾板2を支持した運搬用台車1をY方
向に向かって押しながら、収納室100の開閉扉、通路
160および各露光室のいずれか、例えば露光室110
の開閉扉を介して、露光室110内までガラス乾板2を
運搬する。
は、例えば図4の(b)に模式的な側面図で示されるフ
ラットベッド型のレーザプロッタ70(露光手段)に投
入されて露光処理される(露光工程)。このレーザプロ
ッタ70は、ガラス乾板2を水平に吸着保持する描画テ
ーブル71、描画テーブル71上のガラス乾板2に向け
て主走査方向に走査され、変調されたレーザビームを照
射する露光ヘッド72および描画テーブル71を上記主
走査方向と直交する副走査方向に沿って往復移動させる
図示しない駆動機構などを備える。
レーザプロッタ70の近傍位置まで作業者により移動さ
れた後、運搬用台車1の支持部20は傾斜姿勢から水平
姿勢に切り換えられる。この切換え動作は上述の収納室
100における水平姿勢から傾斜姿勢への切換え動作と
逆の動作で行われる。そして、ガラス乾板2は、水平姿
勢にある支持部20の支持板21上からレーザプロッタ
70の待機位置にある描画テーブル71上に、その水平
姿勢を保った状態で載置される。
れたガラス乾板2は、描画テーブル71と一体に駆動機
構により副走査方向に沿って移動させられつつ、露光ヘ
ッド72からの主走査方向に沿って走査され変調された
レーザビームにより露光されて回路パターンなどの所定
のパターンがその感光層に焼き付けられて露光処理され
る。
ーブル71上の水平姿勢にあるガラス乾板2は、作業者
により、レーザプロッタ70の近傍にある運搬用台車1
の水平姿勢にある支持板21上に、その水平姿勢を保っ
た状態で搭載される。なお、この搭載工程が本発明にお
ける搭載工程に相当する。次に、支持部20が水平姿勢
から傾斜姿勢に切り換えられる。なお、この姿勢切換え
工程が本発明における第1の姿勢切換え工程に相当す
る。これらの搭載動作および姿勢切換え動作は、上述の
収納室100内での搭載動作および姿勢切換え動作と同
様である。
1は、収納室100から露光室110までの運搬動作と
同様に、作業者により押されて露光室110の開閉扉、
通路160および液処理室150の開閉扉を通って、液
処理室150内まで移動させられ、液処理室150内ま
でガラス乾板2が運搬される(移動工程)。
(c)に模式的な側面図で示される現像用器具80(現
像手段)が配備されている。この現像用器具80は、現
像液82を貯留するための皿状の容器81を備える。作
業者は、運搬用台車1を容器81の近傍まで移動させた
後、支持部20の姿勢を傾斜姿勢から水平姿勢に切り替
える。なお、この姿勢切換え工程が本発明における第2
の姿勢切換え工程に相当する。次に、作業者は、水平姿
勢にある支持板21上からガラス乾板2を持ち上げて、
略水平姿勢を保った状態で、容器81に貯留された現像
液82中に浸漬させる(受渡し工程)。そして、現像液
82中でガラス乾板2の両端を上下方向に揺すって略水
平姿勢でガラス乾板2を現像処理する(現像工程)。こ
の現像処理後にガラス乾板2がエマルジョン系である場
合は、ガラス乾板2に水洗、乾燥処理等を施してマスタ
ーパターン板とすべきマスク板が完成する。ガラス乾板
2がクロム系である場合は、現像処理後のガラス乾板2
に水洗、乾燥、エッチング処理等を施してマスク板が完
成する。
露光処理するレーザプロッタ70、および、略水平姿勢
で現像処理する現像用器具80と、運搬用台車1との間
におけるガラス乾板2の移載動作は、支持部20を水平
姿勢に保持することによって、ガラス乾板2の姿勢を略
水平に保ったままで実行できる。このため、移載途中で
作業者がガラス乾板2の姿勢を変更する必要がないの
で、移載作業時における作業者の負担が軽減できる。
ときは、支持部20は傾斜姿勢にあるので、運搬用台車
1の進行方向に直交する幅方向における寸法を小さくす
ることができる。この結果、運搬用台車1が通路幅が狭
い通路160および開閉扉を通過するときや、運搬用台
車1が旋回するときに、運搬用台車1が各室や通路16
0の壁などに衝突する危険性が少なくなるので、運搬用
台車1の移動作業における作業者の負担が軽減できる。
0の第1のLED群51により安全光で照明され、基台
部10の進行方向側の空間が第2のLED群53により
安全光で照明されている。この結果、運搬用台車1の移
動作業時等において、作業者の足元および前方の安全性
を確保できて、作業者の負担が軽減できる。なお、照明
部50が照明する空間は、基台部10の下方空間や進行
方向側空間に限定されず、作業者の安全性を確保できる
基台部10の周囲空間とすれば良い。
持ちながらの運搬作業とは異なり、作業者がガラス乾板
2に触れるのは運搬用台車1に対する移載動作時のみで
あるので、作業者の接触によるガラス乾板2の汚染や作
業者からの異物がガラス乾板2に付着することが抑制で
きる。
搬作業が作業者により実行されるが、運搬作業を自動化
してもよい。例えば、通路160に各室100〜150
と連通する軌道レールを設け、この軌道レールに沿って
運搬用台車1を駆動機構により移動させる。また、姿勢
切換え部30に支持部20の姿勢を切り替えるためのエ
アシリンダ等のアクチュエータを設けるとともに、レー
ザプロッタ70や現像用器具80に対し、ガラス乾板2
を搬出入する搬送ロボットをそれぞれ設ける。さらに、
現像用器具80に代えて自動で現像処理する現像装置
(現像手段)を配置する。
は請求項2に係る発明によれば、姿勢切換え手段によっ
て水平姿勢とされた支持部により露光手段から略水平姿
勢を保った状態で感光板を受け取ることができるととも
に、水平姿勢にある支持部から現像手段に略水平姿勢を
保った状態で感光板を受け渡しすることができるので、
作業者の負担が軽減できる。また、暗室状態の通路を通
過するときには姿勢切換え手段によって支持部が傾斜姿
勢とされているので、狭い通路を支障無く移動すること
ができる。さらに、照明手段により安全光で基台部の周
囲を照明することにより暗室状態の通路を照明すること
ができて、作業者の安全性が確保できて作業負担が軽減
できる。
面図である。
面図である。
面図である。
ザプロッタの模式側面図、(c)は現像用器具の模式側
面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 感光板を水平姿勢で露光処理する露光手
段から、暗室状態の通路を介して、感光板を略水平姿勢
で現像処理する現像手段まで、感光板を運搬するための
運搬用台車において、 車輪が取り付けられた基台部と、 基台部に対してその姿勢を水平姿勢または傾斜姿勢に切
換え可能に取り付けらた感光板を支持するための支持部
と、 支持部を水平姿勢または傾斜姿勢に切り替える姿勢切替
え手段と、 前記感光板に形成された感光層を感光させない波長領域
を有する安全光で、基台部の周囲を照明するための照明
手段と、を備えたことを特徴とする運搬用台車。 - 【請求項2】 感光板を水平姿勢で露光処理する露光手
段から、暗室状態の通路を介して、感光板を略水平姿勢
で現像処理する現像手段まで、感光板を運搬する感光板
の運搬方法において、 前記露光手段により露光処理され水平姿勢にある感光板
を、露光手段から請求項1に記載される運搬用台車の水
平姿勢にある支持部上に搭載する搭載工程と、 搭載工程後に感光板を支持した前記支持部を姿勢切換え
手段により水平姿勢から傾斜姿勢とする第1の姿勢切換
え工程と、 第1の姿勢切換え工程後に傾斜姿勢で感光板を支持した
前記運搬用台車を、その照明手段によって基台部の周囲
を安全光で照明しつつ前記現像手段の近傍まで前記通路
を介して移動させる移動工程と、 移動工程後に感光板を支持した前記支持部を前記姿勢切
換え手段により傾斜姿勢から水平姿勢とする第2の姿勢
切換え工程と、 第2の姿勢切換え工程後に前記支持部上に水平姿勢で支
持された感光板を、前記現像手段に略水平姿勢で受け渡
す受渡し工程と、を含むことを特徴とする感光板の運搬
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001333592A JP2003140323A (ja) | 2001-10-31 | 2001-10-31 | 運搬用台車および感光板の運搬方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003140323A true JP2003140323A (ja) | 2003-05-14 |
Family
ID=19148829
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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