JP2003145409A

JP2003145409A - 超仕上げ方法および装置

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Publication number: JP2003145409A
Application number: JP2001345255A
Authority: JP
Inventors: Chuichi Sato; 忠一佐藤
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2001-11-09
Filing date: 2001-11-09
Publication date: 2003-05-20
Anticipated expiration: 2021-11-09
Also published as: JP3855744B2

Abstract

(57)【要約】【課題】構造を簡素化することができ、曲率が小さい
超仕上げ対象部位の超仕上げの場合と同様に、高い加工
能率で、精度および粗さが良い仕上げを得ることができ
る超仕上げ装置を提供する。【解決手段】ｘ軸方向にベース１上を移動可能なスピ
ンドル装置２の回転軸２ａの一端には、砥石４を保持す
る砥石ホルダ３が取り付けられ、その他端には、回転軸
２ａに偏心した円板の偏心カム５が取り付けられてい
る。偏心カム５の両側には、規制部材６ａ，６ｂが配置
され、規制部材６ａは、偏心カム５に当接するようにベ
ース１に固定され、規制部材６ｂは、ばね部材（図示せ
ず）により偏心カム５に押し付けられるように付勢され
ている。回転軸２を偏心カム５が規制部材６ａに当接さ
れかつ規制部材６ｂにより付勢された状態で角度的に回
転駆動すると、砥石４はｘ軸方向へ移動しながら回転軸
２ａの周りに揺動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物の曲面形
成部位の超仕上げ方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、自動調心ころ軸受のころのよう
に、太鼓状の形状を有する被加工物の外面に対して超仕
上げ加工を施す方法として、被加工物の外面を切削する
ための砥石を、被加工物外面の曲率の中心に対応する中
心位置を中心として揺動運動させることにより、被加工
物の外面の超仕上げ加工を行うものがある。

【０００３】この方法を実現するための装置構成につい
て図１５を参照しながら具体的に説明する。図１５は従
来の超仕上げ装置の主要部構成を示す正面図および側面
図である。

【０００４】従来の超仕上げ装置は、図１５（ａ），
（ｂ）に示すように、鉛直方向に立ち上がるコラム２０
２に昇降可能に支持されているベース２０１を備える。
ベース２０１には、互いに間隔をおいて配置されている
２つの回転軸２０５が設けられ、各回転軸２０５には、
それぞれ対応する垂直リンクアーム２０３の一端が回転
可能に支持されている。各垂直リンクアーム２０３は、
２つの水平リンクアーム２０４で連結されている。各水
平リンクアーム２０４の各端は、それぞれ対応する垂直
リンクアーム２０３に回転可能に連結されている。各水
平リンクアーム２０４には、それぞれ２つの砥石ホルダ
２０６が連結されている。各砥石ホルダ２０６は、互い
に間隔をおいて配置され、各砥石ホルダ２０６には、加
圧シリンダ２０７がそれぞれ取り付けられている。各加
圧シリンダ２０７は、砥石２０８を被加工物２１２（例
えば自動調心ころ軸受のころ）に押し付け可能に砥石２
０８を保持する。

【０００５】垂直リンクアーム２０３の一方には、伝達
部材２０９の一端が連結され、伝達部材２０９の他端
は、駆動モータ２１１の出力軸に固着されている駆動ア
ーム２１０に連結されている。駆動モータ２１１の回転
出力は、駆動アーム２１０を介して伝達部材２０９に伝
達され、伝達部材２０９を駆動する。この伝達部材２０
９の運動により、一方の垂直リンクアーム２０３は、そ
の一端が支持されている回転軸２０５を中心に揺動す
る。この一方の垂直リンクアーム２０３の揺動に連動し
て各水平リンクアーム２０４が運動して他方の垂直リン
クリンクアーム２０３を対応する回転軸２０５を中心に
揺動させる。そして、各砥石ホルダ２０６が被加工物２
１２の外面の曲率Ｒの中心に一致する位置を中心として
揺動する。これにより、砥石ホルダ２０６の加圧シリン
ダ２０７に保持されている砥石２０８は、被加工物２１
２の外面の曲率Ｒに等しい曲率の円弧に沿って揺動す
る。この際、砥石２０８は、加圧シリンダ２０７により
所定の圧力で被加工物２１２に押し付けられている。

【０００６】これに対し、例えば玉軸受の内輪の軌道溝
など、被加工物における曲率が小さい部位に超仕上げを
施す場合、図１６に示す装置が用いられる。図１６は従
来の被加工物における曲率が小さい部位に超仕上げを施
す装置の主要部構成を示す正面側断面図、側面側断面図
および砥石の先端周囲を示す断面図である。

【０００７】この装置は、図１６（ａ），（ｂ）に示す
ように、砥石２２２を保持するための砥石ホルダ２２１
を備える。砥石ホルダ２２１内には、砥石２２２を被加
工物２２０の曲率Ｒが小さい仕上げ対象部位（例えば玉
軸受の内輪の軌道溝）に押し付けるための加圧機構の加
圧ピストン２２４が組み込まれている。この加圧ピスト
ン２２４のヘッド部には、図１６（ａ）に示すように、
Ｖ字形状の溝が形成されている。砥石ホルダ２２１の先
端部には、Ｏリング２２３が組み込まれている。砥石ホ
ルダ２２１は、揺動中心Ｏsの周りに揺動される。

【０００８】超仕上げ加工を行う際、砥石ホルダ２２１
は、揺動中心Ｏsが被加工物２２２の仕上げ対象部位の
曲率Ｒの中心に一致するように、位置決めされる。そし
て、砥石２２０が被加工物２２０の仕上げ対象部位に押
し付けられた状態で砥石２２１が揺動中心Ｏsを中心に
揺動半径Ｒで揺動される。これにより、被加工物２２０
の仕上げ対象部位が超仕上げされることになる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】玉軸受の内輪の軌道溝
など、被加工物における曲率が小さい部位に超仕上げを
施す装置（図１６に示す）の場合、構造が簡素でまた揺
動半径Ｒ（被加工物の曲率）が小さいので、小型化する
ことができるとともに、揺動速度が通常１０００回毎分
程度と大きいので、超仕上げの加工能率を高くすること
ができる。また、２軸構造（バランスウェイト構造）を
採用し、互いに逆向きに運動させることによって、振動
的にバランスを取ることができる。このため、加工精
度、粗さが良い仕上りを得ることができる。また、装置
としての振動も小さく、近傍にある加工装置（例えば、
研削盤）に与える振動の影響を小さくすることができ
る。

【００１０】しかしながら、球面ころの外面などのよう
に大きな曲率Ｒの部位に対する超仕上げを行う場合に
は、大きな曲率Ｒに対して寸法調整範囲が大となり、装
置自体が大型化する。また、砥石ホルダの質量が増し、
かつ曲率Ｒが大との相乗効果により遠心力による振動が
大きくなる。

【００１１】また、曲率Ｒが大きな仕上げ対象部位に超
仕上げを施す装置（図１５に示す）の場合、構造が複雑
で、揺動機構全体の質量が大きく、さらに振動的にバラ
ンスをとることができないので、揺動速度を２００回毎
分程度に抑える必要があり、加工能率が低くなる。ま
た、精度、粗さが良い仕上げを得ることができない。

【００１２】本発明の目的は、構造を簡素化することが
でき、曲率が小さい超仕上げ対象部位の超仕上げの場合
と同様に、高い加工能率で、精度および粗さが良い仕上
げを得ることができる超仕上げ装置および方法を提供す
ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、被加工物の曲
面形成部位の超仕上げ方法において、軸線と直交する第
１の方向へ移動可能なように基台上に支持されている回
転軸に該回転軸の軸線と直交する第２の方向へ所定距離
をおいて砥石を取り付けるとともに、該回転軸に対して
偏心する偏心カム部材を同軸上に取り付け、前記偏心カ
ム部材に当接する規制部材および前記偏心カム部材を前
記第１の方向へ前記規制部材に向けて付勢する付勢部材
を前記基台に設け、前記偏心カムが前記規制部材に当接
されかつ前記回転軸が前記付勢部材により付勢された状
態で前記回転軸を角度的に回転駆動することにより、前
記回転軸を前記第１の方向へ移動させながら前記砥石を
前記回転軸の周りに揺動させることを特徴とする。

【００１４】また、本発明は、被加工物の曲面形成部位
の超仕上げ装置において、基台と、軸線と直交する第１
の方向へ前記基台上を移動可能なように支持されている
回転軸と、前記回転軸に該回転軸の軸線と直交する第２
の方向へ所定距離をおいて取り付けられている砥石と、
前記回転軸に同軸上に取り付けられ、該回転軸に対して
偏心する偏心カム部材と、前記基台に設けられ、前記偏
心カム部材に当接されている規制部材と、前記基台に設
けられ、前記偏心カム部材を前記第１の方向へ前記規制
部材に向けて付勢する付勢部材と、前記回転軸を角度的
に回転駆動する駆動機構とを備えることを特徴とする。

【００１５】本発明では、偏心カムが規制部材に当接さ
れ、回転軸が付勢部材により付勢された状態で回転軸を
角度的に回転駆動することにより、回転軸を所定方向へ
移動させながら砥石を回転軸の周りに揺動させるので、
回転軸の軸線から砥石の先端位置までの直線距離および
偏心カム部材の偏心量を適宜設定することによって、被
加工物の超仕上げ部位に対応する曲率半径の軌道に沿っ
て砥石の先端を揺動させることが可能になる。また、こ
の揺動機構を簡素化された構造で実現することが可能と
なる。さらに、揺動機構全体の質量が小さくすることが
できるので、揺動速度を増すことが可能になり、加工能
率の向上を図ることができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。

【００１７】まず、本発明に係る超仕上げ方法を実現す
るための装置の基本構成について図１ないし図４を参照
しながら説明する。図１は本発明に係る超仕上げ方法を
実現するための装置の基本構成を示す側面図および正面
図、図２は図１の砥石先端位置Ｐが回転軸の回転に応じ
て描く軌跡を示す図、図３は図１の回転軸の中心から砥
石先端位置Ｐまでの直線距離ｒ0を変数とした場合の偏
心カムの偏心量ｅと曲率半径（超仕上げ加工半径）Ｒ0
との関係を示す図、図４は図１の偏心カムの偏心量ｅを
変数とした場合の回転軸の中心から砥石先端位置Ｐまで
の直線距離ｒ0と曲率半径（超仕上げ加工半径）Ｒ0との
関係を示す図である。

【００１８】超仕上げ装置の基本構成は、図１に示すよ
うに、ガイドレール部１ａが設けられているベース１を
備える。ベース１には、スピンドル装置２が搭載され、
スピンドル装置２は、ガイドレール部１ａに案内されな
がらｘ軸方向に移動可能なように構成されている（図１
（ｂ）を参照）。スピンドル装置２は、ガイドレール１
ａの案内方向と直交する方向に伸びる回転軸２ａを有
し、回転軸２ａの一端には、砥石ホルダ３が取り付けら
れている。砥石ホルダ３は、かぎ状の部材から構成さ
れ、その先端３ａには、砥石４が取り付けられている。
回転軸２ａの他端には、偏心カム５およびプーリ７が取
り付けられている。偏心カム５は、回転軸２ａに偏心し
て取り付けられている円板からなる。プーリ７には、駆
動モータ（図示せず）の駆動力を伝達するためのタイミ
ングベルト８が巻き掛けられている。偏心カム５の両側
には、規制部材６ａ，６ｂがそれぞれ配置されている。
一方の規制部材６ａは、ベース１に固定され、偏心カム
５の側面に当接するように位置決めされている。他方の
規制部材６ｂは、ベース１にｘ軸方向に移動可能に取り
付けられ、ばね部材（図示せず）により偏心カム５の側
面に押し付けられるように付勢されている。

【００１９】ここで、上記駆動モータにより図１（ｂ）
に示す矢印の方向に回転軸２ａを角度的に回転させる場
合を考える。まず、上記駆動モータにより回転軸２ａを
一方の方向（図１（ｂ）において時計方向）へ角度的に
回転駆動すると、回転軸２ａの回転に伴い偏心カム５が
回転される。この際、偏心カム５は固定側の規制部材６
ａに当接しながら回転するので、偏心カム５の回転によ
り規制部材６ｂは、上記ばね部材の付勢力に抗しながら
ｘ軸方向に移動されることになる。これにより、回転軸
２ａは、回転しながらその回転角度θに応じてｘ軸方向
に移動される。また、上記駆動モータにより回転軸２ａ
を他方の方向（図１（ｂ）において反時計方向）へ角度
的に回転駆動すると、同様に、回転軸２ａは、回転しな
がらその回転角度θに応じてｘ軸方向に移動される。

【００２０】回転軸２ａがｘ軸方向に移動しながら回転
すると、この回転軸２ａに取り付けられている砥石ホル
ダ３は、ｘ軸方向に移動しながら回転軸２ａの周りに回
転することになる。このとき、砥石ホルダ３の砥石４の
先端位置Ｐが描く軌跡Ｐ（ｘ，ｙ）は、図２に示すよう
に、ｘ−ｙ座標系の原点Ｏから観て、次の（１）式で表
される楕円となる。

【００２１】｛ｘ／（ｒ0＋ｅ）｝²＋（ｙ／ｒ0）²＝１ …（１）ｒ0：回転軸２ａの中心Ｏｓから砥石４の先端位置Ｐま
での直線距離ｅ：偏心カム５の回転軸２ａに対する偏心量Ｏc：偏心カム５の中心（回転軸２ａの回転角度θに応
じて移動する）次に、偏心カム５の偏心量ｅと距離ｒ0と曲率半径Ｒ0と
の関係を考える。この曲率半径Ｒ0は、ｘ−ｙ座標系に
おいてｘ＝０とした場合の曲率半径であり、所定位置に
保持された被加工物の超仕上げ対象部位に対して砥石４
の先端位置Ｐが描くべき軌跡の曲率半径を表すことにな
る。この曲率半径Ｒ0は、次の（２）式により表され
る。

【００２２】Ｒ0＝（ｒ0＋ｅ）²／ｒ0＝（１＋ｅ／ｒ0）²・ｒ0 …（２）まず、偏心カム５の偏心量ｅを固定値とし、上記距離ｒ
0を変数とした場合に、これらと曲率半径Ｒ0との関係を
考える。ここでは、距離ｒ0と偏心量ｅとの関係をｒ0＝
γ・ｅで表すものとすると、曲率半径Ｒ0と偏心量ｅと
の比Ｒ0／ｅは、上記（２）式から次の（３）式で表さ
れる。

【００２３】Ｒ0／ｅ＝（１＋ｅ／ｒ0）²・（ｒ0／ｅ）＝（１＋１／γ）²・γ ＝２＋γ＋１／γ …（３）ここで、γ＜１とした場合のＲ0／ｅとγとの関係を図
３に示す。図３から分かるように、非線形ではあるが、
γ＝０．３〜０．０５であるときに、Ｒ0／ｅが５．６
〜２２．０となり、約４倍の範囲の値が得られる。例え
ば、ｅ＝１５ｍｍとすると、γ＝０．３の場合、ｒ0＝
１５×０．３＝４．５ｍｍ、Ｒ0＝５．６×１５＝８４
ｍｍとなる。また、γ＝０．０５の場合、ｒ0＝１５×
０．０５＝０．７５ｍｍ、Ｒ0＝２２．０×１５＝３３
０ｍｍとなる。

【００２４】また、回転軸２ａの回転角度θに応じて砥
石４の先端位置Ｐがｘ軸方向へ移動する移動量ｘsは、
次の（４）式により表される。

【００２５】ｘs＝（ｅ＋ｒ0）sinθ …（４）上記（４）式により、上記各場合における移動量ｘs
は、１９．５sinθ〜１５．７５sinθとなり、例えば移
動量ｘs＝３ｍｍとした場合、回転角度θ＝０．０３２
π（ｒａｄ）〜０．０４１π（ｒａｄ）となる。

【００２６】また、上記距離ｒ0を固定値とし、偏心カ
ム５の偏心量ｅを変数とした場合の曲率半径Ｒ0と上記
ｒ０の関係を考える。上記（２）式に従えば、曲率半径
Ｒ0と上記距離ｒ0との比Ｒ0／ｒ0と、偏心量ｅと上記距
離ｒ0との比ｅ／ｒ0との間で、図４に示すような関係が
得られる。図４から分かるように、線形的に、ｅ／ｒ0
＝０．４〜１．５の範囲で、Ｒ0／ｒ0＝２．０〜６．２
となり、約３倍の範囲の値が得られる。例えば、ｒ0＝
３５ｍｍとすると、ｅ／ｒ0＝０．４の場合、ｅ＝３５
×０．４＝１４ｍｍ、Ｒ0＝３５×２．０＝７０ｍｍと
なる。また、ｅ／ｒ0＝１．５の場合、ｅ＝３５×１．
５＝５３．５ｍｍ、Ｒ0＝３５×６．２＝２１８ｍｍと
なる。

【００２７】また、上記各場合における移動量ｘsは、
上記（４）式により、４９sinθ〜８８．５sinθとな
り、例えば移動量ｘs＝２ｍｍとした場合、回転角度θ
＝０．０１８π（ｒａｄ）〜０．００７π（ｒａｄ）と
なる。

【００２８】このように、回転軸２ａの中心Ｏｓから砥
石４の先端位置Ｐまでの直線距離ｒ0および偏心カム５
の偏心量ｅを適宜設定することによって、小さい回転角
度θの範囲で、被加工物の超仕上げ部位に対応する曲率
半径の軌道に沿って砥石４の先端を揺動させることが可
能になる。また、この揺動機構を簡素化された構造で実
現することが可能となる。さらに、揺動機構全体の質量
が小さくすることができるので、揺動速度を増すことが
可能になり、加工能率の向上を図ることができる。よっ
て、本方法によれば、構造を簡素化することができ、曲
率が小さい超仕上げ対象部位の超仕上げの場合と同様
に、高い加工能率で、精度および粗さが良い仕上げを得
ることができる超仕上げ装置を提供することができる。

【００２９】（第1実施の形態）次に、本発明の第１実
施の形態に係る超仕上げ装置について図５ないし図８を
参照しながら説明する。図５（ａ）は本発明の第１実施
の形態に係る超仕上げ装置の構成を示す上面図、図５
（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ線に沿って得られた縦断面
図、図６（ａ）は図５の偏心カムの正面図、図６（ｂ）
は図５の偏心カムの側面図、図６（ｃ）は図５の偏心カ
ムの斜視図、図７（ａ）は図５の砥石ホルダの構成を示
す縦断面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＢから見た矢視
図、図８（ａ）は砥石ホルダの先端部の他の構成例の正
面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＣ−Ｃ線に沿って得ら
れた断面図である。

【００３０】本実施の形態における超仕上げ装置は、上
述した基本構成に基づくものであるが、本実施の形態で
は、振動を打ち消し合うことが可能な２軸構造とし、各
軸を１つの駆動モータで駆動する構成とする。

【００３１】具体的には、本実施の形態の超仕上げ装置
は、図５に示すように、床などの支持面に置かれるベー
ス１１を備える。ベース１１には、２つのスライダ１
２，１３が互いに対向するように搭載されている。

【００３２】スライダ１２は、ベース１１の上面に設け
られた一対のガイドレール１４ａ，１４ｂに沿って摺動
する複数のリニアガイド１２ａを有し、複数のリニアガ
イド１２ａによりガイド一対のガイドレール１４ａ，１
４ｂに案内されながらベース１１上を移動可能に構成さ
れている。スライダ１２には、ガイドレール１４ａ，１
４ｂと直交する方向に伸びるスピンドル１６が回転可能
に支持されている。スピンドル１６の一端１６ａには、
リンク部材３２が取り付けられ、その他端１６ｂには、
砥石ホルダ２０が取り付けられている。この砥石ホルダ
２０の詳細構成については後述する。

【００３３】また、スピンドル１６には、偏心カム１８
が取り付けられている。この偏心カム１８は、図６に示
すように、リング部１８ａと、リング部１８ａに対して
偏心してかつ一体的に連なるカム部１８ｂとから構成さ
れ、カム部１８ｂは、リング部１８ａの孔部に対応する
部分を切り欠いた円板からなる。偏心カム１８は、リン
グ部１８ａがスピンドル１６と同軸上になるようにスピ
ンドル１６に嵌合されている。これにより、偏心カム１
８のカム部１８ｂは、その中心がスピンドル１６の中心
に対して偏心量ｅ分だけ偏心してスピンドル１６に取り
付けられていることになる。

【００３４】砥石ホルダ２０は、図７に示すように、ス
ピンドル１６の他端１６ｂに取り付けられているベース
部４０を有し、ベース部４０には、ホルダ部４７を案内
するための一対のガイドレール４１が設けられている。
ホルダ部４７は、かぎ状の形状を有し、そのベース部４
０に対向する部位には、ボールねじ機構４２と、各ガイ
ドレール４１に摺動可能に係合する一対のリニアガイド
４６とが設けられている。ボールねじ機構４２は、ねじ
軸４４と、ホルダ部４７に固定されているナット部４５
とを含み、ねじ軸４４はベース部４０に固定されている
駆動モータ４３により回転駆動される。ねじ軸４４の回
転運動に伴いナット部４５は、ねじ軸４４に沿って移動
するので、ホルダ部４７はベース部４０に対して相対的
に移動される。ホルダ部４７の先端部位４７ａには、保
持部材４８が取り付けられ、この保持部材４８と先端部
位４７ａとの間に砥石４９が保持されている。砥石４９
は、その先端位置とスピンドル１６の中心との距離がｒ
0になるように位置決めされている。被加工物５０（例
えば球面ころに相当する）の曲率半径Ｒに一致する曲率
Ｒ０で揺動される。ここで、砥石４９による超仕上げの
際には、被加工物５０は一対のローラ５１間に挟持され
て砥石４９の先端に対して位置決めされるとともに、ロ
ーラ５１の回転により被加工物５０が回転される。

【００３５】このような構成の砥石ホルダを用いること
によって、ホルダ部４７の相対移動により、砥石４９を
被加工物５０に対して所定の加圧力で押し付けることが
可能になる。また、砥石４９の摩耗などによって砥石４
９の先端位置が被加工物５０に対して鉛直方向に変化し
た場合に、砥石４９の先端位置と被加工物５０の鉛直方
向の位置調整が可能になる。

【００３６】スライダ１３は、スライダ１２と同様に、
ベース１１の上面に設けられた一対のガイドレール１５
ａ，１５ｂに沿って摺動する複数のリニアガイド１３ａ
を有し、複数のリニアガイド１３ａにより一対のガイド
レール１５ａ，１５ｂに案内されながらベース１１上を
移動可能に構成されている。スライダ１３には、ガイド
レール１５ａ，１５ｂと直交する方向に伸びるスピンド
ル１７が回転可能に支持されている。スピンドル１７の
一端１７ａには、リンク部材３３が取り付けられ、その
他端１７ｂには、砥石ホルダ２１が取り付けられてい
る。この砥石ホルダ２１は、砥石ホルダ２０と同じ構成
を有し（図７を参照）、ここでは、その説明は省略す
る。

【００３７】また、スピンドル１７には、偏心カム１９
が取り付けられている。この偏心カム１９は、偏心カム
１８と同様に構成され、リング部１９ａとカム部１９ｂ
とを有する（図６を参照）。これにより、偏心カム１９
のカム部１９ｂは、その中心がスピンドル１７の中心に
対して偏心量ｅ分だけ偏心してスピンドル１７に取り付
けられていることになる。

【００３８】スライダ１２とスライダ１３との間には、
転がり軸受からなる２つの規制部材２３，２４が設けら
れ、各規制部材２３，２４は軸２２に同軸上に支持され
ている。軸２２の各端は、それぞれベース１１に設けら
れている支持部材２２ａ，２２ｂに支持されている。規
制部材２３は、その外周面がスピンドル１６に取り付け
られた偏心カム１８のカム部１８ｂの外周面に当接する
ように、規制部材２４は、その外周面がスピンドル１７
に取り付けられた偏心カム１９のカム部１９ｂの外周面
に当接するようにそれぞれ配置されている。

【００３９】スライダ１２は、ばね部材３５により、偏
心カム１８のカム部１８ｂが規制部材２３に押し付けら
れる方向に付勢されている。ばね部材３５は、ベース１
１に固定されている保持部材３４に保持されている。同
様に、スライダ１３は、ばね部材３７により、偏心カム
１９のカム部１９ｂが規制部材２４に押し付けられる方
向に付勢されている。ばね部材３７は、ベース１１に固
定されている保持部材３６に保持されている。

【００４０】スピンドル１６のリンク部材３２は、図５
（ｂ）に示すように、リンク部材３０を介して中間リン
ク２８のアーム部２８ｂに連結されている。また、スピ
ンドル１７のリンク部材３３は、リンク部材３１を介し
て中間リンク２８のアーム部２８ｃに連結されている。
中間リンク２８には、上記アーム部２８ｂおよびアーム
部２８ｃとともに、アーム部２８ａが設けられている。
アーム部２８ｂとアーム部２８ｃとは、同一直線上に沿
って互いに逆向きに突出し、アーム部２８ａは、アーム
部２８ｂに対して垂直に突出する。中間リンク２８は、
軸箱２９に支持されている。中間リンク２８のアーム部
２８ａは、リンク部材２７の一端に連結され、リンク部
材２７の他端は、駆動モータ２５の回転運動を揺動運動
に変換するための変換部材２６に連結されている。変換
部材２６は駆動モータ２５の出力軸（図示せず）に固定
され、変換部材２６におけるリンク部材２７との連結点
は、駆動モータ２５の出力軸に対して偏心量Ｅ1分偏心
した位置にある。この偏心量Ｅ1は、各スピンドル１
６，１７の回転角度θの最大値を規定する。

【００４１】このようなリンク機構により、駆動モータ
２５の回転運動は各スピンドル１６，１７の揺動運動に
変換され、各スピンドル１６，１７は、互いに逆向きに
角度的に回転運動される。スピンドル１６が例えば一方
の方向（図５（ｂ）において時計方向）へ角度的に回転
駆動されると、スピンドル１６の回転に伴い偏心カム１
８が回転される。この際、偏心カム１８はそのカム部１
８ｂが規制部材２３に当接された状態で回転するので、
偏心カム１８の回転によりスライダ１２は、ばね部材３
５の付勢力に抗しながらガイドレール１４ａ，１４ｂに
沿って移動される。これにより、スピンドル１６は、回
転しながらその回転角度θに応じてガイドレール１４
ａ，１４ｂの案内方向に移動される。

【００４２】スピンドル１６が一方の方向へ回転駆動さ
れた場合には、スピンドル１７は他方の方向（反時計方
向）へ角度的に回転駆動される。この場合も、スピンド
ル１６の場合と同様に、偏心カム１９の回転によりスラ
イダ１３は、ばね部材３７の付勢力に抗しながらガイド
レール１５ａ，１５ｂに沿って移動される。これによ
り、スピンドル１７は、回転しながらその回転角度θに
応じてガイドレール１５ａ，１５ｂの案内方向に移動さ
れることになる。

【００４３】また、スピンドル１６が他方の方向（反時
計方向）へ回転駆動された場合には、スピンドル１７は
一方の方向（時計方向）へ角度的に回転駆動される。こ
の場合も、同様に、各スピンドル１６，１７は、回転し
ながらその回転角度θに応じてガイドレール１４ａ，１
４ｂ，１５ａ，１５ｂの案内方向に移動されることにな
る。

【００４４】スピンドル１６，１７が回転駆動される
と、スピンドル１６，１７に取り付けられている砥石ホ
ルダ２０，２１は、ガイドレール１４ａ，１４ｂ，１５
ａ，１５ｂの案内方向に移動しながらスピンドル１６，
１７の周りに角度的に回転されることになる。このと
き、砥石ホルダ２０，２１の砥石４９の先端位置は、ス
ピンドル１６，１７の中心から砥石２０，２１の先端位
置までの直線距離ｒ0および偏心カム１６，１７の偏心
量ｅに応じて決定された曲率半径の軌道に沿って移動す
る。即ち、砥石ホルダ２０，２１を、砥石４９の先端位
置が所定位置に保持された被加工物５０の超仕上げ対象
部位の曲率半径に沿って移動するように揺動させること
ができる。

【００４５】よって、本実施の形態では、２つのスピン
ドル１６，１７を同時に逆向きに駆動することによっ
て、振動的にバランスを取ることができ、揺動速度をよ
り速くすることが可能である。

【００４６】なお、本実施の形態では、ホルダ部４７の
先端部位４７ａと保持部材４８との間に砥石４９が保持
するように構成されているが、この構成は、砥石４９の
傾斜成分に誤差が発生せず、また被加工物５０の姿勢
（軸方向位置および傾斜）が変わる可能性がないことを
前提としたものであるが、超仕上げにおいては、前工程
（研削工程）で得られた被加工物５０の超仕上げ対象部
位の形状を崩さずに、その粗さを良くすることが望まれ
ているので、上記構成に代えて、砥石４９が被加工物５
０の姿勢の変化に追従可能なならい機構を用いることが
好ましい。

【００４７】具体的には、図８に示すように、砥石ホル
ダのホルダ部４７の先端部位４７ａには、中間部材５２
がピボット５３を介して取り付けられ、この中間部材５
２と先端部位４７ａとの間には、Ｏリング５５が嵌め込
まれている。中間部材５２には、複数のねじ部材５６に
より保持部材５４が取り付けられ、中間部材５２と保持
部材５４との間に砥石４９が挟持されている。この構成
により、砥石４９が被加工物５０の姿勢の変化に追従可
能になり、前工程（研削工程）で得られた被加工物５０
の超仕上げ対象部位の形状を崩さずに、その粗さを良く
することが確実に行われる。

【００４８】（第２実施の形態）次に、本発明の第２実
施の形態について図９を参照しながら説明する。図９
（ａ）は本発明の第２実施の形態に係る超仕上げ装置の
主要部構成を示す上面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＤ
−Ｄ線に沿って得られた縦断面図である。

【００４９】上述の第１実施の形態が規制部材として転
がり軸受を用いることに対し、本実施の形態では、規制
部材としてリニアガイドを用いる。これ以外の構成は上
述の第１実施の形態に同じであり、同一の部材には同一
の符号を付し、その説明は省略または簡略化する。

【００５０】具体的には、図９に示すように、スライダ
１２とスライダ１３との間には、偏心カム１８，１９の
カム部１８ｂ，１９ｂに当接される規制部材６１が設け
られている。規制部材６１は、支柱６３に設けられたガ
イドレール６２に係合しながら鉛直方向に摺動可能なリ
ニアガイドからなる。規制部材６１は、各スピンドル１
６，１７の加点に伴い偏心カム１８，１９が回転される
と、各偏心カム１８，１９から鉛直方向上向きまたは下
向きへの力を受けることになり、この受けた力の方向へ
移動される。

【００５１】このように、規制部材６１としてリニアガ
イドを用いることによって、さらに構造を簡素化するこ
とができる。また、規制部材６１の偏心カム１８，１９
のカム部１８ｂ，１９ｂとの当接面が平面であるので、
転がり軸受のように誤差が発生しない。さらに、規制部
材６１が各偏心カム１８，１９から受ける力は、同一作
用線上にあるので、負荷容量、剛性などの観点から、規
制部材６１にリニアガイドを用いることは有利である。

【００５２】（第３実施の形態）次に、本発明の第３実
施の形態について図１０および図１１を参照しながら説
明する。図１０（ａ）は本発明の第３実施の形態に係る
超仕上げ装置の構成を示す上面図、図１０（ｂ）は図１
０（ａ）の超仕上げ装置の正面図、図１１は偏心カム機
構の構成例を示す断面図である。

【００５３】本実施の形態の超仕上げ装置は、図１０に
示すように、ベース７１を備え、ベース７１には、２つ
のスライダ７２，７３が互いに対向するように搭載され
ている。

【００５４】スライダ７２は、ベース７１の上面に設け
られた一対のガイドレール７４ａ，７４ｂに沿って滑動
する複数のリニアガイド７２ａを有し、複数のリニアガ
イド７２ａにより一対のガイドレール７４ａ，７４ｂに
案内されながらベース７１上を移動可能に構成されてい
る。スライダ７２には、ガイドレール７４ａ，７４ｂと
直交する方向に伸びるスピンドル７６が回転可能に支持
されている。スピンドル７６の一端７６ａには、リンク
部材９０が取り付けられ、その他端７６ｂには、砥石ホ
ルダ８０が取り付けられている。この砥石ホルダ８０の
構成は、図７に示す構成と同じであり、ここでは、その
説明は省略する。

【００５５】スライダ７３は、スライダ７２と同様に、
ベース７１の上面に設けられた一対のガイドレール７５
ａ，７５ｂに沿って滑動する複数のリニアガイド７３ａ
を有し、複数のリニアガイド７３ａにより一対のガイド
レール７５ａ，７５ｂに案内されながらベース７１上を
移動可能に構成されている。スライダ７３には、ガイド
レール７５ａ，７５ｂと直交する方向に伸びるスピンド
ル７７が回転可能に支持されている。スピンドル７７の
一端７７ａには、リンク部材９１が取り付けられ、その
他端７７ｂには、砥石ホルダ８１が取り付けられてい
る。この砥石ホルダ８１は、砥石ホルダ８０と同じ構成
を有する（図７を参照）。

【００５６】スライダ７２とスライダ７３との間には、
偏心カム機構が設けられている。この偏心カム機構は、
ベース７１に固定されている軸箱８８と、軸箱８８に支
持されている回転軸８７とを有し、回転軸８７の一端に
はリンク部材８９が、その他端には支持板８６が設けら
れている。支持板８６には、一対の台座８５（一方のみ
を示す）が締結され、各台座８５には、互いに所定の間
隔をおいて配置されている２つの軸８２ａ，８３ａが取
り付けられている。ここで、各台座８５は、各軸８２
ａ，８３ａが回転軸８７の中心から距離ｅ（偏心量）分
離れた位置になるようにそれぞれ配置されている。軸８
２ａには円板８２が回転可能に支持され、軸８３ａに
は、円板８２の直径と同じ直径を有する円板８３が回転
可能に支持されている。円板８２はその縁部がスライダ
７２に設けられた当接部７２ｂに、円板８３はその縁部
がスライダ７３に設けられた当接部７３ｂにそれぞれ当
接するように位置決めされている。

【００５７】スライダ７２は、ばね部材１０３により、
当接部７２ｂが円板８２に押し付けられる方向に付勢さ
れている。ばね部材１０３は、ベース７１に固定されて
いる保持部材１０２に保持されている。同様に、スライ
ダ７３は、ばね部材１０５により、当接部７３ｂが円板
８３に押し付けられる方向に付勢されている。ばね部材
１０５は、ベース７１に固定されている保持部材１０４
に保持されている。

【００５８】スピンドル７６のリンク部材９０は、リン
ク部材９７を介して中間リンク部材９６に連結され、中
間リンク部材９６は、リンク部材９４を介して、回転軸
８７のリンク部材８９に連結されている。ここで、中間
リンク部材９６は、軸線の周りに回転する円板からな
り、中間リンク部材９６におけるリンク部材９７との連
結点およびリンク部材９４との連結点は、所定位置に設
けられている。スピンドル７７のリンク部材９１は、リ
ンク部材９９を介して中間リンク部材９８に連結され、
中間リンク部材９８は、リンク部材９５を介して、回転
軸８７のリンク部材８９に連結されている。ここで、中
間リンク部材９８は、その軸線の周りに回転する円板か
らなり、中間リンク部材９８におけるリンク部材９９と
の連結点およびリンク部材９５との連結点は、所定位置
に設けられている。

【００５９】回転軸８７のリンク部材８９は、回転軸８
７と同軸上の円板からなり、上記リンク部材９４，９５
とともに、リンク部材９３の一端が連結されている。リ
ンク部材９３の他端は、駆動モータ９２の回転運動を揺
動運動に変換するための変換部材（図示せず）に連結さ
れている。この変換部材は駆動モータ９２の出力軸（図
示せず）に固定され、変換部材におけるリンク部材９３
との連結点は、駆動モータ９２の出力軸に対して偏心量
Ｅ2分偏心した位置にある。この偏心量Ｅ2は、各スピン
ドル７６，７７および回転軸８７の回転角度θの最大値
を規定する。

【００６０】このようなリンク機構により、駆動モータ
９２の回転運動は各スピンドル７６，７７および回転軸
８７の揺動運動に変換される。回転軸８７は、角度的に
回転運動され、これに連動して各スピンドル７６，７７
は、互いに逆向きに角度的に回転運動される。例えば回
転軸８７が時計方向（図１０（ｂ）において）へ角度的
に回転されると、スピンドル７６は反時計方向へ、スピ
ンドル７７は時計方向へ角度的に回転される。また、回
転軸８７の回転に伴い支持板８６が回転軸８７の周りに
時計方向へ角度的に回転される。この支持板８６の回転
に伴い各円板８２，８３が回転軸８７を中心に時計方向
へ揺動すると、スライダ７２は、ばね部材１０３の付勢
力により、当接部７２ｂが円板８２に当接された状態で
ガイドレール７４ａ，７４ｂに沿って円板８２に向けて
移動される。スライダ７３は、ばね部材１０５の付勢力
により、当接部７３ｂが円板８３に当接された状態でガ
イドレール７５ａ，７５ｂに沿って円板８３に向けて移
動される。

【００６１】また、回転軸８７が反時計方向（図１０
（ｂ）において）へ角度的に回転された場合も同様であ
る。

【００６２】このよう構成により、スピンドル７６，７
７に取り付けられている砥石ホルダ８０，８１は、ガイ
ドレール７４ａ，７４ｂ，７５ａ，７５ｂの案内方向に
移動しながらスピンドル７６，７７の周りに回転するこ
とになる。このとき、砥石ホルダ８０，８１の砥石の先
端位置は、スピンドル７６，７７の中心から砥石の先端
位置までの直線距離ｒ0および上記偏心カム機構の偏心
量ｅに応じて決定された曲率半径の軌道に沿って移動す
る。即ち、砥石ホルダ８０，８１を、砥石の先端位置が
所定位置に保持された被加工物の超仕上げ対象部位の曲
率半径に沿って移動するように揺動させることができ
る。

【００６３】また、本実施の形態では、２つのスピンド
ル７６，７７を同時に逆向きに駆動することによって、
振動的にバランスを取ることができ、揺動速度をより速
くすることが可能である。

【００６４】また、本実施の形態において、偏心カム機
構の偏心量ｅを調整可能にする場合には、図１１に示す
ような偏心カム機構を用いればよい。この偏心カム機構
は、図１１に示すように、回転軸８７に設けられた支持
板１１６を有し、この支持板１１６には、あり溝１１６
ａが形成されている。支持板１１６には、一対の台座１
１５が対応する止めねじ１１９によりあり溝１１６ａを
介して締結され、各台座１１５には、それぞれ軸１１３
が取り付けられている。各軸１１３には、上記円板８
２，８３に相当する転がり軸受１１１が支持されてい
る。各台座１１５は、それぞれの軸１１３が回転軸８７
の中心から距離ｅ（偏心量）分離れた位置になるように
それぞれ配置されている。また、各台座１１５には、止
めねじ１１９を受け入れるための位置調整用穴部１１５
ａが形成され、各台座１１５間の間隔即ち偏心量ｅは基
準プラグ１１７により調整することが可能である。基準
プラグ１１７はその軸線が回転軸８７と同軸上になるよ
うに支持板１１６に形成された穴に嵌合される。例え
ば、異なる幅の複数の基準プラグ１１７を準備し、偏心
量ｅに応じた幅の基準プラグ１１７を支持板１１６に取
り付けることによって、各台座１１５間の間隔即ち軸１
１３と回転軸８７との距離（偏心量）ｅを調整すること
ができる。この間隔の調整により、各台座１１５の支持
板１１６に対する相対位置が変化した場合、その位置変
化に伴い各台座１１５における止めねじ１１９の位置は
変化するが、位置調整用穴部１１５ａが設けられている
ので、各台座１１５の相対位置の調整後も、調整前と同
じように、各台座１１５を支持板１１６に止めねじ１１
９により取り付けることができる。

【００６５】このような構成の偏心カム機構を設けるこ
とによって、偏心量ｅを容易に調整することができる。
その結果、砥石の先端位置が描く軌跡の曲率半径を容易
に変更することができ、曲率が異なる複数の被加工物の
超仕上げに対応することが可能になる。

【００６６】また、本実施の形態の超仕上げ装置は、球
面ころだけでなく、内外輪の軌道溝の超仕上げに適用す
ることも可能である。この場合、一方のスピンドルのみ
を揺動させ、他方のスピンドルを負荷マスとして追従さ
せるように構成すればよい。

【００６７】（第４実施の形態）次に、本発明の第４実
施の形態について図１２ないし図１４を参照しながら説
明する。図１２は本発明に係る超仕上げ装置を用いた超
仕上げラインの構成を模式的に示す図、図１３は図１２
の超仕上げラインにおいて被加工物の超仕上げを実施し
ている状態を示す図、図１４は図１２のラインにおける
ボックスの移動を模式的に示す図である。

【００６８】本実施の形態では、研削ラインから受けた
被加工物を、上述の各実施の形態で示した超仕上げ装置
のいずれかを用いて超仕上げを行うラインを説明する。

【００６９】現状の研削盤では、３．６秒のサイクルタ
イムが実現可能であるが、この研削盤のサイクルタイム
に１対１で対応するためには、超仕上げラインにおい
て、２つの砥石ホルダを設けた場合（２軸の場合）、サ
イクルタイムを３．６秒で実現する必要がある。この
３．６秒のサイクルタイムの実現には、比較的交差角に
影響されずに目詰まりが少ない砥石（例えばＣＢＮ砥
石）を使用し、被加工物の回転数を増大させることが条
件となる。また、被加工物のローディング、アンローデ
ィングに要する時間を短くすることが重要である。そこ
で、超仕上げラインにおいては、被加工物の支持に２ロ
ール方式（図７を参照）を用い、また被加工物の搬送に
ボックスを用いる。

【００７０】具体的には、図１２に示すように、本ライ
ンは、研削ラインからの被加工物１５１を受け取る入口
部１５０と、超仕上げを行う加工部１６０と、超仕上げ
後の被加工物１５１を排出する出口部１７０とを含み、
入口部１５０から出口部１７０への被加工物１５１の搬
送には、ボックス１５２が用いられる。ボックス１５２
には、被加工物１５１をそれぞれ保持する２つの保持部
１５２ａが設けられている。

【００７１】ボックス１５２は、移動台１５３に搭載さ
れている。この移動台１５３には、送りねじ機構および
リニアガイドが組み込まれている。送りねじ機構はねじ
軸１５３ａおよび移動台１５３に固定されているナット
部（図示せず）を有し、このねじ軸１５３ａは上記ナッ
ト部に螺合され、駆動モータ１５６により駆動される。
移動台１５３のリニアガイド１５４は水平ガイドレール
１５５に摺動可能に係合されている。駆動モータ１５６
によりねじ軸１５３ａが駆動されると、移動台１５３
は、水平ガイドレール１５５に沿って移動される。

【００７２】移動台１５３は、図１３に示すように、複
数の支持部材１５８に支持され、各支持部材１５８は、
ベース１７４に固定されている支柱１７３に設けられた
垂直ガイドレール１７２に沿って鉛直方向に移動可能に
構成されている。各支持部材１５８には、送りねじ機構
１５９および垂直ガイドレース１７２に摺動可能に係合
する複数のリニアガイド１７１が設けられている。各支
持部材１５８の送りねじ機構１５９は駆動モータ１５７
により駆動され、これにより各支持部材１５８は鉛直方
向に移動される。各支持部材１５８の鉛直方向への移動
により移動台１５３を鉛直方向へ移動させることが可能
である。

【００７３】入口部１５０においては、研削ラインから
２つの被加工物１５１を受け取り、各被加工物１５１を
ボックス１５２に積載する。被加工物１５１を積載した
ボックス１５２は、移動台１５３の移動により加工部１
６０に送られる（図１４のＡ１）。

【００７４】加工部１６０においては、図１２および１
３に示すように、ボックス１５２に積載された２つの被
加工物１５１を互いに対向する一対のローラ１６３間に
保持する。この際、各被加工物１５１は、２つの砥石ホ
ルダ１６１にそれぞれ保持されている砥石１６２に対し
てそれぞれ位置決めされ、回転される。各砥石１６２
は、上述の各実施の形態において説明したように、対応
する被加工物１５１の加工対象部位に押し付けられなが
らこの部位の曲率半径で揺動する。これにより、各被加
工物１５１の加工対象部位が超仕上げされる。

【００７５】そして、超仕上げ後の被加工物１５１を積
載したボックス１５２は、移動台１５３の移動により出
口部１７０に送られる。出口部１７０においては、移動
台１５３を鉛直方向下方へ向けて移動し（図１４のＡ
２）、ボックス１５２に積載されている被加工物１５１
を外部に排出する。この後、ボックス１５２は、移動台
１５３の移動により入口部１５０に戻され（図１４のＡ
３）、移動台１５３は鉛直方向上方へ向けて移動される
（図１４のＡ４）。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
偏心カムが規制部材に当接され、回転軸が付勢部材によ
り付勢された状態で回転軸を角度的に回転駆動すること
により、回転軸を所定方向へ移動させながら砥石を回転
軸の周りに揺動させるので、回転軸の軸線から砥石の先
端位置までの直線距離および偏心カム部材の偏心量を適
宜設定することによって、被加工物の超仕上げ部位に対
応する曲率半径の軌道に沿って砥石の先端を揺動させる
ことが可能になる。また、この揺動機構を簡素化された
構造で実現することが可能となる。さらに、揺動機構全
体の質量が小さくすることができるので、揺動速度を増
すことが可能になり、加工効率の向上を図ることができ
る。即ち、構造を簡素化することができ、曲率が小さい
超仕上げ対象部位の超仕上げの場合と同様に、高い加工
効率で、精度および粗さが良い仕上げを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超仕上げ方法を実現するための装
置の基本構成を示す図である。

【図２】図１の砥石先端位置Ｐが回転軸の回転に応じて
描く軌跡を示す図である。

【図３】図１の回転軸の中心から砥石先端位置Ｐまでの
直線距離ｒ0を変数とした場合の偏心カムの偏心量ｅと
曲率半径（超仕上げ加工半径）Ｒ0との関係を示す図で
ある。

【図４】図１の偏心カムの偏心量ｅを変数とした場合の
回転軸の中心から砥石先端位置Ｐまでの直線距離ｒ0と
曲率半径（超仕上げ加工半径）Ｒ0との関係を示す図で
ある。

【図５】（ａ）は本発明の第１実施の形態に係る超仕上
げ装置の構成を示す上面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線
に沿って得られた縦断面図である。

【図６】（ａ）は図５の偏心カムの正面図、（ｂ）は図
５の偏心カムの側面図、（ｃ）は図５の偏心カムの斜視
図である。

【図７】（ａ）は図５の砥石ホルダの構成を示す縦断面
図、（ｂ）は（ａ）のＢから見た矢視図である。

【図８】（ａ）は砥石ホルダの先端部の他の構成例の正
面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿って得られた断面
図である。

【図９】（ａ）は本発明の第２実施の形態に係る超仕上
げ装置の主要部構成を示す上面図、（ｂ）は（ａ）のＤ
−Ｄ線に沿って得られた縦断面図である。

【図１０】（ａ）は本発明の第３実施の形態に係る超仕
上げ装置の構成を示す上面図、（ｂ）は（ａ）の超仕上
げ装置の正面図である。

【図１１】偏心カム機構の構成例を示す断面図である。

【図１２】本発明に係る超仕上げ装置を用いた超仕上げ
ラインの構成を模式的に示す図である。

【図１３】図１２の超仕上げラインにおいて被加工物の
超仕上げを実施している状態を示す図である。

【図１４】図１２のラインにおけるボックスの移動を模
式的に示す図である。

【図１５】従来の超仕上げ装置の主要部構成を示す正面
図および側面図である。

【図１６】従来の被加工物における曲率が小さい部位に
超仕上げを施す装置の主要部構成を示す正面側断面図、
側面側断面図および砥石の先端周囲を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１，１１，７１ベース２ａ回転軸３，２０，２１砥石ホルダ４，４９砥石５，１８，１９偏心カム６ａ，６ｂ，２３，２４，６１規制部材１６，１７スピンドル３５，３７，１０３，１０５ばね部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物の曲面形成部位の超仕上げ方法
において、軸線と直交する第１の方向へ移動可能なよう
に基台上に支持されている回転軸に該回転軸の軸線と直
交する第２の方向へ所定距離をおいて砥石を取り付ける
とともに、該回転軸に対して偏心する偏心カム部材を同
軸上に取り付け、前記偏心カム部材に当接する規制部材
および前記偏心カム部材を前記第１の方向へ前記規制部
材に向けて付勢する付勢部材を前記基台に設け、前記偏
心カムが前記規制部材に当接されかつ前記回転軸が前記
付勢部材により付勢された状態で前記回転軸を角度的に
回転駆動することにより、前記回転軸を前記第１の方向
へ移動させながら前記砥石を前記回転軸の周りに揺動さ
せることを特徴とする超仕上げ方法。
【請求項２】被加工物の曲面形成部位の超仕上げ装置
において、基台と、軸線と直交する第１の方向へ前記基
台上を移動可能なように支持されている回転軸と、前記
回転軸に該回転軸の軸線と直交する第２の方向へ所定距
離をおいて取り付けられている砥石と、前記回転軸に同
軸上に取り付けられ、該回転軸に対して偏心する偏心カ
ム部材と、前記基台に設けられ、前記偏心カム部材に当
接されている規制部材と、前記基台に設けられ、前記偏
心カム部材を前記第１の方向へ前記規制部材に向けて付
勢する付勢部材と、前記回転軸を角度的に回転駆動する
駆動機構とを備えることを特徴とする超仕上げ装置。