JP2003181768A - 識別表示を有する研磨シート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】研磨シートの表裏、及び／又は品番などの識別
が、使用状態でも容易に、確実に行えるようにして、表
裏面を逆に使用することのない識別表示を有する研磨シ
ートを提供する 【解決手段】基材フィルムの一方の面に、研磨使用時に
必要領域となる任意のパターン状に形成した研磨層を有
する研磨シートにおいて、前記研磨層の非使用領域の、
基材フィルムの表面及び／又は裏面に、識別のための識
別表示を設けたことを特徴とし、また、上記研磨層及び
上記識別表示の形成手段がスクリーン印刷法であって、
かつ、研磨層と識別表示とが同じ面にあることを特徴と
する

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被研磨物の研磨に
用いる研磨シートに関し、さらに詳しくは、該研磨シー
トの品番などの識別表示、及び／又は表裏すなわち研磨
層の側を識別表示して、被研磨物に対して誤りなく使用
できる識別表示を有する研磨シートに関するものであ
る。

【０００２】

【従来技術】半導体の集積回路形成時の平坦化、光ファ
イバなど精密部品、光学レンズ、磁気ヘッド、磁気及び
光学ディスク、半導体ウェハなどの、表面や端面の仕上
げ研磨は、ミクロン又は、サブミクロン単位の精密な表
面精度をもつこと要求されている。該精密仕上げ研磨に
は、基材フィルムに硬度の高い研磨粒子を含む研磨層を
設け、かつ、該研磨層の表面粗さが極めて小さい研磨シ
ートが使用されていた。研磨工程が仕上げ段階に近づく
ほど小さい研磨粒子径の粒子を用いるので、研磨層の表
面はより平滑となって、該研磨シートの表裏の識別は難
しくなり、裏面で研磨してしまうという誤使用の問題が
あった。この問題を解決するために、種々の提案がされ
ている。

【０００３】従来、研磨シート層の表裏及び／又は品番
などの識別は、研磨粒子の色調で行う、裏面の基材フィ
ルムに印刷表示をする方法が、知られている。しかしな
がら、研磨層の色では、研磨粒子が同種色のものでは目
視だけでは判別できず、表裏面の区別も困難な場合があ
る。研磨層と反対側の基材フィルムの裏面に印刷表示し
たものでは、研磨層側からの確認ができず、研磨装置に
セットした状態では識別できないという欠点がある。ま
た、米国特許第５，１３７，５４２号明細書で、識別表
示を印刷したシールを貼着する方法が、知られている。
しかしながら、該シールを添付する工程に時間と費用必
要とし、また、研磨工程が研磨液や潤滑油を用いた湿式
研磨の場合、添付したシールの剥離・脱落して研磨面に
混入したり、シールの粘着剤を混入したりするという問
題点がある。

【０００４】さらに、表裏を識別する切り欠き部又は抜
きマークを設けた研磨シートが特開平１０−５８３３３
号公報で、知られている。しかしながら、単純な抜き又
は断裁加工での形状による表示では情報量が不足して、
表裏の識別ができるが、品番、研磨材、粒子径などの研
磨シートの識別には不足で、研磨工程の作業性が低下す
る原因ともなるという欠点がある。さらにまた、表裏を
識別する印刷部を研磨層の非使用領域に設けた研磨シー
トが特開２００１−２５２８７８号公報で、開示されて
いる。しかしながら、研磨層の表面に印刷表示するに
は、研磨層を形成した後に別工程で、識別表示を印刷し
なければならないという欠点がある。また、研磨層の表
面に印刷表示したものでは、基材フィルム面から、特に
研磨粒子が酸化クロムのように濃色の場合には、表示が
判別しにくいという問題点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明はこの
ような問題点を解消するためになされたものである。そ
の目的は、研磨シートの表裏、及び／又は品番などの識
別が、使用状態でも容易に、確実に行えるようにした識
別表示を有する研磨シートを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１の発明に係わる識別表示を有する研磨シ
ートは、基材フィルムの一方の面に、研磨使用時に必要
領域となる任意のパターン状に形成した研磨層を有する
研磨シートにおいて、前記研磨層の非使用領域の、基材
フィルムの表面及び／又は裏面に、識別のための表示を
設けるようにしたものである。本発明によれば、研磨シ
ートの表裏、及び／又は品番などの識別が、使用状態で
も容易に、確実に行える研磨シートが提供される。

【０００７】請求項２の発明に係わる識別表示を有する
研磨シートは、上記表示を、回転状態で使用される円盤
状の研磨シートの、研磨層の使用領域のパターン形状
が、回転中心部を始点とした２つの同心円で囲まれた形
状であって、該使用領域以外の中心部及び／又は縁端部
の非使用領域に設けるようにしたものである。本発明に
よれば、研磨層を使用領域のみに設けるので、研磨層の
面積が最小限、すなわち高価な研磨粒子が少なくて済
む、安価で省資源な研磨シートが提供される。請求項３
の発明に係わる識別表示を有する研磨シートは、研磨層
及び上記識別表示の形成手段がスクリーン印刷法であっ
て、かつ、研磨層と識別表示とが同じ面にあるようにし
たものである。本発明によれば、識別表示と研磨層と
が、１工程で形成することができる安価な研磨シートが
提供される。請求項４の発明に係わる識別表示を有する
研磨シートは、識別表示が、少なくとも、品番及び／又
はロット番号であるようにしたものである。本発明によ
れば、研磨シートの品番の識別が容易に確実に行えて、
誤使用することの少ない研磨シートが提供される。請求
項５の発明に係わる識別表示を有する研磨シートは、識
別表示が、少なくとも、非対称の文字、記号、イラスト
であるようにしたものである。本発明によれば、研磨シ
ートの表裏の識別が容易に行えて、表裏逆に使用するこ
との少ない研磨シートが提供される。

【０００８】請求項６の発明に係わる識別表示を有する
研磨シートは、研磨層に含有される研磨粒子が、ダイヤ
モンド、アルミナ、酸化鉄、カーボランダム、酸化クロ
ム、酸化セリウム、シリカのうち少なくとも１種類から
なるようにしたものである。本発明によれば、被研磨物
が、光学レンズ、光学ディスク、及び光ファイバ部とフ
ェルール部とを同時に研磨する光コネクタ部などの光学
部品の端面を研磨する研磨シートが提供される。請求項
７の発明に係わる識別表示を有する研磨シートは、研磨
層のバインダが、熱硬化樹脂であるようにしたものであ
る。本発明によれば、研磨粒子が脱落しにくく、被研磨
材を傷付けることの少ない研磨シートが提供される。請
求項８の発明に係わる識別表示を有する研磨シートは、
研磨層が、電離放射線で反応する少なくとも１つの、官
能基を有するバインダ前駆体と、研磨粒子と、を含む研
磨層組成物を、基材フィルムの一方の面にスクリーン印
刷法で印刷し、電離放射線で硬化させてなるようにした
ものである。本発明によれば、研磨粒子が脱落しにく
く、かつ、研磨層の微細な凹部へ研磨屑を補足して、被
研磨材へ傷付けることの少ない研磨シートが提供され
る。

【０００９】請求項９の発明に係わる識別表示を有する
研磨シートは、研磨層が、基材フィルムに設けたプライ
マー層を介して形成するようにしたものである。本発明
によれば、研磨層が基材フィルムへ強固に接着して、研
磨粒子が脱落しにくい研磨シートが提供される。請求項
１０の発明に係わる識別表示を有する研磨シートは、研
磨層に、部分的な溝部を設けるようにしたものである。
本発明によれば、溝部が研磨屑や脱落研磨粒子を補足し
て、被研磨材へ傷付けることの少ない研磨シートが提供
される。請求項１１の発明に係わる識別表示を有する研
磨シートは、研磨層の非使用領域の基材フィルム面へ撥
水層を設けるようにしたものである。本発明によれば、
研磨時に使用する潤滑剤が、研磨層面へ均一に展開し
て、研磨精度の良い研磨シートが提供される。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明について、図面を参照しな
がら詳細に説明する。図１は、本発明の１実施例を示す
研磨シートの平面図である。図２は、図１のＡＡ断面図
である。本発明の研磨シート１０は、基材フィルム１１
の一方の面へ、直接又はプライマー層１３を介して、研
磨層１５を設けたものである。該研磨層１５は、研磨時
に必要となる使用領域となる任意のパターン状に形成す
れば良い。図１の例では、被研磨材を研磨する際に使用
しない非使用領域として、縁端部２１と中心部２３に
は、研磨層を形成しない。図１の例では、研磨時に必要
となる使用領域、すなわち、研磨層１５は、同心円状の
円に囲まれた帯状のパターンとなっているが、該研磨層
１５の形状は特に限定されず、被研磨材の形状に合わせ
て、適宜形成すれば良い。また、研磨シート１０も、図
１の例の円盤状に限らず、例えば、正方形、長方形、楕
円形、小判形でも良い。そして、非使用領域の縁端部２
１及び／又は中心部２３の、研磨シート１０の基材フィ
ルム１１の、表面及び／又は裏面に、識別のための表示
を設けたものである。非使用領域の縁端部２１及び／又
は中心部２３の形状も、研磨シート１０、及び研磨層１
５のパターン形状によって変化するのは、言うまでもな
い。

【００１１】図３は、従来の研磨シートの平面図であ
る。図４は、図３のＢＢ断面図である。研磨層１５の面
積は、図１の本発明の研磨シート１０が、図３の従来の
研磨シートと比較すると小さい。研磨層の面積は、被研
磨材の大きさ、使用する研磨機械によって、研磨層を形
成していなくて良い縁端部２１及び中心部２３の大きさ
が変化するが、いずれにしても、数十％程度の大幅な小
さい面積で良い。高価な研磨粒子を削減をすることがで
きる。

【００１２】また、識別表示１０１を、研磨層を形成し
ていなくて良い縁端部２１及び中心部２３へ設けること
ができる。図３の従来例の識別表示は、研磨層の上にあ
るために、研磨層の表面に印刷表示するには、研磨層を
形成した後に別工程で、識別表示を印刷しなければなら
ない。さらに、研磨層の表面に印刷表示したものでは、
基材フィルム面から、特に研磨粒子が酸化クロムのよう
に濃色の場合には、表示が判別しにくい。本発明の識別
表示１０１は、研磨層１５面上ではなく、通常、透明な
基材フィルム１１上に、直接設けられているために、研
磨層の影響を受けず判読しやすい。また、基材フィルム
１１上には、必要に応じて、プライマー層１３が設けら
れているが、通常、プライマー層も透明なので、何らの
影響も受けない。

【００１３】さらに、識別表示１０１は、研磨層１５を
形成していなくて良い縁端部２１及び中心部２３へ設け
るので、研磨層１５の形成と同一の工程で、識別表示１
０１を形成することができる。この場合には、研磨層１
５と識別表示１０１の形成手段は、後述するスクリーン
印刷法が好適である。該スクリーン印刷法を用いて、同
一のスクリーン版へ研磨層１５のパターン及びお識別表
示１０１の絵柄を製版して、印刷すれば１工程で、研磨
層１５と識別表示１０１の形成をすることができる。識
別表示１０１の形成には、研磨層組成物が消費される
が、絶対量的には僅かであり、工程短縮の効果の方が大
きい。もちろん、別工程で形成しても、前述の判読のし
やすさなどは変わらない。

【００１４】基材フィルム１１は、研磨時の潤滑剤や機
械的な強度と、研磨剤の塗工・乾燥に耐える強度・耐熱
性、寸法変化が少ないフィルムから適宜に選択できる。
例えば、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリブチレンテ
レフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト、ポリエチレ
ンテレフタレート−イソフタレート共重合体、テレフタ
ル酸‐シクロヘキサンジメタノール‐エチレングリコー
ル共重合体、ポリエチレンテレフタレート／ポリエチレ
ンナフタレートの共押し出しフィルムなどのポリエステ
ル樹脂、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン６１０な
どのポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン系樹脂、
ポリ塩化ビニルなどのビニル系樹脂、ポリアクリレー
ト、ポリメタアクリレート、ポリメチルメタアクリレー
トなどのアクリル系樹脂、ポリイミド・ポリアミドイミ
ド・ポリエーテルイミドなどのイミド系樹脂、ポリアリ
レ−ト・ポリスルホン・ポリエーテルスルホン、ポリフ
ェニレンエ−テル・ポリフェニレンスルフィド（ＰＰ
Ｓ）・ポリエーテルケトン、ポリエーテル‐エーテルケ
トン、ポリエーテルサルファイトなどのエンジニアリン
グ樹脂、ポリカ−ボネ−ト、ポリスチレン・高衝撃ポリ
スチレン・ＡＳ樹脂・ＡＢＳ樹脂などのスチレン系樹
脂、セロファン・セルローストリアセテート・セルロー
スダイアセテート・ニトロセルロースなどのセルロース
系フィルム、などがある。

【００１５】該基材フィルムは、これら樹脂を主成分と
する共重合樹脂、又は、混合体（アロイでを含む）若し
くは複数層からなる積層体であっても良い。また、該基
材フィルムは、延伸フィルムでも、未延伸フィルムでも
良いが、強度を向上させる目的で、一軸方向又は二軸方
向に延伸したフィルムが好ましい。

【００１６】特に、研磨層の塗工適性、後加工適性及び
研磨機における取扱いに優れたポリエチレンテレフタレ
ートフィルムが好適である。該プラスチックフィルムの
厚さは、被研磨材の材質、大きさ、厚さなどから適宜選
択すれば良いが、その厚さは、例えば、１２〜２５０μ
ｍである。基材フィルム１１は、作業工程での粉塵の付
着を防止するために、帯電防止剤を加えても良い。帯電
防止剤は、公知の非イオン性界面活性剤、陰イオン性界
面活性剤、陽イオン性界面活性剤などやポリアミド誘導
体やアクリル酸誘導体などを、適宜に選択して加える。

【００１７】次に、基材フィルム１１の一方の面へ、研
磨層１５を塗布する。該研磨層１５を塗布する側には、
両者の接着性を向上させるためにプライマー層１３、又
はコロナ放電処理、オゾンガス処理などの易接着処理を
施すことが好ましい。特に、プライマー層１３は、研磨
層１５との接着性を向上させ、バインダ１７と研磨粒子
１９の脱落を防止して安定した研磨作業ができ、例え
ば、ポリウレタン、ポリエステル、ポリ塩化ビニル系樹
脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、
ポリビニルアセタール樹脂、エチレンと酢酸ビニル或い
はアクリル酸などとの共重合体、エポキシ樹脂などが適
用できる。

【００１８】これらの樹脂を、適宜溶剤に溶解又は分散
して塗布液とし、これを基材フィルム１１に公知のコー
ティング法で塗布し乾燥してプライマー層１３とする。
また、樹脂にモノマー、オリゴマー、プレポリマーなど
と、反応開始剤、硬化剤、架橋剤などを適宜組み合わせ
たり、あるいは、主剤と硬化剤とを組み合わせて、塗布
し乾燥して、乾燥又は乾燥した後のエージング処理によ
って反応させて、形成しても良い。該プライマー層１３
の厚さは、薄くてよく、０．０５〜５μｍ程度で良い。

【００１９】次いで、プライマー層１３面に積層する研
磨層１５は、研磨粒子１９と、バインダ１７とからな
る。通常、バインダ１７となる樹脂の溶液中に研磨粒子
１９を分散させたインキを、印刷手段により、塗布し乾
燥して、必要な場合には、更に加熱で硬化、又は電離放
射線で硬化させて形成する。すなわち、バインダとして
は、塗布乾燥型の熱可塑性樹脂、熱で硬化させる熱硬化
樹脂、電離放射線で硬化させる紫外線（ＵＶともいう）
硬化樹脂、電子線で硬化させる電子線（ＥＢともいう）
硬化樹脂が適用できる。研磨層１５の厚さは、使用する
研磨粒子の粒子径などによっても異なるが２μｍ〜２０
μｍである。

【００２０】研磨粒子１９としては、例えば、シリカ
（酸化珪素）、アルミナ、炭化珪素、ダイヤモンド、酸
化鉄、酸化クロム、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、
酸化チタン、窒化珪素、酸化アンチモン、窒化ホウ素、
リチウムシリケートなどを、単独、又は二種以上を組み
合わせて使用することができる。ガラス材及び光ファイ
バの研磨には、ダイヤモンド、アルミナ、酸化鉄、カー
ボランダム、酸化クロム、酸化セリウム、シリカが好適
で、特に、硬度が高いダイヤモンドが最適である。該研
磨粒子１９の粒子径は、平均粒子径で０．００５μｍ〜
１０μｍの範囲が好ましい。

【００２１】研磨層１５の塗布乾燥型のバインダ１７と
しては、シロキサン結合を有する樹脂、ポリエステル系
樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、
ポリアクリル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポ
リエチレン系樹脂、ポリビニルアセタール系樹脂、ゴム
及びその誘導体、ポリアミド系樹脂、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体系樹脂などの熱可塑性樹脂が適用でき
る。また、通常、バインダ１７樹脂１００重量部に対し
て、研磨粒子１９の無機質微粉末が１００〜１４００重
量部程度の割合で混入させれば良い。

【００２２】さらに、研磨層１５を形成するインキの溶
剤には、バインダ樹脂の種類に応じて、例えば、トルエ
ン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチル
ケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル、エタノール、イソプ
ロピルアルコール、アノン、ソルベッソ等からなる単独
溶剤あるいはこれらの２種以上の混合溶剤等が使用さ
れ、また、必要に応じて、粘度調整剤、分散剤、帯電防
止剤、可塑剤、顔料などを添加しても良く、スクリーン
印刷に相応しい粘度と印刷適性を持つインキに調製す
る。

【００２３】また、研磨層１５の熱硬化型のバインダ１
７としては、活性水素を有する官能基（−ＯＨ、−ＮＨ
₂、−ＣＯＯＨなど）と硬化剤と、を反応させた熱硬化
性樹脂が適用できる。活性水素を有する官能基（−Ｏ
Ｈ、−ＮＨ₂、−ＣＯＯＨなど）を有する樹脂として
は、ポリエ−テル系ポリオ−ル、ポリエステル系ポリオ
−ル、ポリアクリレ−トポリオ−ル等のヒドロキシル基
含有化合物などが適用できる。硬化剤としては、例え
ば、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、キシリレン
ジイソシアナート（ＸＤＩ）、ヘキサメチレンジイソシ
アナート（ＨＭＤＩ）、イソホロンジイソシアナート
（ＩＰＤＩ）などのイソシアネート系硬化剤が適用でき
る。該イソシアネート系硬化剤の添加量は、イソシアネ
ート系硬化剤のイソシアナート基（−ＮＣＯ）とバイン
ダ樹脂における官能基との当量比、すなわち、［（−Ｎ
ＣＯ）／バインダ樹脂における官能基］で表示される当
量比が、０．５〜１０の範囲内にあることが好ましい。
該熱硬化樹脂による研磨層１５は、耐摩耗性、耐溶剤
性、耐熱性などが向上し、さらに、研磨層１５と、基材
フィルム１１又はプライマー層１３と密着性が向上し
て、研磨粒子の脱落が防止される。

【００２４】また、研磨層１５の電離放射線硬化型のバ
インダ１７としては、電離放射線で硬化するバインダ前
駆体が適用でき、紫外線硬化の場合は光重合開始剤、及
び／又は光重合促進剤を添加し、エネルギーの高い電子
線硬化の場合は添加しないで良く、また、適正な触媒が
存在すれば、熱エネルギーでも硬化できる。上記電離放
射線としては、紫外線、可視光線、ガンマー線、Ｘ線、
又は電子線などが適用できるが、紫外線（ＵＶ）、電子
線（ＥＢ）が好適である。

【００２５】さらに、紫外線照射は、研磨層組成物に光
重合開始剤、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノ
ン類、ミヒラーベンゾイルベンゾエート、αーアミロキ
シムエステル、テトラメチルメウラムモノサルファイ
ド、チオキサントン類などの光重合開始剤と、必要に応
じて光増感剤、例えば、ｎ−ブチルアミン、トリエチル
アミン、トリーｎーブチルホスフィンなどを添加する。
紫外線硬化に用いる紫外線（ＵＶ）ランプは、高圧水銀
ランプ、メタルハライドランプが適用でき、紫外線の波
長は２００〜４００ｎｍ程度で、組成物成分に応じて、
波長を選択すれば良い。その照射量は、組成物の材質や
量と、ＵＶランプの出力と、加工速度に応じて照射すれ
ば良い。

【００２６】該バインダ前駆体としては、電離放射線で
重合（硬化ともいう）反応する少なくとも１つの、官能
オリゴマー、官能ポリマーなどの硬化性成分が適用でき
る。該硬化性成分としては、ラジカル重合性不飽和二重
結合を有する化合物が適用でき、２官能以上の多官能モ
ノマー、官能オリゴマー、官能ポリマーなどがあり、さ
らに１官能モノマーを加えても良い。また、電離放射線
で重合（硬化ともいう）する官能基としては、アクリロ
イル基、メタクリロイル基、アリル基、又はエポキシ基
である。また、本明細書においては、（メタ）アクリル
酸とは、アクリル酸もしくはメタクリル酸を意味する。
（メタ）アクリレートとは、アクリレートもしくはメタ
クリレートを意味し、同様の表記はこれに準ずる。

【００２７】２官能モノマーとしては、例えば、１，６
‐ヘキサンジオールアクリレート（ＨＤＤＡ）、ジエチ
レングリコールジアクリレート（ＤＥＧＤＡ）、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレート（ＮＰＧＤＡ）、トリ
プロピレングリコールジアクリレート（ＴＰＧＤＡ）、
ポリエチレングリコール４００ジアクリレート（ＰＥＧ
４００ＤＡ）、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペン
チルグリコールジアクリレート（ＨＰＮＤＡ）、ビスフ
ェノールＡＥＯ変成ジアクリレート、１，４‐ビス
［（３‐エチル‐３‐オキセタニルメトキシ）メチル］
ベンゼンなどが適用できる。

【００２８】多官能モノマーとしては、エチレングリコ
ール、グリセリン、ペンタエリスルトール、エポキシ樹
脂等の２官能以上の化合物に（メタ）アクリル酸又はそ
の誘導体を反応させて得られる２官能以上の（メタ）ア
クリロイルモノマーなどが適用でき、例えば、トリメチ
ロールプロパンアクリレート（ＴＭＰＴＡ）、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート（ＰＥＴＡ）、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート（ＰＥＨＡ）、ジペ
ンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメチロー
ルプロパンＥＯ変成トリアクリレート、ジメチロールプ
ロパンテトラアクリレートなどが例示できる。

【００２９】官能オリゴマー（プレポリマーとも呼ばれ
る）としては、分子量（重量平均）が約３００〜５００
０程度で、分子内中に（メタ）アクリロイル基、メタク
リロイル基、アリル基、又はエポキシ基などのラジカル
重合性二重結合を有するポリウレタン系、ポリエステル
系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系、ポリ（メ
タ）アクリル酸エステル系が適用でき、例えば、ウレタ
ン（メタ）アクリレート、イソシアヌレート（メタ）ア
クリレート、ポリエステル‐ウレタン（メタ）アクリレ
ート、エポキシ（メタ）アクリレートなどが例示でき
る。

【００３０】官能ポリマーとしては、分子量（重量平
均）が約１０００〜３０万程度で、アクリロイル基、メ
タクリロイル基、アリル基、又はエポキシ基などのラジ
カル重合性二重結合を有するウレタン（メタ）アクリレ
ート、イソシアヌレート（メタ）アクリレート、ポリエ
ステル‐ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メ
タ）アクリレートが適用できる。

【００３１】１官能モノマーとしては、例えば、アクリ
ル酸、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸‐２‐エチルヘキシル、アクリル
酸イソブチル、メチルメタクリレート、２‐エチルヘキ
シルアクリレート、２‐ヒドロキシエチルアクリレー
ト、２‐ヒドロキシプロピルアクリレート、ノニルフェ
ノールＥＯ付加物アクリレート（ＤＮＰＡ）、２‐ヒド
ロキシ‐３‐フェノキシプロピルアクリレート（ＨＰＰ
Ａ）、３‐エチル‐３‐ヒドロキシメチルオキセタン、
などの（メタ）アクリル酸又はそのアルキル若しくはア
リールエステル、スチレン、メチルスチレン、スチレン
アクリロニトリルなどが適用できる。

【００３２】以上に説明した硬化性のモノマー、及び／
又はオリゴマー、及び／又はポリマーを、バインダ前駆
体へ含有させれば良い。これらの硬化性成分を、例え
ば、バインダの研摩粒子や顔料などの反応に影響しない
成分を除いた量に対して、５重量％以上、好ましくは１
０〜９０重量％、更に好ましくは、２０〜８０重量％含
有させることによって、電離放射線硬化性が付与され
る。

【００３３】また、バインダ前駆体へ、少なくとも１種
のモノマーを含ませる。さらに、反応性希釈剤と呼ばれ
るモノマーを含ませても良い。該モノマーは、（メタ）
アクリロイル基、メタクリロイル基、アリル基、又はエ
ポキシ基などを有する１官能反応性希釈剤である。ここ
で、反応性希釈剤は、トルエンなどの一般的な有機溶剤
とは異なる。即ち、本明細書においては、溶剤とは反応
性希釈剤を除外したものであり、後述するノンソルベン
ト（無溶剤）とは、トルエンなどの一般的な有機溶剤な
どの溶剤を含有していないことを意味する。通常、バイ
ンダ前駆体組成物は粘度が高く、有機溶剤で粘度を下げ
るように調整しないと、塗布することができない。しか
し、該モノマーをバインダ前駆体へ含有させると、バイ
ンダ前駆体組成物の粘度が下がり、溶剤を用いる必要が
なくなり、ノンソルベント（無溶剤）で使用することが
できる。また、オリゴマーも、同様の効果がある。

【００３４】さらに、モノマー、オリゴマーは重合反応
の速度を向上させ、また、オリゴマー、ポリマーは、硬
化後のバインダの架橋密度、凝集力などを調整すること
ができる。このために、バインダ前駆体へは、モノマ
ー、及び／又はオリゴマー、及び／又はポリマーを用い
ることが好ましい。さらに、好ましくはそれらを併用し
て、適宜、配合比を変えて、用途や目的に合わせたバイ
ンダの性能とする。さらに、バインダ前駆体には、必要
に応じて、重合禁止剤、老化防止剤などの添加剤を加え
てもよい。該バインダには、必要に応じて、可塑剤、滑
剤、染料や顔料などの着色剤、増量やブロッキング防止
などの体質顔料や樹脂などの充填剤、界面活性剤、消泡
剤、レベリング剤、チクソトロピー性付与剤等の添加剤
を、適宜加えても良い。

【００３５】以上の研磨粒子１９とバインダ１７からな
る研磨層１５を、任意のパターン形状に設けるには、ス
クリーン印刷、グラビア印刷、グラビアオフセット印刷
などが適用できるが、版の耐久性、製版の容易性などか
らスクリーン印刷が好適である。該スクリーン印刷法で
は、前述の研磨層１５形成用インキを用い、パターン形
状を有する研磨層１５を形成する。スクリーン印刷用の
版材としては、シルクスクリーン版、ステンレス版、ニ
ッケルメッキ版などが適用できる。該スクリーン版へ乳
剤を塗布して、例えば、図１の研磨層１５でを形成して
いる、中心及び縁端の同心円とで囲まれる帯状パターン
の原稿を作製して、露光し洗い出して製版し、スクリー
ン印刷刷版とする。前述で調整した研磨層１５形成用イ
ンキを入れたスクリーン印刷刷版を、基材フィルム１１
を重ねて、スキージを押圧しながら移動させて印刷す
る。スキージの硬さ、角度、移動速度、及びインキの粘
度、チキソトロピック性、あるいは印刷版の乳剤の厚さ
などを適宜調整して、所定の研磨層１５を得ることがで
きる。

【００３６】このようにしてパターン状の研磨層１５が
得られ、例えば、図1の同心円の帯状であれば、全面研
磨層と比較した該研磨層面積は、数十％程度の大幅な減
少となる。即ち、インキに含まれている、例えばダイヤ
モンドなどの貴重で高価な材料を有効に利用することが
できる。しかも、研磨作業に必要な面積は網羅されてい
るので、研磨の精度及び研磨作業などには、何らの支障
も及ぼさない。

【００３７】さらに、スクリーン印刷法で研磨層１５を
形成するために、スクリーン印刷に特有の当業者がスク
リーン目と呼ぶ模様が研磨層１５の表面に発現して、略
網目状の凹凸表面となる。該網目状は微細な表面凹凸形
状であり、後述する水などの液体の潤滑剤が均一に行き
渡り、また、研磨屑がこの凹部に埋まり込んで、研磨性
能が安定し研磨精度を向上することができる。グラビア
印刷においても、当業者がグラビア目と呼ぶ模様が研磨
層１５の表面に発現して、スクリーン目と同様の効果が
ある。該グラビア目は、グラビア刷版のセルの形状で変
化させることもできる。

【００３８】図５は、本発明の１実施例を示す研磨シー
トの模式的な平面図である。本発明の他の実施態様で
は、研磨層１５へ、研磨の研磨作業における研磨シート
の回転中心部を中心とした１又は複数の同心円形状の溝
部４１を有している。図５の例では、３本の同心円状の
溝部４１を有しているが、寸法は説明のため誇張した模
式図で、概念を表わしている。該溝部４１は、被研磨材
からの研磨屑や、研磨シートからの脱落研磨粒子を収納
できれば良い。該溝部４１の巾は、被研磨材の材料、研
磨手法や研磨粒子の大きさ、研磨層の厚さなどに応じ
て、適宜選択すれば良く、０．１μｍ〜１０ｍｍ程度、
好ましくは１μｍから５ｍｍである。該溝部４１の深さ
は、最大研磨層厚みであるが、０．１μｍ〜２０μｍ程
度、好ましくは０．５μｍから１０μｍである。

【００３９】該溝部４１を形成する方法としては、研磨
層１５を形成する際に使用する製版の絵柄を変更するだ
けで良い。スクリーン印刷、グラビア印刷、グラビアオ
フセット印刷などの印刷方法が適用でき、これらの印刷
に使用する印刷版を作成する際に、溝部４１を除いた部
分の原稿を作成して製版し、印刷して研磨層１５とすれ
ば良い。このようにすると、最大で研磨層１５の深さを
持った溝部４１が形成される。必要に応じて、溝部４１
の深さを変える時には、当業者では良く知られている、
溝部４１の絵柄を網掛け状、例えば、７０％、３０％に
製版すれば良い。

【００４０】溝部４１の形状は、図５の同心円状の他
に、水玉状、放射線状、渦巻き状、亀甲形状の集合体、
斜線状など各種の溝形状が適用できる。また、該溝形状
は、被研磨材の材料や大きさ、仕上げや粗研磨などの研
磨内容、潤滑剤や化学機械研磨時の研磨液などから、適
宜選択すれば良い。さらに、同心円状では複数の溝の
幅、深さ、溝と溝との間隔を任意に定めたり、水玉状で
は水玉形状を円形、楕円形、水滴形、繭形、小判形、角
丸矩形などと変形させたり、放射線状では縁端に向う溝
の幅、深さを任意に変化させたり、渦巻き状では渦巻き
の半径や１本の渦巻き凹部の半径を連続的に変化（例え
ばクロソイド曲線）させたり、亀甲形状の集合体では亀
甲形状が６角形に限定されず、また正多角形に限られな
い多角形の集合体、あるいは２つ以上の異なる多角形の
集合体であったり、線状では複数の溝の幅、深さ、溝と
溝との間隔を任意に定めたりしても良い。さらに、いず
れの溝形状でも、複数溝を１つの形状に統一しても良い
し、溝の幅、深さ、溝と溝との間隔などの異なる溝を組
み合せても良い。

【００４１】水玉状、放射線状、渦巻き状、亀甲形状、
斜線状などの溝の形状は、閉回路でなく溝端部が開放さ
れているため、研磨作業中に発生し補足された研磨屑や
脱落した研磨粒子などは、研磨層面から排除され、さら
には研磨シートからも積極的に排出される。このように
して、研磨屑や脱落研磨粒子は、被研磨材と接触するこ
とがなくなり、該被研磨材である磁気ヘッド、磁気及び
光学ディスク、半導体ウェハ、半導体の集積回路、光学
レンズ、光ファイバなどに、傷をつけることが極めて減
る。

【００４２】さらに、スクリーン印刷法で研磨層１５を
形成するために、前述したように、当業者では良く知ら
れている、スクリーン印刷に特有のスクリーン目の模様
が、研磨層１５の表面に発現して、例えば略網目状の表
面となる。該網目状は微細な表面凹凸形状であり、後述
する水などの液体の潤滑剤が均一に保持され、また研磨
層の表面に行き渡る。しかも、研磨作業中に生じた研磨
屑や脱落研磨粒子を溝が補足し、溝形状によっては、積
極的に排出するために、研磨精度が維持され、かつ、相
乗的な安定した研磨ができる。

【００４３】前述したように、本発明の識別表示１０１
は研磨層１５面上ではなく、基材フィルム１１上に直接
設けられている。該識別表示１０１は、公知の印刷法が
適用できる。該印刷法としては、例えば、平版印刷、凹
版印刷、凸版印刷、孔版印刷の基本印刷法、及び、それ
らの応用印刷法が適用できる。応用印刷法としては、フ
レキソ印刷、樹脂凸版印刷、グラビアオフセット印刷、
タコ印刷などや、インクジェット印刷、転写箔を用いる
転写印刷、熱溶融又は昇華型インキリボンを用いる転写
印刷、静電印刷などが適用できる。また、技法では、イ
ンキを紫外線で硬化する紫外線（ＵＶ）硬化印刷、イン
キを高温で硬化する焼き付け印刷、湿し水を用いない水
なしオフセット印刷、などがある。

【００４４】凸版印刷は、凹凸のある版の凸部にインキ
をつけ、被印刷体に押圧によりインキを転移させる。平
版印刷は、版面に明らかな凹凸が無く、版面に親水部と
親油部を設けて水とインキを版面に与えて、親油部分に
のみインキが付き、該インキを、ブランケットを介し
て、被印刷体に押圧によりインキを転移させる、通常、
オフセット印刷と呼ばれる。凹版印刷は、版面の凹部に
インキを充填して、被印刷体に押圧によりインキを転移
させる、通常、グラビア印刷と呼ぶ。孔版印刷は、画像
部が貫通孔、非画像部が非貫通となった版を被印刷物の
上に置き、版の上からインキを押し出し貫通孔からイン
キを被印刷物に転移させる、スクリーン印刷が代表的で
ある。

【００４５】フレキソ印刷は、凸版印刷の１種で、ゴム
製の凸版とアルコール系インキを用いる。樹脂凸版印刷
は、凸版印刷の１種で、樹脂製の凸版を用いる。グラビ
アオフセット印刷は、凹版を用いた平版印刷で、版面の
凹部にインキを充填して、ブランケットを介して、印刷
する。タコ印刷は、オフセット印刷の１種で、ゴム製の
変形する風船状体を用いて、それへインキを付けて、立
体物など被印刷体に押圧して印刷する。インクジェット
印刷は、インキを細いノズルから粒子として噴射させ
て、被印刷体にインキを転移させる。転写箔を用いる転
写印刷は、熱接着層を有する箔の裏面より、加熱した版
を被印刷体に押圧して、インキを転写転移させる。熱溶
融又は昇華型インキリボンを用いる転写印刷は、被印刷
体をインキリボンを重ねて、ドット状に加熱して、イン
キを溶融又は昇華させて、被印刷体へ転移させる。静電
印刷は、、トナーインキを感光ドラムへ静電気で付着さ
せて、被印刷体を重ねて加熱して、被印刷体へ転移させ
る。

【００４６】凸版印刷、平版印刷、凹版印刷、孔版印
刷、又はインクジェット印刷に使用する印刷インキは、
少なくともビヒクルと着色料とを含み、その粘度は、
０．１〜３０００ポアズが好ましい。着色料は、無機顔
料、有機顔料のうち１種類以上を含有する。着色料を含
まない保護用インキ（オーバープリントインキ、ＯＰニ
ス、ＯＰとも呼ばれる）もある。無機顔料としては、フ
ェロシアン化鉄、酸化鉄、カドミウム系顔料、酸化チタ
ン、アルミナ、炭酸カルシウム、硫酸バリウムなどがあ
り、有機顔料としては、不溶性アゾ色素系、アゾレーキ
系、スタロシアニン系、ケレート系、ニトロ系、ジオイ
ンジゴー系、アンスラキノン系、ペリレン系、キナクリ
ドン系、スレン系、ジオキサジン系顔料としては縮合型
アゾ系などがある。

【００４７】ビヒクルとしては、乾燥油、合成樹脂、天
然樹脂、繊維系、ゴム誘導体のうち１種類以上が適用で
きる。乾燥油としては、亜麻仁油、シナキリ油、エノ
油、大豆油、魚油、脱水ヒマシ油、スチレン化油、ビニ
ルトルエン化油、マレイン油などがある。天然樹脂とし
ては、ウッドロジン、重合ロジン、石灰硬化ロジン、亜
鉛硬化ロジン、ロジンエステル、セラックなどがある。
合成樹脂としては、フェノール樹脂、変性アルキド樹
脂、ポリアミド樹脂、コールタールピッチ、ステアリン
ピッチなどがある。繊維系としては、ニトロセルロー
ス、エチルセルロース、セルロースアセテート、セルロ
ースアセテートプロピオネート、などがある。ゴム誘導
体としては、環化ゴム、塩化ゴムなどがある。

【００４８】該インキ組成物には、必要に応じて、充填
剤、可塑剤、分散剤、潤滑剤、帯電防止剤、酸化防止
剤、防黴剤、などの添加剤を、適宜加えても良い。これ
らの組成物を、分散・混練して、また、必要に応じて、
溶剤で固形分量や粘度を調整して、インキ組成物とす
る。該インキを、前記印刷法で印刷して、乾燥し、必要
に応じて、温度３０℃〜７０℃で適宜エージング、又
は、電離放射線（紫外線、電子線）を照射して、形成す
れば良い。

【００４９】さらに、識別表示１０１は、研磨層１５を
形成していなくて良い縁端部２１及び中心部２３へ設け
るので、研磨層１５の形成と同一の工程で、識別表示１
０１を形成することができる。この場合には、研磨層１
５と識別表示１０１の形成手段は、スクリーン印刷法が
好適である。該スクリーン印刷法を用いて、同一のスク
リーン版へ研磨層１５のパターン及びお識別表示１０１
の絵柄を製版して、印刷すれば１工程で、研磨層１５と
識別表示１０１の形成をすることができる。識別表示１
０１の形成には、研磨層組成物が消費されるが、絶対量
的には僅かであり、工程短縮の効果の方が大きい。もち
ろん、別工程で形成しても、前述の判読のしやすさなど
は変わらない。

【００５０】通常、識別表示１０１は、透明な基材フィ
ルム１１上に、直接設けられているために、研磨層の影
響を受けず判読しやすい。また、基材フィルム１１上に
は、必要に応じて、プライマー層１３が設けられている
が、通常、プライマー層も透明なので、何らの影響も受
けない。

【００５１】該識別表示１０１に表示する情報として
は、特に限定されないが、例えば、メーカ、製造工場、
製造日、品番、ロット番号、販売者、取扱い注意事項、
警告事項、問合せ先などがある。特に、品番、及び／又
はロット番号の表示があれば、製造や品質などの製品情
報に遡ることができるので、状況に応じた対応をとるこ
とができる。

【００５２】また、該識別表示１０１に表示する情報と
しては、非対称の文字、記号、イラストなどを含ませる
ことが好適である。該非対称の文字などは、通常、透明
な材料である基材フィルム１１を透して、目視すること
ができる。この時、表示情報は逆に見えて、表裏を容易
に判断できる。例えば、「正」、「表面」、「ＵＰ」、
「ＯＫ」などである。対称の表示、例えば、「◎」、
「中」では、逆から見ても同じに見えて、表裏を判断す
ることはできない。また、基材フィルム１１の研磨層１
５の形成されていない面に、識別表示１０１を設けても
良い。この場合には、当業者がいう裏刷り方式で、上記
の印刷方法で印刷すれば良い。

【００５３】図６は、本発明の１実施例を示す研磨シー
トの断面図である。実際の研磨作業時には、被研磨材と
研磨シートの間へ水などの液体の潤滑剤が滴下される
が、該潤滑剤が不必要な部分へ流れたり、必要な研磨層
面へ均一に行き渡らないという問題がある。このため
に、研磨シート１０の少なくとも研磨層１５の形成され
ていない縁端部２１に、撥水層３２を設ける。該撥水層
３２は、研磨層１５のより厚さの薄くても撥水性能のた
めに、水などの液体の潤滑剤がはじかれて、結果的に堰
き止められて、研磨層１５の面へ均一に行き渡って、研
磨が安定して行われる。該撥水層３２は、中心部２３及
び縁端部２１に設けるが、どちらか一方でも良い。ま
た、撥水層３２を中心部２３に設けると、通常中央部へ
滴下する潤滑剤が研磨の初期の早い時点で、中央部から
周辺部へ広がって研磨層へ均一に分布する効果もある。

【００５４】通常、識別表示１０１及び撥水層３２を形
成した後に、研磨層１５を形成するために、識別表示１
０１及び撥水層３２と研磨層１５との、見当（位置関
係）を合致させて印刷する必要がある。該見当合わせ
は、識別表示１０１又は撥水層３２を着色しておいて通
常の印刷と同様の方法で行ったり、別途見当合わせ用の
目印マーク（レジスターマークと呼ぶ）をつけたり、特
定の複数の位置に貫通孔をあけて、ピンなどで位置決め
をすれば良い。

【００５５】撥水層３２の材料としては、ポリエステル
系樹脂、塩化ビニリデン樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリエ
チレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、シリコーン系樹
脂、フッ素系樹脂、ＷＡＸなどが適用でき、特に表面張
力が小さく、表面張力が０．０００４Ｎ／ｃｍ以下のポ
リエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、シリコーン
系樹脂、フッ素系樹脂、ＷＡＸなどは、水などの液体の
潤滑剤をはじき易く好適である。また、バインダへこれ
らの撥水性材料を分散又は溶解させて、パターン状に印
刷し乾燥して形成しても良い。また、撥水層３２の表面
張力は、表面張力は０．０００４Ｎ／ｃｍ以上でも良
く、例えば、潤滑剤が水（表面張力０．０００７６Ｎ／
ｃｍ）であれば、それ以下の表面張力で良く、使用する
潤滑剤の表面張力以下であれば適用でき、さらに低けれ
ば低い程、より好適である。

【００５６】

【実施例】（実施例１）基材フィルム１１として、事前
にプライマー層が施された厚さ７５μｍのメリネックス
５４２（ポリエチレンテレフタレートフィルム、帝人デ
ュポン社製）を用いて、プライマー層のない面へ、公知
の一般的なポリエチレンテレフタレート印刷用の赤グラ
ビアインキで、図１のように絵柄「ＵＰ Ｄ８０００Ｓ
１２０φ」を中心部２３へ、「Ｌｏｔ ＡＢ−１２」
を縁端部２１へ、グラビア印刷し乾燥して識別表示１０
１とした。続いて、基材フィルム１１のプライマー層面
へ、オルガノシリカゾル（平均粒子径０．０７μｍ、ア
ルコール溶媒、固形分３０％）７０重量部と、ポリアル
キルシロキサン（アルコール溶媒、固形分３０％）３０
重量部からなる研磨層組成物（インキ）を、図１の同心
円で囲まれた帯状の研磨層パターンを製版したグラビア
版で、乾燥後の厚さが５μｍになるように、グラビア印
刷し乾燥して研磨層１５とした。次に、直径１２７ｍｍ
φの円形に抜いて、同心円の帯状研磨層パターンで、裏
面に識別表示を有する実施例１の研磨シート１０を得
た。該研磨シート１０の研磨層１５の表面は、中心線平
均粗さ（Ｒａ）が０．０５μｍと平滑で、研磨シート１
０の全光線透過率が９０％、ヘーズが５０％と透明なも
ので、研磨層１５と裏面との判別が困難なものであっ
た。しかし、識別表示１０１の「ＵＰ」を見ることで、
容易に表裏が判った。また、他の識別表示１０１から、
品番、製造Ｌｏｔ、サイズを確認することができた。

【００５７】（実施例２）研磨層組成物（インキ）とし
て、平均粒子径１μｍダイヤモンド紛体３５．０重量
％、バイロン２００（東洋紡社製、商品名、ポリエステ
ル樹脂）２３．０重量％、コロイダルシリカ２．０重量
％、メチルエチルケトン２０．０重量％、トルエン２０
重量％からなる研磨層組成液を用いる以外は、実施例１
と同様にして実施例２の研磨シート１０を得た。該研磨
シート１０の識別表示１０１を見ることで、容易に表
裏、品番、製造Ｌｏｔ、サイズを知ることができた。

【００５８】（実施例３）研磨層組成物（インキ）とし
て、平均粒子径１μｍアルミナ紛体３５．０重量％、バ
イロン２００（東洋紡社製、商品名、ポリエステル樹
脂）２３．０重量％、コロイダルシリカ２．０重量％、
メチルエチルケトン２０．０重量％、トルエン２０重量
％からなる研磨層組成液を用いる以外は、実施例１と同
様にして実施例３の研磨シート１０を得た。該研磨シー
ト１０の識別表示１０１を見ることで、容易に表裏、品
番、製造Ｌｏｔ、サイズを知ることができた。

【００５９】（実施例４）基体フィルムとして、事前に
プライマー層が施された厚さ７５μｍのメリネックス５
４２（帝人デュポン社製、ポリエチレンテレフタレート
フィルム商品名）を用いて、該プライマー層面へ、平均
粒子径１μｍダイヤモンド紛体３５．０重量％、バイロ
ン２００（東洋紡社製、ポリエステル樹脂）２２．０重
量％、コロイダルシリカ２．０重量％、メチルエチルケ
トン２０．０重量％、トルエン２０重量％からなる研磨
層組成液へ、使用直前にトリレンジイソシアネ−ト１．
０重量％を加えて、図５のような溝巾が１００μｍ、溝
と溝との間隔が２ｍｍの複数の同心円状溝を有し、研磨
層の全体としてはドーナツ状パターン、及び図５のよう
に絵柄「ＵＰ Ｄ８０００Ｓ １２０φ」を中心部２３
へ、「Ｌｏｔ ＡＢ−１２」を縁端部２１へ、製版した
シルクスクリーン版で、乾燥後の厚さが８μｍになるよ
うに、シルクスクリーン印刷し乾燥する。該乾燥後に、
さらに１５０℃、２０分間のエージングをし硬化させた
後に、直径１５０ｍｍφの円形に抜いて、実施例４の研
磨シートを得た。該研磨シート１０の識別表示１０１を
見ることで、容易に表裏、品番、製造Ｌｏｔ、サイズを
知ることができた。

【００６０】（実施例５）基材フィルムとして、事前に
プライマー層が施された厚さ７５μｍのメリネックス５
４２（帝人デュポン社製、ポリエチレンテレフタレート
フィルム商品名）を用いる。平均粒子径３．０μｍダイ
ヤモンド紛体（東名ダイヤモンド工業社製）３０重量
部、グリセロールモノメタクリレート３０重量部、ペン
タエリスリトールトリアクリレート２０重量部、とを混
合攪拌して研磨層組成物とした。ナイロン紗２００メッ
シュのスクリーン版へ、図５のような溝巾が１００μ
ｍ、溝と溝との間隔が２ｍｍの複数の同心円状溝を有
し、研磨層の全体としてはドーナツ状パターン、及び図
５のように絵柄「ＵＰ Ｄ８０００Ｓ １２０φ」を中
心部２３へ、「Ｌｏｔ ＡＢ−１２」を縁端部２１へ製
版して、スクリーン刷版とした。基体フィルムのプライ
マー面へ、前記スクリーン刷版を用いて、前記研磨層組
成物を、硬化後の厚さが８μｍになるようにスクリーン
印刷した。印刷後直ちに、エレクトロンカーテン型電子
線照射装置（米国、ＥＳＩ社製）で、加速電圧１７５ｋ
ｅＶの電子線を、３Ｍｒａｄ照射して硬化させた。直径
１２７ｍｍφの円形に抜いて、実施例４の研磨シートを
得た。該研磨シート１０の識別表示１０１を見ること
で、容易に表裏、品番、製造Ｌｏｔ、サイズを知ること
ができた。

【００６１】（実施例５）基体フィルムとして、事前に
プライマー層が施された厚さ７５μｍのメリネックス５
４２（帝人デュポン社製、ポリエチレンテレフタレート
フィルム商品名）を用いる。平均粒子径１．０μｍのダ
イヤモンド紛体（東名ダイヤモンド工業社製）３０重量
部、ヘキサンジオールジアクリレート３０重量部、ポリ
プレングリコールモノアクリレート４０重量部、イルガ
キュア３６９（チバガイギー社製、光開始剤）ととを混
合攪拌した研磨層組成物とした。実施例４と同じ刷版を
用いて、基材フィルムのプライマー面へ、前記研磨層組
成物を、硬化後の厚さが８μｍになるようにスクリーン
印刷した。印刷後直ちに、基材フィルム速度２０ｍ／分
で、Ｆ６００型ＵＶ照射装置（フュージョン社製）で、
出力２４０Ｗ／ｃｍの波長３６５ｎｍの紫外線を照射し
て硬化させた。続いて、ＳＲＸ２１１（シリコーン樹
脂、東レダウコーニングシリコーン社製）のトルエンへ
溶解した塗液を、図５の研磨層の形成していない縁端部
２１及び中心部２３のパターンを有するグラビア版胴
で、乾燥後の厚さが１μｍになるように、グラビア印刷
し乾燥して撥水層３２とした。直径１２７ｍｍφの円形
に抜いて、実施例５の研磨シートを得た。該研磨シート
１０の識別表示１０１を見ることで、容易に表裏、品
番、製造Ｌｏｔ、サイズを知ることができた。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の識別表示
を有する研磨シートは、研磨シートの表裏、及び／又は
品番などの識別表示が、使用状態でも容易に確認でき
て、表裏面を逆に使用することがない。また、上記識別
表示を、研磨層の使用領域以外の中心部及び／又は縁端
部の基材フィルムへ設けた場合は、表裏の両側から目視
できる。また、識別表示を非対称の文字、記号、イラス
トとした場合は、研磨シートの表裏の識別が容易に行え
て、表裏逆に使用することが少ない。また、上記識別表
示は、品番及び／又はロット番号とし、研磨シートの品
番の識別が容易に確実に行えて、誤使用することが少な
い。また、研磨層及び識別表示の形成をスクリーン印刷
法で同時に行えば、１工程で形成できて安価である。

【００６３】さらに、研磨層を使用領域のみに設けた場
合は、高価な研磨粒子が少なくて済み、安価で省資源で
ある。また、研磨粒子をダイヤモンド、アルミナ、酸化
鉄、カーボランダム、酸化クロム、酸化セリウム、シリ
カを用いた場合は、光学部品の表面や端面の研磨に適し
ている。さらにまた、研磨層のバインダを、熱硬化樹
脂、電離放射線硬化樹脂とし、また、基材フィルムに設
けたプライマー層を設けた場合は、研磨粒子が脱落しに
くく、被研磨材へ傷付けることが少ない。さらにまた、
研磨層に、部分的な溝部を設け、研磨層の非使用領域の
基材フィルム面へ撥水層を設けると、溝部が研磨屑や脱
落研磨粒子を補足し、研磨時に使用する潤滑剤が、研磨
層面へ均一に展開して、被研磨材へ傷付けず研磨精度が
良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の１実施例を示す研磨シートの平面図
である。

【図２】 図１のＡＡ断面図である。

【図３】 従来の研磨シートの平面図である。

【図４】 図３のＢＢ断面図である。

【図５】 本発明の１実施例を示す研磨シートの模式的
な平面図である。

【図６】 本発明の１実施例を示す研磨シートの断面図
である。

【符号の説明】

１０ 研磨シート １１ 基材フィルム １３ プライマー層 １５ 研磨層 １７ バインダ １９ 研磨粒子 ２１ 縁端部 ２３ 中心部 ３２ 撥水層 ４１ 溝部 １０１ 識別表示

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C063 AA02 AB05 AB07 BA02 BA24 BB02 BB03 BC03 BG07 CC30 DD09 EE02 EE08 EE10 FF30

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、研磨使用時
   に必要領域となる任意のパターン状に形成した研磨層を
   有する研磨シートにおいて、前記研磨層の非使用領域
   の、基材フィルムの表面及び／又は裏面に、識別のため
   の識別表示を設けたことを特徴とする識別表示を有する
   研磨シート。
2. 【請求項２】 上記識別表示を、回転状態で使用される
   円盤状の研磨シートの、研磨層の使用領域のパターン形
   状が、回転中心部を始点とした２つの同心円で囲まれた
   形状であって、該使用領域以外の中心部及び／又は縁端
   部の非使用領域に設けたことを特徴とする識別表示を有
   する研磨シート。
3. 【請求項３】 上記研磨層及び上記識別表示の形成手段
   がスクリーン印刷法であって、かつ、研磨層と識別表示
   とが同じ面にあることを特徴とする請求項１〜２のいず
   れかに記載の識別表示を有する研磨シート。
4. 【請求項４】 上記識別表示が、少なくとも、品番及び
   ／又はロット番号であることを特徴とする請求項１〜３
   のいずれかに記載の識別表示を有する研磨シート。
5. 【請求項５】 上記識別表示が、少なくとも、非対称の
   文字、記号、イラストであることを特徴とする請求項１
   〜３のいずれかに記載の識別表示を有する研磨シート。
6. 【請求項６】 上記研磨層に含有される研磨粒子が、ダ
   イヤモンド、アルミナ、酸化鉄、カーボランダム、酸化
   クロム、酸化セリウム、シリカのうち少なくとも１種類
   からなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記
   載の識別表示を有する研磨シート。
7. 【請求項７】 上記研磨層のバインダが、熱硬化樹脂で
   あることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の
   識別表示を有する研磨シート。
8. 【請求項８】 上記研磨層が、電離放射線で硬化する少
   なくとも１つの、官能基を有するバインダ前駆体と、研
   磨粒子と、を含む研磨層組成物を、基材フィルムの一方
   の面にスクリーン印刷法で印刷し、電離放射線で硬化さ
   せてなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記
   載の識別表示を有する研磨シート。
9. 【請求項９】 研磨層が、基材フィルムに設けたプライ
   マー層を介して形成することを特徴とする請求項１〜８
   のいずれかに記載の識別表示を有する研磨シート。
10. 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれかに記載の研磨
    シートにおいて、研磨層に、部分的な溝部が設けられて
    いることを特徴とする識別表示を有する研磨シート。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載の研
    磨シートにおいて、研磨層の非使用領域の基材フィルム
    面へ撥水層が設けられていることを特徴とする請求項１
    〜７のいずれかに記載の識別表示を有する研磨シート。