JP2003190883A - クリーニングシート、およびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネル
ディスプレイ、プリント基板など製造装置や検査装置な
ど、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングに用いられ
るクリーニングシート及びクリーニング方法を提供す
る。 【解決手段】 支持体の片面にクリーニング層が設けら
れ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニン
グシートにおいて、該通常の粘着剤層の保持力がJISZ０
２３７において３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種の基板処理装
置をクリーニングするクリーニングシート、およびこれ
を用いた基板処理装置のクリーニング方法に関し、例え
ば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基
板など製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装
置のクリーニングに用いられるクリーニングシート及び
クリーニング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板処理装置は、各搬送系と基板とを物
理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系
に異物が付着していると、後続の基板を次々に汚染する
ことになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理をする
必要があった。このため、稼動率低下や多大な労力が必
要という問題があった。これらの問題を解決するため、
粘着性の物質を固着した基板を搬送することにより基板
処理装置内の付着した異物をクリーニング除去する方法
（特開平１０−１５４６８６）や板状部材を搬送するこ
とにより基板裏面に付着する異物を除去する方法（特開
平１１−８７４５８）が提案されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】粘着性の物質を固着し
た基板を搬送することにより基板処理装置内の付着した
異物をクリーニング除去する方法は、前述の課題を克服
する有効な方法である。しかしこの方法では、粘着性物
質と装置接触部が強く接着しすぎて剥れない恐れがあ
り、基板を確実に搬送できなくなる恐れがあった。特
に、装置のチャックテーブルに減圧吸着機構が使われて
いる場合は問題である。また、板状部材を搬送すること
により異物を除去する方法は、搬送は支障なくできる
が、肝心の除じん性に劣るという問題がある。

【０００４】さらに、これらクリーニングに用いられる
クリーニングシートは、例えば搬送部材に通常の粘着剤
層により設けられたクリーニング機能付き搬送部材（以
下クリーニング部材と称す）とした場合、クリーニング
シートのクリーニング層の引っ張り弾性率が大きいとき
やクリーニングシートを搬送部材よりも小さく内側に貼
ったとき（内貼りと称す）などは、クリーニング部材製
造後にクリーニングシートが搬送部材と該通常の粘着剤
層間から剥れてくるという問題があった。また、装置ク
リーニング後にクリーニングシートを搬送部材から剥離
除去する場合、搬送部材に通常の粘着剤が糊残りを生じ
させ、μmオーダー又はサブμmオーダーの汚染が発生す
るという問題もあった。本発明は、このような事情に照
らし、基板処理装置内を確実に搬送でき、付着している
異物を簡便、確実に除去でき、さらにクリーニング部材
を製造する上で搬送部材からクリーニングシートが剥れ
ることがなく、しかもクリーニングシートを剥離除去す
る際に、搬送部材に糊残りを生じさせないクリーニング
シートを提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的に対して、鋭意検討した結果、クリーニング層を固着
したシートあるいはこのシートを基板等の搬送部材に固
着したクリーニング用部材を搬送することにより、基板
処理装置内の付着した異物をクリーニング除去するにあ
たり、支持体の片面にクリーニング層が設けられ、他面
に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニングシート
において、該通常の粘着剤層の保持力を特定値以下に規
定することにより、クリーニングシートが搬送部材から
剥れることがなく、しかもクリーニングシートを剥離除
去する際に搬送部材に糊残りを生じさせず、さらに異物
を簡便、かつ確実に剥離できるクリーニングシートを提
供できることを見出し、この発明を完成するに至った。

【０００６】すなわちクリーニングシートが搬送部材か
ら剥れたり、クリーニングシートを搬送部材から剥離除
去する際にμmオーダー又はサブμmオーダーの汚染が発
生するのは、粘着剤の凝集力が不十分であるためである
と考えた。ここで凝集力とは粘着剤層中の分子同士の寄
り集まろうとする力であり、外部応力による塑性変形に
対する抵抗力である。 本発明ではこれをJISZ０２３７
保持力で特定することにより、上記問題点を解決できる
ことを見出した。

【０００７】即ち本発明は、支持体の片面にクリーニン
グ層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられてな
るクリーニングシートにおいて、該通常の粘着剤層の保
持力がJISZ０２３７において３６００秒後のズレの距離
が５ｍｍ以下であることを特徴とするクリーニングシー
ト（請求項１）、通常の粘着剤層のシリコンウェハ（ミ
ラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１
〜１０Ｎ／１０ｍｍであることを特徴とする請求項１記
載のクリーニングシート（請求項２）、通常の粘着剤層
が、該粘着剤層中に含まれるポリマーの重量平均分子量
が１０⁵以下の成分が１０重量％以下であることを特徴
とする請求項１〜２いずれか記載のクリーニングシート
（請求項３）、クリーニング層の引っ張り弾性率（試験
法ＪＩＳＫ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上である
ことを特徴とする請求項１〜３いずれか記載のクリーニ
ングシート（請求項４）、搬送部材に、請求項１〜４い
ずれか記載のクリーニングシートが、通常の粘着剤層に
より設けられたクリーニング機能付き搬送部材（請求項
５）、請求項１〜４いずれか記載のクリーニングシート
又は請求項５記載の搬送部材を、基板処理装置内に搬送
することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法
（請求項６）に係るものである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。本
発明のクリーニングシートは、支持体の片面にクリーニ
ング層が設けられ、他面に通常の粘着剤層が設けられて
なり、該通常の粘着剤層の保持力がJISZ０２３７におい
て３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下であることが
必要で、好ましくは７２００秒後のズレの距離が５ｍｍ
以下、より好ましくは１０８００秒後のズレの距離が５
ｍｍ以下である。該粘着剤層が上記特定値を越えると、
クリーニングシートを搬送部材に貼付けて、クリーニン
グ部材を製造した場合に、クリーニングシートが搬送部
材から剥れやすくなり、またクリーニングシートを搬送
部材から剥離除去する際にも、μmオーダー又はサブμm
オーダーの汚染を発生させる恐れがある。ここで保持力
の測定はJISZ０２３７に基づいて行った。すなわち、ク
リーニングシートから２５ｍｍ×７５ｍｍの測定用シー
トを作製し、２３℃、湿度５０％の環境下でステンレス
板（ＳＵＳ３０４で♯３６０サンドペーパーで磨いたも
の）に接着面積が２５ｍｍ×２５ｍｍになるように１
９．６Ｎのゴムロールを１往復させて通常の粘着剤層側
を圧着する。２０分以上放置した後、４０℃の恒温槽に
入れ、ステンレス板の一端を留め金でとめ、さらに２０
分後にせん断方向に９．８Ｎの荷重をかけ、3600秒後の
ズレの距離もしくは落下時間を測定して行った。

【０００９】本発明における通常の粘着剤層は、上記範
囲内の粘着剤を用いれば特に限定されないが、シリコン
ウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力
は、０．０１〜１０Ｎ／１０ｍｍ、より好ましくは０．
０５Ｎ〜５Ｎ/１０ｍｍであることが望ましい。クリー
ニングシートの粘着力が高すぎるとクリーニングシート
を剥離除去する際に、支持体としての基材フィルムが裂
ける恐れがある。

【００１０】該通常の粘着剤層は、特にその構成は限定
されないが、該粘着剤層中に含まれるポリマーの重量平
均分子量が１０⁵以下の成分が１０重量％以下であるポ
リマーを用いることが望ましい。前記粘着剤を構成する
ポリマーは水分散系で共重合されてなるアクリルポリマ
ーや溶液、例えばトルエン中で共重合される重合される
重合物であっても良い。もしくは、液体二酸化炭素又は
超臨界状態の二酸化炭素中で合成されたポリマーを用い
ても良い。ポリマーとしては特にアクリルポリマーが好
適に用いられる。アクリルポリマーの原材料となりうる
単量体混合物は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、炭素数１〜１８個のアルキル基である各種の
アクリル酸アルキルエステルまたはメタクリル酸アルキ
ルエステルを使用でき、具体的にはアクリル酸メチル、
アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブ
チル、アクリル酸２一エチルヘキシル、アクリル酸オク
チル、メタクリル駿ブチル、メタクリル酸２一エチルヘ
キシル、メタクリル酸オクチルなどを挙げることができ
る。このような（メタ）アクリル酸アルキルエステルは
これ単独で用いてもよいし、これを主成分としてこれと
共重合可能な他のモノマーを併用してもよい。代表的な
例としてはカルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体
である。その例としては、（メタ）アクリル酸、クロト
ン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸等が用いられ
るが、このうち特に好適なのはアクリル酸である。この
カルボキシル基含有エチレン性不飽和単量体は重合体に
架橋結合を生じさせるのに不可欠な成分である。他のモ
ノマーとしては、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニト
リル、環状の（メタ）アクリルアミド、非環状のメタア
クリルアミドなどのアクリル系感圧性接着剤の改質用モ
ノマーとして知られる各種のモノマーをいずれも使用可
能である。これらの例として挙げられる他のモノマは前
記主モノマとの合計量中５０重量％以下とするのが接着
特性上好ましい。

【００１１】重合反応は、分解してラジカルを生成させ
る開始剤の助けによって行なうことができ、ラジカル重
合に用いられるすべての開始剤を使用することが出来
る。例を挙げれば、特に４０〜１００℃の温度では、ジ
ベンゾイルペルオキシド、ｔｅｒｔ一ブチルペルマレエ
ート、２，２一アゾビスー（イソブチロニトリル）及び
アゾビス−イソバレロニトリル等が用いられる。２０〜
４０℃の温度では二元開始剤（Redox開始剤）が用いら
れ、例としてジベンゾイルペルオキシドとジメチルアニ
リンの二元系等が挙げられる。開始剤は、上記アクリル
系モノマの重合のための通常の量で使用して良い。１０
０重量部のモノマーあたり例えば０．００５〜１０重量
部、好ましくは０．１〜５重量部の開始剤が使用され
る。希釈剤として、トルエン、酢酸エチルなど使用した
場合、冷却管，窒素導入管、温度計及び攪拌装置を備え
た反応容器内で共重合を行うことができる。この場合、
全モノマー成分１００重量部に対し、例えば希釈剤は５
〜２０００重量部、好ましくは２０〜９００重量部程度
で重合が可能であり、重合の温度、時間は必要に応じて
設定することができる。希釈剤として二酸化炭素を用い
る場合は、全モノマー成分１００重量部に対し、上記と
同様な使用量で重合が可能であり、重合の圧力、温度は
必要に応じて数段階に設定されても良い。乳化重合の方
法は特に限定されず、水に乳化分散した単量体混合物を
一括仕込み、あるいは滴下法など、目的や用途に応じて
任意の手法で乳化重合できる。この乳化重合において、
乳化剤としては、ノニオン系界面活性剤およびまたはア
ニオン系活性剤を利用することが望ましい。使用する量
は、要求する粒子径により、全単量体量１００重量部に
対し、ノニオン系界面活性剤あるいはアニオン系界面活
性剤単独の場合、0.3〜30重量部であり、両者を併用す
る場合は、前者が0.2〜20重量部、後者が0.1〜10重量部
である。ノニオン系界面活性剤としては、ポリオキシエ
チレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキル
フェニルエーテル、ポリオキシエチレン−ポリオキシプ
ロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステ
ル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステルなどが含まれ
る。一方アニオン系界面活性剤としては、アルキル硫酸
エステル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルス
ルホ琥珀酸塩、ポリオキシエチレンアルキル硫酸塩、ポ
リオキシエチレンアルキルリン酸エステルなどが用いら
れる。

【００１２】上記手法により合成された粘着剤はそのま
ま用いられても良いが、通常は粘着剤の凝集力を向上さ
せる目的で架橋剤を配合して用いる。粘着剤の架橋構造
化は、アクリル系重合体を得る際に内部架橋剤として多
官能（メタ）アクリレ―トなどを添加するか、あるいは
アクリル系重合体を得たのちに外部架橋剤として多官能
のエポキシ系化合物やイソシアネ―ト系化合物などを添
加することにより実施できる。その他、放射線照射によ
る架橋処理を施してもよい。好ましくは、多官能性エポ
キシ化合物や多官能性イソシアネ―ト化合物が使用され
る。ここでいう多官能性とは２官能性以上のことであ
る。多官能性エポキシ化合物は、分子中に２個以上のエ
ポキシ基を有するもので、ソルビト―ルテトラグリシジ
ルエ―テル、トリメチロ―ルプロパングリシジルエ―テ
ル、テトラグリシジル−１，３−ビスアミノメチルシク
ロヘキサン、テトラグリシジルメタキシレンジアミン、
トリグリシジル−ｐ−アミノフエノ―ルなどがある。多
官能性イソシアネ―ト化合物は、分子中に２個以上のイ
ソシアネ―ト基を有するもので、ジフエニルメタンジイ
ソシアネ―ト、トリレンジイソシアネ―ト、ヘキサメチ
レンジイソシアネ―トなどがある。これらの架橋剤は、
アクリル系共重合体の組成や分子量などに応じて、粘着
剤のゲル分率が前記範囲となる使用割合で、その１種ま
たは２種以上が用いられる。その際、反応を促進させる
ために、粘着剤に通常用いられるジブチルスズラウレ―
トなどの架橋触媒を加えるようにしてもよい。粘着剤層
の厚みは特に限定されないが、５〜１００μｍ、好まし
くは１０〜５０μｍ程度である。

【００１３】本発明のクリーニングシートにおけるクリ
ーニング層は特に限定されないが、その引っ張り弾性率
（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以
上、より好ましくは１０Ｍｐａ〜２０００Ｍｐａである
ことが望ましい。この引っ張り弾性率が２０００Ｍｐａ
を越えると、搬送系上の付着異物を除去する性能が低下
し、１０Ｍｐａよりも小さいと搬送時に装置内の被クリ
ーニング部に接着して、搬送トラブルとなる恐れがあ
る。また、かかるクリーニング層は、引っ張り弾性率が
上記範囲であれば材質等は特に限定されないが、紫外線
や熱などの活性エネルギーで硬化、架橋してその分子構
造が三次元網状化して粘着力が低下あるいは消失した粘
着剤層が好ましい。クリーニング層に重合硬化する粘着
剤を用いると、クリーニング層が実質的に粘着性がなく
なり、搬送する際に装置接触部と強く接着することがな
く、確実に搬送できるという効果が得られる。この粘着
剤層の硬化に用いる活性エネルギー源としては、紫外
線、熱などが挙げられるが、紫外線が好ましい。

【００１４】前記クリーニング層は、活性エネルギー源
により硬化して分子構造が三次元網状化する性質を有す
る限り、その材質等は特に限定されないが、例えば感圧
接着性ポリマーに分子内に不和飽和二重結合を１個以上
有する重合性不飽和化合物および重合開始剤を含有させ
てなるものが好ましい。かかる感圧接着性ポリマーとし
ては、例えばアクリル酸、アクリル酸エステル、メタク
リル酸、メタクリル酸エステルから選ばれる（メタ）ア
クリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを
主モノマーとしたアクリルポリマーが挙げられる。この
アクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーと
して分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を
用いるか、あるいは合成後のアクリル系ポリマーに分子
内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で
化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内
に不飽和二重結合を導入しておくことにより、このポリ
マー自体も活性エネルギーにより重合硬化反応に関与さ
せるようにすることもできる。

【００１５】ここで、分子内に不飽和二重結合を１個以
上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）と
しては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１００００以
下の低分子量体であるのがよく、特に硬化時の接着剤層
の三次元網状化が効率よくなされるように、５０００以
下の分子量を有しているのが好ましい。ここで， 重合
性不飽和化合物としては，不揮発性でかつ重量平均分子
量が１００００以下の低分子量体であるのがよく，特に
硬化時のクリーニング層の三次元網状化が効率よくなさ
れるように，５０００以下の分子量を有しているのが好
ましい。このような重合性化合物としては、たとえば、
フエノキシポリエチレングリコ―ル（メタ）アクリレ─
ト、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレ─ト、ポリエ
チレングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、ポリプロピ
レングリコ―ルジ（メタ）アクリレ─ト、トリメチロ─
ルプロパントリ（メタ）アクリレ─ト、ジペンタエリス
リト─ルヘキサ（メタ）アクリレ─ト、ウレタン（メ
タ）アクリレ─ト、エポキシ（メタ）アクリレ─ト、オ
リゴエステル（メタ）アクリレ─トなどが挙げられ、こ
れらの中から、１種または２種以上が用いられる。また
粘着剤層に添加される重合開始剤は、特に限定されず公
知のものを使用でき、例えば活性エネルギーに熱を用い
る場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブ
チロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合
は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジ
ル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノ
ン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシル
チオキサントン、シメチルチオキサントン、アセトフェ
ノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α
―ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒド
ロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシー
２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げ
られる。また、粘着剤層の厚みは特に限定されないが、
通常５〜１００μｍ程度である。

【００１６】また、かかるクリーニング層を支持する支
持体としては、特に限定されないが、例えばポリエチレ
ン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂や ポ
リエチレンテレフタレート、アセチルセルロース、ポリ
カーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリカルボジ
イミド、ナイロンフィルムなどのプラスチックフィルム
や金属箔などが挙げられる。これら支持体は１種又は２
種以上を組み合わせて使用しても良く、また片面又は両
面にコロナ処理などの表面処理を施したものであっても
良い。支持フィルムの厚みは通常１０μｍ〜１００μｍ
程度である。

【００１７】通常の粘着剤層及びクリーニング層には保
護フィルムとしてセパレータフィルムを設けてもいい。
この場合セパレータフィルムは特に限定されないが、例
えばシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸
アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理されたポリ
エチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエ
ン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩
化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、
エチレン酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチ
レン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メ
タ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリ
カーボネートなどからなるプラスチックフィルムなどが
挙げられる。また、セパレータフィルムの厚みは通常１
０〜１００μmである。

【００１８】本発明は、支持体の片面に上記のクリーニ
ング層が設けられ、他面に特定の保持力を有する通常の
粘着剤層を介して長尺のセパレータ上に剥離可能な状態
で間隔を隔てて連続的に設けられてなるクリーニング機
能付ラベルシートについても提供する。

【００１９】クリーニングシートが貼り付けられる搬送
部材としては特に限定されないが、例えば半導体ウェ
ハ、LCD、PDPなどのフラットパネルディスプレイ用基板、そ
の他コンパクトディクス、MRヘッドなどの基板などがあ
げられる。

【００２０】実施例 以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明は
これに限定されるものではない。なお、以下、部とある
のは重量部、％とあるのは重量％をそれぞれ意味するも
のとする。また、粘着保持力、対シリコン粘着力、対ウ
ェハ有機異物汚染は下記の方法にて評価を行ったもので
ある。 ＜粘着保持力＞JISZ０２３７に基づいて行った。すなわ
ち、実施例及び比較例で作製したクリーニングシートか
ら２５ｍｍ×７５ｍｍの測定用シートを作製し、通常の
粘着剤層を２３℃湿度５０％の環境下でステンレス板
（ＳＵＳ３０４で♯３６０サンドペーパーで磨いたも
の）に接着面積が２５ｍｍ×２５ｍｍになるように１
９．６Ｎのゴムロールを１往復させて圧着する。２０分
以上放置した後、４０℃の恒温槽に入れ、ステンレス板
の一端を留め金でとめ、さらに２０分後にせん断方向に
９．８Ｎの荷重をかけ、１時間後のズレの距離もしくは
落下時間を測定して行った。

【００２１】＜対シリコン粘着力＞実施例及び比較例で
作製したクリーニングシートの通常の粘着剤層をシリコ
ンウェハ（ミラー面）に１９．６Ｎのローラを１往復し
て圧着し、３０分間放置した後、常態での対シリコンウ
ェハへの１８０度引き剥がし粘着力（Ｎ／１０ｍｍ幅）
を測定した。尚、引き剥がし速度は３００ｍｍ／ｍｉ
ｎ．とした。

【００２２】＜対ウェハ有機物汚染＞実施例及び比較例
で作製したクリーニングシートの通常の粘着剤層をシリ
コンウェハ（ミラー面）に貼付け、４０℃中に１日放置
後、シート片を剥離し、ウェハ上に転写した有機物をES
CA（model５４００アルバックファイ社製）を用いて測
定した。全くシートを貼り付けていなウェハも同様に分
析し、検出された炭素原子の増加量により有機物の転写
量を評価した。

【００２３】（参考例１）温度計、攪拌機、窒素導入管
および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口
フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルへキシル
７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部、重合開
始剤として２，２‘−アゾビスイソブチロニトリル０．
１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになる
ように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しなが
ら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部
の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合
を行い、参考例１の粘着剤ポリマー溶液を得た。このポ
リマーのゲルパーミュエーションクロマトグラフ法によ
り測定される重量平均分子量は９３万であり、重量平均
分子量が１０万以下の成分は７．５重量％であった。

【００２４】（参考例２）温度計、攪拌機、窒素導入管
および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口
フラスコ型反応器内に、アクリル酸ｎ−ブチル１００
部、アクリル酸５部、２、２'−アゾビスイソブチロニ
トリル０．１部、酢酸エチル２００部を、全体が２００
ｇとなるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導
入しながら攪拌し、内部の空気を窒素で置換した。その
後内部の温度を６０℃にし、この状態で約６時間保持し
て重合を行ない、参考例２の粘着剤ポリマー溶液を得
た。このポリマーのゲルパーミュエーションクロマトグ
ラフィ法により測定される重量平均分子量は１65万であ
り、重量平均分子量が１０万以下の成分は１３．１重量
％であった。

【００２５】実施例1 アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチ
ル２０部、およびアクリル酸５部からなるモノマー混合
液から得たアクリルポリマー（重量平均分子量７０万）
１００部に対して、ポリエチレングリコール２００ジメ
タクリレート（新中村化学製：商品名：Ｎｋエステル４
Ｇ）５０部、ウレタンアクリレート（新中村化学製：商
品名：Ｕ−Ｎ−０１）５０部、ポリイソシアネート化合
物（日本ポリウレタン工業製：商品名：コロネートＬ）
３部、および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタ
ール（チバ・スぺシャリティケミカルズ製：商品名：イ
ルガキュアー６５１）３部を均一に混合し、紫外線硬化
型粘着剤溶液を調整した。参考例１で作製した粘着剤ポ
リマー溶液１００部にポリイソシアネート化合物３部を
添加して均一によるように攪拌した。その溶液を幅２５
０mm、厚み２５μｍの長尺ポリエステル製支持フィルム
の片面に、乾燥後の厚みが１５μｍになるよう塗布して
通常の粘着剤層を設け、その表面に厚み３８μｍのシリ
コーン処理されたポリエステル系剥離フィルムＡを貼っ
た。支持フィルムのもう一方の側に、前記の紫外線硬化
型粘着剤溶液を乾燥後の厚み３０μｍになるように塗布
してクリーニング層としての粘着剤層を設け、その表面
に同様の長尺剥離フィルムを貼り合わせた。次に中心波
長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００mＪ/cm²照射
しクリーニングシート１を作製した。

【００２６】この紫外線硬化型粘着剤について、引っ張
り弾性率（試験法ＪＩＳ Ｋ７１２７）を測定したとこ
ろ、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１０００m
Ｊ/cm²照射した後で４９Ｍｐａであった。このクリーニ
ングシート１の通常の粘着剤層のセパレータフィルムを
剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー
面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコ
ンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表
１に示した。

【００２７】次にこのクリーニングシート１を用いて、
ウェハへのシートの貼付を行い、クリーニング部材を作
製した。クリーニングシート１を８インチのシリコンウ
ェハのミラー面にハンドローラーで貼り付け、シリコンウェ
ハ形状にシートをカットしクリーニング機能付搬送用ク
リーニング部材１を作製した。このクリーニング部材1
を50℃の恒温室に7日間保管し、経時観察を行ったが外
観上の不具合は発生せず、全く問題なかった。

【００２８】一方、レーザー式異物測定装置で、新品の
８インチシリコンウェハ４枚のミラー面の０．２μｍ以
上の異物を測定したところ、１枚は８個、２枚目は１１
個、３枚目は９個、４枚目は５個であった。これらのウ
ェハを別々の静電吸着機構を有する基板処理装置にミラ
ー面を下側にして搬送した後、レーザー式異物測定装置
で、０．２μｍ以上の異物を測定したところ、８インチ
ウエハサイズのエリア内で１つ目は２８５５９個、２つ
目は３０１１５個、３つ目は２７８６５個、4つ目は３
１７３２個であった。次いで前記で得たクリーニング部
材１のクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記
の２８５５９個の異物が付着していたウエハステージを
持つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送で
きた。 その後に新品の８インチシリコンウェハをミラ
ー面を下側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で
０．２μｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施
し、その後の除じん性（％）を表１に示した。

【００２９】実施例２ 通常の粘着剤側の剥離フィルムとしてシリコーン処理さ
れたポリエステル系剥離フィルムＢを用いた以外は、実
施例１と同様にしてクリーニングシート２を作製した。
クリーニングシート2の粘着剤層のセパレータフィルム
を剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミラー
面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシリコ
ンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果を表
１に示した。

【００３０】次にこのクリーニングシート２を用いて、
実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリ
ーニング部材を作製した。クリーニングシート２を８イ
ンチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付
け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニン
グ機能付搬送用クリーニング部材２を作製した。このク
リーニング部材２を50℃の恒温室に7日間保管し、経時
観察を行ったが外観上の不具合は発生せず、全く問題な
かった。

【００３１】次いで前記で得た搬送用クリーニング部材
２のクリーニング層側の剥離フィルムを剥がし、上記の
３０１１５個の異物が付着していたウエハステージを持
つ基板処理装置内に搬送したところ、支障なく搬送でき
た。 その後に８インチシリコンウェハをミラー面を下
側に向けて搬送し、レーザー式異物測定装置で０．２μ
ｍ以上の異物を測定した。この操作を５回実施した。

【００３２】比較例１ 通常の粘着剤層として参考例2の粘着剤ポリマーを用い
た以外は実施例１と同様にして、クリーニングシート３
を作製した。クリーニングシート３の粘着剤層のセパレ
ータフィルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウ
ェハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、
およびシリコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、
その結果を表１に示した。

【００３３】次にこのクリーニングシート３を用いて、
実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリ
ーニング部材を作製した。クリーニングシート３を８イ
ンチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付
け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニン
グ機能付搬送用クリーニング部材３を作製した。このク
リーニング部材３を50℃の恒温室に7日間保管し、経時
観察を行ったところ、１日経過後でクリーニングシート
の端部がウェハから５ｍｍ程度剥れており、外観不良が
発生していた。クリーニング部材３はクリーニング部材
として利用できないと判断し、クリーニングは中止し
た。

【００３４】比較例２ 通常の粘着剤層として参考例2の粘着剤ポリマー、通常
の粘着剤層のセパレータフィルムとしてシリコーン処理
されたポリエステル系剥離フィルムＢを用いた以外は実
施例１と同様にして、クリーニングシート４を作製し
た。クリーニングシート４の粘着剤層のセパレータフィ
ルムを剥がし、粘着剤層の保持力とシリコンウェハ（ミ
ラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力、およびシ
リコンウェハに対する有機物汚染量を測定し、その結果
を表１に示した。

【００３５】次にこのクリーニングシート４を用いて、
実施例1と同様にウェハへのシートの貼付を行い、クリ
ーニング部材を作製した。クリーニングシート４を８イ
ンチのシリコンウェハのミラー面にハンドローラーで貼り付
け、シリコンウェハ形状にシートをカットしクリーニン
グ機能付搬送用クリーニング部材４を作製した。このク
リーニング部材４を50℃の恒温室に7日間保管し、経時
観察を行ったところ、１日経過後でクリーニングシート
の端部がウェハから５ｍｍ程度剥れており、外観不良が
発生していた。クリーニング部材４はクリーニング部材
として利用できないと判断し、クリーニングは中止し
た。

【００３６】

【００３７】

【発明の効果】以上のように本発明のクリーニングシー
トによれば、クリーニングシートが搬送部材から剥れる
ことなく、しかも剥離除去した後の搬送部材への汚染も
抑えることができると共に、基板処理装置内を確実に搬
送でき、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に除
去できるクリーニングシートを提供できる。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 支持体の片面にクリーニング層が設けら
   れ、他面に通常の粘着剤層が設けられてなるクリーニン
   グシートにおいて、該通常の粘着剤層の保持力がJISZ０
   ２３７において３６００秒後のズレの距離が５ｍｍ以下
   であることを特徴とするクリーニングシート。
2. 【請求項２】 通常の粘着剤層のシリコンウェハ（ミラ
   ー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が０．０１〜
   １０Ｎ／１０ｍｍであることを特徴とする請求項１記載
   のクリーニングシート。
3. 【請求項３】 通常の粘着剤層が、該粘着剤層中に含ま
   れるポリマーの重量平均分子量が１０⁵以下の成分が１
   ０重量％以下であることを特徴とする請求項１〜２いず
   れか記載のクリーニングシート。
4. 【請求項４】 クリーニング層の引っ張り弾性率（試験
   法ＪＩＳ Ｋ７１２７に準ずる）が１０Ｍｐａ以上であ
   ることを特徴とする請求項１〜３いずれか記載のクリー
   ニングシート。
5. 【請求項５】 搬送部材に、請求項１〜４いずれか記載
   のクリーニングシートが、通常の粘着剤層により設けら
   れたクリーニング機能付き搬送部材。
6. 【請求項６】 請求項１〜４いずれか記載のクリーニン
   グシート又は請求項５記載の搬送部材を、基板処理装置
   内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニ
   ング方法。