JP2003209156A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械効率が良く、コンパクトな基板搬送装置
を提供する。 【解決手段】 可動基台１２に装着された第１、第２の
従動車１４、１６と、該第１の従動車１４とヘッド部１
０６とを係合する回転力伝動手段１８と、第１、第２の
駆動車２０、２２と、前記第１の従動車１４、第１の駆
動車２０、第２の従動車１６、第２の駆動車２２にこの
順で巻き掛けられた可撓性を有するエンドレスの巻き掛
け部材２４と、を備え、且つ、該巻き掛け部材２４を、
前記第１の従動車１４との接点からＸ方向の一方側に該
Ｘ方向に沿って案内すると共に前記第２の従動車１６と
の接点からＸ方向の他方側に案内して、前記第１、第２
の駆動車２０、２２の回転駆動方向の組み合わせによ
り、前記ヘッド部１０６をθ方向に回転駆動可能、且
つ、Ｘ方向に直線駆動可能とした。又、前記第１、第２
の駆動車２０、２２を前記可動基台１２から分離して設
置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はシリコンウェハー、
液晶ガラス基板、コンパクトディスク、ハードディスク
等の基板を搬送する基板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、図６に示されるような、基板搬送
装置が知られている。基板搬送装置１００は、基板１０
２をピックアップ・解放自在のハンド部１０４をＺ方向
移動自在、且つ、Ｚ方向に垂直な方向に突出・引込み自
在に支持するヘッド部１０６と、該ヘッド部１０６をθ
方向に回転自在に支持する固定基台１０７と、を含んで
構成されている。

【０００３】ヘッド部１０６は、ロッドアンテナ状に伸
縮することによりハンド部１０４をＺ方向に駆動するよ
うにされ、アーム１０７Ａ、１０７Ｂの同期動作によ
り、ハンド部１０４をＺ方向に垂直な方向に直線状に駆
動するようにされている。

【０００４】ヘッド部１０６の周囲には、該ヘッド部１
０６から径方向に等しく離間してカセットキャリアＣ１
〜Ｃ３、半導体製造装置のロードロックＬ１〜Ｌ３が配
置されている。カセットキャリアにはウェハー等の基板
が複数入ったカセットが外部から供給される。尚、これ
らカセットキャリア、ロードロックの他にプロセスチャ
ンバが配置されることもある。

【０００５】ハンド部１０４、ヘッド部１０６を駆動す
ることにより、カセットキャリアＣ１〜Ｃ３から適宜ロ
ードロックＬ１〜Ｌ３に基板１０２を搬送してエッチン
グ、被膜処理等の化学処理等を実行し、処理済みの基板
をカセットキャリアＣ１〜Ｃ３に回収するようにされて
いる。

【０００６】ここで近年、基板の多様な処理を行なうた
めに、より多数のカセットキャリア、ロードロックの間
で基板を搬送したいというニーズがある。一方、ヘッド
部１０６の周囲に配置することができるカセットキャリ
ア、ロードロック等は６個程度が限界である。

【０００７】そこで、図７及び図８に示されるように、
固定基台１０７に代えてヘッド部１０６をＺ方向の軸周
りのθ方向に回転自在に支持すると共にＸ方向に移動自
在とされた可動基台１０８を設け、該可動基台１０８の
移動方向に沿って、カセットキャリア、ロードロック等
を直線状に並設することにより、多数のカセットキャリ
ア、ロードロックの間で基板を搬送可能とした基板搬送
装置が知られている。

【０００８】可動基台１０８はＸ方向に配置されたガイ
ド１１０Ａ、１１０Ｂに案内されてＸ方向に移動自在と
され、Ｘ方向に配置されたボールねじ１１２を介して該
可動基台１０８を駆動するようにされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ヘッド
部１０６は、ハンド部１０４の突出・引込みのため及び
該ハンド部１０４をＺ方向に駆動するための２つの駆動
装置を備えていて重い。可動基台１０８は該ヘッド部１
０６を支持すると共に該ヘッド部１０６の回転駆動のた
めの駆動装置を支持しているので、該可動基台１０８と
共に移動する部位の重量は更に重い。従って可動基台１
０８をＸ方向に駆動するためには大きな駆動力が必要と
され、これにより基板搬送装置の機械効率が低下すると
いう問題がある。

【００１０】又、可動基台１０８及び該可動基台１０８
と共に移動する部位はそれ自体が大きいことに加え、該
可動基台１０８が移動するために大きな設置スペースが
必要とされ、基板搬送装置が大型化するという問題があ
る。

【００１１】本発明は、以上の問題点に鑑みてなされた
ものであって、機械効率が良く、コンパクトな基板搬送
装置を提供することをその課題とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、基板をピック
アップ・解放自在のハンド部をＺ方向移動自在、且つ、
Ｚ方向に垂直な方向に突出・引込み自在に支持するヘッ
ド部と、該ヘッド部をθ方向に回転自在に支持すると共
にＸ方向に移動自在とされた可動基台と、を含んでなる
基板搬送装置において、前記可動基台に回転自在に装着
された第１及び第２の従動車と、該第１及び第２の従動
車の少なくとも一方と前記ヘッド部とを回転力伝動可能
に係合する回転力伝動手段と、第１及び第２の駆動車
と、前記第１の従動車、第１の駆動車、第２の従動車、
第２の駆動車にこの順で巻き掛けられた可撓性を有する
エンドレスの巻き掛け部材と、を備え、且つ、該巻き掛
け部材を、前記第１の従動車との接点から前記Ｘ方向の
一方側に該Ｘ方向に沿って案内すると共に前記第２の従
動車との接点から前記Ｘ方向の他方側に該Ｘ方向に沿っ
て案内して、前記第１及び第２の駆動車の回転駆動方向
の組み合わせにより、前記ヘッド部を前記θ方向に回転
駆動可能、且つ、前記Ｘ方向に直線駆動可能としたこと
により、上記課題を解決したものである。

【００１３】又、前記第１及び第２の駆動車を前記可動
基台から分離して設置してもよい。

【００１４】本発明によれば、基板搬送装置の作動効率
を高め、コンパクト化を図ることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例を
図面を参照して詳細に説明する。

【００１６】図１及び図２に示されるように、本実施の
形態の例に係る基板搬送装置１０は、可動基台１２に回
転自在に装着された第１及び第２の従動車１４及び１６
と、該第１の従動車１４とヘッド部１０６とを回転力伝
動可能に係合する回転力伝動手段１８と、第１及び第２
の駆動車２０及び２２と、該第１及び第２の駆動車２０
及び２２、前記第１及び第２の従動車１４及び１６に巻
き掛けられた巻き掛け部材２４と、が備えられ、且つ、
該巻き掛け部材２４は、前記第１の従動車１４との接点
からＸ方向の一方側に該Ｘ方向に沿って案内されると共
に前記第２の従動車１６との接点からＸ方向の他方側に
該Ｘ方向に沿って案内されて、前記第１の駆動車２０及
び第２の駆動車２２の回転駆動方向の組み合わせによ
り、前記ヘッド部１０６をθ方向に回転駆動可能、且
つ、Ｘ方向に直線駆動可能とされたことを特徴としてい
る。尚、前記ボールねじ１１２は設けられていない。

【００１７】その他の基本構造については前記従来の基
板搬送装置と同様であるので、図６〜図８と同一符号を
付することとして説明を適宜省略する。

【００１８】前記第１及び第２の従動車１４及び１６
は、前記可動基台１２のＸ方向の一端近傍に配置され、
可動基台１２のＹ方向の中央近傍に軸支されている。
又、これら第１及び第２の従動車１４及び１６の外周に
は円周方向等間隔で複数の歯（図示省略）が形成されて
いる。

【００１９】図３に示されるように、前記回転力伝動手
段１８は、噛み合い係合する一対の歯車１８Ａ及び１８
Ｂを含んで構成され、該歯車１８Ａは前記第１の従動車
１４に同軸的に連結されて第１の従動車１４と一体で回
転するようにされている。一方、前記歯車１８Ｂは前記
ヘッド部１０６の下端近傍の外周に取付けられて該ヘッ
ド部１０６と一体で回転するようにされている。

【００２０】前記第１、第２の駆動車２０、２２は、前
記可動基台１２から分離されてそれぞれ前記ガイド１１
０Ａ、１１０Ｂの一端近傍に設置され、外周に円周方向
等間隔で複数の歯（図示省略）が形成されている。又、
これら第１、第２の駆動車２０、２２にはそれぞれ第１
のモータ２６、第２のモータ２８が同軸的に連結されて
いる。尚、前記ガイド１１０Ａ、１１０Ｂの他端近傍に
は第１、第２のガイド車３０、３２が配置されて軸が固
定設置されている。

【００２１】前記巻き掛け部材２４は可撓性を有するエ
ンドレスのタイミングベルトで複数の歯（図示省略）が
内周に等間隔で形成され、前記第１の従動車１４、第１
の駆動車２０、第１のガイド車３０、第２の従動車１
６、第２のガイド車３２、第２の駆動車２２にこの順で
巻き掛けられている。

【００２２】該巻き掛け部材２４における前記第１の従
動車１４と前記第１の駆動車２０の間の部分及び前記第
１の従動車１４と前記第２の駆動車２２の間の部分がＸ
方向に沿うようにこれら第１の従動車１４、第１の駆動
車２０、第２の駆動車２２が配置されている。同様に、
該巻き掛け部材２４における前記第２の従動車１６と前
記第１のガイド車３０の間の部分及び前記第２の従動車
１６と前記第２のガイド車３２の間の部分がＸ方向に沿
うようにこれら第２の従動車１６、第１のガイド車３
０、第２のガイド車３２が配置されている。

【００２３】即ち、該巻き掛け部材２４は、前記第１の
従動車１４との接点からＸ方向の一方側に該Ｘ方向に沿
って案内されると共に前記第２の従動車１６の接点から
前記Ｘ方向の他方側に該Ｘ方向に沿って案内されてい
る。

【００２４】尚、図中の符号３４は取付けベースで前記
ガイド１１０Ａ、１１０Ｂを固定支持すると共に前記第
１、第２の駆動車２０、２２及び前記第１、第２のガイ
ド車３０、３２を回転自在に支持している。又、符号３
６はテンションプーリで、前記巻き掛け部材２４の緊縛
力を調節可能とされている。

【００２５】次に、該基板搬送装置１０の作用について
説明する。

【００２６】前記ヘッド部１０６をθ方向に回転駆動す
るときは、前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２
が同方向に等しい回転速度で回転するように前記モータ
２６、２８に通電して前記巻き掛け部材２４を駆動す
る。

【００２７】例えば、図２における時計回りの方向に前
記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２双方を回転さ
せると、該巻き掛け部材２４は前記第１の駆動車２０に
巻き取られる速度と等しい速度で前記第２の駆動車２２
から巻き出されるので一定の姿勢を保持しつつ、前記第
１の従動車１４、第１の駆動車２０、第１のガイド車３
０、第２の従動車１６、第２のガイド車３２、第２の駆
動車２２に沿って循環し、該第１の従動車１４を反時計
回りの方向に回転駆動する。該従動車１４は前記歯車１
８Ａ、１８Ｂを介して前記ヘッド部１０６を時計回りの
方向に回転駆動する。

【００２８】尚この際、該第１の従動車１４は前記第１
の駆動車２０の方向に引っ張られるが、前記第２の従動
車１６が前記第２のガイド車３２の方向に引っ張られる
ので前記可動基台１２は移動することなく一定位置に保
持される。即ち、前記ヘッド部１０６は、Ｘ方向に移動
することなく一定位置に保持されて時計回りの方向に回
転する。

【００２９】同様に図２における反時計回りの方向に等
しい回転速度で前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車
２２双方を回転させることにより前記ヘッド部１０６を
一定位置に保持しつつ反時計回りの方向に回転駆動する
ことができる。

【００３０】次に、前記ヘッド部１０６をＸ方向に直線
駆動するときは、前記第１の駆動車２０及び第２の駆動
車２２が反対方向に等しい回転速度で回転するように前
記モータ２６、２８に通電して前記巻き掛け部材２４を
駆動する。

【００３１】例えば、図２における時計回りの方向に前
記第１の駆動車２０を回転させると共に反時計回りの方
向に前記第２の駆動車２２双方を回転させると、該巻き
掛け部材２４は前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車
２２に等しい速度で巻き取られつつ前記第１の従動車１
４を前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２側（Ｘ
方向の一方側）に付勢する。

【００３２】該巻き掛け部材２４が前記第１の駆動車２
０及び第２の駆動車２２に等しい速度で巻き取られるの
で、前記第１の従動車１４は回転することなく前記第１
の駆動車２０及び第２の駆動車２２側に付勢される。こ
れにより、前記ヘッド部１０６が回転することなく該第
１の従動車１４、前記可動基台１２と共に前記第１の駆
動車２０及び第２の駆動車２２側に移動する。

【００３３】同様に等しい回転速度で図２における反時
計回りの方向に前記第１の駆動車２０を、時計回りの方
向に前記第２の駆動車２２を回転させることにより前記
ヘッド部１０６を回転させることなく前記第１、第２の
ガイド車３０、３２側（Ｘ方向の他方側）に直線駆動す
ることができる。

【００３４】次に、前記ヘッド部１０６を回転駆動する
と共にＸ方向に直線駆動するときは、前記第１の駆動車
２０及び第２の駆動車２２が異なる回転速度で回転する
ように前記モータ２６、２８に通電して前記巻き掛け部
材２４を駆動する。

【００３５】例えば、図２における時計回りの方向に前
記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２双方を回転さ
せると共に、該第１の駆動車２０を第２の駆動車２２よ
りも速い回転速度で回転させると、該巻き掛け部材２４
は前記第２の駆動車２２から巻き出される速度よりも速
い速度で前記第１の駆動車２０に巻き取られるので、前
記第１の従動車１４を反時計回りの方向に回転駆動しつ
つ前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２側に付勢
する。

【００３６】これにより、前記ヘッド部１０６は時計回
りの方向に回転しつつ前記第１の駆動車２０及び第２の
駆動車２２側に移動する。一方、該第１の駆動車２０よ
りも第２の駆動車２２を速い回転速度で回転させること
により、前記ヘッド部１０６を反時計回りの方向に回転
駆動しつつ前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２
側に直線駆動することができる。

【００３７】同様に、図２における反時計回りの方向に
前記第１の駆動車２０及び第２の駆動車２２双方を相異
なる回転速度で回転させることにより、前記ヘッド部１
０６を時計回り又は反時計回りの方向に回転駆動しつつ
前記第１、第２のガイド車３０、３２側に直線駆動する
ことができる。

【００３８】このように、該基板搬送装置１０は前記第
１の駆動車２０及び第２の駆動車２２の回転方向の組み
合わせ、回転速度を変えることにより前記ヘッド部１０
６をθ方向に回転駆動可能、且つ、Ｘ方向に直線駆動可
能である。

【００３９】該ヘッド部１０６を回転駆動するための前
記第１の駆動車２０、第２の駆動車２２、第１のモータ
２６、第２のモータ２８が前記可動基台１２から分離さ
れて設置されているため、該可動基台１２と共に移動す
る部位が軽量であり、該可動基台１２を駆動するための
必要な駆動力がそれだけ小さい。即ち、該基板搬送装置
１０は機械効率が良い。

【００４０】又、該可動基台１２上の前記ヘッド部１０
６の周辺の構造が簡単であるため、該ヘッド部１０６の
保守・修理作業が容易である。更に、該ヘッド部１０６
の周辺の空気の通りがよく、該ヘッド部１０６の周辺に
塵が溜まりにくく、良好な空冷効果が得られる。

【００４１】又、該可動基台１０８と共に移動する部位
が小さいため、該可動基台１０８が移動するために必要
とされるスペースもそれだけ小さく、該基板搬送装置１
０はコンパクトである。

【００４２】又、前記ヘッド部１０６を回転駆動、直線
駆動するための前記第１の駆動車２０、第２の駆動車２
２等を含む駆動機構が共通であるので、部品点数が少な
く該基板搬送装置１０は低コストである。

【００４３】次に、本発明の実施の形態の第２例につい
て説明する。

【００４４】図４及び図５に示されるように、本実施の
形態の第２例は前記実施の形態の第１例に対して、共通
の１個のモータ４０が前記第１の駆動車２０、第２の駆
動車２２を駆動するようにされると共に、該第１の駆動
車２０、第２の駆動車２２を同方向、反対方向に選択的
に回転させることができるクラッチ機構４２が備えられ
たことを特徴としている。

【００４５】その他の構造については、実施の形態の第
１例と同様であるので説明を省略する。

【００４６】前記第１の駆動車２６は第１の駆動軸４４
を介して前記モータ４０に連結され、該第１の駆動軸４
４及びモータ４０と一体で回転するようにされている。
一方、前記第２の駆動車２８は第２の駆動軸４６に連結
され、該第２の駆動軸４６と一体で回転するようにされ
ている。

【００４７】前記クラッチ機構４２は、前記第１の駆動
軸４４に摺動自在、且つ、回転力伝達可能に係合された
第１のスプロケット４８と、前記第２の駆動軸４６に一
体回転するように結合された第２のスプロケット５０
と、該第２の駆動軸４６の外側に同軸的に配置された中
空軸５２と、該中空軸５２に一体回転するように結合さ
れた第３のスプロケット５４と、これら第２及び第３の
スプロケット５０及び５４の間に配置され、且つ、中空
軸５２に回転自在に支持された第４のスプロケット５６
と、前記第１のスプロケット４８に巻き掛けられると共
に、選択的に前記第２、第３、第４のスプロケット５
０、５４、５６のいずれかに巻き掛けられるベルト５８
と、を含んで構成されている。

【００４８】又、前記第２の駆動軸４６、中空軸５２に
はそれぞれかさ歯車６０、６２が一体回転するように結
合されている。これらかさ歯車６０、６２は直交するか
さ歯車６４を介して噛み合い係合し、相互に反対方向に
回転するようにされている。

【００４９】前記ベルト５８は、前記第１のスプロケッ
ト４８とともに図示しない切換え手段により前記第１の
駆動軸４４に沿って移動自在とされ、これにより選択的
に前記第２、第３、第４のスプロケット５０、５４、５
６のいずれかに巻き掛けられるようにされている。

【００５０】次に、該クラッチ機構４２の作用について
説明する。

【００５１】前記第１の駆動車２０、第２の駆動車２２
を同方向に回転させるときは、前記第２のスプロケット
５０に前記ベルト５８が巻き掛けられるように、該ベル
ト５８及び前記第１のスプロケット４８を位置決めす
る。

【００５２】この状態で前記モータ４０を駆動すると、
該モータ４０の回転は前記第１の駆動軸４４に伝達さ
れ、前記第１の駆動車２０及び前記第１のスプロケット
４８が該モータ４０と同方向に回転する。該第１のスプ
ロケット４８の回転は前記ベルト５８を介して前記第２
のスプロケット５０に伝達され、該第２のスプロケット
５０もモータ４０と同方向に回転する。該第２のスプロ
ケット５０の回転は前記第２の駆動軸４６を介して前記
第２の駆動車２２に伝達され、これにより該第２の駆動
車２２が前記第１の駆動車２０と同様に前記モータ４０
と同方向に回転する。

【００５３】次に、前記第１の駆動車２０、第２の駆動
車２２を逆方向に回転させるときは、前記第３のスプロ
ケット５４に前記ベルト５８が巻き掛けられるように、
該ベルト５８及び前記第１のスプロケット４８を位置決
めする。

【００５４】この状態で前記モータ４０を駆動すると、
該モータ４０の回転は前記第１の駆動軸４４に伝達さ
れ、前記第１の駆動車２０及び前記第１のスプロケット
４８が該モータ４０と同方向に回転する。該第１のスプ
ロケット４８の回転は前記ベルト５８を介して前記第３
のスプロケット５４に伝達され、該第３のスプロケット
５４もモータ４０と同方向に回転する。

【００５５】該第３のスプロケット５４の回転は前記中
空軸５２、前記かさ歯車６２、６４、６０に伝達され
る。該かさ歯車６０は前記モータ４０と反対方向に回転
し、これにより前記第２の駆動軸４６を介して前記第２
の駆動車２２が前記モータ４０と反対方向に回転する。
即ち、前記第１の駆動車２０と第２の駆動車２２とが相
互に逆方向に回転する。

【００５６】尚、前記第４のスプロケット５６は、前記
ベルト５８が前記第２及び第３のスプロケット５０及び
５４の両方に巻き掛けられることを防止するために設け
られている。

【００５７】このように、該クラッチ機構４２は、前記
ベルト５８及び第１のスプロケット４８を軸方向に適宜
位置決めして該ベルト５８を選択的に前記第２、第３の
スプロケット５０、５４のいずれかに巻き掛けることに
より該第１の駆動車２０、第２の駆動車２２を同方向、
反対方向に選択的に回転させることができ、更に、前記
モータ４０の回転方向を選択することにより、前記実施
の形態の第１例と同様に、前記ヘッド部１０６をθ方向
両側に回転駆動可能、且つ、Ｘ方向両側に直線駆動可能
である。

【００５８】該実施の形態の第２例によれば、共通の１
個のモータ４０が前記第１の駆動車２０、第２の駆動車
２２を駆動することで前記ヘッド部１０６をθ方向両側
に回転駆動可能、且つ、Ｘ方向両側に直線駆動可能であ
るので、モータの設置数が少なく低コストである。

【００５９】尚、前記実施の形態の第１例及び第２例に
おいて、前記第１の駆動車２０、第２の駆動車２２はい
ずれも前記可動基台１２から分離されて設置されている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、駆動車の
一方又は両方を可動基台に設置してもよい。

【００６０】この場合も、共通の駆動機構が前記ヘッド
部１０６を回転駆動及び直線駆動するので部品点数が少
なくコスト低減効果が得られる。

【００６１】又、前記実施の形態の第１例において、前
記巻き掛け部材２４は複数の歯が内周に等間隔で形成さ
れたタイミングベルトとされているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、例えば、歯を形成することな
く、駆動車、従動車と摩擦力のみで係合するベルトの巻
き掛け部材としてもよく、又、駆動車、従動車にスプロ
ケットを装着し、該スプロケットと係合するチェーンの
巻き掛け部材としてもよい。

【００６２】又、前記実施の形態の第１例において、前
記回転力伝動手段１８は前記第１の従動車１４と前記ヘ
ッド部１０６とを回転力伝動可能に係合しているが、本
発明はこれに限定されるものではなく、前記第２の従動
車１６と前記ヘッド部１０６とを回転力伝動可能に係合
する回転力伝動手段としてもよく、両従動車と前記ヘッ
ド部１０６とを回転力伝動可能に係合する回転力伝動手
段としてもよい。

【００６３】更に、前記回転力伝動手段１８は噛み合い
係合する一対の歯車を含んで構成されているが、本発明
はこれに限定されるものではなく、例えば、ベルトとプ
ーリを含んで構成した回転力伝動手段としてもよく、チ
ェーンとスプロケット含んで構成した回転力伝動手段と
してもよい。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板搬送装置の機械効率を向上させ、コンパクト化を図
ることができるという優れた効果がもたらされる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の第１例に係る基板搬送装
置の構造の概要を示す斜視図

【図２】同平面図

【図３】同基板搬送装置における回転力伝動手段の構造
を拡大して示す斜視図

【図４】本発明の実施の形態の第２例に係るクラッチ機
構の係合構造を示す斜視図

【図５】同側面図

【図６】従来の基板搬送装置の構造の一例を示す平面図

【図７】従来の基板搬送装置の構造の他の例を示す斜視
図

【図８】同平面図

【符号の説明】

１０、１００…基板搬送装置 １２、１０８…可動基台 １４…第１の従動車 １６…第２の従動車 １８…回転力伝動手段 ２０…第１の駆動車 ２２…第２の駆動車 ２４…巻き掛け部材 ２６…第１のモータ ２８…第２のモータ ４０…モータ ４２…クラッチ機構 １０２…基板 １０４…ハンド部 １０６…ヘッド部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板をピックアップ・解放自在のハンド部
   をＺ方向移動自在、且つ、Ｚ方向に垂直な方向に突出・
   引込み自在に支持するヘッド部と、該ヘッド部をθ方向
   に回転自在に支持すると共にＸ方向に移動自在とされた
   可動基台と、を含んでなる基板搬送装置において、 前記可動基台に回転自在に装着された第１及び第２の従
   動車と、該第１及び第２の従動車の少なくとも一方と前
   記ヘッド部とを回転力伝動可能に係合する回転力伝動手
   段と、第１及び第２の駆動車と、前記第１の従動車、第
   １の駆動車、第２の従動車、第２の駆動車にこの順で巻
   き掛けられた可撓性を有するエンドレスの巻き掛け部材
   と、が備えられ、且つ、該巻き掛け部材は、前記第１の
   従動車との接点から前記Ｘ方向の一方側に該Ｘ方向に沿
   って案内されると共に前記第２の従動車との接点から前
   記Ｘ方向の他方側に該Ｘ方向に沿って案内されて、前記
   第１及び第２の駆動車の回転駆動方向の組み合わせによ
   り、前記ヘッド部を前記θ方向に回転駆動可能、且つ、
   前記Ｘ方向に直線駆動可能とされたことを特徴とする基
   板搬送装置。
2. 【請求項２】請求項１において、 前記第１及び第２の駆動車は前記可動基台から分離され
   て設置されたことを特徴とする基板搬送装置。