JP2007155452A - 光コヒーレンス断層画像測定方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光コヒーレンス断層画像測定装置は、極短パルスレーザ装置1と、極短パルスレーザ装置1からの光パルスを2分して、一方を照射光、他方を参照光とするビームスプリッタ3と、照射光から2種類のビームプロファイルの光パルスを生成する照射光ビームプロファイル生成装置6と、被計測試料13に順次照射された2種類のビームプロファイルの光パルスによる被計測試料13からの反射光と参照光との干渉強度をビームプロファイル毎に測定する光検出器15と、2種類のビームプロファイルの光パルスによって得られた2種類の干渉強度の差分値を算出して記憶するコンピュータ16と、参照光の光路長を所定量変化させる光遅延機構14とを有する。
【選択図】 図1
Description
また、本発明の光コヒーレンス断層画像測定方法の1構成例において、前記光パルス出力手段から放射される光パルスは、光パルス間の光搬送波絶対位相のシフト量が一定値に固定されたものである
また、本発明の光コヒーレンス断層画像測定方法の1構成例において、前記2種類のビームプロファイルの光パルスは、ビームの中心部と周辺部の光搬送波絶対位相差が0の光パルスと前記光搬送波絶対位相差がπの光パルスである。
ビームスプリッタ3は、極短パルスレーザ装置1から放射された極短パルスレーザ光2を被計測試料13への照射光と光遅延機構14に向かう参照光とに分離する。
集光用光学素子12は、ビームスプリッタ4を透過した第1のビームプロファイルのパルスレーザ光又は第2のビームプロファイルのパルスレーザ光を集光して被計測試料13へ照射する。
一方、第1の光遅延機構14は、ビームスプリッタ3で反射した参照光の光路長を後述するコンピュータ16からの指示に応じて調整可能な機能を有する。
偏光ビームスプリッタ5は、被計測試料13からの反射光と偏光回転素子19を通過した参照光とを合成する。
図4にコンピュータ16の1構成例を示す。コンピュータ16は、ビームプロファイル選択部21と、光遅延制御部22と、干渉強度記憶部23と、干渉強度差分算出部24と、光断層画像出力部25とを有する。
光遅延制御部22は、参照光の光路長を所定量だけ変更するよう第1の光遅延機構14に指示する。
干渉強度差分算出部24は、第1のビームプロファイルのパルスレーザ光を被計測試料13に照射したときの干渉強度と第2のビームプロファイルのパルスレーザ光を被計測試料13に照射したときの干渉強度との差分値を算出する。
以上のようなコンピュータ16は、CPU、記憶装置およびインタフェースを備えたハードウェアとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。CPUは、記憶装置に格納されたプログラムに従って処理を実行する。
被計測試料13へ照射されたレーザパルスの反射光は、偏光ビームスプリッタ5で参照光と干渉する。干渉強度記憶部23は、光検出器15で測定された干渉強度の値を記憶する(ステップS3)。
前述と同様にステップS2,S3の処理により干渉強度の値が干渉強度記憶部23に記憶される。こうして、第1、第2のビームプロファイルを順次選択して、2種類のビームプロファイルについてそれぞれ干渉強度を測定し終えるまで、ステップS1〜S4の処理が繰り返される。
次に、ビームプロファイル選択部21は、所定回数測定し終えたかどうかを判定する(ステップS8)。この所定回数は、所定の測定範囲を光遅延機構14の1回あたりの光路長変化量で割った値である。こうして、所定回数測定し終えるまで、ステップS1〜S8の処理が繰り返され、参照光の光路長を増加または減少させながら、参照光の光路長が変化する度に干渉強度の差分値を算出して記憶する。
Claims (6)
- 光パルス出力手段から放射された光パルスを2分して、一方を被計測試料への照射光とし、他方を参照光とする分離ステップと、
前記照射光から第1、第2の2種類のビームプロファイルの光パルスを順次生成する生成ステップと、
前記被計測試料に順次照射された前記2種類のビームプロファイルの光パルスによる前記被計測試料からの反射光と前記参照光との干渉強度をビームプロファイル毎に測定する干渉強度測定ステップと、
前記第1のビームプロファイルの光パルスによって得られた前記干渉強度と前記第2のビームプロファイルの光パルスによって得られた前記干渉強度との差分値を算出する干渉強度差分算出ステップと、
前記干渉強度の差分値を記憶する記憶ステップと、
前記参照光の光路長を所定量変化させる光路長制御ステップとを、
前記参照光の光路長を変化させながら繰り返し行い、前記記憶ステップで記憶した一連の干渉強度の差分値を光断層画像として出力することを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定方法。 - 請求項1に記載の光コヒーレンス断層画像測定方法において、
前記光パルス出力手段から放射される光パルスは、光パルス間の光搬送波絶対位相のシフト量が一定値に固定されていることを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定方法。 - 請求項1に記載の光コヒーレンス断層画像測定方法において、
前記2種類のビームプロファイルの光パルスは、ビームの中心部と周辺部の光搬送波絶対位相差が0の光パルスと前記光搬送波絶対位相差がπの光パルスであることを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定方法。 - 光パルス出力手段と、
この光パルス出力手段から放射された光パルスを2分して、一方を被計測試料への照射光とし、他方を参照光とするビームスプリッタと、
前記照射光から第1、第2の2種類のビームプロファイルの光パルスを順次生成する生成手段と、
前記被計測試料に順次照射された前記2種類のビームプロファイルの光パルスによる前記被計測試料からの反射光と前記参照光との干渉強度をビームプロファイル毎に測定する光検出手段と、
前記第1のビームプロファイルの光パルスによって得られた前記干渉強度と前記第2のビームプロファイルの光パルスによって得られた前記干渉強度との差分値を算出する干渉強度差分算出手段と、
前記干渉強度の差分値を記憶する記憶手段と、
前記参照光の光路長を所定量変化させる光路長制御手段とを有し、
前記参照光の光路長を変化させながら前記干渉強度の差分値算出を繰り返し行い、前記記憶手段に記憶された一連の干渉強度の差分値を光断層画像として出力することを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定装置。 - 請求項4に記載の光コヒーレンス断層画像測定装置において、
前記光パルス出力手段は、光パルス間の光搬送波絶対位相のシフト量が一定値に固定された光パルスを放射することを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定装置。 - 請求項4に記載の光コヒーレンス断層画像測定装置において、
前記2種類のビームプロファイルの光パルスは、ビームの中心部と周辺部の光搬送波絶対位相差が0の光パルスと前記光搬送波絶対位相差がπの光パルスであることを特徴とする光コヒーレンス断層画像測定装置。
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