JP2012004367A - ピッチ変換装置およびピッチ変換方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の進入部材１１を隣り合う仕切部材９０の間に対して確実に進入させることが可能な、小型のピッチ変換装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向に並列配置された複数の仕切部材９０のピッチを変換する装置であって、Ｘ方向に並列配置され、隣り合う仕切部材９０の間に進入する複数の進入部材１１と、Ｘ方向に移動しながら複数の進入部材１１を順番に押出して隣り合う仕切部材９０の間に進入させる押出部材３１と、を備えている。進入部材１１は、隣り合う仕切部材９０の間から退出する方向に付勢されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、ピッチ変換装置およびピッチ変換方法に関するものである。

複数の平板状のワークを運搬する場合にラックが使用される。ラックは、複数の仕切部材を備え、隣り合う仕切部材の間にワークを搭載するようになっている。このラックに搭載されたワークを１枚ずつチャックで挟持して取り出す場合には、隣り合うワークの間にチャックを挿入するため、隣り合うワークのピッチを拡大する必要がある。ワークのピッチの拡大は、ラックの仕切部材のピッチを拡大することで実現される。そのため、ラックの仕切部材のピッチを変換するピッチ変換装置が提案されている。

特許文献１には、隣接する基板保持部材（仕切部材に相当）間に進入可能な複数の進入部材と、複数の進入部材を基板保持部材間に進入させるとともに基板保持部材間から引き出すための進入部材駆動手段と、複数の基板保持部材を互いに近接する方向に移動させる移動手段と、を備えた基板配列ピッチ変換装置が提案されている。複数の進入部材は、それぞれが実質的に同時に隣接する基板保持部材間に進入するように配置されている（以下、第１従来技術という。）。

また特許文献１には、複数の進入部材の高さを異ならせることにより、隣接する基板保持部材間に１つの進入部材が進入した後、基板保持部材間に進入済の進入部材に隣接する進入部材が隣接する基板保持部材間に進入するように配置された基板配列ピッチ変換装置が提案されている（以下、第２従来技術という。）。

特開平７−１８３３５７号公報

第１従来技術では、複数の進入部材を同時に、隣接する基板保持部材間に進入させる。しかしながら、一方端部の進入部材に対して一方端部の基板保持部材を位置決めしても、他方端部の基板保持部材の位置は全ての基板保持部材の寸法誤差の影響を受けるので、他方端部の進入部材に対する他方端部の基板保持部材の位置ズレが大きくなる。そのため、複数の進入部材を同時に複数の基板保持部材間に進入させることは、現実的には困難である。

第２従来技術では、複数の進入部材を順番に、隣接する基板保持部材間に進入させる。この場合、一方端部の第１進入部材に対して一方端部の第１基板保持部材を位置決めすれば、隣接する第２基板保持部材の位置は第２基板保持部材の寸法誤差のみで決まるため、第２進入部材に対する第２基板保持部材の位置ズレは小さくなる。そのため、複数の進入部材を順番に、隣接する基板保持部材間に進入させることができる。
しかしながら第２従来技術では、複数の進入部材を順番に移動させるため、複数の進入部材の高さを異ならせているので、ピッチ変換装置が大型化するという問題がある。

本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、複数の進入部材を隣り合う仕切部材の間に対して確実に進入させることが可能な、小型のピッチ変換装置を提供することを目的とする。また、複数の進入部材を隣り合う仕切部材の間に対して確実に進入させることができるピッチ変換方法の提供を目的とする。

上記の問題を解決するために、本発明のピッチ変換装置は、第１方向に並列配置された複数の平板状部材のピッチを変換する装置であって、前記第１方向に並列配置され、隣り合う前記平板状部材の間に進入する複数の進入部材と、前記第１方向に移動しながら、前記複数の進入部材を順番に押出して、隣り合う前記平板状部材の間に進入させる押出部材と、を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、第１方向における一方端部の第１進入部材に対して一方端部の第１平板状部材を位置決めすれば、他の平板状部材の位置は当該平板状部材の寸法誤差のみで決まるため、進入部材に対する平板状部材の位置ズレは小さくなる。そのため、複数の進入部材を隣接する平板状部材の間に対して確実に進入させることができる。
また、押出部材が第１方向に移動しながら複数の進入部材を順番に押出すので、進入部材の高さを異ならせる必要がない。したがって、ピッチ変換装置を小型化することができる。

また前記進入部材は、隣り合う前記平板状部材の間から退出する方向に付勢されていることを特徴とする。
この発明によれば、ピッチ変換作業の完了後には、全ての進入部材が隣り合う平板状部材の間から退出した状態になる。したがって、仕切部材が搭載されたラック等を後工程に搬送する際に、仕切部材と進入部材との干渉を回避することができる。

また、全ての前記進入部材が隣り合う前記平板状部材の間から退出したことを検出するセンサを備えていることを特徴とする。
この発明によれば、仕切部材と進入部材との干渉を確実に回避することができる。

また前記押出部材は、前記進入部材を押出して隣り合う前記平板状部材の間に進入させる第１傾斜面と、隣り合う前記平板状部材の間に進入した状態で前記進入部材を保持する保持面と、を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、押出部材が第１傾斜面を備えているので、進入部材を徐々に押出して平板状部材の間に進入させることが可能になり、平板状部材のピッチを精度よく変換することができる。また、押出部材が保持面を備えているので、先に進入した第１の進入部材と、第１の進入部材の進入によりピッチ拡大方向に移動した第２の平板状部材とが、当接した状態で保持される。この状態で、次の第２の進入部材を進入させることにより、第２の平板状部材がピッチ縮小方向に移動するのを阻止しつつ、第３の平板状部材をピッチ拡大方向に移動させることができる。したがって、平板状部材のピッチを精度よく変換することができる。

本発明のピッチ変換方法は、第１方向に並列配置された複数の進入部材を、前記第１方向に並列配置された複数の平板状部材の間に進入させて、前記平板状部材のピッチを変換する方法であって、隣り合う第１の前記平板状部材と第２の前記平板状部材との間に、第１の前記進入部材を進入させる工程と、前記第１の平板状部材と前記第２の平板状部材との間に前記第１の前記進入部材を進入させた状態で、隣り合う前記第２の平板状部材と第３の前記平板状部材との間に、第２の前記進入部材を進入させる工程と、前記第１の平板状部材と前記第２の平板状部材との間から、前記第１の前記進入部材を退出させる工程と、を有することを特徴とする。
この発明によれば、先に進入した第１の進入部材と、第１の進入部材の進入によりピッチ拡大方向に移動した第２の平板状部材とが、当接した状態で保持されている。この状態で、次の第２の進入部材を進入させることにより、第２の平板状部材がピッチ縮小方向に移動するのを阻止しつつ、第３の平板状部材をピッチ拡大方向に移動させることができる。その後、第１の進入部材を退出させることにより、平板状部材のピッチを精度よく変換することができる。

本発明のピッチ変換装置によれば、第１方向における一方端部の第１進入部材に対して一方端部の第１平板状部材を位置決めすれば、他の平板状部材の位置は当該平板状部材の寸法誤差のみで決まるため、進入部材に対する平板状部材の位置ズレは小さくなる。そのため、複数の進入部材を隣接する平板状部材の間に対して確実に進入させることができる。
また、押出部材が第１方向に移動しながら複数の進入部材を順番に押出すので、進入部材の高さを異ならせる必要がない。したがって、ピッチ変換装置を小型化することができる。

ピッチ変換装置の平面図である。 図１のＱ部の拡大図である。 図２のＲ矢視図である。 仕切部材を備えたラックの説明図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。 仕切部材のピッチ拡大変換後のラックの側面図である。 ピッチ変換作用の第１説明図であり、図１のＱ部に相当する部分の拡大図である。 ピッチ変換作用の第２説明図であり、図１のＱ部に相当する部分の拡大図である。

以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。なお、ラックの仕切部材の並列方向をＸ方向（ピッチの拡大方向が＋Ｘ方向）、進入部材１１の進退方向をＹ方向（進入方向が＋Ｙ方向、退出方向が−Ｙ方向）、ＸＹ方向に直交する方向をＺ方向とする。また平面視とは、＋Ｚ方向から−Ｚ方向を視た場合をいう。

（仕切部材９０を備えたラック８）
図４は仕切部材を備えたラックの説明図であり、図４（ａ）は平面図であり、図４（ｂ）は側面図である。ラック８は、Ｘ方向（第１方向）に並列配置された複数の仕切部材（平板状部材）９０を備え、隣り合う仕切部材９０の間に平板状のワークＷを搭載するものである。ワークＷとして、種々の基板や、蓄電セル等を搭載することができる。

図４（ｂ）に示すように、ラック８は、底板８０と、底板８０の両端部から立設された一対の側板８１ａ，８１ｂとを備えている。一対の側板８１ａ，８１ｂの四隅には、両側板８１ａ，８１ｂ間を連結するガイド８２が配置されている。一対の側板８１ａ，８１ｂの間には、中間板８５が配置されている。中間板８５の四隅には貫通孔が形成され、この貫通孔にガイド８２が挿通されている。これにより中間板８５は、ガイド８２に沿ってＸ方向に移動しうるようになっている。

仕切部材９０は、矩形平板状に形成され、一方の側板８１ａと中間板８５との間に配置されている。仕切部材９０の四隅には貫通孔が形成され、この貫通孔にガイド８２が挿通されている。これにより仕切部材９０は、中間板８５と同様に、ガイド８２に沿ってＸ方向に移動しうるようになっている。
図４（ａ）に示すように、仕切部材９０には、Ｙ方向の端面と±Ｘ方向の端面との角部を面取りするように、傾斜面９２が形成されている。これにより、仕切部材９０のＹ方向の先端は、平面視において先細り形状とされている。

図４（ｂ）に示すように、仕切部材９０の下端辺からラック８の底板８０に沿ってワーク支持部材９８が立設され、この支持部材９８にワークＷが搭載されている。図４（ｂ）に示すピッチ拡大前の状態では、仕切部材９０とワークＷとが交互に密着して配置されている。この状態での仕切部材９０のピッチはＰ１である。

図５は、ピッチ拡大後のラックの側面図である。この状態では、第１仕切部材９０ａに密着して搭載されたワークＷと、第１仕切部材９０ａに隣り合う第２仕切部材９０ｂとの間に、隙間が開いている。この状態での仕切部材９０のピッチはＰ２（＞Ｐ１）になっている。なお、ピッチ拡大に伴って中間板８５がＸ方向に移動しても、中間板８５が側板８１ｂと干渉しないように、ラックが設計されている。また、隣り合う仕切部材９０が離間しても、各仕切部材９０はガイド８２に支持されているので傾倒しない。

（ピッチ変換装置）
図１は、ピッチ変換装置の平面図である。本実施形態のピッチ変換装置１は、上述したラック８の仕切部材９０のピッチを拡大変換する装置であって、ラック８をＸ方向に搬送する搬送手段６と、搬送手段６の両脇においてＸ方向に並列配置され、隣り合う仕切部材９０の間に進入する複数の進入部材１１と、進入部材１１をＹ方向にスライドさせるスライド機構１０と、各スライド機構１０の外側に配置され、複数の進入部材１１を順番に＋Ｙ方向に押出す押出部材３１と、押出部材３１をＸ方向およびＹ方向に移動させる移動機構３０とを備えている。
搬送手段６は、例えばローラコンベアで構成されている

（進入部材１１のスライド機構１０）
図２は、図１のＱ部の拡大図である。
図２に示すように、スライド機構１０は、隣り合う仕切部材９０の間に進入する進入部材１１と、進入部材１１が固着されたベース部材２０と、ベース部材２０を基台４に対してスライドさせるリニアガイド２２（図３参照）と、を備えている。

図２に示すように、進入部材１１は、略四角柱状に形成されている。進入部材１１のＸ方向の幅は、隣り合う仕切部材９０の間に進入部材１１が進入した時に、隣り合う仕切部材９０が所定ピッチとなるように設定されている。進入部材１１には、＋Ｙ方向の端面と±Ｘ方向の端面との角部を面取りするように、傾斜面１２が形成されている。これにより、進入部材の＋Ｙ方向の先端は、平面視において先細り形状とされている。進入部材１１は、ボルト等によりベース部材２０に固定されている。

ベース部材２０は、短冊状に形成されている。ベース部材２０のＸ方向の幅は、進入部材１１と同等に形成されている。ベース部材の＋Ｚ面には、カムフォロア２６の中心軸が固定されている、カムフォロア２６の外周面は、後述する押出部材３１と摺接する。そのため、カムフォロア２６に隣接して、カムフォロア２６の外周面に潤滑剤を供給する潤滑剤供給部２７が設けられている。ベース部材２０の−Ｙ方向にはコイルバネ２４が配置されている。コイルバネ２４の一端はベース部材２０に固定され、コイルバネ２４の他端はボルト２５を介して基台４に固定されている。

図３は、図２のＲ矢視図（正面図）である。
図３に示すように、リニアガイド２２は、Ｙ方向に伸びるレール２２ａと、レール２２ａに沿ってスライドするスライダ２２ｂとを備えている。レール２２ａは基台４に固定され、スライダ２２ｂは上述したベース部材２０に固定されている。上述したコイルバネ２４により、ベース部材２０は−Ｙ方向に付勢されている。

図１に示すように、本実施形態のピッチ変換装置１は、全ての進入部材１１が隣り合う仕切部材の間から退出したことを検出するセンサ１５を備えている。具体的には、複数の進入部材１１の±Ｘ方向に、フォトセンサの発光部１５ａおよび受光部１５ｂが配置されている。また進入部材１１には、図３に示すように、Ｘ方向に沿って貫通孔１６が形成されている。そして、図１に示す発光部１５ａから出射した光が、全ての進入部材１１の貫通孔１６を通って受光部１５ｂに入射した場合に、全ての進入部材１１が仕切部材９０から退出したことを検出しうるようになっている。

（押出部材３１の移動機構３０）
図２に示すように、移動機構３０は、進入部材１１を＋Ｙ方向に押出す押出部材３１と、押出部材３１をＹ方向に移動させるＹ方向移動機構４２と、押出部材３１（およびＹ方向移動機構４２）をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構５２とを備えている。

押出部材３１は、平板状に形成されている。押出部材３１の＋Ｙ方向の側面は、隣り合う仕切部材９０の間に進入した状態で進入部材１１を保持する保持面３６として機能する。また押出部材３１には、保持面３６と＋Ｚ方向の側面との角部を面取りするように、第１傾斜面３４が形成されている。第１傾斜面３４は、進入部材１１を押出して隣り合う仕切部材９０の間に進入させる機能を有する。なお、押出部材３１の＋Ｘ方向の端部には保持面３６と平行な導入面３２が形成され、この導入面３２から保持面３６にかけて第１傾斜面３４が形成されている。また、導入面３２と第１傾斜面３４との間には、両者間を滑らかに結ぶ曲面３３が形成されている。また押出部材３１には、＋Ｙ方向の保持面３６と−Ｚ方向の側面との角部を面取りするように、第２傾斜面３８が形成されている。第２傾斜面３８は、隣り合う仕切部材９０の間から進入部材１１を退出させる機能を有する。なお、保持面３６に対する第２傾斜面３８の傾斜角度は、第１傾斜面３４の傾斜角度より小さくなっている。
押出部材３１は、ベース部材４０に固定されている。

図３に示すように、Ｙ方向移動機構４２は、例えばガイド付エアシリンダで構成され、シリンダ（不図示）を内包する固定部４２ｂと、ロッド（不図示）に接続された移動部４２ａとを備えている。移動部４２ａは押出部材３１を支持するベース部材４０に接続され、固定部４２ｂはＸ方向移動機構５２の移動部５２ａに接続されている。またＹ方向移動機構４２は、図２に示すように、ショックアブソーバ４４を備えている。移動部４２ａが＋Ｙ方向に移動すると、移動部４２ａに接続されたストッパ４６が、固定部４２ｂに接続されたショックアブソーバ４４のロッド４５を押し込む。これにより、移動部４２ａを緩やかに停止させることができる。

図３に示すように、Ｘ方向移動機構５２は、例えば単軸ロボットで構成され、Ｘ方向に沿って延びる軌道部５２ｂと、軌道部５２ｂに沿って移動する移動部５２ａとを備えている。移動部５２ａはＹ方向移動機構４２の固定部４２ｂに接続され、軌道部５２ｂは基台４に固定されている。

（ピッチ変換方法）
次に、前記ピッチ変換装置を使用したピッチ変換方法について説明する。
図６および図７は、ピッチ変換作用の説明図であり、図１のＱ部に相当する部分における拡大図である。最初に、図１に示す搬送手段６により、ピッチ変換装置１の中央部にラック８を搬送する。そして図６に示すように、複数の進入部材１１のうち−Ｘ方向端部に配置された第１進入部材１１ａに対して、複数の仕切部材９０のうち−Ｘ方向端部に配置された第１仕切部材９０ａを位置決めする。この状態で、ラック８をピッチ変換装置１に固定する。

次に、押出部材３１の移動機構３０のうちＹ方向移動機構４２を駆動して、押出部材３１を＋Ｙ方向に押出す。次に、この状態のままＸ方向移動機構５２を駆動して、押出部材３１を＋Ｘ方向に移動させる。すると、押出部材３１の第１傾斜面３４が、スライド機構１０のカムフォロア２６に当接し、カムフォロア２６を＋Ｙ方向に押す。これにより、まず第１進入部材１１ａが＋Ｙ方向に押出される。第１進入部材１１ａは、ラック８の仕切部材９０のうち−Ｘ方向端部に配置された第１仕切部材９０ａと、第１仕切部材９０ａの＋Ｘ方向に隣り合う第２仕切部材９０ｂとの間に進入する。

ここで、ピッチ変換装置１にラック８が位置決め固定され、ラック８に第１仕切部材９０ａが密着しているので、第１進入部材１１ａが進入しても、第１仕切部材９０ａは−Ｘ方向に移動しない。これに対して、第２仕切部材９０ｂはＸ方向に移動可能とされているので、第１進入部材１１ａが進入すると、第２仕切部材９０ｂは＋Ｘ方向に移動する。この第２仕切部材９０ｂに押されて、第２仕切部材９０ｂより＋Ｘ方向に存在する全ての仕切部材９０が＋Ｘ方向に移動する。その結果、第１仕切部材９０ａに搭載された第１ワークＷａから第２仕切部材９０ｂが離間して、第１仕切部材９０ａと第２仕切部材９０ｂとのピッチがＰ１からＰ２に拡大変換される。

この状態では、第１進入部材１１ａに対して第２仕切部材９０ｂの−Ｘ側面が密着している。そのため、第２仕切部材９０ｂの＋Ｘ側面の位置ズレは、第２仕切部材９０ｂの厚さ寸法の誤差のみで決まる。仕切部材９０全部の厚さ寸法の誤差に比べて、仕切部材１枚の厚さ寸法の誤差は小さいので、第２進入部材１１ｂに対する第２仕切部材９０ｂの＋Ｘ側面の位置ズレは小さくなる。したがって、第２進入部材１１ｂを、第２仕切部材９０ｂと第３仕切部材９０ｃとの間に確実に進入させることができる。

続けて押出部材３１を＋Ｘ方向に移動させると、図７に示すように、複数の進入部材１１が順番に、隣り合う仕切部材９０の間に進入する。押出部材３１には、第１傾斜面３４に連続して、Ｙ方向に直交する保持面３６が形成されている。この保持面３６にカムフォロア２６が当接している間は、進入部材１１が隣り合う仕切部材９０の間に進入したままの状態に保持される。

図７に示すように、例えば第７仕切部材９０ｇと第８仕切部材９０ｈとの間に第７進入部材１１ｇが進入する場合について検討する。このとき、第６仕切部材９０ｆと第７仕切部材９０ｇとの間には、第６進入部材１１ｆが進入した状態で保持されている。第６進入部材１１ｆが、第７仕切部材９０ｇの−Ｘ側面と当接しているので、第７仕切部材９０ｇの−Ｘ方向への移動は、第６進入部材１１ｆにより規制される。そのため、第７進入部材１１ｇが進入しても、第７仕切部材９０ｇが−Ｘ方向に移動することはない。これに対して、第８仕切部材９０ｈはＸ方向に移動可能とされているので、第７進入部材１１ｇが進入すると、第８仕切部材９０ｈは＋Ｘ方向に移動する。この第８仕切部材９０ｈに押されて、第８仕切部材９０ｈより＋Ｘ方向に存在する全ての仕切部材９０が＋Ｘ方向に移動する。その結果、第７仕切部材９０ｇと第８仕切部材９０ｈとのピッチが、Ｐ１からＰ２に拡大変換される。

押出部材３１には、保持面３６に続けて、第２傾斜面３８が形成されている。なお進入部材１１は、コイルバネ２４により、隣り合う仕切部材９０の間から退出する方向に付勢されている。そのため、カムフォロア２６が第２傾斜面３８に沿って引き戻され、進入部材１１が−Ｙ方向に移動して隣り合う仕切部材９０の間から退出する。なお、保持面３６に対する第２傾斜面３８の傾斜角度が、第１傾斜面３４の傾斜角度より緩やかに形成されているので、進入部材１１は比較的ゆっくりと隣り合う仕切部材９０の間から退出する。これにより、進入部材１１の退出時に仕切部材９０の位置がずれるのを防止することができる。
なお進入部材１１が退出し、隣り合う仕切部材９０が相互に離間しても、仕切部材９０は４本のガイド８２に支持されているので傾倒しない。

このようにして、全ての進入部材１１を仕切部材９０の間に進入および退出させて、全ての仕切部材９０のピッチを拡大変換する。これに伴って、ラック８に搭載されたワークＷのピッチも拡大変換される。
押出部材３１を＋Ｘ方向の端部まで移動させたら、Ｙ方向移動機構４２を駆動して、押出部材３１を−Ｙ方向に引き戻す。この状態でＸ方向移動機構５２を駆動して、押出部材３１を−Ｘ方向の端部まで移動させる。これにより、進入部材１１のスライド機構１０と押出部材３１との干渉を回避しつつ、押出部材３１をＸ方向に移動させることができる。

進入部材１１が−Ｙ方向に付勢されているので、ピッチ変換作業の完了後には、全ての進入部材１１が隣り合う仕切部材９０の間から退出した状態になる。ここで、図１に示すセンサ１５の発光部１５ａから光を出射し、受光部１５ｂに入射するか確認する。発光部１５ａから出射した光が、全ての進入部材１１の貫通孔１６を通って受光部１５ｂに入射すれば、全ての進入部材１１が仕切部材９０から退出したことを検出することができる。この状態で、搬送手段６を駆動してラック８を後工程に移動させる。これにより、仕切部材９０と進入部材１１との干渉を確実に回避しつつ、ラック８を後工程に搬送することができる。

以上に詳述したように、図１に示す本実施形態のピッチ変換装置は、Ｘ方向に並列配置された複数の平板状の仕切部材９０のピッチを変換する装置であって、Ｘ方向に並列配置され、隣り合う仕切部材９０の間に進入する複数の進入部材１１と、Ｘ方向に移動しながら、複数の進入部材１１を順番に押出して、隣り合う仕切部材９０の間に順に進入させる押出部材３１と、を備えている構成とした。
この構成によれば、図６に示す第１進入部材１１ａに対して第１仕切部材９０ａを位置決めすれば、他の仕切部材９０の位置は当該仕切部材９０の寸法誤差のみで決まるため、進入部材１１に対する仕切部材９０の位置ズレは小さくなる。そのため、仕切部材９０の寸法誤差にかかわらず、複数の進入部材１１を隣接する仕切部材９０の間に対して確実に進入させることができる。
また、押出部材３１がＸ方向に移動しながら複数の進入部材１１を順番に押出すので、進入部材１１の高さを異ならせる必要がない。したがって、ピッチ変換装置を小型化することができる。

なお、本発明の技術範囲は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
例えば、平板状部材として実施形態では仕切部材のピッチを拡大変換したが、ワークのピッチを直接的に拡大変換してもよい。

Ｘ…第１方向 １…ピッチ変換装置 １１…進入部材 １５ａ…発光部（センサ） １５ｂ…受光部（センサ） ３１…押出部材 ３４…第１傾斜面 ３６…保持面 ９０…仕切部材（平板状部材）

Claims (5)

1. 第１方向に並列配置された複数の平板状部材のピッチを変換する装置であって、
   前記第１方向に並列配置され、隣り合う前記平板状部材の間に進入する複数の進入部材と、
   前記第１方向に移動しながら、前記複数の進入部材を順番に押出して、隣り合う前記平板状部材の間に進入させる押出部材と、
   を備えていることを特徴とするピッチ変換装置。
2. 前記進入部材は、隣り合う前記平板状部材の間から退出する方向に付勢されていることを特徴とする請求項１に記載のピッチ変換装置。
3. 全ての前記進入部材が隣り合う前記平板状部材の間から退出したことを検出するセンサを備えていることを特徴とする請求項２に記載のピッチ変換装置。
4. 前記押出部材は、
   前記進入部材を押出して隣り合う前記平板状部材の間に進入させる第１傾斜面と、
   隣り合う前記平板状部材の間に進入させた状態で前記進入部材を保持する保持面と、
   を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のピッチ変換装置。
5. 第１方向に並列配置された複数の進入部材を、前記第１方向に並列配置された複数の平板状部材の間に進入させて、前記平板状部材のピッチを変換する方法であって、
   隣り合う第１の前記平板状部材と第２の前記平板状部材との間に、第１の前記進入部材を進入させる工程と、
   前記第１の平板状部材と前記第２の平板状部材との間に前記第１の前記進入部材を進入させた状態で、隣り合う前記第２の平板状部材と第３の前記平板状部材との間に、第２の前記進入部材を進入させる工程と、
   前記第１の平板状部材と前記第２の平板状部材との間から、前記第１の前記進入部材を退出させる工程と、
   を有することを特徴とするピッチ変換方法。

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