JP2012192539A - 印刷方法、および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パッケージ基材または半導体基材を被記録媒体として、前記被記録媒体外表面に放射線硬化型インクをインクジェット装置により吐出し、所定パターンを印刷する印刷方法であって、前記放射線硬化型インクは重合性化合物を前記放射線硬化型インクの総質量の25質量%以上65質量%以下を含み、前記重合性化合物はN―ビニルカプロラクタムを前記放射線硬化型インクの総重量の5質量%以上20質量%以下を含み、前記被記録媒体の外表面と、前記放射線硬化型インクによる前記所定パターンの印刷層と、の間にプライマー層を形成する印刷方法。
【選択図】図1
Description
図1は、一例として本実施形態に係る印刷方法によって所定のマークが印刷される半導体装置を示す、(a)は平面外観図、(b)は(a)のA−A´部の部分断面図である。図1(b)に示すように、半導体装置100は、内部に半導体素子10と、フレーム20と、がワイヤー10aによってワイヤーボンディングされ、樹脂パッケージ30によって一体成形されている。また、図1(a)に示すように、樹脂パッケージ30の印刷面30a上には、会社名マーク41、機種コード42、製造番号43などの所定パターンとしての印刷マーク40が印刷されている。
本実施形態に係る半導体装置100への印刷マーク40の印刷インク組成物には、光重合開始剤の作用により光照射時に重合され、インクが硬化、定着させることができる重合性化合物が添加される。
重合性化合物の一つとしてモノマーAが添加される。モノマーAは、分子中にビニル基及び(メタ)アクリル基を共に有する化合物であり、下記一般式(1)で示される。
(式中、R1は水素原子又はメチル基であり、R2は炭素数2〜20の2価の有機残基であり、R3は水素原子又は炭素数1〜11の1価の有機残基である。)で表されるビニルエーテル基含有(メタ)アクリル酸エステル類である。
本実施形態において、N−ビニルカプロラクタムは必須の重合性化合物である。インク組成物が重合性化合物として上記モノマーAに加えてN−ビニルカプロラクタムを含有することにより、インクの密着性、耐擦性、及びアルコール耐性を良好なものとすることができる。
上記以外の重合性化合物(以下、「その他の重合性化合物」という。)としては、従来公知の、単官能、2官能、及び3官能以上の多官能といった種々のモノマー及びオリゴマーが使用可能である。上記モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸及びマレイン酸等の不飽和カルボン酸やそれらの塩又はエステル、ウレタン、アミド及びその無水物、アクリロニトリル、スチレン、種々の不飽和ポリエステル、不飽和ポリエーテル、不飽和ポリアミド、並びに不飽和ウレタンが挙げられる。また、上記オリゴマーとしては、例えば、直鎖アクリルオリゴマー等の上記のモノマーから形成されるオリゴマー、エポキシ(メタ)アクリレート、オキセタン(メタ)アクリレート、脂肪族ウレタン(メタ)アクリレート、芳香族ウレタン(メタ)アクリレート及びポリエステル(メタ)アクリレートが挙げられる。
本実施形態のインク組成物は、重合禁止剤を含んでもよい。重合禁止剤として、以下に限定されないが、例えば、p−メトキシフェノール、クレゾール、t−ブチルカテコール、ジ−t−ブチルパラクレゾール、ヒドロキノンモノメチルエーテル、α−ナフトール、3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシトルエン、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−エチル−6−ブチルフェノール)、及び4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)等のフェノール化合物、p−ベンゾキノン、アントラキノン、ナフトキノン、フェナンスラキノン、p−キシロキノン、p−トルキノン、2,6−ジクロロキノン、2,5−ジフェニル−p−ベンゾキノン、2,5−ジアセトキシ−p−ベンゾキノン、2,5−ジカプロキシ−p−ベンゾキノン、2,5−ジアシロキシ−p−ベンゾキノン、ヒドロキノン、2,5−ジーブチルヒドロキノン、モノ−t−ブチルヒドロキノン、モノメチルヒドロキノン、及び2,5−ジ−t−アミルヒドロキノン等のキノン化合物、フェニル−β−ナフチルアミン、p−ベンジルアミノフェノール、ジ−β−ナフチルパラフェニレンジアミン、ジベンジルヒドロキシルアミン、フェニルヒドロキシルアミン、及びジエチルヒドロキシルアミン等のアミン化合物、ジニトロベンゼン、トリニトロトルエン、及びピクリン酸などのニトロ化合物、キノンジオキシム及びシクロヘキサノンオキシム等のオキシム化合物、フェノチアジン等の硫黄化合物が挙げられる。
本実施形態のインク組成物は、光重合開始剤を含むことが好ましい。上述の重合性化合物として光重合性の化合物を用いることにより、光重合開始剤の添加を省略することが可能である。しかし、光重合開始剤を用いた方が、重合の開始を容易に調整することができ、好適である。
本実施形態のインク組成物は、色材をさらに含むことが好ましい。色材は、顔料及び染料のうち少なくとも一方を用いることができる。
本実施形態において、色材として顔料を用いることにより、インク組成物の耐光性を良好なものとすることができる。顔料は、無機顔料及び有機顔料のいずれも使用することができる。
本実施形態において、色材として染料を用いることができる。染料としては、特に限定されることなく、酸性染料、直接染料、反応性染料、及び塩基性染料が使用可能である。前記染料として、例えば、C.I.アシッドイエロー 17,23,42,44,79,142、C.I.アシッドレッド 52,80,82,249,254,289、C.I.アシッドブルー 9,45,249、C.I.アシッドブラック 1,2,24,94、C.I.フードブラック 1,2、C.I.ダイレクトイエロー 1,12,24,33,50,55,58,86,132,142,144,173、C.I.ダイレクトレッド 1,4,9,80,81,225,227、C.I.ダイレクトブルー 1,2,15,71,86,87,98,165,199,202、C.I.ダイレクドブラック 19,38,51,71,154,168,171,195、C.I.リアクティブレッド 14,32,55,79,249、C.I.リアクティブブラック 3,4,35が挙げられる。
本実施形態のインク組成物が顔料を含む場合、顔料分散性をより良好なものとするため、分散剤をさらに含んでもよい。分散剤として、特に限定されないが、例えば、高分子分散剤などの顔料分散液を調製するのに慣用されている分散剤が挙げられる。その具体例として、ポリオキシアルキレンポリアルキレンポリアミン、ビニル系ポリマー及びコポリマー、アクリル系ポリマー及びコポリマー、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリウレタン、アミノ系ポリマー、含珪素ポリマー、含硫黄ポリマー、含フッ素ポリマー、及びエポキシ樹脂のうち一種以上を主成分とするものが挙げられる。高分子分散剤の市販品として、味の素ファインテクノ社製のアジスパーシリーズ、アベシア社(Avecia Co.)から入手可能なソルスパーズシリーズ(Solsperse 36000等)、BYK社製のディスパービックシリーズ、楠本化成社製のディスパロンシリーズが挙げられる。
本実施形態のインク組成物は、優れた耐擦性が得られるため、スリップ剤(界面活性剤)をさらに含んでもよい。スリップ剤としては、特に限定されないが、例えば、シリコーン系界面活性剤として、ポリエステル変性シリコーンやポリエーテル変性シリコーンを用いることができ、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン又はポリエステル変性ポリジメチルシロキサンを用いることが特に好ましい。具体例としては、BYK−347、BYK−348、BYK−UV3500、3510、3530、3570(以上、BYK社製)を挙げることができる。
本実施形態のインク組成物は、上記に挙げた添加剤以外の添加剤(成分)を含んでもよい。このような成分としては、特に制限されないが、例えば従来公知の、重合促進剤、浸透促進剤、及び湿潤剤(保湿剤)、並びにその他の添加剤があり得る。上記のその他の添加剤として、例えば従来公知の、定着剤、防黴剤、防腐剤、酸化防止剤、放射線吸収剤、キレート剤、pH調整剤、及び増粘剤が挙げられる。
本実施形態の放射線硬化型インクジェット用インク組成物は、後述するインクジェット記録方法を利用して、被記録媒体上に吐出されること等により、記録物が得られる。この被記録媒体としては、パッケージ基材が好ましい。なぜなら、パッケージ基材等にマーキングする際に用いられるインクには、優れた密着性、耐擦性、及びアルコール耐性が求められるからである。なお、被記録媒体として、半導体基材のようなシリコン等の無機質材であってもよい。
第1実施形態に係る半導体装置100の印刷マーク40の印刷方法について説明する。図3は本実施形態に係る印刷方法を示すフローチャートである。
図4(a)に示すように、印刷前の半導体装置100aに対して、樹脂パッケージ30の印刷面30aを洗浄する前処理工程(S1)を行う。前処理工程(S1)は、本実施形態では活性光線Lを照射し印刷面30aの濡れ性を向上させる。活性光線としては、低電圧水銀灯200より600mJ/cm2のエネルギーの光線を180℃に加熱した雰囲気中において照射する。
前処理工程(S1)が終了した後、プライマー剤塗布(印刷)工程(S2)に移行する。本実施形態においては、インクジェット装置による印刷によってプライマー層が形成される形態にて説明するが、これに限定されない。例えば、ディッピング法、噴き付け、あるいはスクリーン印刷やオフセット印刷などの印刷法であっても良い。
プライマー剤塗布(印刷)工程(S2)において印刷面30aに塗布(印刷)されたプライマー塗布層50aを、乾燥工程(S3)において溶剤を蒸散させ、シランカップリング剤を含むプライマー層50を形成する。乾燥工程(S3)における乾燥条件は、100℃雰囲気中に5分間放置する。なお、乾燥条件はプライマー剤の溶剤、シランカップリング剤の濃度などにより適宜決定すればよいが、半導体素子10、樹脂パッケージ30などにダメージを与えない条件範囲で決定する。
次にマーク印刷工程(S4)に移行する。マーク印刷工程(S4)は、図4(c)に示すように、S2,S3工程によって形成されたプライマー層50上に所定の印刷マークとなるよう、インクジェット装置310に備える液滴吐出部310aより、調合された放射線硬化型インク液Qを吐出させ、印刷マーク層40aを形成する。印刷マーク層40aの層厚は、後述する印刷マーク40とした場合に識別可能となるように設定すればよい。
S4において、所定の印刷マークが印刷された後、放射線照射工程(S5)に移行する。本実施形態では、放射線として紫外線を用いた例を説明する。図4(d)に示すように、所定の印刷マークに形成された印刷マーク層40aに対して、発光ピーク波長が、好ましくは350〜400nmの範囲、より好ましくは365〜395nmの範囲にある放射線としての紫外線Uを紫外線照射装置400より照射する。
S5において、印刷マーク層40aを硬化させた後、さらに印刷マーク層40aの硬度を増すために加熱工程(S6)に移行する。加熱工程(S6)では、印刷マーク層40aが形成された半導体装置100を180℃、60分間の加熱をする。これにより図1に示す印刷マーク40を備える半導体装置100を得ることができる。なお、S5において印刷マーク40の硬度が十分に得られる場合には、加熱工程(S6)は行わなくても良い。
図5に示す成分を、図5に示す組成(単位:質量%)となるように添加し、これを常温で1時間混合撹拌して完全に溶解させた。これを、さらに5μmのメンブランフィルターでろ過して、各放射線硬化型インクジェットインク用組成物1〜4を得た。なお、図5に示す成分は以下のものを用いた。
〔重合性化合物〕
・N−ビニルカプロラクタム(BASF社製、図5ではNVCと略記した。)
・VEEA(アクリル酸2−(2−ビニロキシエトキシ)エチル、日本触媒社(Nippon Shokubai Co., Ltd.)製商品名、図5ではVEEAと略記した。)
・PET3A(ペンタエリスリトールトリアクリレート、大阪有機化学工業社(OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD.)製商品名、図5ではPET3Aと略記した。)
・ビスコート#192(フェノキシエチルアクリレート、大阪有機化学工業社製商品名、図5ではPEAと略記した。)
〔光重合開始剤〕
・IRGACURE 819(BASF社製商品名、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、固形分100%、図5では819と略記した。)
・DAROCURE TPO(BASF社製商品名、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキサイド、固形分100%、図5ではTPOと略記した。)
〔スリップ剤〕
・シリコーン系表面調整剤 BYK−UV3500(ポリエーテル変性アクリル基を有するポリジメチルシロキサン、BYK社製商品名、図5ではUV3500と略記した。)
〔重合禁止剤〕
・p−メトキシフェノール(関東化学社(KANTO CHEMICAL CO., INC)製、図5ではMEHQと略記した。)
〔顔料〕
・R−630(酸化チタン、石原産業社(ISHIHARA SANGYO KAISHA, LTD.)製商品名、図5では酸化Tiと略記した。)
〔分散剤〕
・Solsperse 36000(LUBRIZOL社製商品名、図5ではSol36000と略記した。)
プライマー層を形成するプライマー液として、プライマー1〜9を、以下の溶剤に対してシランカップリング剤を図6に示す濃度に調整し、プライマー液を作成した。
〔溶剤〕
メシチレン(Mesitylene:1,3,5−trimethylbenzene)を溶剤として、以下のシランカップリング剤が1〜5質量%となるように希釈した。
〔シランカップリング剤〕
・2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランとして、エポキシシクロヘキシル(チッソ株式会社製)を用いた。
・3−メルカプトプロピルトリメトキシシランとして、メルカプトプロピル(チッソ株式会社製)。
・3−イソシアナートプロピルトリエトキシシランとして、イソシアナート(Gelest株式会社製)を用いた。
パッケージ基材として、エポキシ樹脂(シャープ社製、面実装型パッケージ、型番「P−LFBGA048−0606」)を用いた。
樹脂パッケージ基材を低圧水銀下にて前処理を行った。前処理を行った樹脂パッケージ基材上に、図7に示す実施例1〜15、および比較例1〜5に示すプライマー液をインクジェットプリンター(PX−7550S〔商品名〕、セイコーエプソン社(Seiko Epson Corporation)製)を用いて、塗布厚が100nmとなるようにベタパターン画像を印刷し、100℃で5分間の乾燥を行った(プライマー層の形成)。
各実施例及び比較例で調製した放射線硬化型インクジェット用インク組成物について、以下の方法により密着性を評価した。
JIS K−5600−5−6(ISO2409)(塗料一般試験法−第5部:塗膜の機械的性質−第6節:付着性(クロスカット法))に準じて、上記の基材とベタ印刷により形成された画像との密着性の評価を行った。ここで、上記クロスカット法について説明する。
◎:どの格子の目にも剥がれがない。
○:格子の一部に剥がれが認められる。
△:格子の50%以上に剥がれが認められる。
×:全面に剥がれが認められる。
Claims (5)
- パッケージ基材または半導体基材を被記録媒体として、前記被記録媒体外表面に放射線硬化型インクをインクジェット装置により吐出し、所定パターンを印刷する印刷方法であって、
前記放射線硬化型インクは重合性化合物を前記放射線硬化型インクの総質量の25質量%以上65質量%以下を含み、前記重合性化合物はN−ビニルカプロラクタムを前記放射線硬化型インクの総重量の5質量%以上20質量%以下を含み、
前記被記録媒体の外表面と、前記放射線硬化型インクによる前記所定パターンの印刷層と、の間にプライマー層を形成する、
ことを特徴とする印刷方法。 - 前記プライマー層は、メルカプト基を含むシランカップリング剤を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の印刷方法。 - 前記プライマー層は、エポキシシクロヘキシル基を含むシランカップリング剤を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の印刷方法。 - 前記プライマー層は、イソシアナート基を含むシランカップリング剤を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の印刷方法。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の印刷方法によって前記所定パターンが印刷された半導体装置。
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