JP2014018921A - テープ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨テープの交換作業時に、テープ固定機構及びダンサーロール機構の協動により研磨ヘッドによる研磨加工を中断することがなくなり、研磨作業効率を向上することができる。
【解決手段】研磨テープＴを巻回したテープリール１と、研磨テープの研磨面を被加工物Ｗの被研磨面に圧接させて研磨加工を行う研磨ヘッド２と、テープリールから解かれた研磨テープを研磨ヘッドに移送させるテープ送り機構３と、テープリールを自由回転又は停止保持させるブレーキ機構４と、テープリールから研磨ヘッドに移送される研磨テープに張力を付加するダンサーロール５ａをもつダンサーロール機構５と、ダンサーロールの移動位置によりブレーキ機構をオンオフ制御する制御手段６とを備えてなり、研磨テープの交換作業時において、テープリールとダンサーロール機構との間の研磨テープを固定保持するテープ固定機構７を設けてなる。
【選択図】図１
【解決手段】研磨テープＴを巻回したテープリール１と、研磨テープの研磨面を被加工物Ｗの被研磨面に圧接させて研磨加工を行う研磨ヘッド２と、テープリールから解かれた研磨テープを研磨ヘッドに移送させるテープ送り機構３と、テープリールを自由回転又は停止保持させるブレーキ機構４と、テープリールから研磨ヘッドに移送される研磨テープに張力を付加するダンサーロール５ａをもつダンサーロール機構５と、ダンサーロールの移動位置によりブレーキ機構をオンオフ制御する制御手段６とを備えてなり、研磨テープの交換作業時において、テープリールとダンサーロール機構との間の研磨テープを固定保持するテープ固定機構７を設けてなる。
【選択図】図１
Description
本発明は、例えば、板状材や棒状材等の被加工物の被研磨面を研磨テープにより研磨する際に用いられるテープ研磨装置に関するものである。
従来、この種のテープ研磨装置として、テープリールから解かれた研磨テープを研磨ヘッドに連続的又は間欠的に移送し、研磨ヘッドにより研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させ、被加工物の研磨加工を行う構造のものが知られている。
しかしながらこれら従来構造の場合、研磨加工の長時間継続により研磨テープが消耗して研磨テープを交換する際、研磨テープの移送停止及び研磨ヘッドの研磨加工を中断してから行うこととなり、このため、研磨テープの交換が完了するまで研磨ヘッドによる研磨加工を中断することになり、それだけ、研磨作業効率を低下させることがあるという不都合を有している。
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項１記載の発明は、研磨テープを巻回したテープリールと、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させて研磨加工を行う研磨ヘッドと、該テープリールから解かれた研磨テープを該研磨ヘッドに移送させるテープ送り機構と、該テープリールを自由回転又は停止保持させるブレーキ機構と、該テープリールから該研磨ヘッドに移送される研磨テープに張力を付加するダンサーロールをもつダンサーロール機構と、該ダンサーロールの移動位置により該ブレーキ機構をオンオフ制御する制御手段とを備えてなり、上記研磨テープの交換作業時において、上記テープリールと該ダンサーロール機構との間の研磨テープを固定保持するテープ固定機構を設けてなることを特徴とするテープ研磨装置にある。
又、請求項２記載の発明は、上記テープ固定機構は、上記研磨テープを移送案内する案内ロール及び該案内ロールにより案内されている研磨テープを該案内ロールとで挟着して固定する挟着部材からなることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記制御手段に上記ダンサーロールの異常な移動位置を検出して上記研磨ヘッドの研磨加工を停止させる非常停止手段を含んでなることを特徴とするものである。
本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、研磨テープの交換作業時においても、テープリールとダンサーロール機構との間の研磨テープを固定保持するテープ固定機構及び研磨テープを貯留するダンサーロール機構の協動により研磨ヘッドによる研磨加工を中断することがなくなり、研磨作業効率を向上することができる。
又、請求項２記載の発明にあっては、上記テープ固定機構は、上記研磨テープを移送案内する案内ロール及び案内ロールにより案内されている研磨テープを案内ロールとで挟着して固定する挟着部材からなるので、構造を簡素化することができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記制御手段は上記ダンサーロールの異常な移動位置を検出して上記研磨ヘッドの研磨加工を停止させる非常停止手段を含んでなるから、ダンサーロール機構による研磨テープの貯留量内においてテープ交換が完了するまでの時間が間に合わなかった場合でも研磨加工を非常停止することができ、研磨加工の安全性を高めることができる。
図１乃至図６は本発明の実施の形態例であって、１はテープリールであって、機台Ｍにリール軸１ａを自由回転自在に横設し、リール軸１ａにテープリール１を交換自在に取り付けてなり、このテープリール１には研磨テープＴが巻回され、例えば、この研磨テープＴは、ポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニュウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定粒度の研磨粒子をコーティング又は結合してなる構造となっている。
２は研磨ヘッドであって、この場合、機台Ｍに上下移動台２ａを移動案内機構２ｂ、移動用モータ２ｃ及びボールネジ機構２ｄにより上下移動自在に設け、上下移動台２ａに圧接用部材２ｅを圧接用シリンダ２ｆにより弾圧移動自在に設け、圧接用部材２ｅに圧接ロール２ｇを配置し、移動用モータ２ｃにより上下移動台２ａを上下動させると共に圧接用シリンダ２ｆにより圧接用部材２ｅを介して圧接ロール２ｇで研磨テープＴの研磨面を被加工物Ｗの被研磨面に圧接させて研磨加工を行うように構成している。
３はテープ送り機構であって、この場合、機台Ｍに送りロール３ａ及び挟持ロール３ｂを配置し、送りロール３ａを送り回転させる送り用モータ３ｃを設け、テープリール１から解かれた研磨テープＴを送りロール３ａと挟持ロール３ｂとの間で挟持し、送り用モータ３ｃで送りロール３ａを送り回転させることにより研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送してボックス３ｄに移送するように構成している。
４はブレーキ機構であって、図２の如く、上記機台Ｍに自由回転自在に横設されたリール軸１ａの後部に配置され、この場合、ブレーキ機構４はオンオフ制御される電磁ブレーキからなり、ブレーキ機構４のオフ制御により上記テープリール１を保持するリール軸１ａを自由回転自在に設けると共にブレーキ機構４のオン制御により上記テープリール１を保持するリール軸１ａを停止保持させるように構成している。
５はダンサーロール機構であって、テープリール１から研磨ヘッド２に移送される研磨テープＴに巻き解き方向と反対方向の張力であるバックテンションを付加するダンサーロール５ａを有してなり、この場合、機台Ｍにダンサーロール５ａをガイド部５ｂにより上下移動自在に配置し、ダンサーロール５ａを常時下方に弾引するバックテンション用シリンダ５ｃを配置して構成している。
６は制御手段であって、パソコンなどによるプログラムを含む制御回路が組み込まれ、上記ダンサーロール５ａの上限及び下限の移動位置を検出する位置検出センサＳ１・Ｓ２を配置し、位置検出センサＳ１がダンサーロール５ａの上限の移動位置を検出するとブレーキ機構４をオフ制御し、ブレーキ機構４のオフ制御によりテープリール１は自由回転自在となり、バックテンション用シリンダ５ｃにより常時下方に弾引されたダンサーロール５ａにより研磨テープＴはテープリール１から引き出されると共にダンサーロール５ａは下降移動し、又、位置検出センサＳ２がダンサーロール５ａの下限の移動位置を検出するとブレーキ機構４をオン制御し、ブレーキ機構４のオン制御によりテープリール１は停止保持され、テープ送り機構３の送りロール３ａの送り回転により研磨テープＴは移送されると共にダンサーロール５ａはバックテンション用シリンダ５ｃの常時下方への弾引力に抗して上昇移動し、制御手段６によるブレーキ機構４のオンオフ制御及びダンサーロール機構５のダンサーロール５ａの移動位置制御により研磨テープＴを移送するように構成している。
７はテープ固定機構であって、この場合、上記研磨テープＴを移送案内する案内ロール７ａ及び案内ロール７ａにより案内されている研磨テープＴを案内ロール７ａとで挟着して固定する挟着部材７ｂからなり、挟着部材７ｂは挟着用シリンダ７ｃにより挟着解放作動し、上記研磨テープＴの交換作業時において、上記テープリール１とダンサーロール機構５との間の研磨テープＴを固定保持するように構成されている。
８は非常停止手段であって、上記制御手段６に含まれてなり、上記ダンサーロール５ａの異常な上限及び下限の移動位置を検出する位置検出センサＳ３・Ｓ４を配置し、位置検出センサＳ３がダンサーロール５ａの異常な上限の移動位置を検出するとブレーキ機構４が異常であるとしてテープ送り機構３及び研磨ヘッド２による研磨加工を非常停止し、又、位置検出センサＳ４がダンサーロール５ａの異常な下限の移動位置を検出するとブレーキ機構４が異常であるか、あるいはテープ切れ、例えば、ダンサーロール機構５による研磨テープＴの貯留量内においてテープ交換が完了するまでの時間が間に合わなかった場合でも、研磨加工を非常停止することができ、研磨加工の安全性を高めることができるように構成されている。
この実施の形態例は上記構成であるから、図１の如く、研磨テープＴは、テープリール１から案内ロール７ａ、ダンサーロール５ａ、案内ロールＲ１、案内ロールＲ２、案内ロールＲ３、上下移動台２ａに設けた案内ロールＲ４、案内ロールＲ５、上記圧接ロール２ｇ、案内ロールＲ６、上下移動台２ａに設けた案内ロールＲ７、案内ロールＲ８、送りロール３ａと挟持ロール３ｂの間を経てボックス３ｄ内に廃棄移送され、ブレーキ機構４によりテープリール１は自由回転又は停止保持され、ダンサーロール機構５のダンサーロール５ａの移動位置によりブレーキ機構４をオンオフ制御されると共にダンサーロール５ａにより研磨テープＴに巻き解き方向と反対方向の張力であるバックテンションが付加され、研磨ヘッド２により研磨テープＴの研磨面は被加工物Ｗの被研磨面に圧接され、研磨加工が行われることになる。
そして、研磨テープＴの交換作業においては、図３の如く、研磨加工の長時間継続により研磨テープＴの消耗をテープ切れセンサーＳ５が検出すると、先ず、制御手段６によりブレーキ機構４は自由回転自在となり、ダンサーロール５ａは下限の移動位置となって研磨テープＴを貯留することになると共に、図４の如く、テープ固定機構７の挟着用シリンダ７ｃの作動により研磨テープＴは案内ロール７ａと挟着部材７ｂとで挟着され、研磨テープＴは固定保持されることになり、テープ固定機構７により研磨テープＴが固定保持されたらテープリール１とテープ固定機構７との間において、研磨テープＴを手動又は自動的に切断することになり、研磨テープＴの切断後、消耗したテープリール１をリール軸１ａから取り外し、図５の如く、新たな研磨テープＴを巻回したテープリール１をリール軸１ａに取り付けて交換作業を行い、そして、両面テープや接着剤等の継合手段Ｋにより新たな研磨テープＴの端末と切断端末とを継合し、このテープ切断及び新たな研磨テープＴの端末と切断端末との継合の際にもダンサーロール５ａが上昇して研磨テープＴの貯留により研磨加工が停止することなく継続され、新たなテープリール１に交換したら、図６の如く、交換完了スイッチを操作することにより新たな研磨テープＴの端末と切断端末との継目部分Ｈがテープ送り機構３の送りロール３ａと挟持ロール３ｂとの間を通過するまで早送りされ、継目部分Ｈがテープ送り機構３を通過したら制御手段６によるブレーキ機構４のオンオフ制御及びダンサーロール機構５の張力付加作用が行われて研磨テープＴは移送され、研磨ヘッド２により被加工物Ｗの研磨加工が行われることになる。
したがって、研磨テープＴの交換作業時においても、テープリール１とダンサーロール機構５との間の研磨テープＴを固定保持するテープ固定機構７及び研磨テープＴを貯留するダンサーロール機構５の協動により研磨ヘッド２による研磨加工を中断することがなくなり、研磨作業効率を向上することができる。
この場合、テープ固定機構７は、上記研磨テープＴを移送案内する案内ロール７ａ及び案内ロール７ａにより案内されている研磨テープＴを案内ロール７ａとで挟着して固定する挟着部材７ｂからなるので、構造を簡素化することができ、又、この場合、上記制御手段６に上記ダンサーロール５ａの異常な移動位置を検出して上記研磨ヘッド２の研磨加工を停止させる非常停止手段８を含んでなるから、ダンサーロール機構５による研磨テープＴの貯留量内においてテープ交換が完了するまでの時間が間に合わなかった場合でも、研磨加工を非常停止することができ、研磨加工の安全性を高めることができる。
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、テープリール１、研磨ヘッド２、テープ送り機構３、ブレーキ機構４、ダンサーロール機構５、制御手段６、テープ固定機構７、非常停止手段８の構造や回路構成等は適宜変更して設計される。
又、上記実施の形態例のテープ送り機構３においては、テープリール１から解かれた研磨テープＴを研磨ヘッド２に連続的又は間欠的に移送し、研磨ヘッド２により研磨加工使用された使用済みの研磨テープＴをボックス３ｄに廃棄移送するように構成しているが、これに代えて、使用済みの研磨テープＴを別途に設けた廃棄用のテープリールで巻き取る構造とすることもある。
以上、所期の目的を充分達成することができる。
Ｔ 研磨テープ
Ｗ 被加工物
１ テープリール
２ 研磨ヘッド
３ テープ送り機構
４ ブレーキ機構
５ ダンサーロール機構
５ａ ダンサーロール
６ 制御手段
７ テープ固定機構
７ａ 案内ロール
７ｂ 挟着部材
８ 非常停止手段
Ｗ 被加工物
１ テープリール
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３ テープ送り機構
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５ａ ダンサーロール
６ 制御手段
７ テープ固定機構
７ａ 案内ロール
７ｂ 挟着部材
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Claims (3)
- 研磨テープを巻回したテープリールと、該研磨テープの研磨面を被加工物の被研磨面に圧接させて研磨加工を行う研磨ヘッドと、該テープリールから解かれた研磨テープを該研磨ヘッドに移送させるテープ送り機構と、該テープリールを自由回転又は停止保持させるブレーキ機構と、該テープリールから該研磨ヘッドに移送される研磨テープに張力を付加するダンサーロールをもつダンサーロール機構と、該ダンサーロールの移動位置により該ブレーキ機構をオンオフ制御する制御手段とを備えてなり、上記研磨テープの交換作業時において、上記テープリールと該ダンサーロール機構との間の研磨テープを固定保持するテープ固定機構を設けてなることを特徴とするテープ研磨装置。
- 上記テープ固定機構は、上記研磨テープを移送案内する案内ロール及び該案内ロールにより案内されている研磨テープを該案内ロールとで挟着して固定する挟着部材からなることを特徴とする請求項１記載のテープ研磨装置。
- 上記制御手段は、上記ダンサーロールの異常な移動位置を検出して上記研磨ヘッドの研磨加工を停止させる非常停止手段を含んでなることを特徴とする請求項１又は２記載のテープ研磨装置。
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