JP2018024791A - レジスト組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
アクリル樹脂は、アクリルモノマーの重合体であり、アクリルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を組み合せて用いることができる。
クマロン樹脂は、その骨格構造にクマロン残基を含む平均重合度4〜8の共重合体のことを示し、クマロン残基の他にインデン、スチレン残基を有しているものである。
本発明のレジスト組成物は無機フィラーを含んでいても含んでいなくてもよいが、無機フィラーを含むことが好ましい。この場合、レジスト組成物が無機フィラーを含まない場合と比べて、レジスト組成物の粘度を適正範囲内にすることが可能となる。
アクリル樹脂、クマロン樹脂及び無機フィラー(合わせて固形分とする)を、表1〜6に示す配合量でジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートからなる有機溶剤中に溶解又は分散させ、固形分の濃度が55質量%であるレジスト組成物を得た。
(1)アクリル樹脂
アクリル樹脂A:星光PMC株式会社製、酸価=105mgKOH/g
アクリル樹脂B:星光PMC株式会社製、酸価=50mgKOH/g
アクリル樹脂C:東亞合成株式会社製、酸価=74mgKOH/g
アクリル樹脂D:星光PMC株式会社製、酸価=140mgKOH/g
アクリル樹脂E:星光PMC株式会社製、酸価=40mgKOH/g
アクリル樹脂F:星光PMC株式会社製、酸価=150mgKOH/g
(2)クマロン樹脂
クマロン樹脂A:日塗化学株式会社製、水酸基価=10mgKOH/g
クマロン樹脂B:日塗化学株式会社製、水酸基価=25mgKOH/g
(3)無機フィラー
板状フィラーA:タルク、日本タルク社製
板状フィラーB:シリカ、AGCエスアイテック社製
板状フィラーC:アルミナ、キンセイマテック社製
非板状フィラー:シリカ(球状フィラー)、日本アエロジル社製
(4)マグネタイト:戸田工業株式会社製
上述のようにして得られた実施例1〜25及び比較例1〜5のレジスト組成物について、以下のようにして、無電解めっきの際に用いられるめっき液によるめっき液耐性、剥離の際のレジスト剥離液に対する剥離性、粘度及び視認性の評価を行った。
上述のようにして得られたレジスト組成物を、乾燥後の厚さが約15μmとなるように厚さ25μmのポリイミドフィルム(東レ・デュポン株式会社製)に塗布して乾燥させ、ポリイミドフィルム上にレジスト膜を形成してなる構造体を作製した。そして、この構造体を3cm角に切断したものを測定サンプルとした。次に、無電解金めっき液(日本高純度化学株式会社製)に伝導塩調整剤(日本高純度化学株式会社製)を添加し、pHの異なる11種類の無電解金めっき液を用意した。11種類の無電解めっき液は、pH6.5から7.5まで0.1ずつ増加するように用意した。その後、pH調整した11種類の無電解金めっき液を80℃に加熱し、これらのめっき液の各々に対して測定サンプルを5分間浸漬させた後、レジスト膜の剥がれの有無を調べた。結果を表1〜6に示す。なお、表1〜6においては、pH6.5においてレジスト膜の剥離が見られなかった実施例又は比較例については合格であるとして「○」と表示し、pH6.5においてレジスト膜の剥離が見られた比較例については不合格であるとして「×」と表示した。また表1〜6においては、レジスト膜の剥離が見られたときのpHを併記した。
上述のようにして得られたレジスト組成物を、ベースフィルムの両面に銅箔が設けられている両面CCL(新日鉄住金化学社製)からその両面の銅箔を全面エッチングして得られるベースフィルム上に乾燥後の厚さが約15μmとなるように塗布し、乾燥させてベースフィルム上にレジスト膜を形成してなる構造体を作製した。そして、この構造体を3cm角に切断したものを測定サンプルとし、この測定サンプルについて以下のようにしてレジスト剥離液に対する剥離性の評価を行った。具体的には、レジスト剥離液として、48℃の2.8質量%NaOH水溶液を用意し、このレジスト剥離液中に測定サンプルを180秒間浸漬させ、レジスト膜の残留の有無を調べた。結果を表1〜6に示す。なお、表1〜6において、レジスト膜の残留が見られなかった実施例又は比較例については合格として「○」と表記し、レジスト膜の残留が見られた比較例については不合格として「×」と表記した。
上述のようにして得られたレジスト組成物について、B型粘度計(ブルックフィールド社製)を用いて粘度を測定した。結果を表1〜6に示す。なお、測定条件は以下の通りとした。
(測定条件)
ロータ :No.6
回転数 :60rpm
測定時間:60秒
測定温度:25℃
Claims (3)
- アクリル樹脂とクマロン樹脂とを含むレジスト組成物であって、
前記アクリル樹脂と前記クマロン樹脂との合計100質量%中の前記アクリル樹脂の含有率が30質量%以上90質量%以下、前記クマロン樹脂の含有率が10質量%以上70質量%以下であり、
前記アクリル樹脂の酸価が50mgKOH/g以上140mgKOH/g以下であり、
前記クマロン樹脂の水酸基価が20mgKOH/g以下である、レジスト組成物。 - 無機フィラーをさらに含む請求項1に記載のレジスト組成物。
- 前記無機フィラーが板状フィラーを含む請求項2に記載のレジスト組成物。
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