JP2020172009A - ドレッシング工具 - Google Patents

Abstract

【課題】ドレッシングボードが使用限界の厚さまで摩耗したか否かを適切に判断できるドレッシング工具を提供する。
【解決手段】研削ホイールの一面側に環状に配列された複数の研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、研削砥石をドレッシングするドレッシング部と、ドレッシング部の裏面側を支持する支持部と、を備え、ドレッシング部の裏面側には、ドレッシング部の裏面とは反対側に位置する表面に達せず、且つ、ドレッシング部の使用限界の厚さに対応する深さの凹部が設けられている、ドレッシング工具を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、研削ホイールの砥石をドレッシングするために使用されるドレッシング工具に関する。

表面側に複数のデバイスが形成されているウェーハを各デバイスに対応するチップに分割する場合の加工方法として、例えば、ウェーハの裏面側を研削した後、ウェーハを切削ブレードで切削して分割する方法がある。

ウェーハの研削は、例えば、研削用の砥石（研削砥石）を備える研削ホイールを装着した研削装置で行われる。研削装置の保持テーブルでウェーハを保持して、回転させた研削ホイールをウェーハの被加工面に押し付けることでウェーハは研削される（例えば、特許文献１参照）。

上述の研削砥石は、例えば、ビトリファイドやレジノイド等の結合材に、ダイヤモンドやｃＢＮ（cubic boron nitride）等の砥粒を混合し、焼結することで形成される。この研削砥石でウェーハを研削すると、研削砥石の表面（即ち、研削面）から突出した多数の砥粒がそれぞれ切れ刃として作用し、ウェーハの被加工面は削り取られる。

研削の進行と共に研削砥石も摩耗し、ウェーハの被加工面と接触する研削砥石の表面には新たな砥粒が次々に現れる。この作用（自生発刃作用などと呼ばれる）によって、砥粒の目こぼれ、目詰まり、目つぶれ等による研削性能の低下を抑制し、良好な切削加工が実現される。

ところで、未使用の研削砥石は、研削砥石の表面から砥粒が適切に突出しておらず、また、研削砥石の研削面の高さにもばらつきがある。そこで、ウェーハの研削前に、研削砥石をドレッシングボード（ドレッサーボードとも呼ばれる）で目立て処理することにより、砥粒を覆っている結合材を部分的に除去して研削砥石の表面から砥粒を適切に突出させるドレッシング工程を行う（例えば、特許文献２参照）。

ドレッシングボードは、例えば、１ｍｍから５ｍｍ程度の厚さで形成されており、その裏面側には樹脂製の支持プレートが接着剤等を介して固定されている。このドレッシングボードは、研削砥石の目立て処理と共に摩耗し、所定の厚さまで薄くなると交換される。例えば、ドレッシングボードの交換時期は、ドレッシングボードの厚さを目視することで判断される。

特開２０００−２８８８８１号公報 特開２００９−１４２９０６号公報

しかしながら、上述した目視等の方法では、必ずしもドレッシングボードの交換時期を適切に判断することができない。仮に、使用限界の厚さまで摩耗したドレッシングボードを交換せずに使用して研削砥石が支持プレートを研削した場合、研削砥石が損傷する恐れがある。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、ドレッシングボードが使用限界の厚さまで摩耗したか否かを適切に判断できるドレッシング工具を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、研削ホイールの一面側に環状に配列された複数の研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、該研削砥石をドレッシングするドレッシング部と、該ドレッシング部の裏面側を支持する支持部と、を備え、該ドレッシング部の該裏面側には、該ドレッシング部の該裏面とは反対側に位置する表面に達せず、且つ、該ドレッシング部の使用限界の厚さに対応する深さの凹部が設けられている、ドレッシング工具が提供される。

好ましくは、該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に直線状に設けられている。また、好ましくは、該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に該ドレッシング部の中心よりも外周側に設けられている。

また、好ましくは、該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に環状に設けられている。また、好ましくは、該ドレッシング部の該凹部は、第１の深さを有する第１の凹部と、該第１の深さよりも深い第２の深さを有する第２の凹部とを含む。また、好ましくは、該凹部の深さ方向で、該第１の凹部と該第２の凹部とは重なっている。

本発明の一態様に係るドレッシング工具は、研削砥石をドレッシングするドレッシング部と、ドレッシング部の裏面側を支持する支持部と、を備える。ドレッシング部の裏面側には、ドレッシング部の表面に達せず、且つ、ドレッシング部の使用限界の厚さに対応する深さの凹部が設けられている。

ドレッシングボードが研削砥石の目立て処理と共に摩耗し、所定の厚さまで薄くなると、ドレッシング部の表面側には凹部が表れるので、目視であってもドレッシング部が使用限界の厚さまで摩耗したと判断できる。それゆえ、ドレッシング工具が使用限界に達したタイミングを適切に判断できる。

図１（Ａ）は第１実施形態に係るドレッシング工具の斜視図であり、図１（Ｂ）は第１実施形態に係るドレッシング工具のＡ−Ａ断面図である。 ドレッシング工具の使用状態を示す側面図である。 使用限界に達したドレッシング工具のＡ−Ａ断面図である。 図４（Ａ）は第２実施形態に係るドレッシング工具の斜視図であり、図４（Ｂ）は第２実施形態に係るドレッシング工具のＢ−Ｂ断面図である。 図５（Ａ）は第３実施形態に係るドレッシング工具の斜視図であり、図５（Ｂ）は第３実施形態に係るドレッシング工具のＣ−Ｃ断面図である。 図６（Ａ）は第４実施形態に係るドレッシング工具の斜視図であり、図６（Ｂ）は第４実施形態に係るドレッシング工具のＤ−Ｄ断面図である。 図７（Ａ）は第１実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具のＡ−Ａ断面図であり、図７（Ｂ）は第２実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具のＢ−Ｂ断面図であり、図７（Ｃ）は第３実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具のＣ−Ｃ断面図であり、図７（Ｄ）は第４実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具のＤ−Ｄ断面図である。 図８（Ａ）は第１実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具のＡ−Ａ断面図であり、図８（Ｂ）は第２実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具のＢ−Ｂ断面図であり、図８（Ｃ）は第３実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具のＣ−Ｃ断面図であり、図８（Ｄ）は第４実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具のＤ−Ｄ断面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１（Ａ）は、第１実施形態に係るドレッシング工具２の斜視図であり、図１（Ｂ）は、第１実施形態に係るドレッシング工具２のＡ−Ａ断面図である。

図１（Ａ）に示す様に、第１実施形態に係るドレッシング工具２は、平坦な円盤状に形成されたドレッシングボード（ドレッシング部）４を有する。なお、ドレッシングボード４の形状は、円盤状に限定されない。ドレッシングボード４の形状は、矩形の板状であってもよい。

ドレッシングボード４の裏面４ｂには、ドレッシングボード４を支持する支持プレート（支持部）６の表面６ａが接着されている。支持プレート６は、ドレッシングボード４の全体を支持できる様に、ドレッシングボード４より大きな径の円盤状に形成されている。支持プレート６は、例えば、樹脂で形成されている。

ドレッシングボード４は、例えば、ビトリファイド、レジノイド等の結合材にホワイトアランダム（ＷＡ）、グリーンカーボン（ＧＣ）等の砥粒が混合された混合材料を用いて形成される。ただし、ドレッシングボード４を構成する結合材及び砥粒は、研削砥石２６の構成等に応じて変更される。

ドレッシングボード４は、例えば、３ｍｍから５ｍｍの厚さを有する。ドレッシングボード４の裏面４ｂ側には凹部８が設けられている。凹部８は、概略円柱状の空間から成る穴であり、図１（Ｂ）のＡ−Ａ断面に示す様に、ドレッシングボード４の裏面４ｂ側の略中央部に設けられている。

なお、図１（Ｂ）のＡ−Ａ断面は、ドレッシングボード４の円形の表面４ａ（即ち、裏面４ｂとは反対側に位置する面）の中心を通り表面４ａに垂直な平面で、ドレッシングボード４及び支持プレート６を切断した切断面である。

凹部８は、裏面４ｂから表面４ａまで達しない所定の深さまで形成されている。凹部８の深さは、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗すると、ドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８が表れる様に（即ち、ドレッシングボード４の使用限界の厚さに対応する様に）調整されている。

例えば、ドレッシングボード４の使用限界の厚さが４００μｍと設定されている場合に、凹部８の深さは、裏面４ｂから４００μｍの深さに調整される。但し、ドレッシングボード４の使用限界の厚さと、凹部８の深さとは、４００μｍに限定されず、種々の値に定めることができる。

ドレッシングボード４が研削砥石２６の目立て処理と共に摩耗し、所定の厚さまで薄くなると、ドレッシングボード４の表面には凹部８が現れる。それゆえ、作業者は、目視であってもドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したか否かを判断できるので、ドレッシング工具２が使用限界に達したタイミングを適切に判断できる。

上述したドレッシングボード４は、従来のドレッシングボードの製造方法に類似する製造方法で製造できる。例えば、まず、上述した混合材料を成形し、平坦な円盤状の成形体を形成する。但し、成形時に、成形体の円形の一面の中央部には、凹部８に対応する穴を形成する。その後、成形体を焼結させることで、凹部８を有するドレッシングボード４を製造できる。

なお、成形体に凹部８に対応する穴を形成せずに、焼結体に凹部８に対応する穴を形成してもよい。例えば、混合材料を平坦な円盤状に成形した後、成形体を焼結する。その後、円盤状の焼結体を切削して凹部８を形成する。これにより、凹部８を有するドレッシングボード４を製造できる。

次に、第１実施形態のドレッシング工具２を使用する研削砥石２６のドレッシング工程について説明する。図２は、ドレッシング工具２の使用状態を示す側面図である。図２に示す様に、ドレッシング工程で使用される研削装置１２は、スピンドル１４を回転可能に支持する円筒状のスピンドルハウジング１６を備える。

スピンドルハウジング１６は、移動機構（不図示）を介して研削装置１２の支持柱（不図示）に取り付けられており、上下方向に移動する。スピンドル１４の下端側には、研削ホイール１８を装着するホイールマウント２０が固定されている。

スピンドル１４の上端側にはモータ等を含む回転機構２２が連結されている。ホイールマウント２０には、研削ホイール１８が装着されており、この研削ホイール１８は、回転機構２２から伝達される回転力で回転する。

研削ホイール１８は、アルミニウム、ステンレス等の金属材料で形成された円筒状のホイール基台２４を備える。ホイールマウント２０とは反対側のホイール基台２４の一面は円環状に形成されており、この円環状の一面の周方向沿って複数の研削砥石２６が固定されている。つまり、ホイール基台２４の一面側には、複数の研削砥石２６が環状に配置されている。

ホイールマウント２０の下方には、保持テーブル２８が設けられている。保持テーブル２８は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、スピンドル１４の軸方向に対して平行な回転軸の周りに回転する。

保持テーブル２８の表面２８ａは、ウェーハ等の被加工物を吸引保持する保持面となっている。保持面には、保持テーブル２８の内部に形成された流路（不図示）を通じてエジェクタ等の吸引源（不図示）の負圧が作用し、被加工物を吸引する吸引力が発生する。

この保持テーブル２８に、支持プレート６の裏面６ｂ側を吸着させた状態で、研削ホイール１８と保持テーブル２８とを回転させ、スピンドルハウジング１６を下降させる。ドレッシングボード４の表面４ａに研削砥石２６を押し付ける様にスピンドルハウジング１６の下降量を調節すれば、研削砥石２６はドレッシングボード４によりドレッシングされる。

図３は、使用限界に達したドレッシング工具２のＡ−Ａ断面図である。上述した研削砥石２６のドレッシングによりドレッシングボード４が摩耗すると、ドレッシングボード４は徐々に薄くなる。ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗すると、ドレッシングボード４の表面４ａ側には凹部８が表れる。

以上の様に、第１実施形態のドレッシング工具２には、ドレッシングボード４の使用限界の厚さに対応する深さの凹部８が設けられている。それゆえ、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したか否かを、ドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８が表れたか否かに基づいて判断できる。

例えば、表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを識別する場合、ドレッシング工程の終了後に、ドレッシング工具２は、保持テーブル２８からカセット（不図示）へ搬送されるので、作業者は、カセットへ搬送された静止状態のドレッシングボード４の表面４ａ側を観察する。これにより、作業者は、表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを識別できる。

また、作業者は、ドレッシング工具２が保持テーブル２８で保持され且つ回転している状態（即ち、ドレッシング工程中）のドレッシングボード４の表面４ａ側を観察してもよい。このように、回転状態のドレッシングボード４を目視することによっても、表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを識別可能である。

なお、表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを識別する主体は、必ずしも作業者に限定されない。例えば、表面４ａ側を撮像するカメラと、カメラで撮像された画像から表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを判定するＣＰＵ等の判定部とを備える判定装置が、表面４ａ側に凹部８が表れているか否かを自動で識別してもよい。

ところで、凹部８の形状は、種々変更することができる。第１実施形態のドレッシングボード４の凹部８は、概略円柱状の穴であるが、凹部８の形状は、円柱状の穴に限定されない。

図４（Ａ）は、第２実施形態に係るドレッシング工具２の斜視図であり、図４（Ｂ）は、第２実施形態に係るドレッシング工具２のＢ−Ｂ断面図である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示す様に、第２実施形態のドレッシングボード４の裏面４ｂ側には、凹部８ａが設けられている。凹部８ａは、ドレッシングボード４の径方向に長手部を有する直線状の溝である。

より具体的には、凹部８ａは、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、円形の裏面４ｂの中心Оを通る直線状に形成されており、凹部８ａの長手方向の長さが円形の裏面４ｂの直径と略同じとなる様に形成されている。但し、凹部８ａは、裏面４ｂから見た場合に、裏面４ｂの中心Ｏを通らない直線状に形成されてもよい。

凹部８ａは、裏面４ｂから表面４ａまで至らない所定の深さまで形成されている。凹部８ａの深さは、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗すると、研削砥石２６と接触するドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８ａが表れる様に調整されている。

それゆえ、第２実施形態でも、作業者等は、ドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８が表れたか否かに基づいて、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したか否かを判断できる。

更に、凹部８ａは中心Ｏを通る直線状に形成されているので、ドレッシングボード４が回転している場合に、凹部８ａは表面４ａ側の全体に視認される。これに対して、第１実施形態の様に凹部８の中心位置が中心Ｏに設けられている場合、ドレッシングボード４が回転すると、凹部８は表面４ａにおいて円形の点として視認される。

この様に、第２実施形態では、ドレッシングボード４が回転している場合に凹部８ａが表面４ａ側に表れると、第１実施形態に比べて広い範囲で凹部８ａを観察できるので、凹部８ａが表面４ａ側に表れたか否かを第１実施形態に比べてより容易に識別できる。

図５（Ａ）は、第３実施形態に係るドレッシング工具２の斜視図であり、図５（Ｂ）は第３実施形態に係るドレッシング工具２のＣ−Ｃ断面図である。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す様に、第３実施形態のドレッシングボード４の裏面４ｂ側には凹部８ｂが設けられている。凹部８ｂは、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、円形の裏面４ｂの中心Оよりも外側に設けられた概略円柱状の穴である。

第３実施形態の凹部８ｂの中心位置は、中心Ｏから７ｒ／８の距離の位置にある（ｒは裏面４ｂの半径である）。なお、裏面４ｂにおける凹部８ｂの中心位置は、中心Ｏからｒ／２の距離の位置よりも外側にあってよく、中心Ｏから３ｒ／４の距離の位置にあってもよい。

凹部８ｂは、裏面４ｂから表面４ａまで至らない所定の深さまで形成されている。凹部８ｂの深さも、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗するとドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８ｂが表れる様に調整されている。それゆえ、第３実施形態でも、ドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８ｂが表れたか否かに基づいて、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したか否かを判断できる。

更に、凹部８ｂの中心位置は裏面４ｂの中心Ｏよりも外側に設けられているので、ドレッシングボード４が回転している場合に、凹部８ｂは表面４ａ側において環状の軌跡として視認される。これに対して、第１実施形態の様に凹部８の中心位置が中心Ｏに設けられている場合、ドレッシングボード４が回転すると、凹部８は表面４ａにおいて円形の点として視認される。

この様に、第３実施形態では、ドレッシングボード４が回転している場合に凹部８ｂが表面４ａ側に表れると、第１実施形態に比べて広い範囲で凹部８ｂを観察できるので、凹部８ｂが表面４ａ側に表れたか否かを第１実施形態に比べてより容易に識別できる。

図６（Ａ）は、第４実施形態に係るドレッシング工具２の斜視図であり、図６（Ｂ）は、第４実施形態に係るドレッシング工具２のＤ−Ｄ断面図である。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示す様に、第４実施形態のドレッシングボード４は、ドレッシングボード４の径よりも小さな径を有する環状の凹部８ｃを有する。

凹部８ｃは、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、円形の裏面４ｂの中心Оよりも外周側に設けられた環状の溝である。凹部８ｃは、裏面４ｂ側から見た場合に円形であるが、必ずしも真円でなくてもよい。なお、凹部８ｃも、裏面４ｂから表面４ａまで至らない所定の深さまで形成されている。

凹部８ｃの深さは、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗すると、研削砥石２６と接触するドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８ｃが表れる様に調整されている。それゆえ、第４実施形態でも、ドレッシングボード４の表面４ａ側に凹部８ｃが表れるか否かに基づいて、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したか否かを判断できる。

第４実施形態では、凹部８ｃが環状に設けられているので、凹部８ｃ上の周方向の任意の領域が部分的に薄化されても、表面４ａ側に凹部８ｃが表れたか否かを識別できる。加えて、ドレッシングボード４が回転している場合に、凹部８ｃが表面４ａ側に表れると、第１実施形態に比べて広い範囲で凹部８ｃを観察できるので、第１実施形態の凹部８に比べて凹部８ｃの視認等が容易になる。

ところで、上述の第１実施形態から第４実施形態におけるドレッシングボード４の凹部８、８ａ、８ｂ及び８ｃの各々は、独立した１つの凹部で構成されている。但し、ドレッシングボード４の凹部８、８ａ、８ｂ及び８ｃの各々は、独立した２つの凹部で構成されてもよい。

図７（Ａ）は、第１実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具２の断面図である。第１実施形態の第１変形例に係るドレッシングボード４は、裏面４ｂ側の中央部に第１の凹部８−１及び第２の凹部８−２を有する。第１の凹部８−１及び第２の凹部８−２の各々は、独立する様に互いに離れて形成された各々概略円柱状の穴である。

第１の凹部８−１は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置まで形成されており、第２の凹部８−２は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置よりも深く（即ち、表面４ａに近く）且つ裏面４ｂから表面４ａまで至らない第２の深さｄ２の位置まで形成されている。

第２の深さｄ２は第１の深さｄ１よりも深いので、表面４ａ側が摩耗すると、第２の凹部８−２は第１の凹部８−１よりも先に表面４ａ側に表れる。それゆえ、表面４ａ側へ表れた第２の凹部８−２は、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていることを示す警告表示として利用できる。

これに対して、第１の凹部８−１の深さは、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗すると、研削砥石２６と接触するドレッシングボード４の表面４ａ側に第１の凹部８−１が表れる様に調整されている。つまり、表面４ａ側へ表れた第１の凹部８−１は、第１実施形態と同様に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したことを示す。

この様に、第１実施形態の第１変形例では、使用限界に関する情報を２段階で表示できる。作業者等は、第２の凹部８−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

それゆえ、作業者は、第２の凹部８−２が表面４ａ側に表れた時点で、予備のドレッシング工具２を準備する等の対応を取ることができる。また、第１の凹部８−１が表面４ａ側に表れた時点で、ドレッシング工具２を新しいドレッシング工具２に交換することで、研削砥石２６の損傷等をより確実に防止できる。

図７（Ｂ）は、第２実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具２のＢ−Ｂ断面図である。第２実施形態の第１変形例に係るドレッシングボード４は、第１の凹部８ａ−１及び第２の凹部８ａ−２を有する。

第１の凹部８ａ−１及び第２の凹部８ａ−２は、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、互いに平行な直線状に形成された凹部であり、それぞれ独立する様に互いに離れて形成されている。

より具体的には、第１の凹部８ａ−１及び第２の凹部８ａ−２の各々は、ドレッシングボード４の径方向と平行な方向に長手部を有する直線状の溝である。第１の凹部８ａ−１は、ドレッシングボード４の裏面４ｂ側の中心Ｏを通る直線状の溝であり、第２の凹部８ａ−２（図７（Ｂ）にて破線で示す）は、第１の凹部８ａ−１と平行に配置され、中心Ｏを通らない直線状の溝である。

第１の凹部８ａ−１は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置まで形成されており、第２の凹部８ａ−２は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置よりも深く（即ち、表面４ａに近く）且つ裏面４ｂから表面４ａまで至らない第２の深さｄ２の位置まで形成されている。

第２実施形態の第１変形例でも、作業者等は、第２の凹部８ａ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ａ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

図７（Ｃ）は、第３実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具２の断面図である。第３実施形態の第１変形例に係るドレッシングボード４は、第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２を有する。第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２の各々は、ドレッシングボード４の裏面４ｂの中心Ｏよりも外周側に各々設けられた概略円柱状の穴である。

第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２の各々は、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、円形の裏面４ｂの径方向で異なる位置に設けられている。具体的には、裏面４ｂにおける第１の凹部８ｂ−１の中心は、中心Ｏからｒ／２の距離の位置にある。

これに対して、裏面４ｂにおける第２の凹部８ｂ−２の中心は、中心Ｏから７ｒ／８の距離の位置にある。なお、第２の凹部８ｂ−２は、中心Ｏに対して第１の凹部８−１とは反対側に配置されているが、第２の凹部８ｂ−２の配置は、この例に限定されない。第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２は、中心Ｏからの距離が同じでなければ、中心Ｏから任意の２箇所に配置されてよい。

第１の凹部８ｂ−１は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置まで形成されている。これに対して、第２の凹部８ｂ−２は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置よりも深く（即ち、表面４ａに近く）且つ裏面４ｂから表面４ａまで至らない第２の深さｄ２の位置まで形成されている。

第３実施形態の第１変形例でも、第２の凹部８ｂ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ｂ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

図７（Ｄ）は、第４実施形態の第１変形例に係るドレッシング工具２の断面図である。第４実施形態の第１変形例に係るドレッシングボード４は、裏面４ｂ側から見た場合に各々環状の第１の凹部８ｃ−１及び第２の凹部８ｃ−２を有する。

第１の凹部８ｃ−１及び第２の凹部８ｃ−２の各々は、ドレッシングボード４を裏面４ｂ側から見た場合に、円形の裏面４ｂの中心Оよりも外周側に設けられた環状の溝である。第１の凹部８ｃ−１は、ドレッシングボード４の径よりも小さな第１の径を有する。これに対して、第２の凹部８ｃ−２は、第１の凹部８ｃ−１の径よりも大きく且つドレッシングボード４の径よりも小さな第２の径を有する。

なお、第１の凹部８ｃ−１は、第２の凹部８ｃ−２よりも内側に設けられているが、第１の凹部８ｃ−１は、第２の凹部８ｃ−２よりも外側に設けられていてもよい。また、第１の凹部８ｃ−１及び第２の凹部８ｃ−２の各々は、裏面４ｂ側から見た場合に必ずしも真円でなくてもよい。

第１の凹部８ｃ−１は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置まで形成されており、第２の凹部８ｃ−２は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置よりも深く（即ち、表面４ａに近く）且つ裏面４ｂから表面４ａまで至らない第２の深さｄ２の位置まで形成されている。

第４実施形態の第１変形例でも、第２の凹部８ｃ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ｃ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

上述の第１実施形態の第１変形例のドレッシングボード４には、互いに独立した第１の凹部８−１と第２の凹部８−２とが設けられているが、第１の凹部８−１の深さ方向で、上述の第１の凹部８−１と第２の凹部８−２とがつなげられた状態の第３の凹部８−３が設けられてもよい。つまり、第１の凹部８−１の深さ方向で、第１の凹部８−１と第２の凹部８−２とは完全に又は部分的に重なってもよい。

図８（Ａ）は、第１実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具２のＡ−Ａ断面図である。第１実施形態の第２変形例に係るドレッシングボード４は、裏面４ｂ側の中央部に第３の凹部８−３を有する。

第３の凹部８−３は、上述の第１の凹部８−１及び第２の凹部８−２で構成されている。第１の凹部８−１は、第１の深さｄ１を有する概略円柱状の穴である。これに対して、第２の凹部８−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８−１の略中央に配置され、第２の凹部８−２は、裏面４ｂから第１の深さｄ１の位置よりも深い第２の深さｄ２を有し、第１の凹部８−１よりも小さい径を有する概略円柱状の穴である。

なお、第２の凹部８−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８−１の略中央に必ずしも配置されなくてもよい。第２の凹部８−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８−１内にあれば、任意の位置に配置してよい。

第１実施形態の第２変形例でも、第２の凹部８−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

図８（Ｂ）は、第２実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具２のＢ−Ｂ断面図である。第２実施形態の第２変形例に係るドレッシングボード４は、ドレッシングボード４の径方向に長手部を有する直線状の第３の凹部８ａ−３を有する。第３の凹部８ａ−３は、裏面４ｂ側の中心Ｏを通り、ドレッシングボード４の径方向に長手部を有する直線状に形成されている。

第３の凹部８ａ−３も、上述の第１の凹部８ａ−１及び第２の凹部８ａ−２で構成されている。第１の凹部８ａ−１は、第１の深さｄ１を有する直線状の溝である。これに対して、第２の凹部８ａ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ａ−１の略中央に配置され、第１の深さｄ１よりも深い第２の深さｄ２を有し、第１の凹部８ａ−１よりも小さい幅（即ち、第１の凹部８ａ−１の長手方向に直交する方向の長さ）を有する直線状の溝である。

第２実施形態の第２変形例でも、第２の凹部８ａ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ａ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

なお、第２の凹部８ａ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ａ−１の略中央に必ずしも配置されなくてもよい。第２の凹部８ａ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ａ−１内にあれば、任意の位置に配置できる。

図８（Ｃ）は、第３実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具２のＣ−Ｃ断面図である。第３実施形態の第２変形例に係るドレッシングボード４は、裏面４ｂ側の中心Ｏよりも外周側に第３の凹部８ｂ−３を有する。第３の凹部８ｂ−３は、上述の第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２で構成されている。

第１の凹部８ｂ−１は、第１の深さｄ１を有する概略円柱状の穴である。これに対して、第２の凹部８ｂ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｂ−１の略中央に配置され、第１の深さｄ１よりも深い第２の深さｄ２と、第１の凹部８ｂ−１よりも小さい径と、を有する概略円柱状の穴である。

裏面４ｂにおける第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２の各々の中心位置は、中心Ｏの外側の同じ位置に配置されている。本例の第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２の各々の中心は、中心Ｏから７ｒ／８の距離の位置に配置にある。

しかし、第１の凹部８ｂ−１及び第２の凹部８ｂ−２の各々の中心位置は、中心Ｏから７ｒ／８の位置に限定されず、中心Ｏからｒ／２の位置や、中心Ｏから３ｒ／４の位置に配置されてもよい。

第３実施形態の第２変形例でも、第２の凹部８ｂ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ｂ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

なお、第２の凹部８ｂ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｂ−１の略中央に必ずしも配置されなくてもよい。第２の凹部８ｂ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｂ−１内にあれば、任意の位置に配置できる。

図８（Ｄ）は、第４実施形態の第２変形例に係るドレッシング工具２のＤ−Ｄ断面図である。第４実施形態の第２変形例に係るドレッシングボード４は、裏面４ｂ側に環状に形成された第３の凹部８ｃ−３を有する。第３の凹部８ｃ−３は、各々環状である上述の第１の凹部８ｃ−１及び第２の凹部８ｃ−２で構成されている。

第１の凹部８ｃ−１は、第１の深さｄ１を有する環状の溝である。これに対して、第２の凹部８ｃ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｃ−１と重なる位置に配置され、第１の深さｄ１よりも深い第２の深さｄ２と、第１の凹部８ｃ−１の径方向の幅よりも小さい幅と、を有する環状の溝である。

なお、第２の凹部８ｃ−２の内径と外径との中間位置は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｃ−１の内径と外径との中間位置に配置されているが、第２の凹部８ｃ−２の配置はこの例に限定されない。第２の凹部８ｃ−２は、裏面４ｂ側から見て第１の凹部８ｃ−１内にあれば、任意の位置に配置できる。

第４実施形態の第２変形例でも、第２の凹部８ｃ−２が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４の厚さが使用限界の厚さに近づいていると認識でき、第１の凹部８ｃ−１が表面４ａ側に表れた場合に、ドレッシングボード４が使用限界の厚さまで摩耗したと認識できる。

その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、凹部８等の形状は、円柱状、直線状又は環状等に限定されず、格子状、多角形形状としてもよい。

また、支持プレート６の表面６ａのうち凹部８等に対応する領域の位置に、作業者等の注意を引くための文字や記号等が記載又は付されてもよい。例えば、支持プレート６の表面６ａのうち凹部８等に対応する領域に、「危険」、「中止」、「終了」、「Ｌｉｆｅ Ｅｎｄ」等の文字を記載することで、凹部８等が表面４ａ側に現れた場合に、作業者は「危険」等の文字を視認できる。

また、ドレッシング工具２は、研削砥石２６の整形を目的に使用されてもよいし、研削砥石２６の目立てを目的に使用されてもよい。研削砥石２６の整形の用途には、比較的大きなサイズの砥粒を含むドレッシングボード４を用い、研削砥石２６の目立ての用途には、比較的小さなサイズの砥粒を含むドレッシングボード４を用いることができる。

２ ドレッシング工具
４ ドレッシングボード
４ａ 表面
４ｂ 裏面
６ 支持プレート
６ａ 表面
６ｂ 裏面
８，８ａ，８ｂ，８ｃ 凹部
８−１，８ａ−１，８ｂ−１，８ｃ−１ 第１の凹部
８−２，８ａ−２，８ｂ−２，８ｃ−２ 第２の凹部
８−３，８ａ−３，８ｂ−３，８ｃ−３ 第３の凹部
１２ 研削装置
１４ スピンドル
１６ スピンドルハウジング
１８ 研削ホイール
２０ ホイールマウント
２２ 回転機構
２４ ホイール基台
２６ 研削砥石
２８ 保持テーブル
２８ａ 表面
ｄ１ 第１の深さ
ｄ２ 第２の深さ
ｒ 半径
О 中心

Claims (6)

1. 研削ホイールの一面側に環状に配列された複数の研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、
   該研削砥石をドレッシングするドレッシング部と、
   該ドレッシング部の裏面側を支持する支持部と、
   を備え、
   該ドレッシング部の該裏面側には、該ドレッシング部の該裏面とは反対側に位置する表面に達せず、且つ、該ドレッシング部の使用限界の厚さに対応する深さの凹部が設けられていることを特徴とする、ドレッシング工具。
2. 該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に直線状に設けられていることを特徴とする、請求項１記載のドレッシング工具。
3. 該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に該ドレッシング部の中心よりも外周側に設けられていることを特徴とする、請求項１記載のドレッシング工具。
4. 該ドレッシング部の該凹部は、該ドレッシング部を該裏面側から見た場合に環状に設けられていることを特徴とする、請求項１記載のドレッシング工具。
5. 該ドレッシング部の該凹部は、第１の深さを有する第１の凹部と、該第１の深さよりも深い第２の深さを有する第２の凹部とを含むことを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項記載のドレッシング工具。
6. 該凹部の深さ方向で、該第１の凹部と該第２の凹部とは重なっていることを特徴とする、請求項５記載のドレッシング工具。