JP2020503236A - オリゴシランおよびオリゴシラン化合物の純度を高める方法 - Google Patents

Abstract

無機オリゴシランおよび／またはハロゲン化オリゴシランおよび／または有機的に置換されたオリゴシランを含む少なくとも５０％オリゴシラン化合物からなる第１の液状混合物を準備し、第１の液状混合物で、少なくとも１つの精製手順を実施する、オリゴシランおよび／またはオリゴシラン化合物の純度を高めるための方法に関し、このとき、第１のステップａ）で、液状混合物をオリゴシラン化合物の少なくとも一部分が凝固する温度に調節し、第２のステップｂ）で、液状混合物の少なくとも一部分を分離する。【選択図】なし

Description

本発明は、オリゴシランおよびオリゴシラン化合物、具体的には、無機オリゴシラン、ハロゲン化オリゴシラン、または有機置換オリゴシランの純度を高める方法に関する。

半導体産業で超小型電子部品に用いられるケイ素化合物の不純物や汚染物は、望ましくないドーピングを引き起こし、それにより、例えば信号伝送や発熱のような超小型電子部品の機能に不利な影響が及ぶ。ハロゲン化シランから特定の汚染物を取り除く方法は、先行技術から既知である。例えば特許文献１は、捕捉試薬として有機化合物を個別のシランに添加し、金属元素または半金属元素によってシランの汚染物を低減する方法を開示している。つまり、捕捉試薬で用いられるアミノ基がリガンドとして作用し、金属中心または半金属中心を配位結合させることができる。この方法の欠点は、オリゴシラン、すなわち最大１０個までの複数のケイ素原子を有するシランには用いることができないことである。捕捉試薬で用いられるアミノ基が、オリゴシランにおいて骨格転位を引き起こすことがあるからだ。そうした骨格転位は、例えば四塩化ケイ素などの短鎖シランの形成に、またその一方で、例えば（ＳｉＣｌ₃）₄Ｓｉなどの長鎖分岐シランの形成に有利であり得るが、その後の加工には望ましくなかったり、所望の生成物の完全分解につながったりする可能性がある。

非特許文献１は、三塩化ホウ素とさまざまなシリルシロキサンの反応について記しており、このときシリルシロキサンは切断されて塩化シリルになる。しかしながら、この方法はさまざまなシロキサンの除去にのみ関連しており、例えばホウ素化合物、リン化合物、ヒ素化合物、およびアンチモン化合物などのドーパント含有化合物では低減が不可能である。

シラン中の不純物を低減する別の方法が特許文献２から既知であり、この方法では、金属元素または半金属元素の不純物を、フッ化物と有機オリゴエーテル、またはポリエーテルの添加によって除去することができる。この方法は、基本的には金属不純物の除去を想定したもので、精製効果は、使用するフッ化物と不純物の反応性に依存する。欠点として、ルイス塩基とルイス酸は同じようにうまく除去することができない。それに加え、有機試薬を添加すると望ましくない副反応が引き起こされることがあり、そうするとこの試薬の除去が必要となる。

先行技術から既知の方法には、ドーパント、金属化合物、有機および無機分子化合物などの不純物をオリゴシランから取り除くことができると同時に、所望の生成物に本質的な影響を及ぼさないものはない。

独国特許出願公開第１０ ２００９ ０２７ ７２９号 独国特許出願公開第１０ ２０１４ ０１３ ２５０号

Ｖａｎ Ｄｙｋｅ，ｅｔ ａｌ．，（Ｉｎｏｒｇ． Ｃｈｅｍ．，Ｖｏｌ．３，Ｎｏ．５，１９６４ ｐｐ．７４７−７５２）

本発明の目的は、オリゴシランおよびその化合物中の、ドーパント、金属化合物、有機および無機分子化合物に起因する不純物を低減させると同時に、オリゴシランおよびその化合物の純度を高めることのできる方法を提供することである。

本発明の目的は、請求項１に従った方法によって達成される。本発明の有利な実施形態と展開は、従属クレームに示す特徴によって実現できる。

オリゴシランおよび／またはオリゴシラン化合物の純度を高めるための本発明に従った方法では、無機オリゴシランおよび／またはハロゲン化オリゴシランおよび／または有機置換オリゴシランを含む少なくとも５０％オリゴシラン化合物からなる第１の液状混合物を準備し、第１の液状混合物で少なくとも１つの精製手順を実施し、このとき、第１のステップａ）で、混合物をオリゴシラン化合物の少なくとも一部分が凝固する温度に調節し、第２のステップｂ）で、液状混合物の少なくとも一部分を分離する。

好ましくは、ステップａ）で形成された固体を、ステップｂ）で液状混合物から完全に分離することができる。形成された固体は、主にオリゴシラン化合物の結晶である。得られた結晶は、温度調節によって再液化することができ、得られた液体は、ドーパント濃度が低く、および／またはオリゴシラン化合物の濃度が高い、もしくは純度が高い。得られた結晶の純度をさらに高めるために、第２の精製手順で、液化結晶を用いて精製手順をくり返すことができる。このように第２の精製手順で用いられた液化結晶は、第２の液状混合物と呼ばれる。それに加え、第３、第４、および第５の精製手順として、さらに精製手順を行う可能性があり、実施する精製手順の数に制限はない。

有利には、本発明に従った方法は、温度が低下すると、通常の条件下では液体である純粋なオリゴシランが、その熱力学的な分布定数に従って、不純なオリゴシラン化合物、または不純なオリゴシラン化合物を含有する液状混合物から凝固または結晶化し、このとき不純物または不純化合物は、凝固点降下によってより低い温度で凝固または結晶化するという事実を用いている。それにより、例えば溶剤などの試薬を追加して処理することなく、母液とも呼ばれる不純物を含有する混合物から低温で、固体として純粋なオリゴシランを分離することができる。そのため、本発明に従った方法では、液状混合物の加熱や溶剤を必要とせずに、簡単な方法で、ドーパント、金属化合物、無機物、および有機物を同時に低減することができる。この方法によって、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｕによる汚染が１００ｐｐｂ未満のオリゴシランを得ることができる。

第１の液状混合物の準備には、例えば排気ガスからハロゲン化オリゴシランを凝縮できるシーメンス（Ｓｉｅｍｅｎｓ）法やデグッサ（Ｄｅｇｕｓｓａ）法などのケイ素製造の廃棄物または副生成物を用いることができる。さらに、ハロゲン化オリゴシランまたはポリシランは、的を定めた熱的合成またはプラズマ化学合成によって、ＳｉＣｌ₄またはＨＳｉＣｌ₃などの単純なモノシランから得ることができ、このとき、Ｈ₂などの還元剤を使うことができる。さらにオリゴシランは、ミュラー・ロショー（Ｍｕｅｌｌｅｒ−Ｒｏｃｈｏｗ）法などのケイ素生成の前駆体の調製方法において副生成物として生じ、排気ガスから分離して、本発明に従ったプロセスに、すなわち第１の液状混合物を準備するために用いることができる。好ましくは、各精製手順のために準備する液状混合物を事前蒸留し、少なくとも５０％のオリゴシラン化合物の部分を得ることができる。

結晶形成は、結晶化バッチを撹拌することによって影響を及ぼすことができ、このとき、できるだけ最大の層流であると有利である。乱流、不連続撹拌、または不均一な冷却があると、絡み合った結晶や懸濁した小さな結晶から固体の部分が生じ、結晶スラリーが形成される。そのため有利には、本発明に従った方法によって、結晶の懸濁液または緻密な結晶塊として、オリゴシランの純粋な結晶を得ることができる。

本発明の目的上、オリゴシランは最大９個のケイ素原子で形成されるシランと理解され、本発明に従った所望の生成物は、Ｓｉ_nＸ_2n+2、Ｓｉ_nＸ_2n、Ｓｉ_nＸ_2n-2、Ｓｉ_nＸ_2n-4、Ｓｉ_nＸ_2n-6の組成を有するオリゴシランであり、ｎ＝２からｎ＝９であり、このとき、互いに無関係な置換基Ｘは、ハロゲン、水素、または有機置換基である。便宜上、準備する第１の液状混合物およびその後の液状混合物に含まれるオリゴシラン化合物は、最大９個のケイ素原子で形成されていてよい。言い換えれば、最大９個のケイ素原子で形成される少なくとも５０％のオリゴシラン化合物である第１の液状混合物またはその後の液状混合物は、好ましくは以下の精製手順で準備する。

好ましくは、ステップａ）およびｂ）からなる精製手順は、オリゴシランの純度を高めるために、および／またはオリゴシランの濃度を高めるために、１回以上くり返すことができる。この点で、その後の精製手順は、第２、第３、または第４の精製手順と呼ばれる。ステップｂ）で分離された混合物は、母液とも呼ぶことができ、このとき、第１の精製手順で分離された液状混合物は第１の母液と呼ばれ、第２の精製手順で分離された液状混合物は第２の母液と呼ばれ、以降これに準ずる。したがって、第１の分離液状混合物の少なくとも一部、すなわち第１の母液の一部を、第２の精製手順で第２の液状混合物に添加すると定めることができる。これにより、第１の母液中に存在するオリゴシランをその後の精製手順で得ることができるため、純粋なオリゴシランの収量が増加する。このとき、便宜上、純度のより高い第１の母液を用いるが、少なくとも、準備した第１の混合物の純度よりも大幅に低いわけではない。第１の母液は、さらなる液状混合物に添加する前に、事前蒸留することができる。この前処理によって、含有されるオリゴシラン化合物の濃縮が実現できる。さらに第３または第４の母液がある場合、量としては重要ではないものの、それぞれ次のバッチに再度添加すれば、過充填することなく、反応器容積を有意義に活用できる。

本発明に従った方法の有利な実施形態に従って、ステップｂ）の少なくとも１つの精製手順において、少なくとも１５％、かつ最大で５０％の液状混合物を分離すると定めることができる。さらに、第２、またはそれ以降の精製手順の少なくとも１つで、少なくとも１０％、かつ最大で８０％、好ましくは１５％から４５％の第２、またはそれ以降の液状混合物を、第２、またはそれ以降の母液として分離すると定めることができる。本方法に使用する反応器の容量に基づいて、第２、またはそれ以降の母液の量が、準備する第１、第２、またはそれ以降の液状混合物の量を制限する可能性がある。ゆえに、第１、第２、またはそれ以降の母液の好ましくは１０〜４０％を、準備する第１、第２、またはそれ以降の液状混合物に添加すると定めることができる。

本発明に従った方法のさらなる有利な実施形態に従って、第１、第２、またはそれ以降の液状混合物は、調製用に温度を調節して、オリゴシラン化合物を溶解または融解させる。

オリゴシランの結晶化は、第１、第２、またはそれ以降の液状混合物の温度を調節することによって実現する。オリゴシランの結晶化温度または凝固温度は、不純物の種類や量の影響を受けるため、必要な結晶化温度は、混合物を観察して決定し、このとき温度は、混合物中に結晶が最初に形成されるまで調節しながら徐々に下げていくと定めることができる。次いで、到達した温度を所定の時間にわたって、好ましくは結晶化が完了するまで、または一定時間にわたって結晶の大幅な増加が認められなくなるまで維持することができる。それに続いて、各精製手順で得られた母液、すなわち残った結晶化混合物を、形成された結晶から分離することができる。残った母液が、準備した液状混合物の条件を満たす場合、すなわち、少なくとも５０％のオリゴシラン化合物からなる場合、次の精製手順をそのまま行うことができる。このとき、第１の精製手順と比べて低い温度に設定して、より低い温度で結晶化または凝固するさらなるオリゴシランのさらなる結晶を得ることができる。分離液状混合物が、少なくとも５０％のオリゴシラン化合物で構成されていない場合、または母液が、液状混合物の条件を満たしていない場合、母液を事前蒸留して、オリゴシラン化合物を濃縮することができる。

本発明に従った方法の有利な一実施形態に従って、第１、第２、またはそれ以降の液状混合物の温度調節時に、温度を、所定温度の範囲内で結晶化が始まる温度より低く変化させて、液状混合物の結晶化のパーセント度数または凝固のパーセント度数を達成すると定めることができる。こうして、いくつかのさらなるオリゴシランの結晶化を実現することができる。結晶化のパーセント度数または凝固のパーセント度数とは、それぞれの液状混合物で形成された結晶のパーセント値と理解される。例えば温度調節時に、形成される結晶の割合が液状混合物の５０％になるまで温度を徐々に下げるか、または相当する温度を所定の時間にわたって維持することができる。逆に言えば、液状混合物の温度調節または結晶化は、最初の液状混合物のパーセント値が母液として維持されている間は、維持することができる。

追加の方法ステップに従って、第１、第２、またはそれ以降の混合物の温度を、所望の生成物の結晶化温度より高く、結晶が分離する寸前の温度で、所定の時間にわたって維持することがさらに有利であり得る。解凍ステップとも呼べる追加の方法ステップによって、結晶化で検出された、または接着性の／包含された母液として結晶の形で存在した不純なオリゴシランまたはドーパントなどの望ましくない部分を、溶液中に戻して母液として取り除くことができる。有利には、オリゴシランの純度は解凍ステップによって高めることができる。

好ましくは、ステップａ）で形成された固体は、デカンテーション、ろ過、および／または遠心分離によって分離することができる。本発明に従った方法のさらなる有利な実施形態に従って、結晶分離後のさらなるプロセスステップとして、結晶の蒸留を１６００ｈＰａ未満、好ましくは８００ｈＰａ未満の圧力で、より好ましくは真空で行うと定めることができる。有利には、蒸留ステップによって、オリゴシランからとりわけ含有懸濁物を取り除くことができる。

液状混合物を準備するために、さらなる実施形態に従って、オリゴシラン化合物を、温度調節に加えて、好ましくは少なくとも１つの無機オリゴシランおよび／またはハロゲン化オリゴシランおよび／または有機的に置換されたオリゴシランよりも低い凝固温度を有する溶剤に混ぜ入れると定めることができる。溶剤は、アルカン、クロロアルカン、特にジクロロメタン、シクロアルカン、トリグライム、ジグライム、ジオキサン、ジブチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、シラン、またはオリゴシランを含む群から選択できる。好ましくは、溶剤の少なくとも０．０１質量％を使用できる。使用する溶剤は、後に続く蒸留ステップによって形成された結晶から取り除くことができる。

本発明に従った方法のさらなる有利な実施形態に従って、結晶化プロセスを始めるために第１、第２、またはそれ以降の液状混合物に、温度調節時に無機オリゴシランおよび／またはハロゲン化オリゴシランおよび／または有機的に置換されたオリゴシランの種晶を接種することができる。

好ましくは、液状混合物は、温度調節時に撹拌またはポンピングして、結晶形成を促す。

本発明に従ったプロセス、特に精製手順を、閉鎖型反応器システムで実施することによって、後から不純物が入り込むのを防ぐことができる。このとき、反応器内で不活性ガスを用いて、望ましくない反応を最小限に抑えることができる。したがって、本発明に従った方法は不活性ガス下で実施することができる。さらに、母液から結晶を分離するとき、過圧の不活性ガスを用いることで、不純物が反応器に入り込むのを最小限に抑えることができる。

有利には、本発明に従ったプロセスで、通常の条件下で液体である生成物を精製する。しかしながら、純粋な状態で固体である生成物も液状混合物から得ることができる。好ましくは、プロセスは、すでに純度が比較的高い、例えば９９％超である個々の液体オリゴシラン化合物に適用することができ、それにより、本発明に従ったプロセスの実施後、個々のオリゴシラン化合物を非常に多くの用途に容易に用いることができる。さらに本発明に従ったプロセスには、先行技術で用いられている蒸留分離法と比べて、費用を削減でき、生成物純度を高めることができるという利点がある。

オリゴシランおよび／またはオリゴシラン化合物の純度を高めるための本発明に従った方法の例示的な実施形態のフローチャート

以下に、例示的な実施形態に基づいて例を通して本発明をより詳細に説明する。

本発明に従った方法によってヘキサクロロジシランの純度を高める、第１の例示的な実施形態。

第１の実施形態のために準備した第１の液状混合物は、ヘキサクロロジシラン（ＨＣＤＳ）８１．８８％、ヘキサクロロジシロキサン８．４２％、ペンタクロロジシラン８．４４％、テトラクロロシラン１．１３％を含有しており、質量は１４２２．５ｇだった。第１の液状混合物に含まれるヘキサクロロジシランを精製するために、第１の精製手順で、第１の液状混合物を反応器に入れ、撹拌装置を用いて毎分回転数（ｒｐｍ）６００〜１０００で撹拌しながら、温度を−４０〜−４８℃に調節した。温度調節プロセスは２時間後に終了させた。反応器壁に結晶層が形成されていた。残りの第１の液状混合物は孔径Ｄ３のフィルターフリットを用いて第１の母液として取り出し、それにより結晶から分離した。次いで、第２の精製手順を実施した。ここで、第１の精製手順から得た結晶を温度調節によって溶解させ、生じた液体を第２の液状混合物として反応器に入れ、撹拌装置を用いて６００〜１０００ｒｐｍで撹拌しながら、２時間にわたって温度を−４０〜−４８℃に調節した。残りの第２の液状混合物は孔径Ｄ３のフィルターフリットを用いて第２の母液として取り出し、それにより結晶から分離した。

プロセスの進捗はガスクロマトグラフィーで観察した。このために、第１の液状混合物および形成された結晶から、いずれの場合も、第１および第２の精製手順後の結晶溶解後に、以下のＧＣ解析結果を得た。

表１からわかるように、第２の精製手順後に、ＨＣＤＳ濃度が９８．２７％に上昇した。

本発明に従った方法によってヘキサクロロジシランの純度を高める、第２の例示的な実施形態。

第２の実施形態のために準備した第１の液状混合物は、ヘキサクロロジシラン（ＨＣＤＳ）９９．８９８％、ヘキサクロロジシロキサン０．０９７％、テトラクロロシラン０．００５％を含有しており、質量は１３０３．５ｇだった。第１の液状混合物に含まれるヘキサクロロジシランを精製するために、第１の精製手順で、第１の液状混合物を反応器に入れ、撹拌装置を用いて３００〜４００ｒｐｍで撹拌しながら、温度を−６℃に調節した。温度調節プロセスは１時間後に終了させた。反応器壁に結晶層が形成されていた。残りの第１の液状混合物は孔径Ｄ３のフィルターフリットを用いて第１の母液として取り出し、それにより結晶から分離した。次いで、第１の精製手順と同じように、第２、第３、および第４の精製手順を実施した。こうして、各精製手順後に得られた結晶は、次の精製ステップのために温度調節によって液化し、いずれの場合も、液状混合物として用いた。

第４の精製ステップ後に、表２に示すように、純度が９９．９９％超の精製ＨＣＤＳを１１９．６５ｇ得ることができた。プロセスの進捗はガスクロマトグラフィーで観察した。このために、第１の液状混合物および形成された結晶から、いずれの場合も、第１、第２、第３、および第４の精製手順後の結晶溶解後に、以下のＧＣ解析結果を得た。

本発明に従った方法によってヘキサクロロジシランの純度を高める、第３の例示的な実施形態。

第３の例示的な実施形態では、ヘキサクロロジシランの純度を高めるために、先行する精製手順の母液の部分を次の精製手順で用いて、精製手順を連続的に実施した。この例示的な実施形態は、継続的で連続的なプロセスにおいて５つの精製手順を含む、本発明に従った方法を示している。最初に、以下の表３の第１カラムからわかるように、質量が４７．５０５ｋｇでＨＣＤＳ濃度が９９．３０４％である第１の液状混合物を準備する。第１の精製手順では、前のバッチの第２の母液２３．８ｋｇを、反応器に準備した第１の液状混合物に添加し、次いで、撹拌装置を用いて３５０ｒｐｍで撹拌しながら、温度を−２０℃に調節した。温度調節プロセスは６時間５２分後に終了させた。形成された結晶の基本部分は、緻密な中空シリンダーとなって反応器内壁で増大した。次いで、第１の母液２７．５ｋｇを反応器底部の排液弁から取り出し、形成された結晶を３５℃で溶解させた。溶解中、第３の母液２１．１１５ｋｇを前のバッチに添加し、その結果、形成された第２の液状混合物の質量が６４．９２ｋｇとなった。こうして形成された第２の液状混合物に第２の精製手順を実施した。このとき、前記手順を上述したように進めた。５時間５０分後に、第２の母液として２８．２２５ｋｇを分離し、結晶化物を３５℃で溶解し、一方で、前のバッチの第４の母液１５．５３ｋｇを添加して、質量が５２．２２５ｋｇの第３の液状混合物を、第３の精製手順のために準備した。

第３の精製手順では、第３の液状混合物を、撹拌装置を用いて３５０ｒｐｍで撹拌しながら、温度を−２０℃に調節した。７時間１２分後に結晶３１．９９５ｋｇを得て、２０．２３ｋｇを第３の母液として分離した。結晶化物を３５℃で溶解させ、一方で、第５の母液７．７９５ｋｇを前のバッチに添加して、質量が３９．７９ｋｇの第４の液状混合物を、第４の精製手順のために準備した。

第４の精製手順では、第４の液状混合物を、撹拌装置を用いて３５０ｒｐｍで撹拌しながら、温度を−２０℃に調節した。６時間１０分後に第４の母液として１４．４９ｋｇを分離し、結晶２５．３ｋｇを得た。結晶化物を３５℃で溶解させ、第５の液状混合物として第５の精製手順に用いた。このとき、前のバッチの母液を添加せずに、最大の純度を達成にした。

第５の精製手順では、第５の液状混合物を、撹拌装置を用いて３５０ｒｐｍで撹拌しながら、温度を−２０℃に調節した。温度調節プロセスは６時間５８分後に終了させた。次いで、液体５．８４ｋｇを第５の母液として分離することにより、純度が９９．９９％超のＨＣＤＳ結晶化物を１９．４６ｇ得た。

プロセスの進捗はガスクロマトグラフィーで観察した。このために、第１の液状混合物および第５の精製手順後の最終結晶から、以下のＧＣ解析結果を得た。

以下、一例として例示的な実施形態の図で、本発明に従った方法をより詳細に説明する。

図１は、オリゴシランおよび／またはオリゴシラン化合物の純度を高めるための本発明に従った方法における例示的な実施形態のフローチャートを示す。図示した例示的な実施形態に従って、本発明に従ったプロセスはバッチで実施することができる。このとき、精製手順で第１のバッチから分離された母液ＭＬ２〜ＭＬ５を、いずれの場合も、次のバッチの液状混合物に添加する。第１の混合物は、本実施例では粗混合物と呼ばれる。図表のＸ軸には４つのバッチを、Ｙ軸方向には、第１ＲＣから第５ＲＣまでの精製手順の数を示している。符号Ｋ１〜Ｋ５は、１〜４の各バッチで得られた結晶化物を意味し、その純度は番号順に増加している。

例示的な実施形態に従って、バッチ１〜４はそれぞれ第１の液状混合物である原料混合物から開始し、第１の液状混合物はそれぞれ第１の精製手順である第１ＲＣに加える。第２のバッチ２以降、第２の母液ＭＬ２の少なくとも一部分を、先の第１のバッチ１から第１の精製手順第１ＲＣに混ぜ入れ、一緒に処理する。第１の精製手順第１ＲＣによって、粗混合物よりも純度の高い第１の結晶化物Ｋ１と、純度の低い母液ＭＬ１がもたらされる。第１の母液ＭＬ１の部分は排出し、別途処理して、少なくとも原料混合物に相当する純度を達成する。第２の精製手順である第２ＲＣでは、第１の結晶化物Ｋ１を、前のバッチの第３の母液ＭＬ３の少なくとも一部分と混合する。結晶化物Ｋ２および第２の母液ＭＬ２は、第２の精製手順第２ＲＣから生じる。結晶化物Ｋ２は、第３の精製手順である第３ＲＣのために、前のバッチの母液ＭＬ４の少なくとも一部分と混合する。結晶化物Ｋ３および第３の母液ＭＬ３は、第３の精製手順第３ＲＣから生じる。結晶化物Ｋ３は、第４の精製手順である第４ＲＣのために、前のバッチの母液ＭＬ５の少なくとも一部分と混合する。第５の精製手順である第５ＲＣの後、生成物の純度は販売に十分な高さであるため、プロセスはこの時点で終了することができる。当業者が理解するように、本発明に従ったプロセスの本質から逸脱することなく、母液ＭＬを再利用し、または再利用せずに、より少ない、またはより多くの精製手順ＲＣを実施することができる。

Claims (11)

1. 無機オリゴシランおよび／またはハロゲン化オリゴシランおよび／または有機置換オリゴシランを含む少なくとも５０％オリゴシラン化合物からなる液状混合物を調製し、前記液状混合物で、少なくとも１つの精製手順を実施する、オリゴシランおよび／またはオリゴシラン化合物の純度を高めるための方法であって、
   第１のステップａ）で、前記混合物をオリゴシラン化合物の少なくとも一部分が凝固する温度に調節し、
   第２のステップｂ）で、前記液状混合物の少なくとも一部分を分離する
   ことを特徴とする方法。
2. ステップａ）で形成された固体を、ステップｂ）の前記液状混合物から完全に分離する
   請求項１に記載の方法。
3. ステップｂ）の少なくとも１つの精製手順において、前記液状混合物の少なくとも１５％、かつ最大で５０％を分離する
   請求項１または２に記載の方法。
4. さらなる精製手順の少なくとも１つにおいて、前記液状混合物の少なくとも１０％、かつ最大で８０％、好ましくは１５％から４５％を分離する
   請求項１ないし３のいずれかに記載の方法。
5. 前記分離された液状混合物の少なくとも一部分を、さらなる精製手順でさらなる液状混合物に添加する
   請求項１ないし４のいずれかに記載の方法。
6. 前記液状混合物を事前蒸溜し、オリゴシラン化合物を濃縮する
   請求項１ないし５のいずれかに記載の方法。
7. ステップａ）で形成された固体を、デカンテーション、ろ過、および／または遠心分離によって前記液状混合物から分離する
   請求項１ないし６のいずれかに記載の方法。
8. 温度調節時に、結晶化が始まるまで温度を下げ、次いでこの温度を所定の時間にわたって維持する
   請求項１ないし７のいずれかに記載の方法。
9. 温度調節時に前記液状混合物を、好ましく撹拌またはポンピングして揺り動かす
   請求項１ないし８のいずれかに記載の方法。
10. 少なくとも１つの精製手順を、閉鎖型反応器システムで実施する
    請求項１ないし９のいずれかに記載の方法。
11. 前記方法を、不活性ガス下で実施する
    請求項１ないし１０のいずれかに記載の方法。

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