JP2536639B2 - 交換結合多層膜光磁気記録媒体 - Google Patents
交換結合多層膜光磁気記録媒体Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はレーザ光を用いて情報の記録・再生を行う交
換結合多層膜光磁気記録媒体に関する。
換結合多層膜光磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］ 光ディスクメモリは、高密度、大容量、高速アクセス
が可能であるということから、現在の磁気ディスクメモ
リに代わる新規なメモリとして考えられている。中でも
光磁気記録媒体を用いた光磁気ディスクは、書き換え性
を有していることから最も注目され、近年活発に研究開
発が行われている。
が可能であるということから、現在の磁気ディスクメモ
リに代わる新規なメモリとして考えられている。中でも
光磁気記録媒体を用いた光磁気ディスクは、書き換え性
を有していることから最も注目され、近年活発に研究開
発が行われている。
第３図は従来例による単層光磁気記録媒体の一例を示
す部分断面図である。この光磁気記録媒体は、ガラスま
たは有機物樹脂よりなる支持基板１の上に中間層６、光
磁気記録層７、保護層５を順次堆積することにより作製
される。中間層６および保護層５には、Si3N4、Al2O3、
SiO2、ZrO2、AlNなどが用いられ、光磁気記録層７に
は、Tb、Gd、Dy、Ndなどの希土類金属と、Fe、Coなどの
鉄族遷移金属との組み合わせによって作製される非晶質
合金薄膜が主に用いられる。
す部分断面図である。この光磁気記録媒体は、ガラスま
たは有機物樹脂よりなる支持基板１の上に中間層６、光
磁気記録層７、保護層５を順次堆積することにより作製
される。中間層６および保護層５には、Si3N4、Al2O3、
SiO2、ZrO2、AlNなどが用いられ、光磁気記録層７に
は、Tb、Gd、Dy、Ndなどの希土類金属と、Fe、Coなどの
鉄族遷移金属との組み合わせによって作製される非晶質
合金薄膜が主に用いられる。
近年、情報の処理速度の高速化が進行し、情報の転送
速度が速いメモリシステムが必要となってきた。これに
伴い、光磁気ディスクにおいても転送速度を高速化する
ために、ディスクの回転数の高速化を促進する必要が生
じてきた。このような状況の中で、光磁気ディスクの記
録感度の向上が求められており、記録感度向上の方法の
１つとして、高いキュリー温度を持ち、かつカー回転角
の大きな読み出し層と、低いキュリー温度を持つ記録層
とを組み合わせた磁性２層膜を光磁気記録層として用い
る方法が提案されている。
速度が速いメモリシステムが必要となってきた。これに
伴い、光磁気ディスクにおいても転送速度を高速化する
ために、ディスクの回転数の高速化を促進する必要が生
じてきた。このような状況の中で、光磁気ディスクの記
録感度の向上が求められており、記録感度向上の方法の
１つとして、高いキュリー温度を持ち、かつカー回転角
の大きな読み出し層と、低いキュリー温度を持つ記録層
とを組み合わせた磁性２層膜を光磁気記録層として用い
る方法が提案されている。
また、従来の光磁気ディスクにおいては、情報を記録
する際、過去に記録されていた情報を一旦消去した後、
新しい情報を記録するという方法であったため、消去の
待ち時間が必要であった。しかし、情報の処理速度の高
速化という状況の中で、古い情報の上に新しい情報を上
書き（オーバーライト）できる光磁気ディスクが切望さ
れている。オーバーライト可能な光磁気ディスクを提供
する１つの方法として、大きな保持力を持つ記録層と小
さな保持力を持つ記録補助層からなる磁性２層膜を光磁
気記録層として用いる方法がある。
する際、過去に記録されていた情報を一旦消去した後、
新しい情報を記録するという方法であったため、消去の
待ち時間が必要であった。しかし、情報の処理速度の高
速化という状況の中で、古い情報の上に新しい情報を上
書き（オーバーライト）できる光磁気ディスクが切望さ
れている。オーバーライト可能な光磁気ディスクを提供
する１つの方法として、大きな保持力を持つ記録層と小
さな保持力を持つ記録補助層からなる磁性２層膜を光磁
気記録層として用いる方法がある。
このように、光磁気ディスクの高感度化、オーバーラ
イトを可能にする等、性能の向上あるいは多機能化をは
かることを目的として、磁性２層膜あるいは２層以上の
磁性多層膜が光磁気記録層として用いられるようになっ
てきた。
イトを可能にする等、性能の向上あるいは多機能化をは
かることを目的として、磁性２層膜あるいは２層以上の
磁性多層膜が光磁気記録層として用いられるようになっ
てきた。
［発明が解決しようとする課題］ 磁性多層膜を光磁気記録層として用いる場合、磁性膜
各層境界に形成される磁壁のエネルギー、すなわち界面
磁壁エネルギーσｗの大きさを制御することが重要な課
題である。例えば、高感度磁性２層膜光磁気記録媒体に
おいては、σｗを大きくする必要があり、オーバーライ
ト可能な磁性２層膜光磁気記録媒体においては、記録補
助層を先行補助磁界で初期化できるようにσｗの大きさ
を最適値に選ぶ必要がある。
各層境界に形成される磁壁のエネルギー、すなわち界面
磁壁エネルギーσｗの大きさを制御することが重要な課
題である。例えば、高感度磁性２層膜光磁気記録媒体に
おいては、σｗを大きくする必要があり、オーバーライ
ト可能な磁性２層膜光磁気記録媒体においては、記録補
助層を先行補助磁界で初期化できるようにσｗの大きさ
を最適値に選ぶ必要がある。
σｗの制御方法としては、磁性膜各層間に単層磁性
膜、金属膜、半導体膜あるいは誘電体膜等からなる制御
層を挿入することが行われてきたが、最も有効な方法は
単層磁性膜を用いる方法であった。この方法において
は、界面磁壁が制御層に形成されるので、界面磁壁エネ
ルギーσｗは制御層の磁気的特性に依存する。したがっ
て、σｗを変化させるためには、制御層として使用する
物質の種類あるいは組成を変化させる必要があり、最適
なσｗの磁性２層膜を主体とした光磁気記録層を短時間
に効率よく作製することが困難であった。
膜、金属膜、半導体膜あるいは誘電体膜等からなる制御
層を挿入することが行われてきたが、最も有効な方法は
単層磁性膜を用いる方法であった。この方法において
は、界面磁壁が制御層に形成されるので、界面磁壁エネ
ルギーσｗは制御層の磁気的特性に依存する。したがっ
て、σｗを変化させるためには、制御層として使用する
物質の種類あるいは組成を変化させる必要があり、最適
なσｗの磁性２層膜を主体とした光磁気記録層を短時間
に効率よく作製することが困難であった。
本発明の目的は、上記した従来の課題を解決し、最適
な界面磁壁エネルギーσｗの磁性多層膜を主体とした光
磁気記録層を有する交換結合多層膜光磁気記録媒体を歩
留まりよく工業的に容易に提供することにある。
な界面磁壁エネルギーσｗの磁性多層膜を主体とした光
磁気記録層を有する交換結合多層膜光磁気記録媒体を歩
留まりよく工業的に容易に提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、元素の種類および／または組成の異なる非
晶質希土類−遷移金属合金を２層以上堆積した磁性多層
膜が光磁気記録層として形成された交換結合多層膜光磁
気記録媒体において、前記磁性多層膜の層間の界面には
希土類金属と遷移金属とを所定の周期で交互に堆積した
周期多層構造よりなる制御層が形成されていることを特
徴とする交換結合多層膜光磁気記録媒体である。
晶質希土類−遷移金属合金を２層以上堆積した磁性多層
膜が光磁気記録層として形成された交換結合多層膜光磁
気記録媒体において、前記磁性多層膜の層間の界面には
希土類金属と遷移金属とを所定の周期で交互に堆積した
周期多層構造よりなる制御層が形成されていることを特
徴とする交換結合多層膜光磁気記録媒体である。
［作用］ 本発明の交換結合多層膜光磁気記録媒体は、光磁気記
録層を構成する磁性多層膜の層間の界面に周期多層構造
を有する制御層が形成されており、この周期多層構造の
基本周期によって、界面磁壁エネルギーσｗの大きさを
最適に制御できる。σｗを最適化するには制御層の周期
多層構造の基本周期を変化させるだけでよいので、従来
のように制御層として用いる物質の種類あるいは組成を
変更する等の操作が必要なく、短時間に効率よく最適化
することができる。
録層を構成する磁性多層膜の層間の界面に周期多層構造
を有する制御層が形成されており、この周期多層構造の
基本周期によって、界面磁壁エネルギーσｗの大きさを
最適に制御できる。σｗを最適化するには制御層の周期
多層構造の基本周期を変化させるだけでよいので、従来
のように制御層として用いる物質の種類あるいは組成を
変更する等の操作が必要なく、短時間に効率よく最適化
することができる。
［実施例］ 次に本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の交換結合多層膜光磁気記録媒体の
一実施例の部分断面図である。ガラス基板１の上に、Gd
FeCo合金層２、界面磁壁エネルギーσｗを制御するため
のTb層とFe層との周期多層構造よりなる制御層３、TbFe
合金層４、およびこれらの膜の酸化防止のためのSi3N4
保護層５を順次成膜した。このとき、GdFeCo層２および
TbFe層４は共スパッタ法により成膜し、Si3N4層は反応
性スパッタ法により成膜した。各層の膜厚は、GdFeCo合
金層２が2000（Å）、Tb−Feよりなる周期多層構造を有
する制御層３が90（Å）、TbFe合金層４が2000（Å）、
Si3N4層５が800（Å）である。
一実施例の部分断面図である。ガラス基板１の上に、Gd
FeCo合金層２、界面磁壁エネルギーσｗを制御するため
のTb層とFe層との周期多層構造よりなる制御層３、TbFe
合金層４、およびこれらの膜の酸化防止のためのSi3N4
保護層５を順次成膜した。このとき、GdFeCo層２および
TbFe層４は共スパッタ法により成膜し、Si3N4層は反応
性スパッタ法により成膜した。各層の膜厚は、GdFeCo合
金層２が2000（Å）、Tb−Feよりなる周期多層構造を有
する制御層３が90（Å）、TbFe合金層４が2000（Å）、
Si3N4層５が800（Å）である。
制御層３は、純Tb焼結体と純Feのターゲットを用いて
共スパッタ法により成膜した。したがって、Tb層とFe層
の周期多層構造を形成している。また、使用したターゲ
ットはTbFe層４で使用したターゲットと同じものであ
る。Tb層とFe層の膜厚比をTb:Fe＝1:1.4とし、基本周期
（Tb1層の膜厚＋Fe1層の膜厚）を変化させて試料を作製
した。このときの界面磁壁エネルギーσｗの変化を第２
図に示す。σｗは制御層３における周期多層構造の基本
周期が10（Å）で極大を示し、基本周期が30（Å）を超
えると、ほとんど０に近づく。このように、GdFeCo合金
とTbFe合金の磁性２層膜の光磁気記録層において、制御
層の基本周期を変化させることにより界面磁壁エネルギ
ーσｗを制御することができた。
共スパッタ法により成膜した。したがって、Tb層とFe層
の周期多層構造を形成している。また、使用したターゲ
ットはTbFe層４で使用したターゲットと同じものであ
る。Tb層とFe層の膜厚比をTb:Fe＝1:1.4とし、基本周期
（Tb1層の膜厚＋Fe1層の膜厚）を変化させて試料を作製
した。このときの界面磁壁エネルギーσｗの変化を第２
図に示す。σｗは制御層３における周期多層構造の基本
周期が10（Å）で極大を示し、基本周期が30（Å）を超
えると、ほとんど０に近づく。このように、GdFeCo合金
とTbFe合金の磁性２層膜の光磁気記録層において、制御
層の基本周期を変化させることにより界面磁壁エネルギ
ーσｗを制御することができた。
なお本実施例においては、制御層としてTb−Feよりな
る周期多層構造を用いたが、Gd−FeCoの周期多層構造の
基本周期を変化させて最適化したものを用いても同様の
結果が得られる。なお、磁性２層膜に使用されている元
素以外の磁性体元素を周期多層構造制御層の基本元素と
して使用してもよい。
る周期多層構造を用いたが、Gd−FeCoの周期多層構造の
基本周期を変化させて最適化したものを用いても同様の
結果が得られる。なお、磁性２層膜に使用されている元
素以外の磁性体元素を周期多層構造制御層の基本元素と
して使用してもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の交換結合多層膜光磁気
記録媒体においては、磁性多層膜の層間の制御層を周期
多層構造とすることにより、σｗの大きさを容易に最適
化できる光磁気記録媒体が得られる。
記録媒体においては、磁性多層膜の層間の制御層を周期
多層構造とすることにより、σｗの大きさを容易に最適
化できる光磁気記録媒体が得られる。
第１図は本発明の交換結合多層膜光磁気記録媒体の一実
施例の部分断面図、第２図は多層膜光磁気記録媒体の界
面磁壁エネルギー密度σｗと制御層の周期多層構造の基
本周期との関係を示す特性図、第３図は従来例による単
層光磁気記録媒体の部分断面図である。 １……基板 ２……GdFeCo合金層 ３……制御層 ４……TbFe合金層 ５……保護層 ６……中間層 ７……光磁気記録層
施例の部分断面図、第２図は多層膜光磁気記録媒体の界
面磁壁エネルギー密度σｗと制御層の周期多層構造の基
本周期との関係を示す特性図、第３図は従来例による単
層光磁気記録媒体の部分断面図である。 １……基板 ２……GdFeCo合金層 ３……制御層 ４……TbFe合金層 ５……保護層 ６……中間層 ７……光磁気記録層
Claims (1)
- 【請求項１】元素の種類および／または組成の異なる非
晶質希土類−遷移金属合金を２層以上堆積した磁性多層
膜が光磁気記録層として形成された交換結合多層膜光磁
気記録媒体において、前記磁性多層膜の層間の界面には
希土類金属と遷移金属とを所定の周期で交互に堆積した
周期多層構造よりなる制御層が形成されていることを特
徴とする交換結合多層膜光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1304923A JP2536639B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 交換結合多層膜光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1304923A JP2536639B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 交換結合多層膜光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03168947A JPH03168947A (ja) | 1991-07-22 |
| JP2536639B2 true JP2536639B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=17938940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1304923A Expired - Lifetime JP2536639B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 交換結合多層膜光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536639B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP1304923A patent/JP2536639B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03168947A (ja) | 1991-07-22 |
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