JP2549093Y2 - 石英延長管 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造装置に関するもので、更に述
べると、熱処理後のウエハを冷却したり、又は、該ウエ
ハの酸化を防止するために用いる石英延長管（エレファ
ントチューブとも称する）に関するものである。

従来の技術 反応室１内で熱処理されたウエハＷは、第４図に示す
ように、ポート２に乗せられ、N2ガスの注入されている
石英延長管３内に搬送される。

そして、そこでウエハを冷却した後、シャッタ４を開
けて、ポート２をクリーンベンチ（図示せず）に搬送す
る。

考案が解決しようとする問題点 従来例の石英延長管３は、１個の供給口５からガスを
供給しているので、ガスは、第４図、第５図に示すよう
に矢印A1方向に流れ、壁部3aに直接衝突して矢印A2方向
に巻き上がり、石英延長管内のガス流を乱す。

そのため、反応生成物が、石英延長管の底部に堆積
し、ウエハの嫌うゴミが発生する。その上、石英延長管
の内壁部分は、ガスの流れが無い状態となるので、該管
開口部3bとシャッタ４との隙間から空気を巻き込む現象
が生じる。

そのため、石英延長管内のウエハＷが酸化してしま
う。

又、反応室内を流れるN2ガスが、石英延長管３内を流
れるときには、その先端部が第４図の一点鎖線に示す様
な半楕円状の流形となるので、壁部3a側が中央部側に比
し、N2ガス量が少なく酸素が多くなる。

従って、石英延長管内のN2ガス濃度は不均一となるの
で、該管外に排出されるガスも不均一となる。

この考案は、上記実情に鑑み、石英延長管内のガス流
の乱れを防止すると共に、ガス濃度の均一化を図ること
を目的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、一端に反応管を接続し、他端にシャッタ
を設けた石英延長管において；該石英延長管に軸方向に
間隔をおいて複数の冷却用ガス供給手段が互いに独立に
配設され、前記冷却用ガス供給手段が、該石英延長管の
壁部に該管の軸心に対して垂直に設けられ、かつ、同一
円周上に間隔をあけて設けた複数の吹き出し穴と、該石
英延長管の外周面に設けられ、かつ、前記吹き出し穴と
連通するリング状のガス通路と、からなることを特徴と
する石英延長管、により上記問題点を解決せんとするも
のである。

作用 ガス通路にN2ガスなどの冷却ガスを流すと、該ガスは、
各吹き出し穴から石英延長管の軸心に向って垂直に吹き
出されるので、このガスは、石英延長管の壁部から中央
部に向いシャワー状となって噴出すると共に、該ガスは
該中央部で互いに衝突し合うので、直接壁部に激突する
ことはない。

実施例 この考案の一実施例を添付図面により説明するが、同
一図面符号は、その名称も機能も同一である。

円筒状の石英延長管（エレファントチューブとも称す
る）10の壁部10aに、間隔をあけて複数の吹き出し穴11
を同一円周上に形成する。

この吹き出し穴11は、夫々同径であり、該チューブ10
の軸心に対し垂直に形成されている。

石英延長管10の外周面10aに、ガス導入用リング12を
巻いて溶接し、前記吹き出し穴１と連通するガス通路13
を形成する。

このガス導入用リング12は、軸方向に間隔をおいて複
数配設されるが、夫々のリング12には、ガス導入ポート
13が設けられている。

次に、この実施例の作動について説明すると、石英延
長管10の一端に反応管（図示せず）を接続し、他端にシ
ャッタ（図示せず）を設け、該シャッタを閉めて反応管
内のウエハポート（図示せず）を石英延長管10に搬入す
る。

そして、ガス導入ポート13から冷却用の不活性ガス、
例えば、N2ガスをガス通路13内に注入すると、該ガス
は、矢印A10に示すように、吹き出し穴11から該管10の
中央部に向って吹き出す。

そのため、酸素量の多い該管10の壁部10b側にもN2ガ
スが供給されるので、該管内のガス濃度は均一化され
る。

又、各吹き出し穴11から噴出されるN2ガスは、所謂シ
ャワー状になりながら噴出されるとともに該延長管の中
央部で互いに衝突し、壁部に直接衝突しないため、従来
例のようにガスの巻き上がりもなくなるので、石英延長
管内のガス流は、乱れることがない。なお、ウエハが充
分冷却された後、シャッタが開かれボートは、クリンベ
ンチ（図示せず）に搬送される。

なお、吹き出し穴11の形状などを変えることによりガ
スの流量や流れ方向を任意に調整してもよい。

考案の効果 この考案は、以上のように構成したので、ガス流路を
流れるガスは、石英延長管の壁部から中央部に向い、シ
ャワー状となって供給される。

従って、石英延長管内は、均一なガス濃度となり、該
管開口部に対してガスを均一に流せるので、ガスは該管
外に流れ出るときの不均一さが減少する。

又、従来例のようにガスの巻き上がり現象が生じない
ので、石英延長管内のガス流が乱されない。従って、反
応生物が石英延長管内に堆積したり、又は、該管内壁部
がガス流の無い状態となって、該管開口部とシャッタと
の隙間から空気を巻き込むこともない。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は第３図のＩ−Ｉ線断面図、第２図は第３図のII−II
線断面図、第３図は斜視図、第４図、第５図は従来例を
示す図で、第４図は横断面図、第５図は従来例の縦断面
図である。 10……石英延長管 10a……石英延長管の外周面 10b……石英延長管の壁部 11……吹き出し穴 13……ガス通路

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】一端に反応管を接続し、他端にシャッタを
   設けた石英延長管において； 該石英延長管に軸方向に間隔をおいて複数の冷却用ガス
   供給手段が互いに独立に配設され、 前記冷却用ガス供給手段が、該石英延長管の壁部に該管
   の軸心に対して垂直に設けられ、かつ、同一円周上に間
   隔をあけて設けた複数の吹き出し穴と、該石英延長管の
   外周面に設けられ、かつ、前記吹き出し穴と連通するリ
   ング状のガス通路と、からなることを特徴とする石英延
   長管。
2. 【請求項２】複数の吹き出し穴が、同径であることを特
   徴とする実用新案登録請求の範囲第１記載の石英延長
   管。