JP2564355Y2 - ロードロック室内のロボット内部のｎ▲下２▼ガス置換装置 - Google Patents
ロードロック室内のロボット内部のｎ▲下２▼ガス置換装置Info
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- JP2564355Y2 JP2564355Y2 JP10195591U JP10195591U JP2564355Y2 JP 2564355 Y2 JP2564355 Y2 JP 2564355Y2 JP 10195591 U JP10195591 U JP 10195591U JP 10195591 U JP10195591 U JP 10195591U JP 2564355 Y2 JP2564355 Y2 JP 2564355Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- robot
- load lock
- lock chamber
- gas
- replacement device
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、Ｎ2 ガスによるロード
ロック室を有する半導体製造装置に係り、特に、そのロ
ードロック室内のロボット内部のＮ2 ガス置換装置に関
する。
ロック室を有する半導体製造装置に係り、特に、そのロ
ードロック室内のロボット内部のＮ2 ガス置換装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来装置の１例の要部の説明用断
面図である。この従来例はロードロック室１内部の雰囲
気を大気からＮ2 ガスパージもしくは真空置換によりＮ
2 ガスにする際、同時にフィルタ３を介してロボット２
内部をＮ2 ガスに置換する装置である。
面図である。この従来例はロードロック室１内部の雰囲
気を大気からＮ2 ガスパージもしくは真空置換によりＮ
2 ガスにする際、同時にフィルタ３を介してロボット２
内部をＮ2 ガスに置換する装置である。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例にあっては、ロボット内部に滞留部が生じやすく、Ｎ
2 ガスの置換に長時間要し、またロボット内部を確実に
Ｎ2 ガスに置換することが困難であるという課題があ
る。
例にあっては、ロボット内部に滞留部が生じやすく、Ｎ
2 ガスの置換に長時間要し、またロボット内部を確実に
Ｎ2 ガスに置換することが困難であるという課題があ
る。
【０００４】本考案の目的は、従来技術のロードロック
室内に設置されたロボット内部をＮ2 ガス置換する際、
置換時間が長く、確実性に欠けるという課題を解決し、
ロボット内部を速やかに、かつ確実にＮ2 ガス置換する
装置を提供することにある。
室内に設置されたロボット内部をＮ2 ガス置換する際、
置換時間が長く、確実性に欠けるという課題を解決し、
ロボット内部を速やかに、かつ確実にＮ2 ガス置換する
装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案装置は、上記課題
を解決し上記目的を達成するため、図１に示すようにＮ
2 ガスにより大気を遮断したロードロック室１を有する
半導体製造装置において、ロードロック室１内のロボッ
ト２にフィルタ３を取付け、該ロボット２にはこのフィ
ルタ３に内部を経て連通しロードロック室１外に導出し
た配管４を接続し、この配管４にエア弁６を介して真空
吸気口８に接続してなる。
を解決し上記目的を達成するため、図１に示すようにＮ
2 ガスにより大気を遮断したロードロック室１を有する
半導体製造装置において、ロードロック室１内のロボッ
ト２にフィルタ３を取付け、該ロボット２にはこのフィ
ルタ３に内部を経て連通しロードロック室１外に導出し
た配管４を接続し、この配管４にエア弁６を介して真空
吸気口８に接続してなる。
【０００６】
【作用】真空吸気口８に真空ポンプ等の排気装置を接続
してこれを駆動し、エア弁６を開くことによりロボット
２内部にフィルタ３を介してロードロック室１内部のＮ
2 ガスを吸入し、置換所要時間経過後、エア弁６を閉じ
ることによりロボット２内部のＮ2 ガス置換動作を完了
する。
してこれを駆動し、エア弁６を開くことによりロボット
２内部にフィルタ３を介してロードロック室１内部のＮ
2 ガスを吸入し、置換所要時間経過後、エア弁６を閉じ
ることによりロボット２内部のＮ2 ガス置換動作を完了
する。
【０００７】
【実施例】図１は本考案装置の１実施例の要部の説明用
断面図である。本実施例は、Ｎ2 ガスにより大気を遮断
したロードロック室１内のロボット２にフィルタ３を取
付け、該ロボット２にはこのフィルタ３に内部を経て連
通しロードロック室１外に導出した配管４を接続し、こ
の配管４に流量計５及びエア弁６を介して真空吸気口８
を接続し、かつ該配管４に圧力計７を設けてなる。
断面図である。本実施例は、Ｎ2 ガスにより大気を遮断
したロードロック室１内のロボット２にフィルタ３を取
付け、該ロボット２にはこのフィルタ３に内部を経て連
通しロードロック室１外に導出した配管４を接続し、こ
の配管４に流量計５及びエア弁６を介して真空吸気口８
を接続し、かつ該配管４に圧力計７を設けてなる。
【０００８】上記構成の本実施例において真空吸気口８
に真空ポンプ等の排気装置を接続してこれを駆動し、エ
ア弁６を開くことによりロボット２内部にフィルタ３を
介してロードロック室１内部のＮ2 ガスを吸入し、置換
所要時間経過後、エア弁６を閉じることによりロボット
２内部のＮ2 ガス置換動作を完了する。
に真空ポンプ等の排気装置を接続してこれを駆動し、エ
ア弁６を開くことによりロボット２内部にフィルタ３を
介してロードロック室１内部のＮ2 ガスを吸入し、置換
所要時間経過後、エア弁６を閉じることによりロボット
２内部のＮ2 ガス置換動作を完了する。
【０００９】又、配管４に流量計５を設けることにより
流量のコントロール即ち置換時間の確認ができ、又圧力
計７を設けることにより、フィルタ３等のロボット２に
加わる圧力差による応力の確認が可能となる。
流量のコントロール即ち置換時間の確認ができ、又圧力
計７を設けることにより、フィルタ３等のロボット２に
加わる圧力差による応力の確認が可能となる。
【００１０】
【考案の効果】上述の説明より明らかなように本考案に
よれば、ロボット２内部を真空吸気口８に接続するた
め、ロボット２内部に滞留部がなくなり、従ってロボッ
ト内部を速やかにかつ確実にＮ2 ガス置換することがで
きる。
よれば、ロボット２内部を真空吸気口８に接続するた
め、ロボット２内部に滞留部がなくなり、従ってロボッ
ト内部を速やかにかつ確実にＮ2 ガス置換することがで
きる。
【００１１】置換時に、ロボット２からロードロック室
１内部への流れが存在しないため、ロボット２内部のパ
ーティクルが、ロードロック室１内に拡散することを抑
制することができる。
１内部への流れが存在しないため、ロボット２内部のパ
ーティクルが、ロードロック室１内に拡散することを抑
制することができる。
【図１】本考案装置の１実施例の要部の説明用断面図で
ある。
ある。
【図２】従来装置の１例の要部の説明用断面図である。
１ ロードロック室 ２ ロボット ３ フィルタ ４ 配管 ５ 流量計 ６ エア弁 ７ 圧力計 ８ 真空吸気口
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｎ2 ガスにより大気を遮断したロードロ
ック室（１）を有する半導体製造装置において、ロード
ロック室（１）内のロボット（２）にフィルタ（３）を
取付け、該ロボット（２）にはこのフィルタ（３）に内
部を経て連通しロードロック室（１）外に導出した配管
（４）を接続し、この配管（４）にエア弁（６）を介し
て真空吸気口（８）に接続してなるロードロック室内の
ロボット内部のＮ2 ガス置換装置。 - 【請求項２】 配管（４）に流量計（５）及び圧力計
（７）を設けてなる請求項１のロードロック室内のロボ
ット内部のＮ2 ガス置換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10195591U JP2564355Y2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | ロードロック室内のロボット内部のｎ▲下２▼ガス置換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10195591U JP2564355Y2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | ロードロック室内のロボット内部のｎ▲下２▼ガス置換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0543537U JPH0543537U (ja) | 1993-06-11 |
| JP2564355Y2 true JP2564355Y2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=14314306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10195591U Expired - Fee Related JP2564355Y2 (ja) | 1991-11-15 | 1991-11-15 | ロードロック室内のロボット内部のｎ▲下２▼ガス置換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564355Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-11-15 JP JP10195591U patent/JP2564355Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543537U (ja) | 1993-06-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |