JPH0543537U - ロードロツク室内のロボツト内部のｎ２ ガス置換装置 - Google Patents

ロードロツク室内のロボツト内部のｎ２ ガス置換装置

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JPH0543537U
JPH0543537U JP10195591U JP10195591U JPH0543537U JP H0543537 U JPH0543537 U JP H0543537U JP 10195591 U JP10195591 U JP 10195591U JP 10195591 U JP10195591 U JP 10195591U JP H0543537 U JPH0543537 U JP H0543537U
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JP
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replacement device
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光浩 平野
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Hitachi Kokusai Electric Inc
Kokusai Denki Electric Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ロボット内部を速やかに、かつ確実にＮ2 ガ
ス置換する。 【構成】 ロードロック室１内のロボット２にフィルタ
３を取付け、該ロボット２にはこのフィルタ３に内部を
経て連通しロードロック室１外に導出した配管４を接続
し、この配管４にエア弁６を介して真空吸気口８に接続
する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、Ｎ2 ガスによるロードロック室を有する半導体製造装置に係り、特 に、そのロードロック室内のロボット内部のＮ2 ガス置換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は従来装置の１例の要部の説明用断面図である。 この従来例はロードロック室１内部の雰囲気を大気からＮ2 ガスパージもしく は真空置換によりＮ2 ガスにする際、同時にフィルタ３を介してロボット２内部 をＮ2 ガスに置換する装置である。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来例にあっては、ロボット内部に滞留部が生じやすく、Ｎ 2 ガスの置換に長時間要し、またロボット内部を確実にＮ2 ガスに置換すること が困難であるという課題がある。
【０００４】 本考案の目的は、従来技術のロードロック室内に設置されたロボット内部をＮ2 ガス置換する際、置換時間が長く、確実性に欠けるという課題を解決し、ロボ ット内部を速やかに、かつ確実にＮ2 ガス置換する装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本考案装置は、上記課題を解決し上記目的を達成するため、図１に示すように Ｎ2 ガスにより大気を遮断したロードロック室１を有する半導体製造装置におい て、ロードロック室１内のロボット２にフィルタ３を取付け、該ロボット２には このフィルタ３に内部を経て連通しロードロック室１外に導出した配管４を接続 し、この配管４にエア弁６を介して真空吸気口８に接続してなる。
【０００６】
【作用】 真空吸気口８に真空ポンプ等の排気装置を接続してこれを駆動し、エア弁６を 開くことによりロボット２内部にフィルタ３を介してロードロック室１内部のＮ 2 ガスを吸入し、置換所要時間経過後、エア弁６を閉じることによりロボット２ 内部のＮ2 ガス置換動作を完了する。
【０００７】
【実施例】
図１は本考案装置の１実施例の要部の説明用断面図である。 本実施例は、Ｎ2 ガスにより大気を遮断したロードロック室１内のロボット２ にフィルタ３を取付け、該ロボット２にはこのフィルタ３に内部を経て連通しロ ードロック室１外に導出した配管４を接続し、この配管４に流量計５及びエア弁 ６を介して真空吸気口８を接続し、かつ該配管４に圧力計７を設けてなる。
【０００８】 上記構成の本実施例において真空吸気口８に真空ポンプ等の排気装置を接続し てこれを駆動し、エア弁６を開くことによりロボット２内部にフィルタ３を介し てロードロック室１内部のＮ2 ガスを吸入し、置換所要時間経過後、エア弁６を 閉じることによりロボット２内部のＮ2 ガス置換動作を完了する。
【０００９】 又、配管４に流量計５を設けることにより流量のコントロール即ち置換時間の 確認ができ、又圧力計７を設けることにより、フィルタ３等のロボット２に加わ る圧力差による応力の確認が可能となる。
【００１０】
【考案の効果】
上述の説明より明らかなように本考案によれば、ロボット２内部を真空吸気口 ８に接続するため、ロボット２内部に滞留部がなくなり、従ってロボット内部を 速やかにかつ確実にＮ2 ガス置換することができる。
【００１１】 置換時に、ロボット２からロードロック室１内部への流れが存在しないため、 ロボット２内部のパーティクルが、ロードロック室１内に拡散することを抑制す ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案装置の１実施例の要部の説明用断面図で
ある。
【図２】従来装置の１例の要部の説明用断面図である。
【符号の説明】
１ ロードロック室 ２ ロボット ３ フィルタ ４ 配管 ５ 流量計 ６ エア弁 ７ 圧力計 ８ 真空吸気口

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 Ｎ2 ガスにより大気を遮断したロードロ
    ック室（１）を有する半導体製造装置において、ロード
    ロック室（１）内のロボット（２）にフィルタ（３）を
    取付け、該ロボット（２）にはこのフィルタ（３）に内
    部を経て連通しロードロック室（１）外に導出した配管
    （４）を接続し、この配管（４）にエア弁（６）を介し
    て真空吸気口（８）に接続してなるロードロック室内の
    ロボット内部のＮ2 ガス置換装置。
  2. 【請求項２】 配管（４）に流量計（５）及び圧力計
    （７）を設けてなる請求項１のロードロック室内のロボ
    ット内部のＮ2 ガス置換装置。
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