JP2685537B2 - 弾性表面波装置、その製作方法、その調整方法、及びそれを用いた通信装置 - Google Patents
弾性表面波装置、その製作方法、その調整方法、及びそれを用いた通信装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フイルタとして使用したとき、周波数帯域
の肩特性および帯域外特性が良好な弾性表面波装置、及
び、その製作，調整方法に関する。
の肩特性および帯域外特性が良好な弾性表面波装置、及
び、その製作，調整方法に関する。
従来、弾性表面波フイルタの肩特性（フイルタ帯域端
の減衰特性の急峻さ）を向上させる手段として、例え
ば、アイ・イー・イー・イー・トランザクシヨン オン
マイクロウエーブ セオリーアンド テクニクス，エ
ム テイー テイー21（IEEE,TRANS.ON MICROWAVE THEO
RY AND TECH-NIQUES,VOL.MTT-21）第４号、1973年４
月、第206〜215頁に述べられている、マルチストリツプ
カプラー等の技術がある。
の減衰特性の急峻さ）を向上させる手段として、例え
ば、アイ・イー・イー・イー・トランザクシヨン オン
マイクロウエーブ セオリーアンド テクニクス，エ
ム テイー テイー21（IEEE,TRANS.ON MICROWAVE THEO
RY AND TECH-NIQUES,VOL.MTT-21）第４号、1973年４
月、第206〜215頁に述べられている、マルチストリツプ
カプラー等の技術がある。
上記従来の技術では、肩特性向上のためには、すだれ
状電極の本数を増さねばならず、チツプ形状が大きくな
り、原価上昇を避けられない。肩特性と電極本数の関係
に関しては、例えば、アイ・イー・イー・イー・トラン
ザクシヨン オン マイクロウエーブ セオリー アン
ド テクニクスエム テイー テイー21（IEEE,TRANS.O
N MICRO-WAVE THEORY AND TECHNIQUES,VOL.MTT-21）第
４号,1973年４月．第162〜175頁に論じられている。
状電極の本数を増さねばならず、チツプ形状が大きくな
り、原価上昇を避けられない。肩特性と電極本数の関係
に関しては、例えば、アイ・イー・イー・イー・トラン
ザクシヨン オン マイクロウエーブ セオリー アン
ド テクニクスエム テイー テイー21（IEEE,TRANS.O
N MICRO-WAVE THEORY AND TECHNIQUES,VOL.MTT-21）第
４号,1973年４月．第162〜175頁に論じられている。
また、肩特性向上のためには従来技術では前述のよう
に電極対数を増さなければならず、その為にすだれ状電
極の放射コンダクタンスが増加し、電気的負荷との条件
によつて定まる反射（RW）が増加する。従つて、通常、
上記反射を抑圧するため、すだれ状電極の開口を狭くし
なければならず、その場合には、弾性表面波の回折効果
の影響が増加し、フイルタ特性のサイドローブ等の劣化
を生じる。
に電極対数を増さなければならず、その為にすだれ状電
極の放射コンダクタンスが増加し、電気的負荷との条件
によつて定まる反射（RW）が増加する。従つて、通常、
上記反射を抑圧するため、すだれ状電極の開口を狭くし
なければならず、その場合には、弾性表面波の回折効果
の影響が増加し、フイルタ特性のサイドローブ等の劣化
を生じる。
本発明は、フイルタとして肩特性の良好な弾性表面波
装置の小形化および回折効果の影響を低減させることを
目的とする。
装置の小形化および回折効果の影響を低減させることを
目的とする。
上記目的を達成するために本発明においては、弾性表
面波装置内のすだれ状電極の少なくとも片側に弾性表面
波の反射器を設けることにした。
面波装置内のすだれ状電極の少なくとも片側に弾性表面
波の反射器を設けることにした。
すだれ状電極の横に反射器を設けることにより、すだ
れ状電極から放射された弾性表面波が反射器によつて反
射され、弾性表面波の励振源個所が見かけ上増えた状態
と等価となり、チツプ寸法を増加させずに肩特性を向上
させることが出来る。また、すだれ状電極の対数を増さ
ずに肩特性を向上させるため、電極の開口を小さくする
必要がなく、回折効果の影響を抑圧することが出来る。
れ状電極から放射された弾性表面波が反射器によつて反
射され、弾性表面波の励振源個所が見かけ上増えた状態
と等価となり、チツプ寸法を増加させずに肩特性を向上
させることが出来る。また、すだれ状電極の対数を増さ
ずに肩特性を向上させるため、電極の開口を小さくする
必要がなく、回折効果の影響を抑圧することが出来る。
本発明の第１実施例を第１〜３図を用いて説明する。
第１図は第１実施例を模式的に示す平面図である。弾性
表面波基板１上に出力すだれ状電極２及び入力すだれ状
電極３が配設され、基板の端には基板端面からの反射を
抑圧するため吸音剤４が塗布されている。また、入力す
だれ状電極の両側には、シヨートストリツプ型の反射器
５が配設されている。入出力すだれ状電極はスプリツト
コネクト型とした。次に第２図により本実施例の動作原
理を説明する。第２図は、横軸に時間，縦軸に弾性表面
波励振源の強度（振幅）を表し、すだれ状電極から離れ
た位置から見たインパルス応答を模式的に示している。
実線６で示した応答が入力すだれ状電極単体のもの（従
つて反射器を配設してない状態）で、破線７で示した応
答が反射器５を配設した後の応答である。入力すだれ状
電極から生じたインパルスは反射器５の間に閉じ込めら
れ、その一部が順次反射器５を通過して出力すだれ状電
極２に到達する。従つて第２図に示したようにインパル
ス応答列（破線７）は、反射器を配設する前のインパル
ス応答列（実線６）に比べ応答時間の長さが長く、上記
応答時間の長さに相当するすだれ状電極を配設した状態
と等価になる。すだれ状電極の電極本数を増加させず、
また開口を小さくする必要もないため、小形で、回折効
果の影響の少ない肩特性の良好な弾性表面波装置が得ら
れる。第３図は国内向けテレビジヨン受信機のIFフイル
タの減衰量の周波数特性を示している。破線８は通常の
IFフイルタの特性、一点鎖線10は電極対数を増し、クロ
マチルト部の肩特性を向上させ、RWによる反射を減らす
ため開口を狭くした従来のIFフイルタの特性である。入
力側重み付すだれ状電極の励振源（インパルス）対数は
150対，開口750μm,出力側正規型電極の同対数は15対，
開口1500μm,弾性表面波基板１としてＸカツト112度回
転Ｙ軸伝搬LiTaO3基板を用いている。上記従来の構成で
は、同図に示すようにサイドローブ特性，トラツプ（減
衰極）特性の劣化が見られた。実線９は本発明によるフ
イルタの特性を示している。入力すだれ状電極３の励振
源対数は60対，開口1000μm,反射器５の電極本数は20本
とした。従つて反射器を含めた入力側の電極長は約80対
であり、前述の従来のフイルタの150対に比べ約半分の
値となつた。出力正規型すだれ状電極の対数，開口は従
来と同様である。チツプ全体の長さは従来に比べ約3/4
程度となり小形化を達成している。また、入力すだれ状
電極の開口を狭くしていないため、回折効果が抑圧され
良好な帯域外特性が得られている。
第１図は第１実施例を模式的に示す平面図である。弾性
表面波基板１上に出力すだれ状電極２及び入力すだれ状
電極３が配設され、基板の端には基板端面からの反射を
抑圧するため吸音剤４が塗布されている。また、入力す
だれ状電極の両側には、シヨートストリツプ型の反射器
５が配設されている。入出力すだれ状電極はスプリツト
コネクト型とした。次に第２図により本実施例の動作原
理を説明する。第２図は、横軸に時間，縦軸に弾性表面
波励振源の強度（振幅）を表し、すだれ状電極から離れ
た位置から見たインパルス応答を模式的に示している。
実線６で示した応答が入力すだれ状電極単体のもの（従
つて反射器を配設してない状態）で、破線７で示した応
答が反射器５を配設した後の応答である。入力すだれ状
電極から生じたインパルスは反射器５の間に閉じ込めら
れ、その一部が順次反射器５を通過して出力すだれ状電
極２に到達する。従つて第２図に示したようにインパル
ス応答列（破線７）は、反射器を配設する前のインパル
ス応答列（実線６）に比べ応答時間の長さが長く、上記
応答時間の長さに相当するすだれ状電極を配設した状態
と等価になる。すだれ状電極の電極本数を増加させず、
また開口を小さくする必要もないため、小形で、回折効
果の影響の少ない肩特性の良好な弾性表面波装置が得ら
れる。第３図は国内向けテレビジヨン受信機のIFフイル
タの減衰量の周波数特性を示している。破線８は通常の
IFフイルタの特性、一点鎖線10は電極対数を増し、クロ
マチルト部の肩特性を向上させ、RWによる反射を減らす
ため開口を狭くした従来のIFフイルタの特性である。入
力側重み付すだれ状電極の励振源（インパルス）対数は
150対，開口750μm,出力側正規型電極の同対数は15対，
開口1500μm,弾性表面波基板１としてＸカツト112度回
転Ｙ軸伝搬LiTaO3基板を用いている。上記従来の構成で
は、同図に示すようにサイドローブ特性，トラツプ（減
衰極）特性の劣化が見られた。実線９は本発明によるフ
イルタの特性を示している。入力すだれ状電極３の励振
源対数は60対，開口1000μm,反射器５の電極本数は20本
とした。従つて反射器を含めた入力側の電極長は約80対
であり、前述の従来のフイルタの150対に比べ約半分の
値となつた。出力正規型すだれ状電極の対数，開口は従
来と同様である。チツプ全体の長さは従来に比べ約3/4
程度となり小形化を達成している。また、入力すだれ状
電極の開口を狭くしていないため、回折効果が抑圧され
良好な帯域外特性が得られている。
第３図の実線の特性を見ると、肩特性，帯域外特性は
良好であるが、帯域内にリツプルが見られる。これは反
射器５による反射の影響である。
良好であるが、帯域内にリツプルが見られる。これは反
射器５による反射の影響である。
次に第４図，第５図により、上記反射を抑圧した第２
実施例に関して説明する。
実施例に関して説明する。
以下、すだれ状電極において電気信号に変換されるエ
ネルギーは小さいので無視する。第４図は、すだれ状電
極３の両側に反射器５を配設した場合（上に模式的平面
図、下に等価回路図を示す）の全体の反射波の大きさ
（入力を１とすると反射係数Γとなる）を求める方法を
示している。ここでＳはすだれ状電極および反射器の散
乱行列の要素（入力ポートを1,出力ポートを２としてい
る）であり、T1,T2は反射器５とすだれ状電極３の間の
透過係数である。ここで添字ａは前段の反射器，添字ｂ
はすだれ状電極，添字ｃは後段の反射器に関する値であ
ることを示している。計算結果は次のようになる。
ネルギーは小さいので無視する。第４図は、すだれ状電
極３の両側に反射器５を配設した場合（上に模式的平面
図、下に等価回路図を示す）の全体の反射波の大きさ
（入力を１とすると反射係数Γとなる）を求める方法を
示している。ここでＳはすだれ状電極および反射器の散
乱行列の要素（入力ポートを1,出力ポートを２としてい
る）であり、T1,T2は反射器５とすだれ状電極３の間の
透過係数である。ここで添字ａは前段の反射器，添字ｂ
はすだれ状電極，添字ｃは後段の反射器に関する値であ
ることを示している。計算結果は次のようになる。
また、参考のため透過係数Ｔを示せば となる。いまフイルタの中心周波数近傍を考え、 反射波同士が打ち消し合う条件として T1＝exp（±ｊπ/2）＝±ｊ −（３） T2＝exp（±ｊπ/2）＝±ｊ −（３′） とすれば、実数方程式により解を求めることができる。
各散乱行列を実数と考え（中心周波数近傍であるため各
項の位相項は全てT1,T2に含めて考えることができるた
め）、各反射器、すだれ状電極の可逆性，対称性（S12
＝S21,S11＝S22）を考慮し、前段，後段の反射器を同一
構造として、 とすると、（１）式は となる。今、反射器およびすだれ状電極内の損失は充分
小さいから、エネルギー保存則から、 が成り立つから（８）式は となる。反射が無い状態ではΓ＝０であるから の２次方程式を解くと なる関係が得られる。即ち、（13）式を満足するように
すだれ状電極と反射器の反射係数を定め、かつ、反射器
端部の電極の中心位置とすだれ状電極端部の電極の中心
位置の距離を （λは帯域中心周波数における弾性表面波の波長,nは自
然数）とする事（即ち、 とする事）により反射波を抑圧することが出来る。
各散乱行列を実数と考え（中心周波数近傍であるため各
項の位相項は全てT1,T2に含めて考えることができるた
め）、各反射器、すだれ状電極の可逆性，対称性（S12
＝S21,S11＝S22）を考慮し、前段，後段の反射器を同一
構造として、 とすると、（１）式は となる。今、反射器およびすだれ状電極内の損失は充分
小さいから、エネルギー保存則から、 が成り立つから（８）式は となる。反射が無い状態ではΓ＝０であるから の２次方程式を解くと なる関係が得られる。即ち、（13）式を満足するように
すだれ状電極と反射器の反射係数を定め、かつ、反射器
端部の電極の中心位置とすだれ状電極端部の電極の中心
位置の距離を （λは帯域中心周波数における弾性表面波の波長,nは自
然数）とする事（即ち、 とする事）により反射波を抑圧することが出来る。
次に本発明を国内テレビジヨン受信機のIFフイルタに
適用した第２実施例について述べる。入力すだれ状電極
はソリツド型の正規型電極とし、その両側にλ/4ソリツ
ド型シヨートストリツプ型の反射器を配設した。正規型
電極の励振源対数は15対（電極数31本）、反射器本数は
16本とした。出力側のすだれ状電極は開口重み付スプリ
ツトコネクト型の構造とし、励振源対数を60.5対とし
た。ra＝0.108,rb＝0.054となり、（13）式をほぼ満足
している。電極と反射器の間の距離は3/4λ（夫々の端
部電極の中心間距離）とした。
適用した第２実施例について述べる。入力すだれ状電極
はソリツド型の正規型電極とし、その両側にλ/4ソリツ
ド型シヨートストリツプ型の反射器を配設した。正規型
電極の励振源対数は15対（電極数31本）、反射器本数は
16本とした。出力側のすだれ状電極は開口重み付スプリ
ツトコネクト型の構造とし、励振源対数を60.5対とし
た。ra＝0.108,rb＝0.054となり、（13）式をほぼ満足
している。電極と反射器の間の距離は3/4λ（夫々の端
部電極の中心間距離）とした。
第５図は第２実施例の減衰量の周波数特性である。実
線11が減衰量を示す。帯域内の反射特性が改善され、リ
ツプルが小さくなつている。このように第２実施例で
は、中心周波数近傍でのリツプルが小さく、肩特性の良
好な小形のフイルタが得られた。
線11が減衰量を示す。帯域内の反射特性が改善され、リ
ツプルが小さくなつている。このように第２実施例で
は、中心周波数近傍でのリツプルが小さく、肩特性の良
好な小形のフイルタが得られた。
第２実施例では、反射器の反射係数を規定する事によ
り中心周波数近傍でのリツプル特性を改善することが出
来たが、第５図から判るように、中心周波数から離れる
に従つて、反射波の抑圧度が減少し、リツプルが増加し
ている。これは反射器とすだれ状電極の中心位置の距離
が離れているため、T1,T2の位相回転が速く、前述のよ
うに 一定とすることが出来ず、中心周波数から外れると急激
に反射が増すためである。
り中心周波数近傍でのリツプル特性を改善することが出
来たが、第５図から判るように、中心周波数から離れる
に従つて、反射波の抑圧度が減少し、リツプルが増加し
ている。これは反射器とすだれ状電極の中心位置の距離
が離れているため、T1,T2の位相回転が速く、前述のよ
うに 一定とすることが出来ず、中心周波数から外れると急激
に反射が増すためである。
第３実施例は、上述の欠点を改善する。（13）式は
ra,rbが１に対して充分小さいとすると rb≒2ra −（14） となる。また、ソリツド型のシヨートストリツプ反射器
およびソリツド型すだれ状電極のMEL（電極の幾何学的
形状によつて定まる反射）分は次の式で表わされる。
ra,rbが１に対して充分小さいとすると rb≒2ra −（14） となる。また、ソリツド型のシヨートストリツプ反射器
およびソリツド型すだれ状電極のMEL（電極の幾何学的
形状によつて定まる反射）分は次の式で表わされる。
ここで、Zrは電極のある場所と無い場所の弾性表面波
の伝搬インピーダンスの比、Ｎは電極の本数である。一
般にZrは１に充分に近いため Zr＝１＋ε（ε≪１） −（16） と表す。（15）式は と表わされる。｜Γ｜が１に比べ充分に小さい（Ｎが
小）場合には ｜Γ｜≒N6 −（18） と表わされる。（18）の結果を上述の反射器（添字ａで
示す）及びすだれ状電極（添字ｂで示す）の場合に適用
し、（14）式を用いると、 Nbε≒2Naε Nb≒2Na −（19） の関係が得られる。即ち、電極本数が充分小さい場合に
は、反射器の電極本数とすだれ状電極の電極本数の比を
1:2とすれば全体の反射を抑える事ができる。例えば１
対の励振源のすだれ状電極の反射を抑える事は１本の電
極からなる反射器を両側に （ｎは自然数）隔てて配設することにより達成される。
そこで例えばｎ＝１とすれば充分広帯域に反射波を抑圧
する事ができる。この電極群（ソリッド型すだれ状電極
の電極指２本，反射器電極１本（１組））を基本構成と
して、それを表面波伝搬方向に複数配設する事により所
望の周波数特性を得る。第６図はその構成を示す。破線
で囲つた部分13が基本構成である。基本構成間に設置し
たスプリツト型の電極ｄは、反射器部をシヨートストリ
ツプ型（反射器部のRW分を除去）とするためのものであ
る。スプリツト型としたのは、そこでのMEL分を抑圧す
るためである。従つてすだれ状電極12は反射器を内部に
配設した構造となる。
の伝搬インピーダンスの比、Ｎは電極の本数である。一
般にZrは１に充分に近いため Zr＝１＋ε（ε≪１） −（16） と表す。（15）式は と表わされる。｜Γ｜が１に比べ充分に小さい（Ｎが
小）場合には ｜Γ｜≒N6 −（18） と表わされる。（18）の結果を上述の反射器（添字ａで
示す）及びすだれ状電極（添字ｂで示す）の場合に適用
し、（14）式を用いると、 Nbε≒2Naε Nb≒2Na −（19） の関係が得られる。即ち、電極本数が充分小さい場合に
は、反射器の電極本数とすだれ状電極の電極本数の比を
1:2とすれば全体の反射を抑える事ができる。例えば１
対の励振源のすだれ状電極の反射を抑える事は１本の電
極からなる反射器を両側に （ｎは自然数）隔てて配設することにより達成される。
そこで例えばｎ＝１とすれば充分広帯域に反射波を抑圧
する事ができる。この電極群（ソリッド型すだれ状電極
の電極指２本，反射器電極１本（１組））を基本構成と
して、それを表面波伝搬方向に複数配設する事により所
望の周波数特性を得る。第６図はその構成を示す。破線
で囲つた部分13が基本構成である。基本構成間に設置し
たスプリツト型の電極ｄは、反射器部をシヨートストリ
ツプ型（反射器部のRW分を除去）とするためのものであ
る。スプリツト型としたのは、そこでのMEL分を抑圧す
るためである。従つてすだれ状電極12は反射器を内部に
配設した構造となる。
第３実施例として、上記構造の入力すだれ状電極を備
えた弾性表面波装置を国内テレビジヨン受信機のIFフイ
ルタに適用した場合について述べる。基本構成を５個接
続したすだれ状電極を入力正規型すだれ状電極として用
い、出力すだれ状電極には開口重み付スプリツトコネク
ト型を用いた。入力正規型電極の開口は1500μm,出力す
だれ状電極の励振源対数は120対，開口は1000μｍとし
た。このフイルタの減衰量周波数特性を第７図に実線14
で示す。広帯域に反射波を抑圧したため、リツプルが減
少している。このように第３実施例を用いれば、広帯域
にリツプルを抑圧した、肩特性の良好な小形の弾性表面
波フイルタが得られる。
えた弾性表面波装置を国内テレビジヨン受信機のIFフイ
ルタに適用した場合について述べる。基本構成を５個接
続したすだれ状電極を入力正規型すだれ状電極として用
い、出力すだれ状電極には開口重み付スプリツトコネク
ト型を用いた。入力正規型電極の開口は1500μm,出力す
だれ状電極の励振源対数は120対，開口は1000μｍとし
た。このフイルタの減衰量周波数特性を第７図に実線14
で示す。広帯域に反射波を抑圧したため、リツプルが減
少している。このように第３実施例を用いれば、広帯域
にリツプルを抑圧した、肩特性の良好な小形の弾性表面
波フイルタが得られる。
次に第４実施例について第８図と第９図により説明す
る。第８図は第４実施例を模式的に示したもので、出力
（入力）すだれ状電極２に相対する入力（出力）すだれ
状電極15の両側に、上記各実施例同様、反射器５を設け
ている。この様に反射器を配設すると、反射器間にエネ
ルギー閉じ込めが起こり、肩特性を向上させることが出
来るのであるが、それと同時に、帯域端の周波数でＱの
上昇を生じるため、その周波数で群遅延時間の増大を来
す。群遅延時間の平坦性が必要な場合には、予め、すだ
れ状電極15の群遅延時間特性を進相にしておく必要があ
る。第９図は第４実施例の群遅延特性を示し、破線16が
反射器を配設する前の特性，実線17が配設後の特性であ
る。帯域端の周波数まで群遅延が一定となつている。上
記の如く第４実施例によれば、小形で肩特性が急峻で群
遅延が一定の高性能フイルタが得られる。
る。第８図は第４実施例を模式的に示したもので、出力
（入力）すだれ状電極２に相対する入力（出力）すだれ
状電極15の両側に、上記各実施例同様、反射器５を設け
ている。この様に反射器を配設すると、反射器間にエネ
ルギー閉じ込めが起こり、肩特性を向上させることが出
来るのであるが、それと同時に、帯域端の周波数でＱの
上昇を生じるため、その周波数で群遅延時間の増大を来
す。群遅延時間の平坦性が必要な場合には、予め、すだ
れ状電極15の群遅延時間特性を進相にしておく必要があ
る。第９図は第４実施例の群遅延特性を示し、破線16が
反射器を配設する前の特性，実線17が配設後の特性であ
る。帯域端の周波数まで群遅延が一定となつている。上
記の如く第４実施例によれば、小形で肩特性が急峻で群
遅延が一定の高性能フイルタが得られる。
次に第５実施例について第10図，第11図により説明す
る。第９図から判るように第４実施例では完全に群遅延
を一定にする事ができず、帯域内にリツプルを生じてし
まう。これは反射器が多数本の電極から成つているた
め、その反射器内へのエネルギー閉じ込めが起こり、総
合インパルス応答が時間軸上で対称特性とならないとい
う理由から生じるものである。そこで更に群遅延時間の
平坦性が必要な場合には完全反射面が必要となる。
る。第９図から判るように第４実施例では完全に群遅延
を一定にする事ができず、帯域内にリツプルを生じてし
まう。これは反射器が多数本の電極から成つているた
め、その反射器内へのエネルギー閉じ込めが起こり、総
合インパルス応答が時間軸上で対称特性とならないとい
う理由から生じるものである。そこで更に群遅延時間の
平坦性が必要な場合には完全反射面が必要となる。
第10図は第５実施例を模式的に示し、出力（入力）す
だれ状電極２に相対する入力（出力）すだれ状電極18の
一端に0.5対励振源のスプリツトコネクト型すだれ状電
極型反射器を配設してある。高反射係数を得るため、電
極の容量をインダクタンス20を用いて打ち消している。
この様にすだれ状電極型の反射器は少数対数でも高反射
係数が得られるため、群遅延の平坦性を確保するために
は有効である。その他、完全反射面を得る手段として基
板端面を利用することも考えられるが、基板加工精度，
チツピング等の問題から上記のようにする方が有効と考
えられる。第11図は第５実施例の群遅延時間特性を実線
21で示す。帯域内の平坦性が第４実施例に比べて改善さ
れていることが判る。上記の如く、第５実施例を用いる
と群遅延特性を一層向上させることが出来る。
だれ状電極２に相対する入力（出力）すだれ状電極18の
一端に0.5対励振源のスプリツトコネクト型すだれ状電
極型反射器を配設してある。高反射係数を得るため、電
極の容量をインダクタンス20を用いて打ち消している。
この様にすだれ状電極型の反射器は少数対数でも高反射
係数が得られるため、群遅延の平坦性を確保するために
は有効である。その他、完全反射面を得る手段として基
板端面を利用することも考えられるが、基板加工精度，
チツピング等の問題から上記のようにする方が有効と考
えられる。第11図は第５実施例の群遅延時間特性を実線
21で示す。帯域内の平坦性が第４実施例に比べて改善さ
れていることが判る。上記の如く、第５実施例を用いる
と群遅延特性を一層向上させることが出来る。
次に第６実施例について第12図を用いて説明する。前
述の反射器はフイルタ帯域端の肩特性を向上させるため
のものであるが、反射器の反射係数が過大または過少の
値の場合、減衰量の帯域内特性の平坦性が劣化する。ま
た、反射器の反射波位相が最適値からずれると、所望の
周波数以外のＱ値が上昇し、肩特性の劣化，減衰量の帯
域内平坦性の劣化が生じる。第12図は、そのような場合
の反射器の反射係数の調整方法を示す。即ち、反射器５
の必要な部分（残しておきたい個所）だけレジスト膜等
の保護膜を形成してエッチングを行い、不要部分22を除
去するトリミングを端部から順次行い、上記反射係数の
調整を行つている。本実施例を用いれば上記反射特性の
ずれによる周波数特性の劣化を改善できるため歩留向上
に効果がある。
述の反射器はフイルタ帯域端の肩特性を向上させるため
のものであるが、反射器の反射係数が過大または過少の
値の場合、減衰量の帯域内特性の平坦性が劣化する。ま
た、反射器の反射波位相が最適値からずれると、所望の
周波数以外のＱ値が上昇し、肩特性の劣化，減衰量の帯
域内平坦性の劣化が生じる。第12図は、そのような場合
の反射器の反射係数の調整方法を示す。即ち、反射器５
の必要な部分（残しておきたい個所）だけレジスト膜等
の保護膜を形成してエッチングを行い、不要部分22を除
去するトリミングを端部から順次行い、上記反射係数の
調整を行つている。本実施例を用いれば上記反射特性の
ずれによる周波数特性の劣化を改善できるため歩留向上
に効果がある。
第７実施例は反射器の反射波位相の調整方法に関する
ものである。第13図は第７実施例の反射器の調整方法を
示す。反射器５をシヨートストリツプ電極としておき、
順次、切断個所ｅをレーザカツタ，超音波カツタ等のト
リミング技術によりオープンストリツプ部を形成させ反
射波の位相を調整している。本実施例を用いれば歩留向
上に効果がある。
ものである。第13図は第７実施例の反射器の調整方法を
示す。反射器５をシヨートストリツプ電極としておき、
順次、切断個所ｅをレーザカツタ，超音波カツタ等のト
リミング技術によりオープンストリツプ部を形成させ反
射波の位相を調整している。本実施例を用いれば歩留向
上に効果がある。
第８実施例は、すだれ状電極型反射器を備えた本発明
弾性表面波装置を回路に用いた通信装置の周波数特性の
調整方法に関するものである。第14図は第８実施例を模
式的に示す。出力（入力）すだれ状電極２と相対する入
力（出力）すだれ状電極18の横に、すだれ状電極型反射
器19を配設してある。弾性表面波装置の外部回路に可変
インダクタンス23を配置し、上記すだれ状電極型反射器
19に電気的に接続する。すだれ状電極の反射特性は整合
用のインダクタンス値を変化させる事により調整でき
る。そこで、本発明の弾性表面波装置を通信装置内に設
置した後で、上記可変インダクタンスの値を調整する。
本実施例を用いれば、通信装置に実装した状態で、周波
数特性を調整することができる点が有効である。
弾性表面波装置を回路に用いた通信装置の周波数特性の
調整方法に関するものである。第14図は第８実施例を模
式的に示す。出力（入力）すだれ状電極２と相対する入
力（出力）すだれ状電極18の横に、すだれ状電極型反射
器19を配設してある。弾性表面波装置の外部回路に可変
インダクタンス23を配置し、上記すだれ状電極型反射器
19に電気的に接続する。すだれ状電極の反射特性は整合
用のインダクタンス値を変化させる事により調整でき
る。そこで、本発明の弾性表面波装置を通信装置内に設
置した後で、上記可変インダクタンスの値を調整する。
本実施例を用いれば、通信装置に実装した状態で、周波
数特性を調整することができる点が有効である。
次に本発明を通信装置に用いた実施例に関して説明す
る。第15図は第９実施例のテレビジヨン受信機のブロッ
ク図である。チユーナ24のIF出力は本発明の弾性表面波
装置25に接続され、弾性表面波装置25の出力は２系統に
分かれ、１系統は映像検波回路26に入力され、他の１系
統は音声検波回路27に入力されている。本実施例の弾性
表面波装置25の特性は第７図に示すような特性であり、
クロマレベルの上昇により画面の解像度が向上し、また
本発明の技術を用い、音声レベルを減衰させているた
め、クロスカラー、920KHzビート等の妨害が無い良好な
特性が得られている。
る。第15図は第９実施例のテレビジヨン受信機のブロッ
ク図である。チユーナ24のIF出力は本発明の弾性表面波
装置25に接続され、弾性表面波装置25の出力は２系統に
分かれ、１系統は映像検波回路26に入力され、他の１系
統は音声検波回路27に入力されている。本実施例の弾性
表面波装置25の特性は第７図に示すような特性であり、
クロマレベルの上昇により画面の解像度が向上し、また
本発明の技術を用い、音声レベルを減衰させているた
め、クロスカラー、920KHzビート等の妨害が無い良好な
特性が得られている。
次に第16図，第17図により第10実施例について説明す
る。第16図は第10実施例の衛星放送受信機のブロツク図
である。屋外ユニツト28でダウンコンバートされた信号
はケーブルを介して屋内ユニツト29に送られる。更に屋
内ユニツト29内では発振器30による発振信号によりダウ
ンコンバートされ、第2IFフイルタである本発明弾性表
面波装置31に送られる。第2IFフイルタを通過した信号
はPLL同期検波回路32によつて検波され、それぞれ映像
信号処理回路33と音声信号処理回路34に送られる。
る。第16図は第10実施例の衛星放送受信機のブロツク図
である。屋外ユニツト28でダウンコンバートされた信号
はケーブルを介して屋内ユニツト29に送られる。更に屋
内ユニツト29内では発振器30による発振信号によりダウ
ンコンバートされ、第2IFフイルタである本発明弾性表
面波装置31に送られる。第2IFフイルタを通過した信号
はPLL同期検波回路32によつて検波され、それぞれ映像
信号処理回路33と音声信号処理回路34に送られる。
第17図は第10実施例の第2IFフイルタの減衰量周波数
特性を示す。破線36は従来の弾性表面波装置の特性，実
線35は本発明の弾性表面波装置の特性を示している。本
発明の弾性表面波装置の特性は信号帯域を忠実に再現し
ているため、信号に歪をかけず、微分利得特性（DG），
微分位相特性（DP）が向上し、更に帯域端の特性が急峻
となつたため、その部分のノイズ量が減少しS/Nを向上
させることが出来た。
特性を示す。破線36は従来の弾性表面波装置の特性，実
線35は本発明の弾性表面波装置の特性を示している。本
発明の弾性表面波装置の特性は信号帯域を忠実に再現し
ているため、信号に歪をかけず、微分利得特性（DG），
微分位相特性（DP）が向上し、更に帯域端の特性が急峻
となつたため、その部分のノイズ量が減少しS/Nを向上
させることが出来た。
以上説明したように本発明によれば、チツプサイズを
増大させずに、また、すだれ状電極の開口長を小さくす
る事なく、急峻な肩特性を有し、サイドローブ特性等の
性能が向上した広帯域なフイルタが得られ、装置の原価
低減の効果も得られる。
増大させずに、また、すだれ状電極の開口長を小さくす
る事なく、急峻な肩特性を有し、サイドローブ特性等の
性能が向上した広帯域なフイルタが得られ、装置の原価
低減の効果も得られる。
第１図は本発明の第１実施例の模式図、第２図はインパ
ルス応答図、第３図は第１実施例の減衰量周波数特性
図、第４図は第２実施例の反射波の解析方法説明図、第
５図は第２実施例の減衰量周波数特性図、第６図は第３
実施例の模式図、第７図は第３実施例の減衰量周波数特
性図、第８図は第４実施例の模式図、第９図は第４実施
例の群遅延時間周波数特性図、第10図は第５実施例の模
式図、第11図は第５実施例の群遅延時間周波数特性図、
第12図は第６実施例の製作方法説明図、第13図は第７実
施例の製作方法説明図、第14図は第８実施例の通信装置
の調整方法説明図、第15図は第９実施例のテレビジヨン
受信機のブロツク図、第16図は第10実施例の衛星放送受
信機のブロツク図、第17図は第10実施例の弾性表面波フ
イルタの減衰量周波数特性図である。 2,3,12,15,18……すだれ状電極 5,19……反射器、13……基本構成 20……インダクタンス、22……不要部分 23……可変インダクタンス 25……弾性表而波装置、31……弾性表面波装置
ルス応答図、第３図は第１実施例の減衰量周波数特性
図、第４図は第２実施例の反射波の解析方法説明図、第
５図は第２実施例の減衰量周波数特性図、第６図は第３
実施例の模式図、第７図は第３実施例の減衰量周波数特
性図、第８図は第４実施例の模式図、第９図は第４実施
例の群遅延時間周波数特性図、第10図は第５実施例の模
式図、第11図は第５実施例の群遅延時間周波数特性図、
第12図は第６実施例の製作方法説明図、第13図は第７実
施例の製作方法説明図、第14図は第８実施例の通信装置
の調整方法説明図、第15図は第９実施例のテレビジヨン
受信機のブロツク図、第16図は第10実施例の衛星放送受
信機のブロツク図、第17図は第10実施例の弾性表面波フ
イルタの減衰量周波数特性図である。 2,3,12,15,18……すだれ状電極 5,19……反射器、13……基本構成 20……インダクタンス、22……不要部分 23……可変インダクタンス 25……弾性表而波装置、31……弾性表面波装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 純 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所家電研究所内 (56)参考文献 特開 昭56−10725（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−49021（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−140928（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−72257（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−14064（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−123051（ＪＰ，Ａ)
Claims (10)
- 【請求項１】弾性表面波基板上に、入力用すだれ状電極
と出力用すだれ状電極を配設し、該入力用すだれ状電極
と該出力用すだれ状電極の内の少なくとも一つのすだれ
状電極の両側に同一構造の反射器を配設し、λをフィル
タの中心周波数における弾性表面波波長、ｎを自然数と
して、すだれ状電極の端部電極中心と反射器の端部電極
中心の間の距離を両側ともλ/4＋ｎλ/2とし、反射器の
反射係数をra、すだれ状電極の反射係数をrbとしたとき を満足するように、上記反射器とすだれ状電極の構造を
定めたことを特徴とする２ポートフィルタ型弾性表面波
装置。 - 【請求項２】請求項１記載のすだれ状電極と反射器の組
を基本構成として、それを複数組、弾性表面波伝搬路上
に配設し、各すだれ状電極を電気的に並列に接続したこ
とを特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項３】反射器の反射係数ra、すだれ状電極の反射
係数rbの関係として、 rb≒2raを満足させた請求項２記載の弾性表面波装置。 - 【請求項４】請求項３記載の基本構成を、２本の電極指
から成るソリッド型すだれ状電極と、その両側に配設し
たそれぞれすだれ状電極の電極指と同じ幅の１本の電極
指からなる反射器とで形成した請求項３記載の弾性表面
波装置。 - 【請求項５】反射器を、少数電極対数のすだれ状電極型
とした請求項１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項６】請求項１記載の弾性表面波装置に配設され
た反射器を、端部から順次トリミングして、反射器の反
射係数または反射波の位相を変化させ、該弾性表面波装
置が所望の周波数特性を得るようにしたことを特徴とす
る弾性表面波装置の製作方法。 - 【請求項７】請求項１記載の弾性表面波装置をフィルタ
として自装置回路内に用いたことを特徴とする通信装
置。 - 【請求項８】テレビジョン受信機のチューナIF出力と被
検回路の間のIFフィルタが請求項７記載の弾性表面波装
置であることを特徴とする通信装置。 - 【請求項９】衛星放送受信機の室内ユニットにおける第
2IFフィルタとして、請求項７記載の弾性表面波装置を
用いたことを特徴とする通信装置。 - 【請求項１０】請求項５記載の弾性表面波装置におい
て、すだれ状電極型反射器に可変インダクタンス素子よ
りなる回路を接続し、そのインダクタンス値を順次変化
させて、上記反射器の反射係数または反射波位相を変
え、該弾性表面波装置が所望の周波数特性を得るように
したことを特徴とする弾性表面波装置の調整方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63247343A JP2685537B2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 弾性表面波装置、その製作方法、その調整方法、及びそれを用いた通信装置 |
| DE19893933006 DE3933006A1 (de) | 1988-10-03 | 1989-10-03 | Akustische oberflaechenwellenvorrichtung und verfahren zu deren herstellung und anpassung |
| US07/842,570 US5175711A (en) | 1988-10-03 | 1992-01-02 | Surface acoustic wave apparatus and method of productivity and adjustment of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63247343A JP2685537B2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 弾性表面波装置、その製作方法、その調整方法、及びそれを用いた通信装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0296414A JPH0296414A (ja) | 1990-04-09 |
| JP2685537B2 true JP2685537B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=17161997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63247343A Expired - Lifetime JP2685537B2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 弾性表面波装置、その製作方法、その調整方法、及びそれを用いた通信装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2685537B2 (ja) |
| DE (1) | DE3933006A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0583077A (ja) * | 1991-09-24 | 1993-04-02 | Mitsubishi Electric Corp | 弾性表面波回路装置 |
| DE4227362C2 (de) * | 1992-08-19 | 1996-01-25 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Akustisches Oberflächenwellenbauelement |
| US6160339A (en) * | 1997-07-17 | 2000-12-12 | Seiko Epson Corporation | Two-port saw resonator |
| JP3923283B2 (ja) * | 2001-07-03 | 2007-05-30 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波デバイス |
| CN112532196B (zh) * | 2020-11-26 | 2024-05-07 | 北京航天微电科技有限公司 | 一种声表面波滤波器及其制作方法、电子设备 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3716809A (en) * | 1971-08-11 | 1973-02-13 | Us Air Force | Acoustic surface wave resonator |
| JPS5433503B2 (ja) * | 1972-05-16 | 1979-10-20 | ||
| JPS519648A (ja) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Nippon Telegraph & Telephone | |
| JPS5172257A (ja) * | 1974-12-20 | 1976-06-22 | Toko Inc | Danseihyomenhafuiruta |
| US4144507A (en) * | 1976-09-29 | 1979-03-13 | Texas Instruments Incorporated | Surface acoustic wave resonator incorporating coupling transducer into reflecting arrays |
| JPS53123051A (en) * | 1977-04-04 | 1978-10-27 | Hitachi Ltd | Filter for surface slip wave |
| JPS53140928A (en) * | 1977-05-16 | 1978-12-08 | Hitachi Ltd | Television receiver |
| GB2000926B (en) * | 1977-07-05 | 1982-04-28 | Texas Instruments Inc | Channel selector for television receiver |
| JPS5549021A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-08 | Hitachi Ltd | Elastic surface-wave unit |
| JPS5610725A (en) * | 1979-07-09 | 1981-02-03 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
| EP0057555B1 (en) * | 1981-02-04 | 1985-11-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US4442574A (en) * | 1982-07-26 | 1984-04-17 | General Electric Company | Frequency trimming of saw resonators |
| JPH0773177B2 (ja) * | 1984-12-17 | 1995-08-02 | 株式会社東芝 | 弾性表面波共振子 |
-
1988
- 1988-10-03 JP JP63247343A patent/JP2685537B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-10-03 DE DE19893933006 patent/DE3933006A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3933006A1 (de) | 1990-04-05 |
| JPH0296414A (ja) | 1990-04-09 |
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