JPH02170610A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPH02170610A JPH02170610A JP32327488A JP32327488A JPH02170610A JP H02170610 A JPH02170610 A JP H02170610A JP 32327488 A JP32327488 A JP 32327488A JP 32327488 A JP32327488 A JP 32327488A JP H02170610 A JPH02170610 A JP H02170610A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、すだれ状電極を有する弾性表面波装置に係り
、特に、電極指の交差幅方向端部より発生する不要回折
波を抑圧し、極の周波数における減衰量（トラップ）を
改善するに好適な弾性表面波装置に関する。
、特に、電極指の交差幅方向端部より発生する不要回折
波を抑圧し、極の周波数における減衰量（トラップ）を
改善するに好適な弾性表面波装置に関する。
従来、弾性表面波の回折現象に起因する周波数特性の劣
化については、アイ・イー・イー・イートランザクショ
ン・ニス・ニー・２１ （１９７４年） 第１１４頁乃
至１１９頁（ｌｌ１ｉＥＥ 、 Ｔｒａｎｓ８Ｕ−２１
゜１９７４ 、 ｐｐＨ４−１１９）に論じられてい
るとおり、回折現象による影響をあらかじめ考慮し補正
する方法が知られている。
化については、アイ・イー・イー・イートランザクショ
ン・ニス・ニー・２１ （１９７４年） 第１１４頁乃
至１１９頁（ｌｌ１ｉＥＥ 、 Ｔｒａｎｓ８Ｕ−２１
゜１９７４ 、 ｐｐＨ４−１１９）に論じられてい
るとおり、回折現象による影響をあらかじめ考慮し補正
する方法が知られている。
また、塩用らは、電極指の交差幅方向に励娠波の周期性
を持たせる方法や、弾性表面波装置の入出力電極間の中
心間距離を制御する方法で、上記問題を解決することを
［すだれ状電極における弾性表面波の回折現象と周波数
特性］（電子通信学会、超音波研究会資料、Ｕ ８−７
５−３７ 、１９７５年）と題する論文において論じて
いる。
を持たせる方法や、弾性表面波装置の入出力電極間の中
心間距離を制御する方法で、上記問題を解決することを
［すだれ状電極における弾性表面波の回折現象と周波数
特性］（電子通信学会、超音波研究会資料、Ｕ ８−７
５−３７ 、１９７５年）と題する論文において論じて
いる。
上記従来技術は、前者の論文では設計に多大な時間を要
し、複雑な振幅特性を有するフィルタなど、比較的電極
本数が多い場合について配慮がされておらず、また、後
者の論文では、電極の構造が複雑になるか、または設計
の自由度が小さくなるという問題があった。
し、複雑な振幅特性を有するフィルタなど、比較的電極
本数が多い場合について配慮がされておらず、また、後
者の論文では、電極の構造が複雑になるか、または設計
の自由度が小さくなるという問題があった。
本発明は、上記のような回折波を比較的簡単な設計手法
で抑圧し、十分な減衰極（トラップ）の減衰量を有する
弾性表面波装置を得ることを目的とする。
で抑圧し、十分な減衰極（トラップ）の減衰量を有する
弾性表面波装置を得ることを目的とする。
上記目的は、すだれ状電極の交差幅方向端部を弾性表ｒ
ｆｉ波伝搬方向に対して同一直線上に配置せず、各電極
指端部で発生する不要回折波が、特に高周波側の極の周
波数で抑圧されるように定めることにより達成される。
ｆｉ波伝搬方向に対して同一直線上に配置せず、各電極
指端部で発生する不要回折波が、特に高周波側の極の周
波数で抑圧されるように定めることにより達成される。
すだれ状電極の交差幅方向端部に浮き電極を設けること
により、不要回折波の励振源を２次元的に分布させ、不
要回折波の放射方向＄よび強度を考えることができる。
により、不要回折波の励振源を２次元的に分布させ、不
要回折波の放射方向＄よび強度を考えることができる。
これにより、相対するすだれ状電極に回折波が影響しな
くなり、トラップ周波数での減衰量を改善することがで
きる。
くなり、トラップ周波数での減衰量を改善することがで
きる。
以下、本発明の第１の実施例を第１図乃至、第５図を用
いて説明する。
いて説明する。
第１図は本発明の第１の実施例の入力すだれ状電極の模
式的平面図である。すだれ状電極ｌは、次のように構成
されている。電極指の交差幅Ｗｌは１５００μｍの一定
であり、共通電極３，４に接続される電極指５．６の幅
は１７．２μｍであり、繰り返し周期ｄが３４．４μｍ
のソリッド型正規型電極である。
式的平面図である。すだれ状電極ｌは、次のように構成
されている。電極指の交差幅Ｗｌは１５００μｍの一定
であり、共通電極３，４に接続される電極指５．６の幅
は１７．２μｍであり、繰り返し周期ｄが３４．４μｍ
のソリッド型正規型電極である。
電極指５，６はそれぞれ共通′電極３．４に接続されて
いる。また、′１極指又差幅方向端部には、長さがＬｄ
＝３０μｍ の浮き電極７，８が配置されている。なお
、中心周波数は５６．５ＭＨｚ 、弾性表面波励振源
の対数は１５対である。
いる。また、′１極指又差幅方向端部には、長さがＬｄ
＝３０μｍ の浮き電極７，８が配置されている。なお
、中心周波数は５６．５ＭＨｚ 、弾性表面波励振源
の対数は１５対である。
このすだれ状電極を用いた弾性表面波装置の模式的平面
図を第４図に示す、出力すだれ状電極２は、最大交差幅
Ｗ、が１５００μｍであり、交差幅が変化している重み
付け電極で構成されている。これら、入力すだれ状電極
および出力すだれ状電極の中心間距離２は２６００μｍ
とした。また、第４図に示されているように、正規型す
だれ状電極１の交差幅Ｗ１は、重み付けすだれ状電極の
最大交差１＠Ｗ。
図を第４図に示す、出力すだれ状電極２は、最大交差幅
Ｗ、が１５００μｍであり、交差幅が変化している重み
付け電極で構成されている。これら、入力すだれ状電極
および出力すだれ状電極の中心間距離２は２６００μｍ
とした。また、第４図に示されているように、正規型す
だれ状電極１の交差幅Ｗ１は、重み付けすだれ状電極の
最大交差１＠Ｗ。
よりも大きく設定されている。
これらの電極は、１２８度回転Ｙ＃ｌ切断Ｘ軸伝僧のニ
オブ酸リチウム単結晶基板上（図示せず）に、蒸着法に
より作成された膜厚６０００人のアルミニウム薄膜より
なり、ホトリソグラフ技術により形成されている。
オブ酸リチウム単結晶基板上（図示せず）に、蒸着法に
より作成された膜厚６０００人のアルミニウム薄膜より
なり、ホトリソグラフ技術により形成されている。
本実施例の儂幅周波数特性１２を第５図に示す。
本実施例によれば、５２．７５ＭＨｚおよび６０．２５
ＭＨｚでの減衰量（ピーク比）は、それぞれ、６８ｄＢ
、 ６３ｄＢと良好な特性が得られた。
ＭＨｚでの減衰量（ピーク比）は、それぞれ、６８ｄＢ
、 ６３ｄＢと良好な特性が得られた。
ここで、トラップ減衰量の改善のための浮き電極７．８
の設計柴件を求める。
の設計柴件を求める。
電極指端部の不要励振源を無指向性とし、電極指端の一
方は、第３図のように励振源が配置されている。なお、
各励振源の機幅は等しい。
方は、第３図のように励振源が配置されている。なお、
各励振源の機幅は等しい。
電極指端部の励振源群１０ 、浮き電極により生ずる新
たな励振源群１１による、それぞれの合成波Ｅ１＋Ｂ１
は、次式で与えられる。
たな励振源群１１による、それぞれの合成波Ｅ１＋Ｂ１
は、次式で与えられる。
Ｂ、＝１＋ｅ’ψ１＋ｅｊ２ψ烏＋ 、・＋ ｅ Ｊ
（ｎ−１）ψ倉（１）Ｅ＠＝ｅｊψｔ Ｂ、
伐）２π
１３）ψｓ ” ２ ” ｄ−（２）θ
＋π２π （４）ψ、
＝二口・ｇ−一〇 但し、λは特定周波数における弾性表面波の波長である
。
（ｎ−１）ψ倉（１）Ｅ＠＝ｅｊψｔ Ｂ、
伐）２π
１３）ψｓ ” ２ ” ｄ−（２）θ
＋π２π （４）ψ、
＝二口・ｇ−一〇 但し、λは特定周波数における弾性表面波の波長である
。
よって、これら励損源の合成波Ｅは、次式で与えられる
。
。
Ｅ＝Ｅ、 ＋ Ｅ、
（５１よって、この励振源群による指向性ＤＩ（θ）
は、規格化して、次式で与えられる。
（５１よって、この励振源群による指向性ＤＩ（θ）
は、規格化して、次式で与えられる。
本実施例の高周波側のトラップ周波数（６０，２５Ｍ１
ｉｚ）における不要励振源の指向性９を第２図に示す、
このように、最大でも指向性り、（θ）は０．２５の大
きさとなっている。これは、全ての励振源が同相で加わ
った場合に対して、１／４に抑圧されていることを示し
ている。
ｉｚ）における不要励振源の指向性９を第２図に示す、
このように、最大でも指向性り、（θ）は０．２５の大
きさとなっている。これは、全ての励振源が同相で加わ
った場合に対して、１／４に抑圧されていることを示し
ている。
従来の電極構成による不要励振源の影響を第６図乃至第
８図を用いて説明する。第６図は、従来の正規型電極の
模式的平面図であり、このときの不要波励損源１０は１
１ｇ８図のように配列されている。
８図を用いて説明する。第６図は、従来の正規型電極の
模式的平面図であり、このときの不要波励損源１０は１
１ｇ８図のように配列されている。
指向性ＤＩ（θ）は次式で与えられる。
第７図に示すとおり、０１２０度で、指向性９は１とな
るため全ての励振源が同相で加わり、悪影響を及ぼして
いる。
るため全ての励振源が同相で加わり、悪影響を及ぼして
いる。
本構成ではトラップ減衰量は低周波側が６６ｄＢ。
高周波側が５２ｄＢであり、特に高周波側トラップが劣
化している。
化している。
（９）式より、ＤＩ（θ）の最大値を与えるθｍの条件
は、一方、（８１式は、次のように表わせる。
は、一方、（８１式は、次のように表わせる。
Ｄｔ（θ） ＝ ａｍ９ ・ＤＢ（θ）
（ロ）よって、Ｄｓ（θ）が最大となるθ□で、（
２）力壬零とすれば、不要励振は抑圧され、この条件は
次の式７式％ 不要回折波による影響は、特に高周波側で大きく、高周
波側のトラップの周波数において％Ｄ、（θ）が零とな
るように、ｇを定めた０本冥施例では、ｇは９６μｍで
ある。
（ロ）よって、Ｄｓ（θ）が最大となるθ□で、（
２）力壬零とすれば、不要励振は抑圧され、この条件は
次の式７式％ 不要回折波による影響は、特に高周波側で大きく、高周
波側のトラップの周波数において％Ｄ、（θ）が零とな
るように、ｇを定めた０本冥施例では、ｇは９６μｍで
ある。
本発明によれば、不要回折波を抑圧することができるた
め、比較的簡単な設計手法で、十分なトラップ減衰量を
得ることができ、従来に・対し、約１１ｄＢ改善するこ
とができる。
め、比較的簡単な設計手法で、十分なトラップ減衰量を
得ることができ、従来に・対し、約１１ｄＢ改善するこ
とができる。
次に本発明の第２の実施例を第９図を用いて説明する０
本実施例では、電極端部が、弾性表面波伝搬方向に対し
て、同一直線上に並ばないような構成とするものである
０弾性表面波が全ての電極で発生している領域Ｗ。４１
１２００μｍである。第９図に示された実施例は、電極
の交差幅が順次変化する構成（疑似正規型電極）の実施
例である１本構成は、交差幅が順次変化する構成である
ため、群遅延特性は平坦となる。また、第９図の実施例
の電極を入力電極とし、第４図中の１み付け電極２を出
力電極として構成した場合は、第９図中の弾性表面波が
全ての電極で発生している領域（ＩＩＥ極の最小交差幅
） Ｗ（１が、相対する重み付け電極の最大交差幅賃よ
りも大きく設定されていれば、本電極は、正規型電極と
同様に動作させることができる。
本実施例では、電極端部が、弾性表面波伝搬方向に対し
て、同一直線上に並ばないような構成とするものである
０弾性表面波が全ての電極で発生している領域Ｗ。４１
１２００μｍである。第９図に示された実施例は、電極
の交差幅が順次変化する構成（疑似正規型電極）の実施
例である１本構成は、交差幅が順次変化する構成である
ため、群遅延特性は平坦となる。また、第９図の実施例
の電極を入力電極とし、第４図中の１み付け電極２を出
力電極として構成した場合は、第９図中の弾性表面波が
全ての電極で発生している領域（ＩＩＥ極の最小交差幅
） Ｗ（１が、相対する重み付け電極の最大交差幅賃よ
りも大きく設定されていれば、本電極は、正規型電極と
同様に動作させることができる。
本実施例でも、本発明の第１の実施例と同様の設計手法
により、電極指５ａ、５ｂの長さの差ｇを７５μｍとし
た。このとき、不要回折波の指向性Ｄ（θ）ｌｅｔ第１
１図に示すようになり、従来の構成に対し０．２に抑圧
し、トラップ減衰量を６ｄＢ以上改善した。
により、電極指５ａ、５ｂの長さの差ｇを７５μｍとし
た。このとき、不要回折波の指向性Ｄ（θ）ｌｅｔ第１
１図に示すようになり、従来の構成に対し０．２に抑圧
し、トラップ減衰量を６ｄＢ以上改善した。
本実施例では浮き電極を有することなく実現できるため
、ホトリソグラフ工程のばらつきに対しても、安定した
特性が得られるという特長がある。
、ホトリソグラフ工程のばらつきに対しても、安定した
特性が得られるという特長がある。
次に本発明の第３の実施例を第１０図を用いて説明する
０本笑施例は、本発明の第２の実施例と同様、電極端部
が１弾性表面波伝搬方向に対して同一直線上に並ばない
ようにした構成とするものである。
０本笑施例は、本発明の第２の実施例と同様、電極端部
が１弾性表面波伝搬方向に対して同一直線上に並ばない
ようにした構成とするものである。
電極５ａ’ 、 ５ｂ’ 、 ６ａ’ 、 ６ｂ’は電
極指幅８．６μｍのスプリットコネクト型電極であり、
電極５ａ’と電極６ｂ’の交差幅％は１２８３μｍで一
定である０本構成でも、弾性表面波が、全ての電極で発
生している領域Ｗｔは、相対する重み付け電極の最大交
差幅Ｗ鵞よりも大きく設定する必要がある。ここではＷ
５は１２００μｍとした。
極指幅８．６μｍのスプリットコネクト型電極であり、
電極５ａ’と電極６ｂ’の交差幅％は１２８３μｍで一
定である０本構成でも、弾性表面波が、全ての電極で発
生している領域Ｗｔは、相対する重み付け電極の最大交
差幅Ｗ鵞よりも大きく設定する必要がある。ここではＷ
５は１２００μｍとした。
なお、本実施例では電極部と自由表面部が存在すること
による、幾何学的な反射波の抑圧効果が高いという特長
を有する。
による、幾何学的な反射波の抑圧効果が高いという特長
を有する。
本構成では、電極指の交差幅が一定であるため、従来の
正規型電極と同じ周波数特性を有する。
正規型電極と同じ周波数特性を有する。
ここでは、電極指５ａ’ 、 ５ｂ’の長さのｋｇを８
３μｍとし、このときの不要回折波の指向性Ｄ（θ）は
、第１２図に示すようになった。本実施例によれば、指
向性Ｄ（θ）は、従来の構成に対し、０．２以下に抑圧
され、トラップ減衰量は６ｄＢ以上改善された。
３μｍとし、このときの不要回折波の指向性Ｄ（θ）は
、第１２図に示すようになった。本実施例によれば、指
向性Ｄ（θ）は、従来の構成に対し、０．２以下に抑圧
され、トラップ減衰量は６ｄＢ以上改善された。
本発明者等の実験によれば、０．１λ＜ｇ＜３λ。の範
囲内で設定したとき、従来の構成に対し不要回折波の抑
圧効果がある。
囲内で設定したとき、従来の構成に対し不要回折波の抑
圧効果がある。
次に、本発明第４の実施例を第１３図に示す、また第５
の実施例を第１４図に示す。
の実施例を第１４図に示す。
ＷＪ１３図及び第１４図に示された実施例は、それぞれ
電極指の交差幅方向端部が、−列に配置されており、各
電極指端部を結ぶ直線は弾性表面波伝搬方向に対し２８
度傾けられている（θ５＝２８ Ｌ ） 。
電極指の交差幅方向端部が、−列に配置されており、各
電極指端部を結ぶ直線は弾性表面波伝搬方向に対し２８
度傾けられている（θ５＝２８ Ｌ ） 。
従来の正規型電極では、顛式に示す角度ｔｊｍの方向に
向って、不要回折波が放射される。従って、電極指端部
の位置を結ぶ直線が、弾性表面波の伝搬方向に対しθｓ
度傾けられるように構成することにより、不要回折波
の放射される角度を変えることができる。
向って、不要回折波が放射される。従って、電極指端部
の位置を結ぶ直線が、弾性表面波の伝搬方向に対しθｓ
度傾けられるように構成することにより、不要回折波
の放射される角度を変えることができる。
不要回折波の放射される角度θ、は、弾性表面波伝搬方
向（Ｘ軸）を基準とすると次式で表わせる。
向（Ｘ軸）を基準とすると次式で表わせる。
蝙＝ｃｔｊ’ （ス・互１）±θｓ
２ｄ ”
第１３図において、入方向に重み付け電極がある場合、
電極上部で発生する回折波が重み付け電極によって受信
されないためには、次式の条件となる。
電極上部で発生する回折波が重み付け電極によって受信
されないためには、次式の条件となる。
、＝−１（２、７３３１１８５）−０５＜ Ｏα◆ｄ
一方、このときの電極下部で発生する回折波の放射され
る角度θ□は次式で表わせる。
る角度θ□は次式で表わせる。
０−１（！−・ａｓｅ５）＋θｓくθ□
（２）ｄ 即ち、（２）式は、電極下部の回折波の放射角度が大き
くなることを示し、重み付け電極で受信されにくく、従
来の正規型電極よりも抑圧されることを示している。
（２）ｄ 即ち、（２）式は、電極下部の回折波の放射角度が大き
くなることを示し、重み付け電極で受信されにくく、従
来の正規型電極よりも抑圧されることを示している。
第１４図に示された実施例は、上記第１３図に示された
第４の実施例と同様の考え方で構成されている。第１４
図に示された実施例の特長は電極の交差幅が順次変化し
ており、周波数特性は正規型電極とは異なり、帯域外抑
圧度を改善することができることである。
第４の実施例と同様の考え方で構成されている。第１４
図に示された実施例の特長は電極の交差幅が順次変化し
ており、周波数特性は正規型電極とは異なり、帯域外抑
圧度を改善することができることである。
第１３図に示された実施例及び第１４図に示された実施
例でも１弾性表面波が全ての電極で発生する領域Ｗａは
、相対する重み付け電極の最大交差幅Ｗ、よりも大きく
する。ここではＷ、は１２００μｍとした。このとき、
トラップ減衰量は５ｄＢ以上抑圧された。また、第１４
図に示された本発明の第５の実施例では、帯域外抑圧度
が、従来に比べ約７ｄＢ改善された。
例でも１弾性表面波が全ての電極で発生する領域Ｗａは
、相対する重み付け電極の最大交差幅Ｗ、よりも大きく
する。ここではＷ、は１２００μｍとした。このとき、
トラップ減衰量は５ｄＢ以上抑圧された。また、第１４
図に示された本発明の第５の実施例では、帯域外抑圧度
が、従来に比べ約７ｄＢ改善された。
次に１本発明の第６の実施例を第１５図に示す。
また、本発明の第７の実施例を第１６図に示す。
従来の正規型電極では、不要回折波の最大となる放射角
度θ。は、α〔式で示されるとおり、弾性表面波波長λ
と電極指繰り返し周期ｄで定まる。
度θ。は、α〔式で示されるとおり、弾性表面波波長λ
と電極指繰り返し周期ｄで定まる。
この繰り返し周期ｄは、装置の中心周波数により定まる
ため、従来の正規型電極におけるθ□は一義に定まって
いた。
ため、従来の正規型電極におけるθ□は一義に定まって
いた。
第１５図に示された本発明の第６の実施例では、必要と
する弾性表面波励損部分Ｗ０の繰り返し周期ｄよりも、
電極指先端部の繰り返し周期ｄ′を大きくしている。こ
のような第１５図の実施例の構成によれば、ａｔ）式よ
り、不要回折波の放射角度は従来より大きくなるため、
不要回折波が重み付け電極で受信されにくく、不要波が
抑圧される。
する弾性表面波励損部分Ｗ０の繰り返し周期ｄよりも、
電極指先端部の繰り返し周期ｄ′を大きくしている。こ
のような第１５図の実施例の構成によれば、ａｔ）式よ
り、不要回折波の放射角度は従来より大きくなるため、
不要回折波が重み付け電極で受信されにくく、不要波が
抑圧される。
一方、ｄくλ／２のときは、最も強く放射される周波数
が、高周波側のトラップ周波数よりも高くなり、トラッ
プ周波数では抑圧される。第１６図の実施例は、ｄ’＝
３０μｍとした実施例であり１本実施例の高周波側トラ
ップ周波数での指向性の最大値は０．２２となる。
が、高周波側のトラップ周波数よりも高くなり、トラッ
プ周波数では抑圧される。第１６図の実施例は、ｄ’＝
３０μｍとした実施例であり１本実施例の高周波側トラ
ップ周波数での指向性の最大値は０．２２となる。
第１５図に示された第６の実施例及び第１６図に示され
た第７の実施例では、電極指端部の湾曲部分で発生する
弾性表面波が影響しないように、相対する重み付け電極
から見て、凸状にする必要がある。
た第７の実施例では、電極指端部の湾曲部分で発生する
弾性表面波が影響しないように、相対する重み付け電極
から見て、凸状にする必要がある。
本実施例では、重み付け電極の最大交差幅よりも外側を
伝搬する弾性表面波は、波面がずれるため、重み付け電
極の取り出し電極部（図示せず）にも影響を与えにくい
という特長がある。
伝搬する弾性表面波は、波面がずれるため、重み付け電
極の取り出し電極部（図示せず）にも影響を与えにくい
という特長がある。
次に本発明の第８の実施例を第１７図を用いて説明する
。第１７図は電極指の先端部の形状のみを表わす図であ
る。
。第１７図は電極指の先端部の形状のみを表わす図であ
る。
先に述べた本発明の第１乃至第７の実施例では電極指１
本の端部で発生する回折波の大きさは従来と同じであり
、その合成波を抑圧するように電極指の配置等を工夫し
たものである。
本の端部で発生する回折波の大きさは従来と同じであり
、その合成波を抑圧するように電極指の配置等を工夫し
たものである。
本実施例は、それぞれの電極指１本の端部で発生する回
折波を抑圧する実施例である。即ち、電極端部で発生す
る回折波は、電極指対で励損する弾性表面波の振幅が、
電極指端部で不連続に変化していることに起因している
。そこで電極指先端部での電界の変化をゆるやかにする
ことで、上記回折波は抑圧される。
折波を抑圧する実施例である。即ち、電極端部で発生す
る回折波は、電極指対で励損する弾性表面波の振幅が、
電極指端部で不連続に変化していることに起因している
。そこで電極指先端部での電界の変化をゆるやかにする
ことで、上記回折波は抑圧される。
これは、例えば第１７図（ａ）に示すとおり、電極指の
先端を細くすることにより実現できる。同様に（ｂｌ
＃ （ｃｌのような形状としても良い、第６図に示すよ
うな電極の先端部を、第１７図（ａ）＃ （ｂｌ ａ
（ｃｌに示すような形状とすれば、電極肩部で発生する
不要波が減少する。
先端を細くすることにより実現できる。同様に（ｂｌ
＃ （ｃｌのような形状としても良い、第６図に示すよ
うな電極の先端部を、第１７図（ａ）＃ （ｂｌ ａ
（ｃｌに示すような形状とすれば、電極肩部で発生する
不要波が減少する。
また、スプリットコネクト型の弾性表面波装置では、電
極指先端部の形状を第１７図（ｄ） 、 （ａ）の形状
としても良い、また、第１７図に示されているような電
極指端部の形状を本発明の第１乃至第７の実施例に適用
しても良いことは言うまでもない。
極指先端部の形状を第１７図（ｄ） 、 （ａ）の形状
としても良い、また、第１７図に示されているような電
極指端部の形状を本発明の第１乃至第７の実施例に適用
しても良いことは言うまでもない。
なお、本発明の構成および考え方は、ソリッド電極、ス
プリットコネクト型電極、スプリットアイソレート電極
のいずれも用いることができる。
プリットコネクト型電極、スプリットアイソレート電極
のいずれも用いることができる。
才た、弾性表面波装置源の繰り返し周期が一定でない位
相重み付け電極、位相の異なる信号を加え低損失化をは
かる一方向性電極でも用いられることは明らかである。
相重み付け電極、位相の異なる信号を加え低損失化をは
かる一方向性電極でも用いられることは明らかである。
また、従来、不要回折波の影響を低減するために、正規
型電極の開口長を重み付け電極の開口長よりも１，２
乃至１．５倍大きくしていた。しかし、本発明によれば
、回折波そのものが抑圧されるため、２つの電極の開口
長を等しくすることができる。この結果チップの寸法を
２０乃至４０優小形化することができるという効果があ
る。
型電極の開口長を重み付け電極の開口長よりも１，２
乃至１．５倍大きくしていた。しかし、本発明によれば
、回折波そのものが抑圧されるため、２つの電極の開口
長を等しくすることができる。この結果チップの寸法を
２０乃至４０優小形化することができるという効果があ
る。
また、ここでは、単一の励振源を無指向性とし、弾性表
面波速度の異方性が無い場合について示したが、これら
を考慮した厳密な解析によって、本発明と同様の構成を
実現しても良いことは明らかである。
面波速度の異方性が無い場合について示したが、これら
を考慮した厳密な解析によって、本発明と同様の構成を
実現しても良いことは明らかである。
次に１本発明の実ｍ例としての浮き電極の作成方法の他
の例を＠１８図を用いて説明する。
の例を＠１８図を用いて説明する。
第１８図は本発明の正規型電極作成方法を示す要部模式
的平面図である。
的平面図である。
本発明の第１の実施例では、その説明に記載されている
ように浮き１極はすだれ状電極と同時に、ホトリソグラ
フ工程によって作成する旨記載されている。第１８図に
示した例は、レーザカッタにより、浮き電極を形成する
ものである。即ち、従来の構成の正規型電極ｌを、ホト
リソグラフ工程で作成する（第１８図（ａ） ）−この
後レーザカッタでＡ部を切断し、同図正規型電極１′の
浮き電極７を作成する（第１８図（ｂ））。
ように浮き１極はすだれ状電極と同時に、ホトリソグラ
フ工程によって作成する旨記載されている。第１８図に
示した例は、レーザカッタにより、浮き電極を形成する
ものである。即ち、従来の構成の正規型電極ｌを、ホト
リソグラフ工程で作成する（第１８図（ａ） ）−この
後レーザカッタでＡ部を切断し、同図正規型電極１′の
浮き電極７を作成する（第１８図（ｂ））。
第１８図に示したような浮き電極の形成方法によれば、
既に作成した正規型電極を加工するため、調整が可能で
ある。このため、他の原因によるトラップ減衰度の劣化
（例えば、直達波、パルフ波等）に対しても、十分な特
性が得られるように調整が可能であるという利点がある
。
既に作成した正規型電極を加工するため、調整が可能で
ある。このため、他の原因によるトラップ減衰度の劣化
（例えば、直達波、パルフ波等）に対しても、十分な特
性が得られるように調整が可能であるという利点がある
。
なお、電極の切断方法として、超音波カッタ等の他の手
段を用いても良いことは明らかである。
段を用いても良いことは明らかである。
次に本発明の弾性表面波装置をカラーテレビジョン受信
機の中間周波フィルタに適用した場合について説明する
。中間周波フィルタとして用いられる弾性表面波フィル
タは、本発明第１の実施例と同じである。
機の中間周波フィルタに適用した場合について説明する
。中間周波フィルタとして用いられる弾性表面波フィル
タは、本発明第１の実施例と同じである。
この弾性表面波フィルタは、カラーテレビジョン受信機
の選局装置（チューナ）と、映像信号増幅段ＰＩＦアン
プとの間に縦続接続される。この弾性表面波フィルタの
機能は、チューナにより選局された、希望チャネルを含
む信号のうち、希望信号以外の信号を抑圧し、また、希
望信号の映像キャリア、ｆ声キャリア、クロマサブキャ
リアの各信号のレベルを適正な値にするものである。特
に、隣接するチャネルの映像キャリア（上隣接映像トラ
ップ）、音声キャリア（下隣接音声トラップ）の減衰量
は、希望信号対妨害信号比（ＤＡ）に大きく影響し、十
分な性能が要求される。
の選局装置（チューナ）と、映像信号増幅段ＰＩＦアン
プとの間に縦続接続される。この弾性表面波フィルタの
機能は、チューナにより選局された、希望チャネルを含
む信号のうち、希望信号以外の信号を抑圧し、また、希
望信号の映像キャリア、ｆ声キャリア、クロマサブキャ
リアの各信号のレベルを適正な値にするものである。特
に、隣接するチャネルの映像キャリア（上隣接映像トラ
ップ）、音声キャリア（下隣接音声トラップ）の減衰量
は、希望信号対妨害信号比（ＤＡ）に大きく影響し、十
分な性能が要求される。
本発明の弾性表面波フィルタを用いた場合、特に、下隣
接音声トラップが従来に比べ１ｌｄＢ改善しており、隣
接チャネルの音声キャリアが１１ ｄＢ改善され、良好
な画質が得られた。
接音声トラップが従来に比べ１ｌｄＢ改善しており、隣
接チャネルの音声キャリアが１１ ｄＢ改善され、良好
な画質が得られた。
本発明の減衰極を改善する手法は、カラーテレビに限ら
ず、他の通信装置でも必要となる。即ち、０ＡＴＶ受信
機の中間周波フィルタ、衛星放送受信機の第１または第
２中間周波フィルタ等の、複数チャネルの信号から希望
チャネルの信号を取り出す、所謂、バンドパスフィルタ
では、妨害信号の除去が重要であり、本発明、または、
本発明を用いた弾性表面波フィルタにより、大幅な性能
の改善がはかれる。
ず、他の通信装置でも必要となる。即ち、０ＡＴＶ受信
機の中間周波フィルタ、衛星放送受信機の第１または第
２中間周波フィルタ等の、複数チャネルの信号から希望
チャネルの信号を取り出す、所謂、バンドパスフィルタ
では、妨害信号の除去が重要であり、本発明、または、
本発明を用いた弾性表面波フィルタにより、大幅な性能
の改善がはかれる。
以上説明したように、本発明によれば、電極指の交差幅
方向端部より発生する不要回折波を抑圧することができ
るため、特に十分な帯域外減衰量を得ることができ、フ
ィルタの性能向上に効果がある。更に、チップの寸法を
約２０乃至４０ ｍ小形化がはかれるという効果がある
。
方向端部より発生する不要回折波を抑圧することができ
るため、特に十分な帯域外減衰量を得ることができ、フ
ィルタの性能向上に効果がある。更に、チップの寸法を
約２０乃至４０ ｍ小形化がはかれるという効果がある
。
また、本装置を通信装置に用いた場合、隣接信号の抑圧
度が改善され、希望信号対妨害信号比（ｒｙ／ｕ ）の
向上がはかれる。
度が改善され、希望信号対妨害信号比（ｒｙ／ｕ ）の
向上がはかれる。
第１図は本発明の第１実施例の正規型電極の模式的平面
図、第２図は第１図に示された実施例の不要回折波の指
向性を示す図、第３図は第１図に示された実施例の不要
回折波の励損源の配置図、第４図は第１図に示された実
施例の弾性表面波装置の模式的平面図、第５図は第１図
に示された実施例の娠幅周波数特性図、第６図は従来の
正規型電極を示す模式的平面図、第７図は第６図に示さ
れた従来の不要回折波の指向性を示す図、第８図は第６
図に示された従来の不要励損源の配置図、第９図は本発
明の第２冥施例の正規型電極の模式的平面図、第１０図
は本発明の第３実施例の正規型電極の模式的平面図、第
１１図は第９図に示された本発明の第２実施例の不要回
折波の指向性図、第１２図は第１０図に示された本発明
の第３実施例の不要回折波の指向性図、第１３図は本発
明の第４実施例の電極の模式的平面図、ｇ１４図は本発
明の第５実施例の電極の模式的平面図、第１５図は本発
明の第６実施例のすだれ状電極の模式的平面図、第１６
図は本発明の第７契施例のすだれ状電極の模式的平面図
、第１７図は本発明の第８実施例のすだれ状電極の先端
部を示す模式的平面図、第１８図は本発明電極作成方法
の他の例を示す要部模式的平面図である。 〈符号の説明〉 ｌ・・・入力すだれ状電極 ２・・・出力すだれ状電極
３．４・・・共通電極 ５，６・・・電極指７．８
・・・浮き電極 ９・・・不要回折波の指向性１０
、１１・・・不要回折波の励損源１２・・・振幅周波
数特性 代理人 弁理士 小 川 膀 男 〒５図 閑ｒ″１図 刃 Ｏ りＯ θ（ｄｅｉ） 殆δ図 蘭４図 ４５図 用 彼Ｉ史ＣＭＨｚ） 第ａ図 粥１１図 印 ｊ０ θ（ｄｅｎ） 閉１２図 θＣｄｅ仔） 閉１ｊ図 一１′７図 （Ｑ、） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （ｅ） 〒１６図
図、第２図は第１図に示された実施例の不要回折波の指
向性を示す図、第３図は第１図に示された実施例の不要
回折波の励損源の配置図、第４図は第１図に示された実
施例の弾性表面波装置の模式的平面図、第５図は第１図
に示された実施例の娠幅周波数特性図、第６図は従来の
正規型電極を示す模式的平面図、第７図は第６図に示さ
れた従来の不要回折波の指向性を示す図、第８図は第６
図に示された従来の不要励損源の配置図、第９図は本発
明の第２冥施例の正規型電極の模式的平面図、第１０図
は本発明の第３実施例の正規型電極の模式的平面図、第
１１図は第９図に示された本発明の第２実施例の不要回
折波の指向性図、第１２図は第１０図に示された本発明
の第３実施例の不要回折波の指向性図、第１３図は本発
明の第４実施例の電極の模式的平面図、ｇ１４図は本発
明の第５実施例の電極の模式的平面図、第１５図は本発
明の第６実施例のすだれ状電極の模式的平面図、第１６
図は本発明の第７契施例のすだれ状電極の模式的平面図
、第１７図は本発明の第８実施例のすだれ状電極の先端
部を示す模式的平面図、第１８図は本発明電極作成方法
の他の例を示す要部模式的平面図である。 〈符号の説明〉 ｌ・・・入力すだれ状電極 ２・・・出力すだれ状電極
３．４・・・共通電極 ５，６・・・電極指７．８
・・・浮き電極 ９・・・不要回折波の指向性１０
、１１・・・不要回折波の励損源１２・・・振幅周波
数特性 代理人 弁理士 小 川 膀 男 〒５図 閑ｒ″１図 刃 Ｏ りＯ θ（ｄｅｉ） 殆δ図 蘭４図 ４５図 用 彼Ｉ史ＣＭＨｚ） 第ａ図 粥１１図 印 ｊ０ θ（ｄｅｎ） 閉１２図 θＣｄｅ仔） 閉１ｊ図 一１′７図 （Ｑ、） （ｂ） （Ｃ） （ｄ） （ｅ） 〒１６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １．圧電性基板上に入力電極および出力電極としてすだ
れ状電極を有し、前記入力電極または出力電極の少なく
とも一つが、第１の共通電極より延びる複数の第１の電
極指で構成される第１の電極と、第２の共通電極より延
び前記第１の電極指と交差するように形成された複数の
第２の電極指とより構成される第２の電極とを有し、前
記第１の電極指と第２の電極指の交差幅が一定の正規型
電極である弾性表面波装置において、電極指の延長上で
あり、かつ電極指の先端部に他の電極と電気的に接続さ
れない浮き電極が設けられていることを特徴とする弾性
表面波装置。 ２．正規型電極を構成する前記第１の電極と浮き電極の
間の中心から、前記浮き電極と第２の電極の間の中心ま
での距離ｇが、次式で定められていることを特徴とする
請求項１記載の弾性表面波装置。 ｇ＝λ／２・１／√｛１−（λ／〔２ｄ〕）＾２｝ここ
で、λ：弾性表面波の波長 ｄ：電極指の繰り返し周期 ３．圧電性基板上に形成されたすだれ状電極で構成され
た入力電極と、該入力電極と相対する位置に形成された
すだれ状電極で構成された出力電極とを有し、これらす
だれ状電極の一方はすだれ状電極を構成する電極指の交
差幅が順次変化している重み付け電極で構成され、他方
のすだれ状電極はすだれ状電極を構成する電極の最小交
差幅が、前記重み付け電極の最大交差幅よりも大きく構
成された疑似正規型電極である弾性表面波装置でありて
、前記疑似正規型電極を構成するすだれ状電極の電極指
の長さが同極性の互いに隣接する電極指で異なり、かつ
電極指の長さの差が弾性表面波波長の０．１乃至３倍で
あることを特徴とする弾性表面波装置。 ４．圧電性基板上に形成されたすだれ状電極で構成され
た入力電極と、該入力電極と相対する位置に形成された
すだれ状電極で構成された出力電極とを有し、これらす
だれ状電極の一方はすだれ状電極を構成する電極指の交
差幅が順次変化している重み付け電極で構成され、他方
のすだれ状電極はすだれ状電極を構成する電極の最小交
差幅が、前記重み付け電極の最大交差幅よりも大きく構
成された疑似正規型電極である弾性表面波装置であって
、前記疑似正規型電極を構成するそれぞれの電極指の先
端が、弾性表面波の伝搬方向に対しθｓ（度）傾けた直
線と平行の直線上に配置され、θｓが次式で定められる
ことを特徴とする弾性表面波装置。 ｃｏｓ＾−＾１（λ／２・〔ｃｏｓθｓ〕／〔ｄ〕−θ
ｓ）＜０５．圧電性基板上に形成されたすだれ状電極で
構成された入力電極と、該入力電極と相対する位置に形
成されたすだれ状電極で構成された出力電極とを有し、
これらすだれ状電極の一方はすだれ状電極を構成する電
極指の交差幅が順次変化している重み付け電極で構成さ
れ、他方のすだれ状電極はすだれ状電極を構成する電極
の最小交差幅が、前記重み付け電極の最大交差幅よりも
大きく構成された疑似正規型電極である弾性表面波装置
であって、前記疑似正規型電極の電極指の繰り返し周期
ｄが、重み付け電極の最大交差幅より広い交差部分では
弾性表面波装置の中心周波数で定まる弾性表面波波長λ
＿０の１／４であり、該交差部分の外側の電極指の繰り
返し周期ｄ′は弾性表面波波長の１／４より大きく成る
ように、電極指が湾曲されて構成されていることを特徴
とする弾性表面波装置。 ６．圧電性基板上に形成されたすだれ状電極で構成され
た入力電極と，該入力電極と相対する位置に形成された
すだれ状電極で構成された出力電極とを有し、これらす
だれ状電極の一方はすだれ状電極を構成する電極指の交
差幅が順次変化している重み付け電極で構成され、他方
のすだれ状電極はすだれ状電極を構成する電極の最小交
差幅が、前記重み付け電極の最大交差幅よりも大きく構
成された疑似正規型電極である弾性表面波装置でありて
、前記疑似正規型電極の電極指の繰り返し周期ｄが、重
み付け電極の最大交差幅より広い交差部分では、弾性表
面波装置の中心周波数での弾性表面波波長λ＿０の１／
４であり、該交差部分の外側の電極指の繰り返し周期ｄ
′は弾性表面波装置の極の周波数での弾性表面波波長λ
＿０の１／４よりも小さくなるように電極指が湾曲され
て構成されていることを特徴とする弾性表面波装置。 ７．前記正規型電極の電極指の先端部分は、漸次細く形
成されていることを特徴とする請求項１または請求項２
記域の弾性表面波装置。 ８．前記正規型電極の電極指の交差幅が一定で、かつ繰
り返し周期が順次変化して成る位相重み付け電極である
ことを特徴とする請求項１または請求項２記載の弾性表
面波装置。 ９．前記正規型電極は弾性表面波伝搬方向に電極中心が
特定距離を隔てて同一伝搬路上に配置され、定格周波数
帯域内の特定周波数で、上記距離に対応した特定の電気
的位相差を有する電圧が印加される送出電極と反射電極
の組より成る一方向性電極であることを特徴とする請求
項１または請求項２記載の弾性表面波装置。 １０．前記疑似正規型電極の電極指の先端部分は、漸次
細く形成されていることを特徴とする請求項３乃至請求
項６のいずれかに記載の弾性表面波装置。 １１．前記疑似正規型電極は電極指の交差幅が一定で、
かつ繰り返し周期が順次変化して成る位相重み付け電極
であることを特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれ
かに記載の弾性表面波装置。 １２．前記疑似正規型電極は、弾性表面波伝搬方向に電
極中心が特定距離を隔てて同一伝搬路上に配置され、定
格周波数帯域内の特定周波数で、上記距離に対応した特
定の電気的位相差を有する電圧が印加される送出電極と
反射電極の組より成る一方向性電極であることを特徴と
する請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の弾性表面
波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63323274A JP2664228B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63323274A JP2664228B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02170610A true JPH02170610A (ja) | 1990-07-02 |
| JP2664228B2 JP2664228B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=18152960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63323274A Expired - Fee Related JP2664228B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2664228B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04114225U (ja) * | 1991-03-26 | 1992-10-07 | ミツミ電機株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JP2000286663A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-10-13 | Hitachi Ltd | 弾性表面波素子 |
| JP2007019710A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波装置 |
| US7170372B2 (en) * | 2001-07-24 | 2007-01-30 | Epcos Ag | Converter for surface waves with improved suppression of interfering excitation |
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| JP2013012883A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Kyocera Corp | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
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| JP2015222886A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
| JP2016119569A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
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|---|---|---|---|---|
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| JPS57185716A (en) * | 1981-05-11 | 1982-11-16 | Nec Corp | Surface acoustic wave reed screen shaped converter |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63323274A patent/JP2664228B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
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| US8421560B2 (en) | 2009-04-07 | 2013-04-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave resonator and ladder filter |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2664228B2 (ja) | 1997-10-15 |
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