JP2729877B2 - 薄板移送機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば圧電振動子の材
料となる圧電ウェハのような多数の薄板がカートリッジ
内に収納された状態で供給され、このカートリッジの中
から、一枚ずつ薄板を取り出して次工程に送る働きをす
る薄板移送機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の薄板移送機としては、図
４のようなものがある。10は多数の薄板20を縦一列に整
列して収納したカートリッジである。図示しないインデ
ックステーブルには、このようなカートリッジ10が数個
取付けてあり、薄板20が一枚ずつ取り出されてカートリ
ッジ10の中が空になると、インデックステーブルが回転
して新たなカートリッジ10と順次入れ換わるようになっ
ている。ロッド30は、先端がカートリッジ10の中に進入
して上下動できるようになされており、その移動量はパ
ルスモータによって高精度に制御される。光センサー40
を構成する発光器41と受光器42の間に進入可能な遮光板
35がロッド30にネジ等で固定してある。遮光板35の取付
け位置を上下方向に微調整することによって、ロッド30
の上昇できる限界が設定される。

【０００３】薄板20の上方には、空気を吸い込むことに
よって薄板20を先端で吸着可能なエアチャック60が、上
下方向及び水平方向に移動自在に設けられている。カー
トリッジ10の上部を挟んで対向して配置された発光器51
及び受光器52からなる第２の光センサー50は、薄板20の
最上端を検出する働きをする。薄板20の最上端が光線55
を遮るとロッド30の上昇が止められることにより、一番
上の薄板20ａが常に一定の位置に達したところで、ロッ
ド30が停止してチャック60による吸着に備えることにな
る。70は薄板20の側面に圧搾空気を吹きつけて、一番上
の薄板20ａを浮かすために設けられたノズルである。

【０００４】この薄板移送機は次のように動作する。ま
ず、新しいカートリッジ10が供給されると、図４のよう
に、ロッド30がカートリッジ10の内部に下方から進入す
る。そして、センサー40が遮光板35を検出するまで次の
（１）から（４）の操作を繰り返す。 （１）薄板20の上端、すなわち一番上の薄板20ａが所定
の位置になるまで、ロッド30が上昇する。 （２）図５のように、ノズル70から空気を吹き出して一
番上の薄板20ａを浮かせると同時に、空気を吸い込みな
がらチャック60が下降して、薄板20ａを吸着する。図５
中の矢印は空気の流れの方向を示している。 （３）図６のように、ロッド30が数ｍｍ下降するととも
に、薄板20ａを吸着したチャック60が上昇する。 （４）チャック60が水平方向に移動して、次工程で薄板
20ａを解放した後、カートリッジ10の上方の位置に戻
る。 図７のように、遮光板35が発光器41の光線45を遮り、ロ
ッド30が上昇端に来たことをセンサー40が検出すると、
カートリッジ10が空になったとの信号が図示しない制御
部に送られる。すると、ロッド30がカートリッジ10の外
まで下降してインデックステーブルが回り、次のカート
リッジ10と入れ換えられて再び以上の動作が繰り返され
る。

【０００５】

【本発明が解決しようとする課題】この薄板移送機が正
しく動作するには、最後の一枚の薄板20が無くなったと
きにセンサー40の光線45を遮光板35が遮るように、遮光
板35の取付位置を正確に調整しなければならない。とこ
ろが、薄板20の厚さが、数分の１ｍｍ程度の薄いものに
なると、この位置調整がきわめて困難になる。このた
め、薄板20が数枚残っているにもかかわらずカートリッ
ジ10が交換されてしまったり、薄板20がすっかり無くな
っても、これを検出できずに、ついには機械が停止して
しまうなどの問題があった。

【０００６】

【発明の目的】本発明は、最後の一枚の薄板の有無を検
出する精度が高い薄板移送機を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、カートリッジ
10内に積み重ねて収納された薄板20を、一枚ずつチャッ
ク60で取り出して次工程に送る薄板移送機において、先
端がカートリッジ10の中に進入して上下動可能なロッド
30と、ロッド30の先端に取付けられて薄板20を支持する
支持台80と、カートリッジ10上部の側方に配置され薄板
20を検出可能な光センサー50とを具え、支持台80の上面
に、斜面81と、この斜面81をほぼ水平方向に横切る溝82
を形成し、支持台80上の最後の薄板20が取り出されたと
き、光センサー50の光線55が溝82の中を通過するように
構成したものである。

【０００８】

【実施例】次に本発明の一実施例について図面と共に説
明する。なお、図４〜図７に示した従来例と共通する部
分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図
１は、本発明の薄板移送機の構成例を示す概略図であ
る。この本発明の薄板移送機が従来と異なる点は、図２
に示すような支持台80をロッド30の先端に固定したこと
にある。支持台80の上面には、水平面に対して傾斜した
斜面81を形成してあり、さらに斜面81の中央部を水平方
向に横切る溝82を設けてある。

【０００９】ロッド30の先端をカートリッジ10の中に下
から挿入して上昇させると、カートリッジ10の中の薄板
20は、支持台80の斜面81の上に斜めに傾いて支持された
形になる。そして、全部の薄板20がチャック60によって
取り出された後は、発光器51から照射される光線55は図
３のように溝82の中を通過する。したがって、最後の薄
板20が取り出されてからセンサー50が溝82の底を検出す
るまでの間にロッド30が停止するように、遮光板35の位
置を調整してロッド30の上昇限界を設定すればよい。

【００１０】従来は薄板20の最後の一枚の有無による厚
み寸法の変化が、薄板20自身の厚みだけなので、この遮
光板35の位置の調整がきわめて難しいものとなってい
た。しかし、本発明では、最後の一枚の薄板20が残って
いるときと無くなったときの実質的な厚みの変化は、薄
板20自身の厚みに支持台80の斜面81の高さＨが加わった
ものとなる。斜面81の高さＨを、例えば２ｍｍにしただ
けでも、薄板20の厚さが０．２ｍｍの場合は１０枚分の
厚さがプラスされたことになり、その分だけ遮光板35の
位置の調整に寸法的な余裕が生まれることになる。

【００１１】なお、センサー40、50としては、光センサ
ーに限らず、超音波センサー等を用いることが出来る。
また、ロッド30の先端に直接、斜面81と溝82を形成し
て、ロッド30が支持台80を兼ねた構成としてもよい。

【００１２】

【発明の効果】本発明によれば、薄板の取り残しを生じ
たり、カートリッジが空になってからも、さらに薄板を
取り出す操作をして機械が停止してしまうなどの欠点の
ない自動機を得ることができる。積み重ねられたそれぞ
れの薄板が斜めに支持されるので、圧搾空気を吹きつけ
たとき一番上の薄板が浮き易くなるうえ、一枚一枚の薄
板の位置が乱れることなく一方の端に寄ってカートリッ
ジ内にきちんと整列し検出精度が向上する効果もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の薄板移送機の構成例を示す概要図

【図２】 同、支持台の拡大斜視図

【図３】 同、要部の正面断面図

【図４】 薄板移送機の従来例を示す概要図

【図５】 同、動作説明図

【図６】 同、動作説明図

【図７】 薄板の移送を終えたときの同薄板移送機の概
要図

【符号の説明】

１０ カートリッジ ２０ 薄板 ３０ ロッド ５０ 光センサー ６０ チャック ８０ 支持台 ８１ 斜面 ８２ 溝

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カートリッジ内に積み重ねて収納された
   薄板を、一枚ずつチャックで取り出して次工程に送る薄
   板移送機において、先端がカートリッジの中に進入して
   上下動可能なロッドと、ロッドの先端に取付けられて薄
   板を支持する支持台と、カートリッジ上部の側方に配置
   され薄板を検出可能な光センサーとを具え、支持台の上
   面に、斜面と、該斜面をほぼ水平方向に横切る溝を形成
   し、支持台上の最後の薄板が取り出されたとき、光セン
   サーの光線が該溝の中を通過するようにしたことを特徴
   とする薄板移送機。