JP2755909B2 - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JP2755909B2 JP2755909B2 JP6197426A JP19742694A JP2755909B2 JP 2755909 B2 JP2755909 B2 JP 2755909B2 JP 6197426 A JP6197426 A JP 6197426A JP 19742694 A JP19742694 A JP 19742694A JP 2755909 B2 JP2755909 B2 JP 2755909B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- groove
- wound
- cutting head
- square groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0633—Grinders for cutting-off using a cutting wire
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T83/00—Cutting
- Y10T83/929—Tool or tool with support
- Y10T83/9292—Wire tool
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体材料、磁性材
料、セラミック等のワークの切断に使用されるワイヤソ
ーに関するものである。
料、セラミック等のワークの切断に使用されるワイヤソ
ーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、大口径のワークを切断して、ウェ
ーハ状の多数の小片にするためにワイヤソーが用いられ
ている。その一例を図５に基づいて説明すれば、このワ
イヤソー１は、ワイヤ２を供給するためのワイヤ供給手
段３と、ワイヤ２によってワーク４を切断するための切
削ヘッド５と、ワイヤ２を巻取るためのワイヤ巻取り手
段６とを備えている。また、このワイヤソー１において
は、ワイヤ供給手段３と切削ヘッド５との間、および切
削ヘッド５とワイヤ巻取り手段６との間に、ワイヤ２を
ガイドするとともに、ワイヤ２に所定のテンションを付
加するガイドローラ７，７，・・・が配設されている。
また、切削ヘッド５は３つのメインローラ５ａ，５ａ，
５ａから構成されている。そして、このワイヤソー１
は、この切削ヘッド５のメインローラ５ａ，５ａ，５ａ
に巻掛けられたワイヤ２にワーク４を押し当て、当該ワ
イヤ２を自身の軸線方向に往復動作と送り動作を重複さ
せることによりワーク４を切断するようになっている。
ーハ状の多数の小片にするためにワイヤソーが用いられ
ている。その一例を図５に基づいて説明すれば、このワ
イヤソー１は、ワイヤ２を供給するためのワイヤ供給手
段３と、ワイヤ２によってワーク４を切断するための切
削ヘッド５と、ワイヤ２を巻取るためのワイヤ巻取り手
段６とを備えている。また、このワイヤソー１において
は、ワイヤ供給手段３と切削ヘッド５との間、および切
削ヘッド５とワイヤ巻取り手段６との間に、ワイヤ２を
ガイドするとともに、ワイヤ２に所定のテンションを付
加するガイドローラ７，７，・・・が配設されている。
また、切削ヘッド５は３つのメインローラ５ａ，５ａ，
５ａから構成されている。そして、このワイヤソー１
は、この切削ヘッド５のメインローラ５ａ，５ａ，５ａ
に巻掛けられたワイヤ２にワーク４を押し当て、当該ワ
イヤ２を自身の軸線方向に往復動作と送り動作を重複さ
せることによりワーク４を切断するようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガイドロー
ラ７，７，・・・にワイヤ２が巻掛けられ、ガイドロー
ラ７に接する部分の巻掛け角度は最高でも１８０゜程度
である。このようにワイヤ２の巻掛け角度は小さいた
め、ワイヤ２によるワーク４の切断の際等にワイヤ２が
緩み易く、ワイヤ２の一部に応力集中が起こり、ワイヤ
２の断線が生じることもあった。この断線が生じると、
ワイヤ２の張り直しをしなければならないが、その作業
は煩雑であり、長時間かかってしまうという問題があっ
た。
ラ７，７，・・・にワイヤ２が巻掛けられ、ガイドロー
ラ７に接する部分の巻掛け角度は最高でも１８０゜程度
である。このようにワイヤ２の巻掛け角度は小さいた
め、ワイヤ２によるワーク４の切断の際等にワイヤ２が
緩み易く、ワイヤ２の一部に応力集中が起こり、ワイヤ
２の断線が生じることもあった。この断線が生じると、
ワイヤ２の張り直しをしなければならないが、その作業
は煩雑であり、長時間かかってしまうという問題があっ
た。
【０００４】また、各ガイドローラ７の溝は図６に示す
ようにＶ溝９となっており、ワイヤ２にテンションが加
わった場合、ワイヤ２は溝９の溝底に着座することにな
るが、前記のように、ワイヤ２に緩みが生じると、ワイ
ヤ２がＶ溝９内で揺れ動くため、溝壁面に偏摩耗が生じ
る。この偏摩耗が生じた場合には、ガイドローラ７の交
換を余儀なくされる。この場合の交換作業には、ワイヤ
２の張り直し作業等が含まれるため、その作業も煩雑で
あり、長時間かかってしまうという問題があった。その
ため、従来、図７および図８に示すように、予備のＶ溝
９ａを持つガイドローラ７を使用していた。
ようにＶ溝９となっており、ワイヤ２にテンションが加
わった場合、ワイヤ２は溝９の溝底に着座することにな
るが、前記のように、ワイヤ２に緩みが生じると、ワイ
ヤ２がＶ溝９内で揺れ動くため、溝壁面に偏摩耗が生じ
る。この偏摩耗が生じた場合には、ガイドローラ７の交
換を余儀なくされる。この場合の交換作業には、ワイヤ
２の張り直し作業等が含まれるため、その作業も煩雑で
あり、長時間かかってしまうという問題があった。その
ため、従来、図７および図８に示すように、予備のＶ溝
９ａを持つガイドローラ７を使用していた。
【０００５】本発明は、このような問題点を考慮してな
されたもので、ワイヤの緩みがなく、断線の少ないワイ
ヤソーを提供することを目的としている。
されたもので、ワイヤの緩みがなく、断線の少ないワイ
ヤソーを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
ワイヤ供給手段と、このワイヤ供給手段からのワイヤが
巻掛けられる複数のメインローラを持つ切削ヘッドと、
この切削ヘッドからのワイヤを巻取るワイヤ巻取り手段
と、前記ワイヤ供給手段と前記切削ヘッドの間および前
記切削ヘッドと前記ワイヤ巻取り手段との間に設けられ
前記ワイヤをガイドする複数のガイドローラと、を備え
たワイヤソーにおいて、前記複数のガイドローラの溝は
それぞれ角溝として構成されるとともに、この角溝の溝
幅は前記ワイヤの外径の２〜２０倍とされ、この角溝に
は前記ワイヤが１巻以上５巻以下巻掛けられていること
を特徴とする。
ワイヤ供給手段と、このワイヤ供給手段からのワイヤが
巻掛けられる複数のメインローラを持つ切削ヘッドと、
この切削ヘッドからのワイヤを巻取るワイヤ巻取り手段
と、前記ワイヤ供給手段と前記切削ヘッドの間および前
記切削ヘッドと前記ワイヤ巻取り手段との間に設けられ
前記ワイヤをガイドする複数のガイドローラと、を備え
たワイヤソーにおいて、前記複数のガイドローラの溝は
それぞれ角溝として構成されるとともに、この角溝の溝
幅は前記ワイヤの外径の２〜２０倍とされ、この角溝に
は前記ワイヤが１巻以上５巻以下巻掛けられていること
を特徴とする。
【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載のワ
イヤソーにおいて、前記ワイヤ供給手段からの前記ワイ
ヤが最初に巻掛けられる前記メインローラの複数の溝の
うち、前記ワイヤが最初に巻掛けられる溝は、角溝とし
て構成されるとともに、この角溝の溝幅は前記ワイヤの
外径の２〜２０倍とされ、この角溝には前記ワイヤが１
巻以上５巻以下巻掛けられていることを特徴とする。
イヤソーにおいて、前記ワイヤ供給手段からの前記ワイ
ヤが最初に巻掛けられる前記メインローラの複数の溝の
うち、前記ワイヤが最初に巻掛けられる溝は、角溝とし
て構成されるとともに、この角溝の溝幅は前記ワイヤの
外径の２〜２０倍とされ、この角溝には前記ワイヤが１
巻以上５巻以下巻掛けられていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】上記した手段によれば、ワイヤをガイドローラ
やメインローラの角溝に１巻以上５巻以下巻掛けたの
で、ワイヤによるワークの切断の際等にもワイヤの緩み
が少なくなり、ワイヤの一部に応力集中が起こるのを防
止できる。したがって、ワイヤの断線が頗る少なくな
る。
やメインローラの角溝に１巻以上５巻以下巻掛けたの
で、ワイヤによるワークの切断の際等にもワイヤの緩み
が少なくなり、ワイヤの一部に応力集中が起こるのを防
止できる。したがって、ワイヤの断線が頗る少なくな
る。
【０００９】また、ワイヤの緩みが少なくなることに加
えて、溝が角溝となっているため、溝壁面の偏摩耗が少
なくなり、溝ローラの寿命が著しく延びることになる。
えて、溝が角溝となっているため、溝壁面の偏摩耗が少
なくなり、溝ローラの寿命が著しく延びることになる。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基いて実施例のワイヤソーにつ
いて説明する。
いて説明する。
【００１１】図１にはワイヤソー１０が示されている。
このワイヤソー１０は、ワイヤ１２を供給するためのワ
イヤ供給手段１３と、ワイヤ１２によってワーク１４を
切断するための切削ヘッド１５と、ワイヤ１２を巻取る
ためのワイヤ巻取り手段１６とを備えている。また、こ
のワイヤソー１０においては、ワイヤ供給手段１３と切
削ヘッド１５との間、および切削ヘッド１５とワイヤ巻
取り手段１６との間に、ワイヤ１２をガイドするととも
に、ワイヤ１２に所定のテンションを付加するガイドロ
ーラ１７，１７，・・・が配設されている。このワイヤ
ソー１０においては、切削ヘッド１５を構成する３つの
メインローラ１５ａ，１５ａ，１５ａと、前記ガイドロ
ーラ１７，１７，・・・とはそれぞれ以下のような構造
となっている。
このワイヤソー１０は、ワイヤ１２を供給するためのワ
イヤ供給手段１３と、ワイヤ１２によってワーク１４を
切断するための切削ヘッド１５と、ワイヤ１２を巻取る
ためのワイヤ巻取り手段１６とを備えている。また、こ
のワイヤソー１０においては、ワイヤ供給手段１３と切
削ヘッド１５との間、および切削ヘッド１５とワイヤ巻
取り手段１６との間に、ワイヤ１２をガイドするととも
に、ワイヤ１２に所定のテンションを付加するガイドロ
ーラ１７，１７，・・・が配設されている。このワイヤ
ソー１０においては、切削ヘッド１５を構成する３つの
メインローラ１５ａ，１５ａ，１５ａと、前記ガイドロ
ーラ１７，１７，・・・とはそれぞれ以下のような構造
となっている。
【００１２】図２には、メインローラ１５ａの一部が示
されている。このメインローラ１５ａの外周には図２に
示すように多数のＶ溝２０が所定ピッチで形成されてい
る。また、図１において下側に位置するメインローラ１
５ａ、つまり、ワイヤ１２が最初に巻掛けられるメイン
ローラ１５ａにおいては、図３に示すように、ワイヤ１
２が最初に巻掛けられる溝が角溝２１として構成されて
いる。この角溝２１の溝幅はワイヤ１２の外径寸法の２
〜２０倍となっており、この溝２１にはワイヤ１２が１
巻以上５巻以下巻掛けられている。具体的には、ワイヤ
１２の外径寸法は一般的には０．１４〜０．２０ｍｍで
あるので、巻掛けられるワイヤ１２間の隙間を考慮すれ
ば、角溝２１の溝幅は０．３〜５ｍｍあれば十分であ
る。また、ワイヤ１２の巻掛け回数を５巻以下としたの
は、５巻を越えて巻掛けても、それほどの効果は見込め
ず、却って、ワイヤ１２の巻掛け作業が面倒になるこ
と、メインローラ１５ａが大型化してしまうことを考慮
したものである。
されている。このメインローラ１５ａの外周には図２に
示すように多数のＶ溝２０が所定ピッチで形成されてい
る。また、図１において下側に位置するメインローラ１
５ａ、つまり、ワイヤ１２が最初に巻掛けられるメイン
ローラ１５ａにおいては、図３に示すように、ワイヤ１
２が最初に巻掛けられる溝が角溝２１として構成されて
いる。この角溝２１の溝幅はワイヤ１２の外径寸法の２
〜２０倍となっており、この溝２１にはワイヤ１２が１
巻以上５巻以下巻掛けられている。具体的には、ワイヤ
１２の外径寸法は一般的には０．１４〜０．２０ｍｍで
あるので、巻掛けられるワイヤ１２間の隙間を考慮すれ
ば、角溝２１の溝幅は０．３〜５ｍｍあれば十分であ
る。また、ワイヤ１２の巻掛け回数を５巻以下としたの
は、５巻を越えて巻掛けても、それほどの効果は見込め
ず、却って、ワイヤ１２の巻掛け作業が面倒になるこ
と、メインローラ１５ａが大型化してしまうことを考慮
したものである。
【００１３】また、図４には、ガイドローラ１７が示さ
れている。このガイドローラ１７の外周に形成された溝
も角溝２２として構成されている。この角溝２２の溝幅
はワイヤ１２の外径寸法の２倍以上となっており、この
溝２２にはワイヤ１２が１巻以上５巻以下巻掛けられて
いる。なお、角溝２２の溝幅は、前記メインローラ１５
ａと同じ程度にしてある。
れている。このガイドローラ１７の外周に形成された溝
も角溝２２として構成されている。この角溝２２の溝幅
はワイヤ１２の外径寸法の２倍以上となっており、この
溝２２にはワイヤ１２が１巻以上５巻以下巻掛けられて
いる。なお、角溝２２の溝幅は、前記メインローラ１５
ａと同じ程度にしてある。
【００１４】図１のワイヤソー１０は、このようにして
ワイヤ１２を巻掛けたメインローラ１５ａおよびガイド
ローラ１７を配設したものである。図１において３重の
同心円となっているメインローラ１５ａとガイドローラ
１７とがワイヤ１２を１巻以上５巻以下巻掛けたローラ
である。
ワイヤ１２を巻掛けたメインローラ１５ａおよびガイド
ローラ１７を配設したものである。図１において３重の
同心円となっているメインローラ１５ａとガイドローラ
１７とがワイヤ１２を１巻以上５巻以下巻掛けたローラ
である。
【００１５】次に、このように構成されたワイヤソー１
０の作用および効果を述べると、メインローラ１５ａの
角溝２１およびガイドローラ１７の角溝２２にはワイヤ
１２が一巻以上巻掛けられているので、ワイヤ１２の緩
みが少なくなり、ワイヤ１２の一部に応力集中が起こら
なくなるので、ワイヤ１２の断線も少なくなる。したが
って、ワイヤ１２の切断に伴うワイヤ１２の張り直し作
業も大幅に減少し、ワーク１４の切断作業が効率的に行
われることになる。
０の作用および効果を述べると、メインローラ１５ａの
角溝２１およびガイドローラ１７の角溝２２にはワイヤ
１２が一巻以上巻掛けられているので、ワイヤ１２の緩
みが少なくなり、ワイヤ１２の一部に応力集中が起こら
なくなるので、ワイヤ１２の断線も少なくなる。したが
って、ワイヤ１２の切断に伴うワイヤ１２の張り直し作
業も大幅に減少し、ワーク１４の切断作業が効率的に行
われることになる。
【００１６】また、特に、ガイドローラ１７の溝はそれ
ぞれ角溝２２となっており、溝側壁は底面に対してほぼ
直角に起立しているので、ワイヤ１２が多少緩んだとし
ても、溝側壁が偏摩耗するということはなくなる。その
結果、ガイドローラ１７の寿命が延びることとなる。し
たがって、ガイドローラ１７の交換に伴うワイヤ１２の
張り直し作業も減少し、ワーク１４の切断作業が効率的
に行われることになる。
ぞれ角溝２２となっており、溝側壁は底面に対してほぼ
直角に起立しているので、ワイヤ１２が多少緩んだとし
ても、溝側壁が偏摩耗するということはなくなる。その
結果、ガイドローラ１７の寿命が延びることとなる。し
たがって、ガイドローラ１７の交換に伴うワイヤ１２の
張り直し作業も減少し、ワーク１４の切断作業が効率的
に行われることになる。
【００１７】以上、本発明者がなした実施例について説
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
【００１８】前記実施例では、図１の下側のメインロー
ラ１５ａの１つの溝を角溝２１としたが、ガイドローラ
１７だけでも十分効果のあるものであり、あえてメイン
ローラ１５ａの１つの溝を角溝２１としなくても良い。
但し、メインローラ１５ａの１つの溝を角溝２１とした
場合の方がより一層ワイヤ１２の緩みがなくなることは
言うまでもない。
ラ１５ａの１つの溝を角溝２１としたが、ガイドローラ
１７だけでも十分効果のあるものであり、あえてメイン
ローラ１５ａの１つの溝を角溝２１としなくても良い。
但し、メインローラ１５ａの１つの溝を角溝２１とした
場合の方がより一層ワイヤ１２の緩みがなくなることは
言うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】本発明の代表的な効果を述べれば、ワイ
ヤ供給手段と、このワイヤ供給手段からのワイヤが巻掛
けられる複数のメインローラを持つ切削ヘッドと、この
切削ヘッドからのワイヤを巻取るワイヤ巻取り手段と、
前記ワイヤ供給手段と前記切削ヘッドの間および前記切
削ヘッドと前記ワイヤ巻取り手段との間に設けられ前記
ワイヤをガイドする複数のガイドローラと、を備えたワ
イヤソーにおいて、前記複数のガイドローラの溝はそれ
ぞれ角溝として構成されるとともに、この溝の底幅は前
記ワイヤの外径の２〜２０倍とされ、この角溝には前記
ワイヤが１巻以上５巻以下巻掛けられているので、ワイ
ヤによるワークの切断の際等にもワイヤの緩みが少なく
なり、ワイヤの一部に応力集中が起こるのを防止できる
とともに、溝が角溝となっているため、溝壁面の偏摩耗
が少なくなり、溝ローラの寿命が著しく延びることにな
る。
ヤ供給手段と、このワイヤ供給手段からのワイヤが巻掛
けられる複数のメインローラを持つ切削ヘッドと、この
切削ヘッドからのワイヤを巻取るワイヤ巻取り手段と、
前記ワイヤ供給手段と前記切削ヘッドの間および前記切
削ヘッドと前記ワイヤ巻取り手段との間に設けられ前記
ワイヤをガイドする複数のガイドローラと、を備えたワ
イヤソーにおいて、前記複数のガイドローラの溝はそれ
ぞれ角溝として構成されるとともに、この溝の底幅は前
記ワイヤの外径の２〜２０倍とされ、この角溝には前記
ワイヤが１巻以上５巻以下巻掛けられているので、ワイ
ヤによるワークの切断の際等にもワイヤの緩みが少なく
なり、ワイヤの一部に応力集中が起こるのを防止できる
とともに、溝が角溝となっているため、溝壁面の偏摩耗
が少なくなり、溝ローラの寿命が著しく延びることにな
る。
【図１】実施例のワイヤソーの構成図である。
【図２】図１のメインローラの外周の一部を示す図であ
る。
る。
【図３】図１の特定のメインローラの外周の一部を示す
図である。
図である。
【図４】図１のガイドローラを示す図である。
【図５】従来のワイヤソーの構成図である。
【図６】従来のガイドローラを示す図である。
【図７】従来のガイドローラを示す図である。
【図８】従来のガイドローラを示す図である。
１０ ワイヤソー １２ ワイヤ １３ ワイヤ供給手段 １４ ワーク １５ 切削ヘッド １５ａ メインローラ １６ ワイヤ巻取り手段 １７ ガイドローラ ２１，２２ 角溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 外山 公平 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (56)参考文献 特開 平１−316163（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 27/06 B28D 5/04
Claims (2)
- 【請求項１】 ワイヤ供給手段と、このワイヤ供給手段
からのワイヤが巻掛けられる複数のメインローラを持つ
切削ヘッドと、この切削ヘッドからのワイヤを巻取るワ
イヤ巻取り手段と、前記ワイヤ供給手段と前記切削ヘッ
ドの間および前記切削ヘッドと前記ワイヤ巻取り手段と
の間に設けられ前記ワイヤをガイドする複数のガイドロ
ーラと、を備えたワイヤソーにおいて、前記複数のガイ
ドローラの溝はそれぞれ角溝として構成されるととも
に、この角溝の溝幅は前記ワイヤの外径の２倍〜２０倍
とされ、この角溝には前記ワイヤが１巻以上５巻以下巻
掛けられていることを特徴とするワイヤソー。 - 【請求項２】 前記ワイヤ供給手段からの前記ワイヤが
最初に巻掛けられる前記メインローラの複数の溝のう
ち、前記ワイヤが最初に巻掛けられる溝は、角溝として
構成されるとともに、この角溝の溝幅は前記ワイヤの外
径の２〜２０倍とされ、この角溝には前記ワイヤが１巻
以上５巻以下巻掛けられていることを特徴とする請求項
１記載のワイヤソー。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6197426A JP2755909B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | ワイヤソー |
| EP95305114A EP0694366B1 (en) | 1994-07-29 | 1995-07-21 | Wire saw apparatus |
| DE69504781T DE69504781T2 (de) | 1994-07-29 | 1995-07-21 | Drahtsägevorrichtung |
| US08/903,759 US5907988A (en) | 1994-07-29 | 1997-07-31 | Wire saw apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6197426A JP2755909B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | ワイヤソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839418A JPH0839418A (ja) | 1996-02-13 |
| JP2755909B2 true JP2755909B2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=16374329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6197426A Expired - Lifetime JP2755909B2 (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | ワイヤソー |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5907988A (ja) |
| EP (1) | EP0694366B1 (ja) |
| JP (1) | JP2755909B2 (ja) |
| DE (1) | DE69504781T2 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1110509A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-19 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソーの張力付与機構 |
| CH692485A5 (fr) * | 1998-02-13 | 2002-07-15 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil. |
| JP4049900B2 (ja) * | 1998-08-20 | 2008-02-20 | 株式会社スーパーシリコン研究所 | ワイヤソー切断装置 |
| TW383249B (en) * | 1998-09-01 | 2000-03-01 | Sumitomo Spec Metals | Cutting method for rare earth alloy by annular saw and manufacturing for rare earth alloy board |
| MY126994A (en) | 1999-12-14 | 2006-11-30 | Hitachi Metals Ltd | Method and apparatus for cutting a rare earth alloy |
| JP4397320B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2010-01-13 | 日本碍子株式会社 | ワイヤーソー加工装置、及びワイヤーソー加工方法 |
| US20080104848A1 (en) * | 2006-11-07 | 2008-05-08 | Cooke Brian S | Reciprocating pipe cutter |
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