JPH01316163A - ワイヤソーマシン用補助ローラ - Google Patents
ワイヤソーマシン用補助ローラInfo
- Publication number
- JPH01316163A JPH01316163A JP14540988A JP14540988A JPH01316163A JP H01316163 A JPH01316163 A JP H01316163A JP 14540988 A JP14540988 A JP 14540988A JP 14540988 A JP14540988 A JP 14540988A JP H01316163 A JPH01316163 A JP H01316163A
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- JP
- Japan
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- wire
- groove
- radius
- saw machine
- auxiliary roller
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- Pending
Links
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- 230000033001 locomotion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
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- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばシリコン鋳塊からウェハ等を切り出
すワイヤソーマシンにおいて、ワイヤ走行路に設けられ
ワイヤを案内するワイヤソーマシン用補助ローラに関す
る。
すワイヤソーマシンにおいて、ワイヤ走行路に設けられ
ワイヤを案内するワイヤソーマシン用補助ローラに関す
る。
ワイヤソーマシンは、被加工物Ｇに対してワイヤＷを摺
接させて切削を行う装置である。−例を第１図で説明す
ると、ワイヤＷの送出手段１０から巻取手段１１までの
間には切削ヘッド１４を構成する多溝ローラ１４０，１
４０，１４０の他に、ワイヤ張力保持用のダンサロール
機構１２や往復行付与手段１３等において非常に多くの
補助ローラ１２０・・・、１３０・・・、１４１が設け
られている。
接させて切削を行う装置である。−例を第１図で説明す
ると、ワイヤＷの送出手段１０から巻取手段１１までの
間には切削ヘッド１４を構成する多溝ローラ１４０，１
４０，１４０の他に、ワイヤ張力保持用のダンサロール
機構１２や往復行付与手段１３等において非常に多くの
補助ローラ１２０・・・、１３０・・・、１４１が設け
られている。
補助ローラは概ね第５図のような形状をしており、第６
図にもみるように、周面にワイヤＷを案内するようワイ
ヤ溝２が形成されている。図中、３は枢軸が貫入する軸
孔である。
図にもみるように、周面にワイヤＷを案内するようワイ
ヤ溝２が形成されている。図中、３は枢軸が貫入する軸
孔である。
上記補助ローラ１２０・・・、１３０，１４１の主用途
はワイヤＷの案内であるにもかかわらず、ワイヤソーの
安定な運転にも非常に大きな影響力を有している。即ち
、第７図にみる如く補助ローラｌが摩耗してくると、ワ
イヤＷの通線（走行）のバランスが崩れて、切削条件を
変動させたり、甚だしい場合は断線事故につながるとい
う問題があった。一般に第１図の如くマルチワイヤソー
マシンは一度に数百の切削を行う性能を有しているが、
そのため運転中のトラブルは数百の製品総てに及ぶこと
になる。
はワイヤＷの案内であるにもかかわらず、ワイヤソーの
安定な運転にも非常に大きな影響力を有している。即ち
、第７図にみる如く補助ローラｌが摩耗してくると、ワ
イヤＷの通線（走行）のバランスが崩れて、切削条件を
変動させたり、甚だしい場合は断線事故につながるとい
う問題があった。一般に第１図の如くマルチワイヤソー
マシンは一度に数百の切削を行う性能を有しているが、
そのため運転中のトラブルは数百の製品総てに及ぶこと
になる。
したがって、マルチワイヤソーマシンの運転時には非常
に厳格に補助ローラ１２０・・・、１３０・・・、１４
１を管理せねばならない。その管理は、補助ローラに関
わるワイヤＷの運転中の挙動を細かく監視しなければな
らないため、他の切削装置に比ベマルチワイヤソーマシ
ンは作業員１人あたりの装置運転台数が少ないという問
題もあった。
に厳格に補助ローラ１２０・・・、１３０・・・、１４
１を管理せねばならない。その管理は、補助ローラに関
わるワイヤＷの運転中の挙動を細かく監視しなければな
らないため、他の切削装置に比ベマルチワイヤソーマシ
ンは作業員１人あたりの装置運転台数が少ないという問
題もあった。
また、マルチワイヤソーマシンは、補助ローラの数が非
常に多いため、摩耗による補助ローラの交換がランニン
グコストの高さの面でも交換作業による稼動率低下の面
でも問題点になっていた。
常に多いため、摩耗による補助ローラの交換がランニン
グコストの高さの面でも交換作業による稼動率低下の面
でも問題点になっていた。
そこで、本発明は切削条件の変動や断線事故を抑えて製
品歩留まりを向上させるとともに、作業員１人あたりの
装置運転台数を増やし、運転中の監視時間を短縮させ、
かつランニングコストを低減し、装置稼動率を高めるこ
とのできるワイヤソーマシン用補助ローラを従供するこ
とを目的とする。
品歩留まりを向上させるとともに、作業員１人あたりの
装置運転台数を増やし、運転中の監視時間を短縮させ、
かつランニングコストを低減し、装置稼動率を高めるこ
とのできるワイヤソーマシン用補助ローラを従供するこ
とを目的とする。
本発明者らは、補助ローラのワイヤ溝の摩耗とワイヤソ
ーの連綿安定性との関係について詳細に調査した結果、
以下のことが明らかとなった。
ーの連綿安定性との関係について詳細に調査した結果、
以下のことが明らかとなった。
従来の補助ローラにおいてワイヤソーの通線が不安定に
なるのは第７図の摩耗形態にある時である。図にみるよ
うに、溝の摩耗がほぼワイヤ径ｄと等しい幅で深くなる
と、新たに摩耗によってできた溝部分の側面２０がワイ
ヤＷに接触するためにひっかかりを生じ、補助ローラ本
来の目的である滑らかな回転によるワイヤＷの案内が不
可能になって通線の不安定状態が生じるのである。
なるのは第７図の摩耗形態にある時である。図にみるよ
うに、溝の摩耗がほぼワイヤ径ｄと等しい幅で深くなる
と、新たに摩耗によってできた溝部分の側面２０がワイ
ヤＷに接触するためにひっかかりを生じ、補助ローラ本
来の目的である滑らかな回転によるワイヤＷの案内が不
可能になって通線の不安定状態が生じるのである。
上記の摩耗状態が生じるのは、従来の補助ローラの形状
自体に原因がある。即ち、従来の補助ローラは第６図の
如くワイヤ溝がほぼ純粋な７字形であるため、ワイヤＷ
が一定位置で溝周面と接する。そのため、ワイヤＷが接
する部分に摩耗溝が生じ、−旦摩耗溝が生じると摩耗が
溝深さ方向へ進行してゆき、第７図の如き摩耗状態にな
るのである。
自体に原因がある。即ち、従来の補助ローラは第６図の
如くワイヤ溝がほぼ純粋な７字形であるため、ワイヤＷ
が一定位置で溝周面と接する。そのため、ワイヤＷが接
する部分に摩耗溝が生じ、−旦摩耗溝が生じると摩耗が
溝深さ方向へ進行してゆき、第７図の如き摩耗状態にな
るのである。
したがって、補助ローラのワイヤ溝の溝底の幅をワイヤ
径よりも十分に広く取り、溝内でのワイヤの横移動にあ
る程度の自由を与えてやれば、第７図の如き摩耗状態は
発生しなくなる。
径よりも十分に広く取り、溝内でのワイヤの横移動にあ
る程度の自由を与えてやれば、第７図の如き摩耗状態は
発生しなくなる。
そこで、本発明は、第１図に示すように、被加工物Ｃに
対してワイヤＷを摺接させて切削を行うワイヤソーマシ
ンがワイヤｗｔ−複数本のローラ１４０．１４０．１４
０間に幾重に巻回させて切削ヘッド１４を構成しており
、切削ヘッド１４とワイヤＷの送出手段ｌＯおよび巻取
手段１１との間に多数設定され周面にはワイヤＷを案内
するワイヤ溝が形成された補助ローラ１２０・・・、１
３０・・・、１４１を前提技術とし、まず第２図（ａ）
に示す如く、ワイヤ溝がＶ形で、かつ溝底の曲率半径Ｒ
１がワイヤ半径「の５倍以上（Ｒ，≧５ｒ）であること
を特徴とするワイヤソーマシン用補助ローラを第１の要
旨とする。
対してワイヤＷを摺接させて切削を行うワイヤソーマシ
ンがワイヤｗｔ−複数本のローラ１４０．１４０．１４
０間に幾重に巻回させて切削ヘッド１４を構成しており
、切削ヘッド１４とワイヤＷの送出手段ｌＯおよび巻取
手段１１との間に多数設定され周面にはワイヤＷを案内
するワイヤ溝が形成された補助ローラ１２０・・・、１
３０・・・、１４１を前提技術とし、まず第２図（ａ）
に示す如く、ワイヤ溝がＶ形で、かつ溝底の曲率半径Ｒ
１がワイヤ半径「の５倍以上（Ｒ，≧５ｒ）であること
を特徴とするワイヤソーマシン用補助ローラを第１の要
旨とする。
また、第２図（ｂ）に示す如く、ワイヤ溝がＵ形で、溝
底の幅Ａ２および溝開口幅Ｂ２がワイヤ直径ｄの３倍以
上であり、かつ溝底の曲率半径Ｒ１がワイヤ半径ｒの５
倍以上（Ａ ｚ≧３ｄ、Ｂｚ ≧３ｄ。
底の幅Ａ２および溝開口幅Ｂ２がワイヤ直径ｄの３倍以
上であり、かつ溝底の曲率半径Ｒ１がワイヤ半径ｒの５
倍以上（Ａ ｚ≧３ｄ、Ｂｚ ≧３ｄ。
Ｒ２≧５ｒ）であることを特徴とするワイヤソーマシン
用補助ローラを第２の要旨とする。
用補助ローラを第２の要旨とする。
さらに、第２図（Ｃ）に示す如く、ワイヤ溝が円弧形で
溝半径Ｒ１がワイヤ半径ｒの５倍以上（Ｒ。
溝半径Ｒ１がワイヤ半径ｒの５倍以上（Ｒ。
≧５ｒ）であることを特徴とするワイヤソーマシン用補
助ローラを第３の要旨とする。
助ローラを第３の要旨とする。
さらにまた、第２図（ｄ）に示す如く、ワイヤ溝が逆台
形で溝底の幅Ａ４がワイヤ直径ｄの３倍以上（ｐ−４≧
３ｄ）であることを特徴とするワイヤソーマシン用補助
ローラを第４の要旨とする。
形で溝底の幅Ａ４がワイヤ直径ｄの３倍以上（ｐ−４≧
３ｄ）であることを特徴とするワイヤソーマシン用補助
ローラを第４の要旨とする。
本発明のワイヤソーマシン用補助ローラは、第２図（ａ
）〜（ｅ）に示すように、ワイヤ溝の底部の輻Ａをワイ
ヤ径ｄに比べて広く取り、かつ／または溝底の曲率半径
Ｒをワイヤ半径「よりも十分大きくしたので、第３図の
如く通線中のワイヤＷが左右に自由に横移動できるため
、第４図のようなかなり幅のある摩耗溝１５を形成する
。したがって、従来の補助ローラのような摩耗溝側面と
ワイヤＷとの強い接触が起こらず通線が安定する。さら
に、摩耗が溝深さ方向だけでなく幅方向にも分散するた
め、ローラの摩耗による直径減少は従来に比べてはるか
に少なく、ローラの寿命が延びる。
）〜（ｅ）に示すように、ワイヤ溝の底部の輻Ａをワイ
ヤ径ｄに比べて広く取り、かつ／または溝底の曲率半径
Ｒをワイヤ半径「よりも十分大きくしたので、第３図の
如く通線中のワイヤＷが左右に自由に横移動できるため
、第４図のようなかなり幅のある摩耗溝１５を形成する
。したがって、従来の補助ローラのような摩耗溝側面と
ワイヤＷとの強い接触が起こらず通線が安定する。さら
に、摩耗が溝深さ方向だけでなく幅方向にも分散するた
め、ローラの摩耗による直径減少は従来に比べてはるか
に少なく、ローラの寿命が延びる。
以下、本発明のワイヤソーマシン用補助ローラについて
その実施例を数列挙げる。ます、第２図（ａ）に示すワ
イヤソーマシン用補助ローラは、ワイ ′ヤ溝がＶ
形で、かつ溝底の曲率半径Ｒ３がワイヤ半径ｒの５倍以
上になるよう形成されている。
その実施例を数列挙げる。ます、第２図（ａ）に示すワ
イヤソーマシン用補助ローラは、ワイ ′ヤ溝がＶ
形で、かつ溝底の曲率半径Ｒ３がワイヤ半径ｒの５倍以
上になるよう形成されている。
次に、第２図（ｂ）に示すワイヤソーマシン用補助ロー
ラは、ワイヤ溝がＵ形で溝底の幅Ａ２および溝開口幅Ｂ
２がワイヤ直径ｄの３倍以上であり、かつ溝底の曲率半
径Ｒｔがワイヤ半径ｒの５倍以上になるよう形成されて
いる。
ラは、ワイヤ溝がＵ形で溝底の幅Ａ２および溝開口幅Ｂ
２がワイヤ直径ｄの３倍以上であり、かつ溝底の曲率半
径Ｒｔがワイヤ半径ｒの５倍以上になるよう形成されて
いる。
第２図（Ｃ）に示すワイヤソーマシン用補助コーラは、
ワイヤ溝が円弧状で円弧の曲率半径Ｒ３がワイヤ半径「
の５倍以上になるように形成されている。
ワイヤ溝が円弧状で円弧の曲率半径Ｒ３がワイヤ半径「
の５倍以上になるように形成されている。
第２図（ｄｌに示すワイヤソーマシン用補助ローラは、
ワイヤ溝が逆台形で溝底の幅Ａ４がワイヤ直径ｄの３倍
以上なるよう形成されている。
ワイヤ溝が逆台形で溝底の幅Ａ４がワイヤ直径ｄの３倍
以上なるよう形成されている。
第２図（ｅ）に示すワイヤソーマシン用補助ローラは、
ワイヤ溝が凹形で溝底の幅Ａｓがワイヤ直径ｄの３倍以
上になるよう形成されており、溝底と溝壁とが出合う隅
部にはワイヤの横滑りを促すようにアールが取られてい
る。溝開口幅Ｂ、は溝底と溝壁が直角に形成されている
ためワイヤ直径ｄの３倍以上であることは明らかである
。この実施例は第２図（ｂ）、または（ｄ）の実施例の
変形例と考えることができる。
ワイヤ溝が凹形で溝底の幅Ａｓがワイヤ直径ｄの３倍以
上になるよう形成されており、溝底と溝壁とが出合う隅
部にはワイヤの横滑りを促すようにアールが取られてい
る。溝開口幅Ｂ、は溝底と溝壁が直角に形成されている
ためワイヤ直径ｄの３倍以上であることは明らかである
。この実施例は第２図（ｂ）、または（ｄ）の実施例の
変形例と考えることができる。
上記第２図（ａｌ〜（ｅ）に示す補助ローラをポリエチ
レン樹脂で作成し、第１図に示すワイヤソーマシンに取
付けて操業を行っなところ、いずれの形状の補助ローラ
についてもほぼ同等の結果が得られた。ローラの寿命は
従来の補助ローラを使用した場合に比較して約３倍とな
った。また、ワイヤの通線が安定したため、従来ワイヤ
挙動監視のため作業員１人で装置２台を運転するのがや
っとであったが、装置５台まで運転し得るようになった
。
レン樹脂で作成し、第１図に示すワイヤソーマシンに取
付けて操業を行っなところ、いずれの形状の補助ローラ
についてもほぼ同等の結果が得られた。ローラの寿命は
従来の補助ローラを使用した場合に比較して約３倍とな
った。また、ワイヤの通線が安定したため、従来ワイヤ
挙動監視のため作業員１人で装置２台を運転するのがや
っとであったが、装置５台まで運転し得るようになった
。
なお、上記実施例では補助ローラの材質にポリエチレン
を使用したが、これに限定されるものではない。
を使用したが、これに限定されるものではない。
本発明のワイヤソーマシン用補助ローラは、ワイヤ溝底
の幅をワイヤ径に比べて広く取り、かつ／または溝底の
曲率半径をワイヤ半径よりも十分大きくしたので、かな
り幅のある摩耗溝か形成され、Ｔ？耗溝側面とワイヤＷ
との強い接触が起こらず通線が安定する。そのため、操
業中のトラブルが減少して製品歩留まりを向上させるこ
とができ、運転中の装置に対する監視時間の短縮と一人
当りの装置運転台数の増加も実現することができる。
の幅をワイヤ径に比べて広く取り、かつ／または溝底の
曲率半径をワイヤ半径よりも十分大きくしたので、かな
り幅のある摩耗溝か形成され、Ｔ？耗溝側面とワイヤＷ
との強い接触が起こらず通線が安定する。そのため、操
業中のトラブルが減少して製品歩留まりを向上させるこ
とができ、運転中の装置に対する監視時間の短縮と一人
当りの装置運転台数の増加も実現することができる。
さらに、本発明によれば、ワイヤ溝の摩耗が溝深さ方向
だけでなく幅方向にも分散するので、ローラの摩耗によ
る直径減少は従来に比べてはるかに少なく、ローラの寿
命が延びる。そのため、ランニングコストを低下させる
ことができると共に、装置稼動率を向上させることもで
きる。
だけでなく幅方向にも分散するので、ローラの摩耗によ
る直径減少は従来に比べてはるかに少なく、ローラの寿
命が延びる。そのため、ランニングコストを低下させる
ことができると共に、装置稼動率を向上させることもで
きる。
第１図はワイヤソーマシンの一例を示す部分斜視図、第
２図（ａ）〜（ｅ）は本発明のワイヤソーマシン用補助
ローラのそれぞれ異なる実施例を示す部分拡大図、第３
図は第２図の補助ローラにおけるワイヤの動きを説明す
る拡大図、第４図は第２図の補助ローラの溝摩耗状態を
示す拡大図、第５図（ａｌ（ｂ）は従来のワイヤソーマ
シン用補助ローラを示す側面図および部分正面図、第６
図は従来の補助ローラの部分拡大図、第７図は第６図の
補助ローラの溝摩耗状態を示す拡大図である。 図中、ｌＯ：ワイヤ送出手段、１１：ワイヤ巻取手段、
１４：切削へンド、１２０，１３０，１４１：補助ロー
ラ、Ｇ：被加工物、Ｗ：ワイヤ。 第 ５ 図 （ａ） （ｂ） 第 ６ 図 第 ７Ｌｌｊ
２図（ａ）〜（ｅ）は本発明のワイヤソーマシン用補助
ローラのそれぞれ異なる実施例を示す部分拡大図、第３
図は第２図の補助ローラにおけるワイヤの動きを説明す
る拡大図、第４図は第２図の補助ローラの溝摩耗状態を
示す拡大図、第５図（ａｌ（ｂ）は従来のワイヤソーマ
シン用補助ローラを示す側面図および部分正面図、第６
図は従来の補助ローラの部分拡大図、第７図は第６図の
補助ローラの溝摩耗状態を示す拡大図である。 図中、ｌＯ：ワイヤ送出手段、１１：ワイヤ巻取手段、
１４：切削へンド、１２０，１３０，１４１：補助ロー
ラ、Ｇ：被加工物、Ｗ：ワイヤ。 第 ５ 図 （ａ） （ｂ） 第 ６ 図 第 ７Ｌｌｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被加工物に対してワイヤを摺接させて切削を行うワ
イヤソーマシンがワイヤを複数本のローラ間に幾重に巻
回させて切削ヘッドを形成しており、この切削ヘッドと
ワイヤの送出手段および巻取手段との間に多数設定され
、周面にはワイヤを案内するワイヤ溝が形成された補助
ローラであって、ワイヤ溝がＶ形で、かつ溝底の曲率半
径がワイヤ半径の５倍以上であることを特徴とするワイ
ヤソーマシン用補助ローラ。 ２、被加工物に対してワイヤを摺接させて切削を行うワ
イヤソーマシンが、ワイヤを複数本のローラ間に幾重に
巻回させて切削ヘッドを形成しており、この切削ヘッド
とワイヤの送出手段および巻取手段との間に多数設定さ
れ、周面にはワイヤを案内するワイヤ溝が形成された補
助ローラであって、ワイヤ溝がＵ形で、溝底の幅および
溝開口幅がワイヤ直径の３倍以上であり、かつ溝底の曲
率半径がワイヤ半径の５倍以上であることを特徴とする
ワイヤソーマシン用補助ローラ。 ３、被加工物に対してワイヤを摺接させて切削を行うワ
イヤソーマシンが、ワイヤを複数本のローラ間に幾重に
巻回させて切削ヘッドを形成しており、この切削ヘッド
とワイヤの送出手段および巻取手段との間に多数設定さ
れ、周面にはワイヤを案内するワイヤ溝が形成された補
助ローラであって、ワイヤ溝が円弧形で溝半径がワイヤ
直径の５倍以上であることを特徴とするワイヤソーマシ
ン用補助ローラ。 ４、被加工物に対してワイヤを摺接させて切削を行うワ
イヤソーマシンが、ワイヤを複数本のローラ間に幾重に
巻回させて切削ヘッドを形成しており、この切削ヘッド
とワイヤの送出手段および巻取手段との間に多数設定さ
れ、周面にはワイヤを案内するワイヤ溝が形成された補
助ローラであって、ワイヤ溝が逆台形で溝底の幅がワイ
ヤ直径の３倍以上であることを特徴とするワイヤソーマ
シン用補助ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14540988A JPH01316163A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | ワイヤソーマシン用補助ローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14540988A JPH01316163A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | ワイヤソーマシン用補助ローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01316163A true JPH01316163A (ja) | 1989-12-21 |
Family
ID=15384590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14540988A Pending JPH01316163A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | ワイヤソーマシン用補助ローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01316163A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694366A1 (en) * | 1994-07-29 | 1996-01-31 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Wire saw apparatus |
| WO1996010470A1 (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-11 | Nippei Toyama Corporation | Wire saw |
| CN103201070A (zh) * | 2011-04-13 | 2013-07-10 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP14540988A patent/JPH01316163A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0694366A1 (en) * | 1994-07-29 | 1996-01-31 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Wire saw apparatus |
| US5907988A (en) * | 1994-07-29 | 1999-06-01 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wire saw apparatus |
| WO1996010470A1 (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-11 | Nippei Toyama Corporation | Wire saw |
| CN103201070A (zh) * | 2011-04-13 | 2013-07-10 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
| CN103201070B (zh) * | 2011-04-13 | 2015-03-25 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
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