JP2767557B2 - 液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法Info
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- JP2767557B2 JP2767557B2 JP28795494A JP28795494A JP2767557B2 JP 2767557 B2 JP2767557 B2 JP 2767557B2 JP 28795494 A JP28795494 A JP 28795494A JP 28795494 A JP28795494 A JP 28795494A JP 2767557 B2 JP2767557 B2 JP 2767557B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルを構成する基
板の内面に、内部にカラーフィルタを介在させた二層の
シート状の電極を形成する液晶表示装置用カラーフィル
タ付基板の製造方法に関するものである。
板の内面に、内部にカラーフィルタを介在させた二層の
シート状の電極を形成する液晶表示装置用カラーフィル
タ付基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】単純マトリクス駆動方式の液晶カラー表
示装置において、表示性能を向上させるためにはカラー
フィルタ上に液晶駆動用のシート状の透明電極を設ける
必要がある。また、液晶駆動のデューティ比を大きくす
るには、その透明電極のシート抵抗をできるだけ小さく
することが要求される。
示装置において、表示性能を向上させるためにはカラー
フィルタ上に液晶駆動用のシート状の透明電極を設ける
必要がある。また、液晶駆動のデューティ比を大きくす
るには、その透明電極のシート抵抗をできるだけ小さく
することが要求される。
【０００３】以上の要求を満たすために、例えば図８に
示すように、二層構造のシート状電極でカラーフィルタ
を挟み込んで、その間をコンタクトホールを通して接続
することが提案されている。
示すように、二層構造のシート状電極でカラーフィルタ
を挟み込んで、その間をコンタクトホールを通して接続
することが提案されている。
【０００４】すなわち、まずガラス基板（図示せず）上
に一層目のシート状の透明電極１ａを形成し（図８の
（ａ））、その上にコンタクトホール形成用のレジスト
３を設ける（図８の（ｂ））。そして、その上にカラー
フィルタ４を形成した後（図８（ｃ））、上記レジスト
３を除去してコンタクトホール５を形成する（図８の
（ｄ））。次に、その上から二層目のシート状の透明電
極１ｂを形成する（図８の（ｅ））。
に一層目のシート状の透明電極１ａを形成し（図８の
（ａ））、その上にコンタクトホール形成用のレジスト
３を設ける（図８の（ｂ））。そして、その上にカラー
フィルタ４を形成した後（図８（ｃ））、上記レジスト
３を除去してコンタクトホール５を形成する（図８の
（ｄ））。次に、その上から二層目のシート状の透明電
極１ｂを形成する（図８の（ｅ））。
【０００５】上記のような構造の液晶セルにおいては、
カラーフィルタ４上部の透明電極１ｂはコンタクトホー
ル５を介して下部の透明電極１ａと電気的に接続されて
おり、二層の透明電極１ａと１ｂが並列に接続された構
成となっている。そして、上部の透明電極１ｂのシート
抵抗を下げなくても、下部の透明電極１ａに抵抗値の低
いＩＴＯ膜等を用いることにより、見掛け上の抵抗値が
低くなり、二層共同程度にすることができる。
カラーフィルタ４上部の透明電極１ｂはコンタクトホー
ル５を介して下部の透明電極１ａと電気的に接続されて
おり、二層の透明電極１ａと１ｂが並列に接続された構
成となっている。そして、上部の透明電極１ｂのシート
抵抗を下げなくても、下部の透明電極１ａに抵抗値の低
いＩＴＯ膜等を用いることにより、見掛け上の抵抗値が
低くなり、二層共同程度にすることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして製造された液晶表示装置用カラーフィルタ付
基板においては、図８の（ｆ）に示すＡ部のように、コ
ンタクトホール５に接続不良部が発生する場合があり、
この場合二層の透明電極１ａ，１ｂが接続不良となって
その部分の上側の透明電極１ｂに適正な駆動電圧が伝達
されず、このため、結果として表示部内に不灯部分が発
生するという問題がある。
ようにして製造された液晶表示装置用カラーフィルタ付
基板においては、図８の（ｆ）に示すＡ部のように、コ
ンタクトホール５に接続不良部が発生する場合があり、
この場合二層の透明電極１ａ，１ｂが接続不良となって
その部分の上側の透明電極１ｂに適正な駆動電圧が伝達
されず、このため、結果として表示部内に不灯部分が発
生するという問題がある。
【０００７】すなわち、上記の製造方法では、コンタク
トホール５の形成をカラーフィルタ４の電着形成時にレ
ジスト３で穴を空けることにより行っているため、レジ
スト３を除去したカラーフィルタ４の断面形状が図８に
示すように逆スロープ状になり、このカラーフィルタ４
上にスパッタリング法で透明電極１ｂとなるＩＴＯ膜等
を成膜する際にコンタクトホール５内側の成膜が十分行
われず、上記のように接続不良が発生してしまう。
トホール５の形成をカラーフィルタ４の電着形成時にレ
ジスト３で穴を空けることにより行っているため、レジ
スト３を除去したカラーフィルタ４の断面形状が図８に
示すように逆スロープ状になり、このカラーフィルタ４
上にスパッタリング法で透明電極１ｂとなるＩＴＯ膜等
を成膜する際にコンタクトホール５内側の成膜が十分行
われず、上記のように接続不良が発生してしまう。
【０００８】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、二層のシート状電極間の接続が確実な
ものとなり、不灯画素が発生することのない液晶表示装
置用カラーフィルタ付基板の製造方法を提供することを
目的としている。
なされたもので、二層のシート状電極間の接続が確実な
ものとなり、不灯画素が発生することのない液晶表示装
置用カラーフィルタ付基板の製造方法を提供することを
目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る液晶表示装
置用カラーフィルタ付基板の製造方法は、液晶セルを構
成する基板の内面に、内部にカラーフィルタを介在させ
た二層のシート状の電極を形成するカラーフィルタ付基
板の製造方法において、前記基板上に形成する第１のシ
ート状の電極にスルーホールを設け、このスルーホール
の一部をまたいで覆うようにコンタクトホール形成用の
レジストを形成し、その上にカラーフィルタを形成した
後、前記レジストを除去してコンタクトホールを形成
し、さらにその上に第２のシート状の電極を成膜形成
し、前記コンタクトホールを通して前記第１のシート状
の電極と第２のシート状の電極を接続するようにしたも
のである。
置用カラーフィルタ付基板の製造方法は、液晶セルを構
成する基板の内面に、内部にカラーフィルタを介在させ
た二層のシート状の電極を形成するカラーフィルタ付基
板の製造方法において、前記基板上に形成する第１のシ
ート状の電極にスルーホールを設け、このスルーホール
の一部をまたいで覆うようにコンタクトホール形成用の
レジストを形成し、その上にカラーフィルタを形成した
後、前記レジストを除去してコンタクトホールを形成
し、さらにその上に第２のシート状の電極を成膜形成
し、前記コンタクトホールを通して前記第１のシート状
の電極と第２のシート状の電極を接続するようにしたも
のである。
【００１０】
【作用】本発明の液晶表示装置用カラーフィルタ付基板
の製造方法においては、基板上の第１のシート状の電極
に設けたスルーホールの一部をまたいで覆うようにコン
タクトホール形成用のレジストを設けているので、カラ
ーフィルタを形成した時にその断面形状がスロープ状に
なり、その上側に形成する第２のシート状の電極が確実
に上記第１のシート状の電極と接続する。
の製造方法においては、基板上の第１のシート状の電極
に設けたスルーホールの一部をまたいで覆うようにコン
タクトホール形成用のレジストを設けているので、カラ
ーフィルタを形成した時にその断面形状がスロープ状に
なり、その上側に形成する第２のシート状の電極が確実
に上記第１のシート状の電極と接続する。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示す斜視図であ
り、図８と同一符号は同一構成要素を示している。また
図２〜図７はコンタクトホール構造の種々の例を示した
ものであり、各図中（ａ）は平面図、（ｂ）はその縦断
面図、（ｃ）は横断面図である。
り、図８と同一符号は同一構成要素を示している。また
図２〜図７はコンタクトホール構造の種々の例を示した
ものであり、各図中（ａ）は平面図、（ｂ）はその縦断
面図、（ｃ）は横断面図である。
【００１２】本実施例は、カラーフィルタ４を挟み込む
二層の透明電極１ａ，１ｂ間を接続するためのコンタク
トホール５を形成する際に、その断面形状をスロープ状
にして、二層の透明電極１ａ，１ｂの接続を確実にする
ものである。具体的には、図２の（ｃ）のＢ部に示すよ
うに、ＩＴＯのストライプパターン（透明電極１ａ）上
に電着法でカラーフィルタ４を形成する場合、パターン
端面方向に対してカラーフィルタ４がはみ出すことが知
られており、この部分の断面がスロープ状になることを
利用したものである。
二層の透明電極１ａ，１ｂ間を接続するためのコンタク
トホール５を形成する際に、その断面形状をスロープ状
にして、二層の透明電極１ａ，１ｂの接続を確実にする
ものである。具体的には、図２の（ｃ）のＢ部に示すよ
うに、ＩＴＯのストライプパターン（透明電極１ａ）上
に電着法でカラーフィルタ４を形成する場合、パターン
端面方向に対してカラーフィルタ４がはみ出すことが知
られており、この部分の断面がスロープ状になることを
利用したものである。
【００１３】以上の原理を利用し、一層目の透明電極中
にスリット形状の穴を設けることによって、コンタクト
ホール内部にスロープ状のカラーフィルタ断面を作り出
すことが本実施例の重要な点になっている。以下、図１
について新コンタクトホール形成の過程を説明する。
にスリット形状の穴を設けることによって、コンタクト
ホール内部にスロープ状のカラーフィルタ断面を作り出
すことが本実施例の重要な点になっている。以下、図１
について新コンタクトホール形成の過程を説明する。
【００１４】図１の（ａ） 一層目の第１のシート状の透明電極１ａとしてシート抵
抗が１０Ω／cm2 程度のＩＴＯ膜を形成したガラス基板
（図示せず）をフォトリソグラフ法によりストライプ状
にパターニングする。その際、対向側パターンのスペー
ス部に当たる部分に２０μｍ幅程度のスルーホール（ス
リット状穴）２が空くようにフォトマスクを設計してお
く。
抗が１０Ω／cm2 程度のＩＴＯ膜を形成したガラス基板
（図示せず）をフォトリソグラフ法によりストライプ状
にパターニングする。その際、対向側パターンのスペー
ス部に当たる部分に２０μｍ幅程度のスルーホール（ス
リット状穴）２が空くようにフォトマスクを設計してお
く。
【００１５】図１の（ｂ） 上記スルーホール２の一部をまたいで覆うようにコンタ
クトホール形成用のレジスト３をフォトリソグラフ法に
より形成する。ここでは、スルーホール２の片側をまた
ぐように形成する。
クトホール形成用のレジスト３をフォトリソグラフ法に
より形成する。ここでは、スルーホール２の片側をまた
ぐように形成する。
【００１６】図１の（ｃ） 上記コンタクトホール形成用のレジスト３を付けたまま
カラーフィルタ４を電着法により形成する。この時、レ
ジスト３の付いていないスルーホール２の反対側の断面
は、図に示すようにカラーフィルタ４がはみ出して緩や
かなスロープ状となる。
カラーフィルタ４を電着法により形成する。この時、レ
ジスト３の付いていないスルーホール２の反対側の断面
は、図に示すようにカラーフィルタ４がはみ出して緩や
かなスロープ状となる。
【００１７】図１の（ｄ） 上記カラーフィルタ４を２５０℃×２時間で本焼成した
後、可性ソーダによりレジスト３を除去してコンタクト
ホール５を形成する。これにより、カラーフィルタ４の
下から一層目の透明電極１ａがむき出しになる部分が作
られる。
後、可性ソーダによりレジスト３を除去してコンタクト
ホール５を形成する。これにより、カラーフィルタ４の
下から一層目の透明電極１ａがむき出しになる部分が作
られる。
【００１８】図１の（ｅ） 上記カラーフィルタ４の上に二層目の第２のシート状の
透明電極１ｂとなるＩＴＯ膜をスパッタリング法により
成膜形成する。この時、上記カラーフィルタ４の下から
むき出しになった一層目の透明電極１ａと二層目の透明
電極１ｂがスロープ状断面となったカラーフィルタ４の
上面を通して接続される。
透明電極１ｂとなるＩＴＯ膜をスパッタリング法により
成膜形成する。この時、上記カラーフィルタ４の下から
むき出しになった一層目の透明電極１ａと二層目の透明
電極１ｂがスロープ状断面となったカラーフィルタ４の
上面を通して接続される。
【００１９】その後、フォトリソグラフ法により二層目
の透明電極１ｂを一層目の透明電極１ａと並列になるよ
うにストライプ状にパターニングし、これにより本実施
例のコンタクトホール５の形成が完了する。
の透明電極１ｂを一層目の透明電極１ａと並列になるよ
うにストライプ状にパターニングし、これにより本実施
例のコンタクトホール５の形成が完了する。
【００２０】このようにして、一層目の透明電極１ａと
二層目の透明電極１ｂを上記のコンタクトホール５を通
して接続することで、二層の透明電極１ａ，１ｂ間の接
続は確実なものとなる。したがって、単純マトリクス方
式の液晶表示装置として不灯画素が発生することのない
ものを安定して製造することが可能となる。
二層目の透明電極１ｂを上記のコンタクトホール５を通
して接続することで、二層の透明電極１ａ，１ｂ間の接
続は確実なものとなる。したがって、単純マトリクス方
式の液晶表示装置として不灯画素が発生することのない
ものを安定して製造することが可能となる。
【００２１】また、コンタクトホール５の構造を他に図
２〜図７において示したが、実際にはカラーフィルタ４
の厚みは１μｍ程度であり、カラーフィルタ４のスロー
プ状になった部分の横幅は５μｍ程度である。つまり、
この部分は縦・横比＝１：５の緩やかな傾斜となってい
る。
２〜図７において示したが、実際にはカラーフィルタ４
の厚みは１μｍ程度であり、カラーフィルタ４のスロー
プ状になった部分の横幅は５μｍ程度である。つまり、
この部分は縦・横比＝１：５の緩やかな傾斜となってい
る。
【００２２】従来例で示した方法では、このスロープ状
になった部分の裏側（逆スロープ状部分）を使用して二
層の電極１ａ，１ｂ間の接続を行っているので、不灯画
素の発生を完全に防ぐことはできない。また従来例の方
法では、コンタクトホール形成用のレジスト３の高さに
対してカラーフィルタ４の厚みの方が上まわると、レジ
スト３の除去が不充分となるため、カラーフィルタ４の
両サイドに開口部を設けることになる。しかし、この方
法は二層目の透明電極１ｂのパターニングの際のサイド
エッチングに非常に弱いという問題がある。
になった部分の裏側（逆スロープ状部分）を使用して二
層の電極１ａ，１ｂ間の接続を行っているので、不灯画
素の発生を完全に防ぐことはできない。また従来例の方
法では、コンタクトホール形成用のレジスト３の高さに
対してカラーフィルタ４の厚みの方が上まわると、レジ
スト３の除去が不充分となるため、カラーフィルタ４の
両サイドに開口部を設けることになる。しかし、この方
法は二層目の透明電極１ｂのパターニングの際のサイド
エッチングに非常に弱いという問題がある。
【００２３】本発明では、例えば図２，図３，図５，図
７に示す構造にすることで、必然的に開口部はパターン
上部内側となり、サイドエッチングに強い構造とするこ
とが可能になる。また、図２〜図５，図７に示す構造と
することにより、仮に一部のコンタクトホール５で接続
不良が発生した場合でも、隣接する他の近傍のコンタク
トホール５を通して駆動電圧を伝達することができ、よ
り完全に不灯画素の発生を防止することが可能になる。
７に示す構造にすることで、必然的に開口部はパターン
上部内側となり、サイドエッチングに強い構造とするこ
とが可能になる。また、図２〜図５，図７に示す構造と
することにより、仮に一部のコンタクトホール５で接続
不良が発生した場合でも、隣接する他の近傍のコンタク
トホール５を通して駆動電圧を伝達することができ、よ
り完全に不灯画素の発生を防止することが可能になる。
【００２４】なお、図２はレジスト３を図１と同様スリ
ット状のスルーホール２の片側をまたぐように設けてコ
ンタクトホール５を形成した例、図３はレジスト３を半
円状の二つのスルーホール２の両側を覆うように設けて
コンタクトホール５を形成した例、図４は同じく半円状
の二つのスルーホール２の外側にレジスト３を設けてコ
ンタクトホール５を形成した例をそれぞれ示している。
ット状のスルーホール２の片側をまたぐように設けてコ
ンタクトホール５を形成した例、図３はレジスト３を半
円状の二つのスルーホール２の両側を覆うように設けて
コンタクトホール５を形成した例、図４は同じく半円状
の二つのスルーホール２の外側にレジスト３を設けてコ
ンタクトホール５を形成した例をそれぞれ示している。
【００２５】また、図５はレジスト３をスリット状のス
ルーホール２の中央部で両側を覆うように設けてコンタ
クトホール５を形成した例、図６は同じくスリット状の
スルーホール２の両端部から外側に二つのレジスト３を
設けてコンタクトホール５を形成した例、図７はコ字状
のスルーホール２の中央部の片側をまたぐようにレジス
ト３を設けてコンタクトホール５を形成した例をそれぞ
れ示している。
ルーホール２の中央部で両側を覆うように設けてコンタ
クトホール５を形成した例、図６は同じくスリット状の
スルーホール２の両端部から外側に二つのレジスト３を
設けてコンタクトホール５を形成した例、図７はコ字状
のスルーホール２の中央部の片側をまたぐようにレジス
ト３を設けてコンタクトホール５を形成した例をそれぞ
れ示している。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、一層目
のシート状の電極に設けたスルーホールの一部をまたぐ
ようにレジストを設けてコンタクトホールを形成するよ
うにしたため、カラーフィルタを形成した時にその断面
形状がスロープ状になり、二層のシート状電極間の接続
が確実なものとなり、不灯画素が発生することのない液
晶表示装置を安定して製造することが可能になるという
効果がある。
のシート状の電極に設けたスルーホールの一部をまたぐ
ようにレジストを設けてコンタクトホールを形成するよ
うにしたため、カラーフィルタを形成した時にその断面
形状がスロープ状になり、二層のシート状電極間の接続
が確実なものとなり、不灯画素が発生することのない液
晶表示装置を安定して製造することが可能になるという
効果がある。
【図１】 本発明の一実施例を示す斜視図
【図２】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図３】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図４】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図５】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図６】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図７】 コンタクトホールの他の構造例を示す説明図
【図８】 従来例を示す斜視図
１ａ 透明電極 １ｂ 透明電極 ２ スルーホール ３ レジスト ４ カラーフィルタ ５ コンタクトホール
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶セルを構成する基板の内面に、内部
にカラーフィルタを介在させた二層のシート状の電極を
形成するカラーフィルタ付基板の製造方法において、前
記基板上に形成する第１のシート状の電極にスルーホー
ルを設け、このスルーホールの一部をまたいで覆うよう
にコンタクトホール形成用のレジストを形成し、その上
にカラーフィルタを形成した後、前記レジストを除去し
てコンタクトホールを形成し、さらにその上に第２のシ
ート状の電極を成膜形成し、前記コンタクトホールを通
して前記第１のシート状の電極と第２のシート状の電極
を接続することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィ
ルタ付基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28795494A JP2767557B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28795494A JP2767557B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146406A JPH08146406A (ja) | 1996-06-07 |
| JP2767557B2 true JP2767557B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=17723897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28795494A Expired - Lifetime JP2767557B2 (ja) | 1994-11-22 | 1994-11-22 | 液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767557B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4869789B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2012-02-08 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 表示装置 |
-
1994
- 1994-11-22 JP JP28795494A patent/JP2767557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08146406A (ja) | 1996-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980210 |