JP3141374B2 - 透明ウェーハのアライメント装置 - Google Patents
透明ウェーハのアライメント装置Info
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は透明ウェーハのアラ
イメント装置に係り、特にパターンが記録されているガ
ラス等の透明ウェーハをオリフラ又はノッチ等を検出す
ることにより所望の角度方向に位置合わせする透明ウェ
ーハのアライメント装置に関する。
イメント装置に係り、特にパターンが記録されているガ
ラス等の透明ウェーハをオリフラ又はノッチ等を検出す
ることにより所望の角度方向に位置合わせする透明ウェ
ーハのアライメント装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェーハには結晶方位を示
した平坦な面のオリフラ（オリエンテーション フラッ
ト）又は切り欠きのノッチが形成されている。半導体ウ
ェーハ上に形成されたＩＣやＬＳＩ等の電子回路ダイの
電気的特性を試験するプローバでは、このオリフラやノ
ッチによって半導体ウェーハの角度方向を検出し、この
角度方向を一定方向にプリアライメラントする。尚、プ
ローバでは、半導体ウェーハを検査ステージ上に載置さ
せる前におおよその角度に位置合わせすることをプリア
ライメントと呼んでいる。
した平坦な面のオリフラ（オリエンテーション フラッ
ト）又は切り欠きのノッチが形成されている。半導体ウ
ェーハ上に形成されたＩＣやＬＳＩ等の電子回路ダイの
電気的特性を試験するプローバでは、このオリフラやノ
ッチによって半導体ウェーハの角度方向を検出し、この
角度方向を一定方向にプリアライメラントする。尚、プ
ローバでは、半導体ウェーハを検査ステージ上に載置さ
せる前におおよその角度に位置合わせすることをプリア
ライメントと呼んでいる。
【０００３】従来、プリアライメントする方法には幾つ
かの種類があるが、現在では半導体ウェーハのエッジ部
に幅が狭い長方形の光束を照射するとともに、半導体ウ
ェーハを回転させ、その透過光量が半導体ウェーハのエ
ッジ部の一部であるオリフラやノッチによって変化する
ことを利用してプリアライメントするのが一般的であ
る。
かの種類があるが、現在では半導体ウェーハのエッジ部
に幅が狭い長方形の光束を照射するとともに、半導体ウ
ェーハを回転させ、その透過光量が半導体ウェーハのエ
ッジ部の一部であるオリフラやノッチによって変化する
ことを利用してプリアライメントするのが一般的であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
ウェーハのように不透明部材のウェーハでは、上述の方
法でプリアライメントが可能であるが、素材がガラス等
の透明部材である透明ウェーハの場合にはオリフラやノ
ッチによる透過光量の変化が少なく、特に、透明ウェー
ハの表面にパターンが形成されている場合には、このパ
ターンの有無による光量変化が大きく影響し、上述の方
法ではオリフラやノッチの検出が困難である。
ウェーハのように不透明部材のウェーハでは、上述の方
法でプリアライメントが可能であるが、素材がガラス等
の透明部材である透明ウェーハの場合にはオリフラやノ
ッチによる透過光量の変化が少なく、特に、透明ウェー
ハの表面にパターンが形成されている場合には、このパ
ターンの有無による光量変化が大きく影響し、上述の方
法ではオリフラやノッチの検出が困難である。
【０００５】このため、透明ウェーハのエッジにローラ
を押し当てて透明ウェーハを回転させ、ローラの位置変
化によりオリフラ又はノッチを検出するメカ式プリアラ
イメントという方法も考えられるが、この方法だと、ウ
ェーハにダメージを与える等の問題がある。本発明はこ
のような事情に鑑みてなされたもので、オリフラ又はノ
ッチを非接触により確実に検出して透明ウェーハのアラ
イメントを行う透明ウェーハのアライメント装置を提供
することを目的とする。
を押し当てて透明ウェーハを回転させ、ローラの位置変
化によりオリフラ又はノッチを検出するメカ式プリアラ
イメントという方法も考えられるが、この方法だと、ウ
ェーハにダメージを与える等の問題がある。本発明はこ
のような事情に鑑みてなされたもので、オリフラ又はノ
ッチを非接触により確実に検出して透明ウェーハのアラ
イメントを行う透明ウェーハのアライメント装置を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、透明ウェーハに形成されたオリフラ又はノ
ッチを検出し、該オリフラ又はノッチの位置に基づいて
前記透明ウェーハの位置合わせを行うアライメント装置
において、前記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、
前記駆動手段によって回転する前記透明ウェーハのオリ
フラ又はノッチが通過する位置に前記透明ウェーハの表
面に対して入射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射
する偏光照明手段と、前記偏光照明手段によって照射さ
れ前記透明ウェーハによって反射された前記ｓ偏光を検
出する受光手段と、前記受光手段によって検出したｓ偏
光の光量に基づいて前記透明ウェーハのオリフラ又はノ
ッチを検出するオリフラ検出手段と、前記オリフラ検出
手段の検出結果に基づいて前記駆動手段を駆動し、前記
透明ウェーハを所定の方向に位置合わせする制御手段
と、を備えたことを特徴としている。
するために、透明ウェーハに形成されたオリフラ又はノ
ッチを検出し、該オリフラ又はノッチの位置に基づいて
前記透明ウェーハの位置合わせを行うアライメント装置
において、前記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、
前記駆動手段によって回転する前記透明ウェーハのオリ
フラ又はノッチが通過する位置に前記透明ウェーハの表
面に対して入射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射
する偏光照明手段と、前記偏光照明手段によって照射さ
れ前記透明ウェーハによって反射された前記ｓ偏光を検
出する受光手段と、前記受光手段によって検出したｓ偏
光の光量に基づいて前記透明ウェーハのオリフラ又はノ
ッチを検出するオリフラ検出手段と、前記オリフラ検出
手段の検出結果に基づいて前記駆動手段を駆動し、前記
透明ウェーハを所定の方向に位置合わせする制御手段
と、を備えたことを特徴としている。
【０００７】本発明によれば、回転する透明ウェーハの
オリフラ又はノッチが通過する位置に透明ウェーハの表
面で全反射するように入射角が偏光角となる方向から偏
光を照射し、透明ウェーハを回転させながら透明ウェー
ハによって反射された反射光を検出する。そして、検出
された反射光の光量に基づいてオリフラ又はノッチを検
出するとともに、この検出結果に基づいて透明ウェーハ
の位置合わせを行う。
オリフラ又はノッチが通過する位置に透明ウェーハの表
面で全反射するように入射角が偏光角となる方向から偏
光を照射し、透明ウェーハを回転させながら透明ウェー
ハによって反射された反射光を検出する。そして、検出
された反射光の光量に基づいてオリフラ又はノッチを検
出するとともに、この検出結果に基づいて透明ウェーハ
の位置合わせを行う。
【０００８】又は、上記アライメント装置において、前
記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、前記駆動手段
によって回転する前記透明ウェーハのオリフラ又はノッ
チが通過する位置に前記透明ウェーハの表面に対して入
射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射する偏光照明
手段と、前記偏光照明手段によって照射されたｓ偏光を
前記透明ウェーハを透過する方向で検出する受光手段
と、前記受光手段によって検出したｓ偏光の光量に基づ
いて前記透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出する
オリフラ検出手段と、前記オリフラ検出手段の検出結果
に基づいて前記駆動手段を駆動し、前記透明ウェーハを
所定の方向に位置合わせする制御手段と、を備えたこと
を特徴としている。
記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、前記駆動手段
によって回転する前記透明ウェーハのオリフラ又はノッ
チが通過する位置に前記透明ウェーハの表面に対して入
射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射する偏光照明
手段と、前記偏光照明手段によって照射されたｓ偏光を
前記透明ウェーハを透過する方向で検出する受光手段
と、前記受光手段によって検出したｓ偏光の光量に基づ
いて前記透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出する
オリフラ検出手段と、前記オリフラ検出手段の検出結果
に基づいて前記駆動手段を駆動し、前記透明ウェーハを
所定の方向に位置合わせする制御手段と、を備えたこと
を特徴としている。
【０００９】本発明によれば、回転する透明ウェーハの
オリフラ又はノッチが通過する位置に透明ウェーハの表
面で全反射するように入射角が偏光角となる方向から偏
光を照射し、透明ウェーハを回転させながら透明ウェー
ハの位置を透過した透過光を検出する。そして、検出さ
れた反射光の光量に基づいてオリフラ又はノッチを検出
するとともに、この検出結果に基づいて透明ウェーハの
位置合わせを行う。
オリフラ又はノッチが通過する位置に透明ウェーハの表
面で全反射するように入射角が偏光角となる方向から偏
光を照射し、透明ウェーハを回転させながら透明ウェー
ハの位置を透過した透過光を検出する。そして、検出さ
れた反射光の光量に基づいてオリフラ又はノッチを検出
するとともに、この検出結果に基づいて透明ウェーハの
位置合わせを行う。
【００１０】これにより、透明ウェーハの表面（偏光を
照射する面と異なる面）にパターンが形成されている場
合にも、このパターンに偏光が照射されることがないた
め、パターンの有無に影響されずにオリフラ又はノッチ
を非接触により容易に検出することができ、透明ウェー
ハのアライメントを行うことができる。
照射する面と異なる面）にパターンが形成されている場
合にも、このパターンに偏光が照射されることがないた
め、パターンの有無に影響されずにオリフラ又はノッチ
を非接触により容易に検出することができ、透明ウェー
ハのアライメントを行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る透明ウェーハのアライメント装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係る透明ウェー
ハのアライメント装置が適用されるプローバの上面図で
ある。図１に示すようにプローバは、透明ウェーハ１０
を収納したカセット１２と、透明ウェーハ１０のプリア
ライメントを行うプリアライメント部１４と、透明ウェ
ーハ１０上に形成されたパターンの検査を行う検査部１
６と、から構成される。
る透明ウェーハのアライメント装置の好ましい実施の形
態について詳説する。図１は、本発明に係る透明ウェー
ハのアライメント装置が適用されるプローバの上面図で
ある。図１に示すようにプローバは、透明ウェーハ１０
を収納したカセット１２と、透明ウェーハ１０のプリア
ライメントを行うプリアライメント部１４と、透明ウェ
ーハ１０上に形成されたパターンの検査を行う検査部１
６と、から構成される。
【００１２】カセット１２は、検査前及び検査後の透明
ウェーハ１０を収納する。後述するプリアライメント部
１４のアーム１８によってこのカセット１２からプリア
ライメント部１４に検査前の透明ウェーハ１０が引き出
されるとともに、このカセット１２に検査終了後の透明
ウェーハ１０が収納される。上記プリアライメント部１
４は、アーム１８、ターンテーブル２０、プリチャック
２２、オリフラ検出用センサ２４とから構成され、アー
ム１８、プリチャック２２、オリフラ検出用センサ２４
はターンテーブル２０によって回転する。アーム１８は
透明ウェーハ１０を保持するとともに前後方向の移動が
可能であり、その移動方向をターンテーブル２０の回転
によってカセット１２の方向と検査部１６の方向とに切
り換える。従って、アーム１８は、ターンテーブル２０
の回転角度によって透明ウェーハ１０をカセット１２か
らプリアライメント部１４、プリアライメント部１４か
らカセット１２、プリアライメント部１４から検査部１
６、検査部１６からプリアライメント部１４に搬送する
ことができる。
ウェーハ１０を収納する。後述するプリアライメント部
１４のアーム１８によってこのカセット１２からプリア
ライメント部１４に検査前の透明ウェーハ１０が引き出
されるとともに、このカセット１２に検査終了後の透明
ウェーハ１０が収納される。上記プリアライメント部１
４は、アーム１８、ターンテーブル２０、プリチャック
２２、オリフラ検出用センサ２４とから構成され、アー
ム１８、プリチャック２２、オリフラ検出用センサ２４
はターンテーブル２０によって回転する。アーム１８は
透明ウェーハ１０を保持するとともに前後方向の移動が
可能であり、その移動方向をターンテーブル２０の回転
によってカセット１２の方向と検査部１６の方向とに切
り換える。従って、アーム１８は、ターンテーブル２０
の回転角度によって透明ウェーハ１０をカセット１２か
らプリアライメント部１４、プリアライメント部１４か
らカセット１２、プリアライメント部１４から検査部１
６、検査部１６からプリアライメント部１４に搬送する
ことができる。
【００１３】プリチャック２２は、アーム１８によって
カセット１２から引き出された透明ウェーハ４０を吸着
して透明ウェーハ１０を回転させ、後述のオリフラ検出
用センサ２４によって検出されたオリフラの位置を基準
にして透明ウェーハ１０を所定の決められた方向に位置
合わせする（プリアライメント）。オリフラ検出用セン
サ２４は、プリチャック２２によって吸着保持された透
明ウェーハ１０のエッジ部に光束を照射し、透明ウェー
ハ１０により反射された光束を検出する。そして、プリ
チャック２２によって透明ウェーハ１０を回転させなが
ら透明ウェーハ１０から反射される光束の光量変化を検
出することにより透明ウェーハ１０のオリフラを検出す
る。尚、オリフラ検出用センサ２４の詳細については後
述する。
カセット１２から引き出された透明ウェーハ４０を吸着
して透明ウェーハ１０を回転させ、後述のオリフラ検出
用センサ２４によって検出されたオリフラの位置を基準
にして透明ウェーハ１０を所定の決められた方向に位置
合わせする（プリアライメント）。オリフラ検出用セン
サ２４は、プリチャック２２によって吸着保持された透
明ウェーハ１０のエッジ部に光束を照射し、透明ウェー
ハ１０により反射された光束を検出する。そして、プリ
チャック２２によって透明ウェーハ１０を回転させなが
ら透明ウェーハ１０から反射される光束の光量変化を検
出することにより透明ウェーハ１０のオリフラを検出す
る。尚、オリフラ検出用センサ２４の詳細については後
述する。
【００１４】上記プリチャック２２とオリフラ検出用セ
ンサ２４によってプリアライメントされた透明ウェーハ
１０はターンテーブル２０によって９０°向きを変えて
アーム１８により検査部１６の検査ステージ２６上に搬
送される。次に上記オリフラ検出用センサ２４について
説明する。図２及び図３は、それぞれ上記オリフラ検出
用センサ２４の構成を示した側面図及び上面図である。
これらの図に示すように上記オリフラ検出用センサ２４
は、プリチャック２２に吸着保持された透明ウェーハ１
０のエッジ部に下面方向（パターンが形成されている面
を上面とし、下面にはパターンが形成されいないものと
する。）から光束を照射する発光部６０と、透明ウェー
ハ１０によって反射された光束を受光する受光素子７０
とから構成される。
ンサ２４によってプリアライメントされた透明ウェーハ
１０はターンテーブル２０によって９０°向きを変えて
アーム１８により検査部１６の検査ステージ２６上に搬
送される。次に上記オリフラ検出用センサ２４について
説明する。図２及び図３は、それぞれ上記オリフラ検出
用センサ２４の構成を示した側面図及び上面図である。
これらの図に示すように上記オリフラ検出用センサ２４
は、プリチャック２２に吸着保持された透明ウェーハ１
０のエッジ部に下面方向（パターンが形成されている面
を上面とし、下面にはパターンが形成されいないものと
する。）から光束を照射する発光部６０と、透明ウェー
ハ１０によって反射された光束を受光する受光素子７０
とから構成される。
【００１５】発光部６０は、発光素子であるＬＥＤ６２
と、コリメータレンズ６４と、スリット６６と、偏光フ
ィルタ６８とから構成される。上記ＬＥＤ６２から出力
された光は、コリメータレンズ６４により平行光とさ
れ、この平行光の一部がスリット６６により切り取ら
れ、幅の狭い長方形の光束とされる。そして、この光束
は、偏光フィルタ６８を通過して偏光となる。このよう
にして発光部６０で生成された偏光の光束は、透明ウェ
ーハ１０のエッジ部（透明ウェーハ１０が回転した場合
に、オリフラが通過する位置）に偏光角（ブルースター
角）で照射される。ここで、上記偏光フィルタ６８は、
透明ウェーハ１０の入射面に対して垂直な面内に振動面
をもつ直線偏光（ｓ偏光）を生成する方向に設置されて
いるため、透明ウェーハ１０の表面（下面）に入射した
光束は、この表面で全反射する。これにより、理想的に
は透明ウェーハ１０の上面に透過する光束がなく、透明
ウェーハ１０の上面に形成されたパターンによって光束
が反射されることがない。
と、コリメータレンズ６４と、スリット６６と、偏光フ
ィルタ６８とから構成される。上記ＬＥＤ６２から出力
された光は、コリメータレンズ６４により平行光とさ
れ、この平行光の一部がスリット６６により切り取ら
れ、幅の狭い長方形の光束とされる。そして、この光束
は、偏光フィルタ６８を通過して偏光となる。このよう
にして発光部６０で生成された偏光の光束は、透明ウェ
ーハ１０のエッジ部（透明ウェーハ１０が回転した場合
に、オリフラが通過する位置）に偏光角（ブルースター
角）で照射される。ここで、上記偏光フィルタ６８は、
透明ウェーハ１０の入射面に対して垂直な面内に振動面
をもつ直線偏光（ｓ偏光）を生成する方向に設置されて
いるため、透明ウェーハ１０の表面（下面）に入射した
光束は、この表面で全反射する。これにより、理想的に
は透明ウェーハ１０の上面に透過する光束がなく、透明
ウェーハ１０の上面に形成されたパターンによって光束
が反射されることがない。
【００１６】前記受光素子７０は、上述のように発光部
６０から出射され、透明ウェーハ１０の表面で反射した
光束を受光し、受光した光量に応じた電気信号を出力す
る。この受光素子７０から出力された電気信号は図示し
ない制御部で監視される。以上のように構成されたオリ
フラ検出用センサ２４によれば、発光部６０によってオ
リフラ１０Ａ以外の透明ウェーハ１０のエッジ部に光束
を照明した場合には、受光素子７０によって透明ウェー
ハ１０の表面から全反射された光束を受光する。即ち、
この場合には一定光量の光束を受光する。一方、この透
明ウェーハ１０がプリチャック２２により回転され、発
光部６０から出射された光束が照射される位置に透明ウ
ェーハ１０のオリフラ１０Ａが位置した場合には、光束
の大部分が透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａの部分を
通過して上方に透過する。これにより、このとき受光素
子７０によって受光する光束の光量が減少する。従っ
て、制御部は、オリフラ検出用センサ２４の受光素子７
０から出力される信号レベルが所定値より減少した場合
に透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａを検出する。
６０から出射され、透明ウェーハ１０の表面で反射した
光束を受光し、受光した光量に応じた電気信号を出力す
る。この受光素子７０から出力された電気信号は図示し
ない制御部で監視される。以上のように構成されたオリ
フラ検出用センサ２４によれば、発光部６０によってオ
リフラ１０Ａ以外の透明ウェーハ１０のエッジ部に光束
を照明した場合には、受光素子７０によって透明ウェー
ハ１０の表面から全反射された光束を受光する。即ち、
この場合には一定光量の光束を受光する。一方、この透
明ウェーハ１０がプリチャック２２により回転され、発
光部６０から出射された光束が照射される位置に透明ウ
ェーハ１０のオリフラ１０Ａが位置した場合には、光束
の大部分が透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａの部分を
通過して上方に透過する。これにより、このとき受光素
子７０によって受光する光束の光量が減少する。従っ
て、制御部は、オリフラ検出用センサ２４の受光素子７
０から出力される信号レベルが所定値より減少した場合
に透明ウェーハ１０のオリフラ１０Ａを検出する。
【００１７】このようにしてオリフラ１０Ａを検出する
と、このオリフラ１０Ａを検出した時の透明ウェーハ１
０の角度方向を基準にプリチャック２２を回転させて
（又はオリフラ１０Ａを検出した時点でプリチャック２
２の回転を停止させて）透明ウェーハ１０を所望の角度
方向に位置合わせする。尚、上記実施の形態では、偏光
を偏光角で透明ウェーハ１０に照射して透明ウェーハ１
０の表面（下面）でこの偏光を全反射させるようにした
が、このようにすると透明ウェーハ１０の他面（上面）
に形成されたパターンの有無に反射光量が左右されない
ため好適である。例えば、偏光でない光を透明ウェーハ
１０に照射した場合には、この光の一部が透明ウェーハ
１０の下面を透過する。もし、この透過した光が、上面
に形成されたパターンに照射された場合には、この光は
パターンによって反射され受光素子によって検出され
る。従って、受光素子によって検出される反射光量の変
化が、オリフラ１０Ａとパターンの有無によって混同し
て起こり、オリフラによる反射光量の変化を検出するが
困難になる。
と、このオリフラ１０Ａを検出した時の透明ウェーハ１
０の角度方向を基準にプリチャック２２を回転させて
（又はオリフラ１０Ａを検出した時点でプリチャック２
２の回転を停止させて）透明ウェーハ１０を所望の角度
方向に位置合わせする。尚、上記実施の形態では、偏光
を偏光角で透明ウェーハ１０に照射して透明ウェーハ１
０の表面（下面）でこの偏光を全反射させるようにした
が、このようにすると透明ウェーハ１０の他面（上面）
に形成されたパターンの有無に反射光量が左右されない
ため好適である。例えば、偏光でない光を透明ウェーハ
１０に照射した場合には、この光の一部が透明ウェーハ
１０の下面を透過する。もし、この透過した光が、上面
に形成されたパターンに照射された場合には、この光は
パターンによって反射され受光素子によって検出され
る。従って、受光素子によって検出される反射光量の変
化が、オリフラ１０Ａとパターンの有無によって混同し
て起こり、オリフラによる反射光量の変化を検出するが
困難になる。
【００１８】また、上記実施の形態では、透明ウェーハ
１０に照射した光束の反射光量を検出するようにしたが
透過光量を検出するようにしてもよい。即ち、透過光量
を検出するようにした場合、オリフラ１０Ａ以外では、
発光部から出射された光束の透過光は検出されず、オリ
フラ１０Ａの部分のみで発光部から出射された光束の透
過光量が検出されるようになる。
１０に照射した光束の反射光量を検出するようにしたが
透過光量を検出するようにしてもよい。即ち、透過光量
を検出するようにした場合、オリフラ１０Ａ以外では、
発光部から出射された光束の透過光は検出されず、オリ
フラ１０Ａの部分のみで発光部から出射された光束の透
過光量が検出されるようになる。
【００１９】また、上記実施の形態では、透明ウェーハ
１０に形成されたオリフラ１０Ａを検出する場合につい
て説明したが、ノッチの場合でも同様のセンサによって
検出することができる。また、上記実施の形態では本発
明をプローバに適用した例を示したが、透明ウェーハの
オリフラやノッチによってアライメントを行う装置全て
に適用できる。
１０に形成されたオリフラ１０Ａを検出する場合につい
て説明したが、ノッチの場合でも同様のセンサによって
検出することができる。また、上記実施の形態では本発
明をプローバに適用した例を示したが、透明ウェーハの
オリフラやノッチによってアライメントを行う装置全て
に適用できる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る透明ウ
ェーハのアライメント装置によれば、透明ウェーハに偏
光を偏光角で照射し、透明ウェーハの表面で全反射させ
るようにし、この反射光量又は透過光量の光量変化によ
り透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出するように
したため、透明ウェーハの表面（偏光を照射する面と異
なる面）にパターンが形成されている場合にもこのパタ
ーンに影響されずに確実に透明ウェーハのオリフラ又は
ノッチを検出することができ、これに基づいて透明ウェ
ーハのアライメントを行うことができる。
ェーハのアライメント装置によれば、透明ウェーハに偏
光を偏光角で照射し、透明ウェーハの表面で全反射させ
るようにし、この反射光量又は透過光量の光量変化によ
り透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出するように
したため、透明ウェーハの表面（偏光を照射する面と異
なる面）にパターンが形成されている場合にもこのパタ
ーンに影響されずに確実に透明ウェーハのオリフラ又は
ノッチを検出することができ、これに基づいて透明ウェ
ーハのアライメントを行うことができる。
【図１】図１は、本発明に係る透明ウェーハのアライメ
ント装置が適用されたプローバの構成を示した上面図で
ある。
ント装置が適用されたプローバの構成を示した上面図で
ある。
【図２】図２は、オリフラ検出用センサの構成を示した
側面図である。
側面図である。
【図３】図３は、オリフラ検出用センサの構成を示した
上面図である。
上面図である。
１０…透明ウェーハ １４…プリアライメント部 １６…検査部 １８…アーム ２０…ターンテーブル ２２…プレーンミラー ２４…オリフラ検出用センサ ６０…発光部 ６２…ＬＥＤ ６４…コリメータレンズ ６６…スリット ６８…偏光フィルタ ７０…受光素子
Claims (2)
- 【請求項１】 透明ウェーハに形成されたオリフラ又は
ノッチを検出し、該オリフラ又はノッチの位置に基づい
て前記透明ウェーハの位置合わせを行うアライメント装
置において、 前記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、 前記駆動手段によって回転する前記透明ウェーハのオリ
フラ又はノッチが通過する位置に前記透明ウェーハの表
面に対して入射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射
する偏光照明手段と、 前記偏光照明手段によって照射され前記透明ウェーハに
よって反射された前記ｓ偏光を検出する受光手段と、 前記受光手段によって検出したｓ偏光の光量に基づいて
前記透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出するオリ
フラ検出手段と、 前記オリフラ検出手段の検出結果に基づいて前記駆動手
段を駆動し、前記透明ウェーハを所定の方向に位置合わ
せする制御手段と、 を備えたことを特徴とする透明ウェーハのアライメント
装置。 - 【請求項２】 透明ウェーハに形成されたオリフラ又は
ノッチを検出し、該オリフラ又はノッチの位置に基づい
て前記透明ウェーハの位置合わせを行うアライメント装
置において、 前記透明ウェーハを回転させる駆動手段と、 前記駆動手段によって回転する前記透明ウェーハのオリ
フラ又はノッチが通過する位置に前記透明ウェーハの表
面に対して入射角が偏光角となる方向からｓ偏光を照射
する偏光照明手段と、 前記偏光照明手段によって照射されたｓ偏光を前記透明
ウェーハを透過する方向で検出する受光手段と、 前記受光手段によって検出したｓ偏光の光量に基づいて
前記透明ウェーハのオリフラ又はノッチを検出するオリ
フラ検出手段と、 前記オリフラ検出手段の検出結果に基づいて前記駆動手
段を駆動し、前記透明ウェーハを所定の方向に位置合わ
せする制御手段と、 を備えたことを特徴とする透明ウェーハのアライメント
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32385896A JP3141374B2 (ja) | 1996-12-04 | 1996-12-04 | 透明ウェーハのアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32385896A JP3141374B2 (ja) | 1996-12-04 | 1996-12-04 | 透明ウェーハのアライメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10163301A JPH10163301A (ja) | 1998-06-19 |
| JP3141374B2 true JP3141374B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=18159379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32385896A Expired - Fee Related JP3141374B2 (ja) | 1996-12-04 | 1996-12-04 | 透明ウェーハのアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141374B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4566798B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2010-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置決め装置，基板位置決め方法，プログラム |
-
1996
- 1996-12-04 JP JP32385896A patent/JP3141374B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10163301A (ja) | 1998-06-19 |
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