JP3242023B2 - 可搬型貯蔵タンク - Google Patents
可搬型貯蔵タンクInfo
- Publication number
- JP3242023B2 JP3242023B2 JP11823797A JP11823797A JP3242023B2 JP 3242023 B2 JP3242023 B2 JP 3242023B2 JP 11823797 A JP11823797 A JP 11823797A JP 11823797 A JP11823797 A JP 11823797A JP 3242023 B2 JP3242023 B2 JP 3242023B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- pipe
- portable storage
- liquid
- storage tank
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩの製造工程に用い
る現像液等の薬液を貯溜するとともに必要量だけ取り出
すことができる可搬型貯蔵タンクに関する。
る現像液等の薬液を貯溜するとともに必要量だけ取り出
すことができる可搬型貯蔵タンクに関する。
【０００２】
【従来の技術】現像液等の薬液を貯溜し且つ必要量だけ
取り出すことができるようにしたタンクとして特開昭５
９−２１０２１号公報に開示されるものがある。このタ
ンクは気密なタンク本体の上面に液体注入用の開口を閉
塞するキャップを設け、このキャップに加圧用気体供給
管と液体取出管を貫通せしめ、液体取出管についてはそ
の下端をタンク底部近くまで延ばし、気体供給管につい
てはその下端を貯溜する液体よりも上方に位置せしめ、
気体供給管を介してタンク内に供給したガスの圧力でタ
ンク内の液体を液体取出管を介して必要な量だけ送出す
るようにしている。
取り出すことができるようにしたタンクとして特開昭５
９−２１０２１号公報に開示されるものがある。このタ
ンクは気密なタンク本体の上面に液体注入用の開口を閉
塞するキャップを設け、このキャップに加圧用気体供給
管と液体取出管を貫通せしめ、液体取出管についてはそ
の下端をタンク底部近くまで延ばし、気体供給管につい
てはその下端を貯溜する液体よりも上方に位置せしめ、
気体供給管を介してタンク内に供給したガスの圧力でタ
ンク内の液体を液体取出管を介して必要な量だけ送出す
るようにしている。
【０００３】そして上記のタンクにあっては床等にタン
クを自立させることができるように、タンクの下端外周
部から下方に筒状体を延ばしている。
クを自立させることができるように、タンクの下端外周
部から下方に筒状体を延ばしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のタンク
にあっては気体供給管及び液体取出管ともキャップに挿
入している。つまり気体供給管及び液体取出管の端部が
キャップから突出しているため、転倒した場合や搬送中
に他のタンクにぶつかって気体供給管や液体取出管の端
部が破損しやすい。そこで、気体供給管や液体取出管を
保護するプロテクトパイプをキャップに取付けることが
考えられる。
にあっては気体供給管及び液体取出管ともキャップに挿
入している。つまり気体供給管及び液体取出管の端部が
キャップから突出しているため、転倒した場合や搬送中
に他のタンクにぶつかって気体供給管や液体取出管の端
部が破損しやすい。そこで、気体供給管や液体取出管を
保護するプロテクトパイプをキャップに取付けることが
考えられる。
【０００５】上記のようにプロテクトパイプを取り付け
ることで、気体供給管や液体取出管の破損を防止するこ
とができるが、何回も搬送を繰り返すと、その間に転倒
や衝突による衝撃がプロテクトパイプに加わり、プロテ
クトパイプが脱落してしまう。
ることで、気体供給管や液体取出管の破損を防止するこ
とができるが、何回も搬送を繰り返すと、その間に転倒
や衝突による衝撃がプロテクトパイプに加わり、プロテ
クトパイプが脱落してしまう。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、加圧用気体供給管と液体取出管を気密なタンク
本体に挿入した可搬型貯蔵タンクにおいて、前記タンク
本体の上面外周部に複数本の支柱を設け、これら複数本
の支柱の上端部に環状のプロテクトパイプを支持し、更
に支柱の中間部に内方への括れ部を設けた。括れ部を設
けることで、この部分がスプリングの作用を発揮し、プ
ロテクトパイプに加わった衝撃を緩和する。
発明は、加圧用気体供給管と液体取出管を気密なタンク
本体に挿入した可搬型貯蔵タンクにおいて、前記タンク
本体の上面外周部に複数本の支柱を設け、これら複数本
の支柱の上端部に環状のプロテクトパイプを支持し、更
に支柱の中間部に内方への括れ部を設けた。括れ部を設
けることで、この部分がスプリングの作用を発揮し、プ
ロテクトパイプに加わった衝撃を緩和する。
【０００７】
【作用】タンク本体内に現像液等の薬液を注入したのち
密閉後、気体供給管を介してタンク本体内に窒素ガス等
を供給する。そして、現像液等の薬液を使用する場合に
は液体取出管にカプラーを介して配管を接続し、バルブ
を開くと、タンク本体内の液体はガス圧により液体取出
管を介して外部に送出される。
密閉後、気体供給管を介してタンク本体内に窒素ガス等
を供給する。そして、現像液等の薬液を使用する場合に
は液体取出管にカプラーを介して配管を接続し、バルブ
を開くと、タンク本体内の液体はガス圧により液体取出
管を介して外部に送出される。
【０００８】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る可搬型貯蔵タン
クの全体斜視図、図２は同可搬型貯蔵タンクの平面図、
図３は同可搬型貯蔵タンクの縦断面図、図４は図３の要
部拡大図である。
説明する。ここで、図１は本発明に係る可搬型貯蔵タン
クの全体斜視図、図２は同可搬型貯蔵タンクの平面図、
図３は同可搬型貯蔵タンクの縦断面図、図４は図３の要
部拡大図である。
【０００９】可搬型貯蔵タンクの筒状をなすステンレス
製の気密なタンク本体１は、上面１ａを周縁に向かって
なだらかに下降する傾斜面とし、この上面１ａの中央に
は現像液等の薬液の注入口２を形成し、この注入口２の
外周部に二条ネジを介してキャップ３を取り付けるよう
にしている。
製の気密なタンク本体１は、上面１ａを周縁に向かって
なだらかに下降する傾斜面とし、この上面１ａの中央に
は現像液等の薬液の注入口２を形成し、この注入口２の
外周部に二条ネジを介してキャップ３を取り付けるよう
にしている。
【００１０】また、前記タンク本体１の上面１ａの外周
部には複数本（４本）の板状支柱４を立設し、これら支
柱４の上端部にて環状のプロテクトパイプ５を支持して
いる。ここで、支柱４は中間部に内方への括れ部４ａを
設け、この括れ部４ａ下面をタンク本体１の上面１ａに
密着して溶接することで、支柱４の取り付け強度を高め
るようにし、且つ転倒の際等に該括れ部４ａがスプリン
グの効果を発揮してプロテクトパイプ５の脱落等を防止
するようにしている。また、プロテクトパイプ５はタン
ク本体１と略同径の環状をなし、その一部を下方への湾
曲部５ａ，５ａとしている。
部には複数本（４本）の板状支柱４を立設し、これら支
柱４の上端部にて環状のプロテクトパイプ５を支持して
いる。ここで、支柱４は中間部に内方への括れ部４ａを
設け、この括れ部４ａ下面をタンク本体１の上面１ａに
密着して溶接することで、支柱４の取り付け強度を高め
るようにし、且つ転倒の際等に該括れ部４ａがスプリン
グの効果を発揮してプロテクトパイプ５の脱落等を防止
するようにしている。また、プロテクトパイプ５はタン
ク本体１と略同径の環状をなし、その一部を下方への湾
曲部５ａ，５ａとしている。
【００１１】また、タンク本体の上面１ａの中央部から
偏心した位置には加圧用の気体供給管６及び液体取出管
７を挿入し、これら気体供給管６及び液体取出管７の上
面１ａから突出した端部には台座６ａ，７ａを取り付
け、これら台座６ａ，７ａに近い部分に前記湾曲部５
ａ，５ａを形成することで、台座６ａ，７ａに付設した
カプラーを介して取り付ける配管用カプラーの台座６
ａ，７ａへの脱着が容易に行えるようにしている。そし
て、気体供給管６については短尺としてその下端がタン
ク本体１内の液面よりも高くなるようにし、液体取出管
７については長尺としている。
偏心した位置には加圧用の気体供給管６及び液体取出管
７を挿入し、これら気体供給管６及び液体取出管７の上
面１ａから突出した端部には台座６ａ，７ａを取り付
け、これら台座６ａ，７ａに近い部分に前記湾曲部５
ａ，５ａを形成することで、台座６ａ，７ａに付設した
カプラーを介して取り付ける配管用カプラーの台座６
ａ，７ａへの脱着が容易に行えるようにしている。そし
て、気体供給管６については短尺としてその下端がタン
ク本体１内の液面よりも高くなるようにし、液体取出管
７については長尺としている。
【００１２】一方、タンク本体１の底面１ｂは片側に向
かって傾斜し、その最も低い箇所に液溜まり部１ｃを形
成している。この液溜まり部１ｃの形成位置は前記液体
取出管７の直下とし、その結果、直線状の液体取出管７
の下端部が液溜まり部１ｃ内に臨んでいる。
かって傾斜し、その最も低い箇所に液溜まり部１ｃを形
成している。この液溜まり部１ｃの形成位置は前記液体
取出管７の直下とし、その結果、直線状の液体取出管７
の下端部が液溜まり部１ｃ内に臨んでいる。
【００１３】また、キャップ３を挟んで台座６ａ，７ａ
と対向する位置にはガス抜きバルブ機構８を設けてい
る。このバルブ機構８はタンク本体１の上面１ａに筒状
のバルブケース９を固着し、このバルブケース９内にス
プリング１０にて閉じ方向に付勢されるバルブ１１を挿
入し、バルブ１１上端に取り付けたリング１２を上方に
引くことでタンク本体１内のガスを大気に開放するよう
にしている。
と対向する位置にはガス抜きバルブ機構８を設けてい
る。このバルブ機構８はタンク本体１の上面１ａに筒状
のバルブケース９を固着し、このバルブケース９内にス
プリング１０にて閉じ方向に付勢されるバルブ１１を挿
入し、バルブ１１上端に取り付けたリング１２を上方に
引くことでタンク本体１内のガスを大気に開放するよう
にしている。
【００１４】更に、タンク本体１の底部は前記したよう
に傾斜しているのでこのままでは自立させることができ
ない。そこで底部にはカップ状のサポート部材１３を嵌
め付けている。このサポート部材１３の下面には床等と
の接触部となる環状凸部１３ａが形成され、この環状凸
部１３ａの外側に段部１３ｂが形成されている。この段
部１３ｂにはタンク本体１を上下に積み重ねた際に、下
方のタンクのプロテクトパイプが係合することで、安定
してタンクを積み重ねることができるとともに強度向上
を図っている。
に傾斜しているのでこのままでは自立させることができ
ない。そこで底部にはカップ状のサポート部材１３を嵌
め付けている。このサポート部材１３の下面には床等と
の接触部となる環状凸部１３ａが形成され、この環状凸
部１３ａの外側に段部１３ｂが形成されている。この段
部１３ｂにはタンク本体１を上下に積み重ねた際に、下
方のタンクのプロテクトパイプが係合することで、安定
してタンクを積み重ねることができるとともに強度向上
を図っている。
【００１５】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
タンク本体上面の外周部に複数本の板状支柱を立設し、
これら支柱の上端部にて環状のプロテクトパイプを支持
し、該支柱の中間部に内方への括れ部を設けたので、支
柱の強度を高め、且つ転倒の際等に該括れ部がスプリン
グの効果を発揮してプロテクトパイプの脱落等を防止す
ることができる。
タンク本体上面の外周部に複数本の板状支柱を立設し、
これら支柱の上端部にて環状のプロテクトパイプを支持
し、該支柱の中間部に内方への括れ部を設けたので、支
柱の強度を高め、且つ転倒の際等に該括れ部がスプリン
グの効果を発揮してプロテクトパイプの脱落等を防止す
ることができる。
【図１】本発明に係る可搬型貯蔵タンクの全体斜視図
【図２】同可搬型貯蔵タンクの平面図
【図３】同可搬型貯蔵タンクの縦断面図
【図４】図３の要部拡大図
１…タンク本体、２…液体注入口、３…キャップ、４…
支柱、４ａ…括れ部、５…プロテクトパイプ、６…気体
供給管、７…液体取出管、６ａ，７ａ…台座、１３…サ
ポート部材、１３ａ…凸部、１３ｂ…段部。
支柱、４ａ…括れ部、５…プロテクトパイプ、６…気体
供給管、７…液体取出管、６ａ，７ａ…台座、１３…サ
ポート部材、１３ａ…凸部、１３ｂ…段部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千石 泰嗣 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東京応化工業株式会社内 (72)発明者 和田 孝 新潟県燕市小高1327番地 (72)発明者 後藤 啓一 千葉県印旛郡栄町南ヶ丘２−17−11 (56)参考文献 特開 昭59−21021（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−64798（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−330590（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−15396（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−126446（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−119773（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−94700（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭64−36798（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−160498（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 88/00 - 90/60 B65D 47/34
Claims (1)
- 【請求項１】 気密なタンク本体に加圧用気体供給管と
液体取出管とを差し込み、前記気体供給管を介してタン
ク本体内に供給したガスの圧力でタンク本体内の液体を
気体取出管を介して送出するようにした可搬型貯蔵タン
クにおいて、前記タンク本体の上面外周部には複数本の
支柱が設けられ、これら複数本の支柱の上端部に環状の
プロテクトパイプが支持されており、当該支柱は、その
中間部に内方への括れ部を有していることを特徴とする
可搬型貯蔵タンク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11823797A JP3242023B2 (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 可搬型貯蔵タンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11823797A JP3242023B2 (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 可搬型貯蔵タンク |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33104792A Division JPH06156506A (ja) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | 可搬型貯蔵タンク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10203588A JPH10203588A (ja) | 1998-08-04 |
| JP3242023B2 true JP3242023B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=14731637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11823797A Expired - Fee Related JP3242023B2 (ja) | 1997-05-08 | 1997-05-08 | 可搬型貯蔵タンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3242023B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113428521B (zh) * | 2021-07-16 | 2022-09-23 | 三阳纺织有限公司 | 一种络筒理管机储管机构 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52126446U (ja) * | 1976-03-24 | 1977-09-26 | ||
| JPS5921021A (ja) * | 1982-07-27 | 1984-02-02 | Nippon Zeon Co Ltd | 半導体製造用薬液収納容器 |
| JPH0535278Y2 (ja) * | 1987-04-08 | 1993-09-07 | ||
| JPS6436798U (ja) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| JPH0194700U (ja) * | 1987-12-14 | 1989-06-22 | ||
| JPH0739838Y2 (ja) * | 1989-06-28 | 1995-09-13 | 東京応化工業株式会社 | 液体貯溜容器 |
| JP2881623B2 (ja) * | 1990-07-02 | 1999-04-12 | 清三郎 脇 | 輸送用容器の弁保護装置 |
| JPH04119773U (ja) * | 1991-04-11 | 1992-10-27 | 日本酸素株式会社 | ボンベキヤリア |
| JPH05330590A (ja) * | 1992-05-25 | 1993-12-14 | Furukawa Alum Co Ltd | 金属製液体コンテナの弁装置 |
-
1997
- 1997-05-08 JP JP11823797A patent/JP3242023B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10203588A (ja) | 1998-08-04 |
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