JPH06156506A - 可搬型貯蔵タンク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＬＳＩの製造工程に用いる現像液等の薬液を
貯溜するタンクの液溜まり部と液体取出管の下端とを確
実に一致させる。 【構成】 タンク本体の上面１ａの偏心位置に短尺の気
体供給管６及び長尺の液体取出管７を挿入し、これら気
体供給管６及び液体取出管７の上面１ａから突出した端
部には台座６ａ，７ａを取り付け、一方、タンク本体１
の底面１ｂは片側に向かって傾斜し、その最も低い箇所
に液溜まり部１ｃを形成している。この液溜まり部１ｃ
の形成位置は前記液体取出管７の直下とし、直線状の液
体取出管７の下端部が液溜まり部１ｃ内に臨むようにし
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＬＳＩの製造工程に用い
る現像液等の薬液を貯溜するとともに必要量だけ取り出
すことができる可搬型貯蔵タンクに関する。

【０００２】

【従来の技術】現像液等の薬液を貯溜し且つ必要量だけ
取り出すことができるようにしたタンクとして特開昭５
９−２１０２１号公報に開示されるものがある。このタ
ンクは気密なタンク本体の上面に液体注入用の開口を閉
塞するキャップを設け、このキャップに加圧用気体供給
管と液体取出管を貫通せしめ、液体取出管についてはそ
の下端をタンク底部近くまで延ばし、気体供給管につい
てはその下端を貯溜する液体よりも上方に位置せしめ、
気体供給管を介してタンク内に供給したガスの圧力でタ
ンク内の液体を液体取出管を介して必要な量だけ送出す
るようにしている。

【０００３】そして上記のタンクにあっては床等にタン
クを自立させることができるように、タンクの下端外周
部から下方に筒状体を延ばしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のタンク
にあっては気体供給管及び液体取出管ともキャップに挿
入している。この場合、キャップの中心に液体取出管を
挿通すると、気体供給管がキャップ中心から大きく外れ
るため、必要以上にキャップが大きなものになってしま
う。そこで、一般的には気体供給管及び液体取出管とも
キャップ中心から偏心した位置に挿入しているが、この
ようにすると、タンク底面の中央に設けた液溜まり部か
ら液体取出管の下端がズレてしまうことがある。このた
め、液体取出管をく字状に曲げ、所定角度だけ液体取出
管を廻して液溜まり部に液体取出管の下端を一致させる
ことも行われている。しかしながら、タンク内部は見え
ないので液体取出管の回転角度を誤ると、逆に大きく液
溜まり部から液体取出管の下端が外れる結果となった
り、挿入時に液体取出管がタンク底面に当たる危険性が
ある。

【０００５】また、従来のタンクにあってはタンクを自
立可能とするため、タンク下端外周から下方に向けて筒
状体を垂下しているが、タンク内に液体が満たされてい
る場合には、相当の重量が筒状体にかかり、筒状体が変
形することがある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、加圧用気体供給管と液体取出管を気密なタンク
本体の中心から外れた位置においてタンク本体に挿入
し、また前記液体取出管の下端と一致するようにタンク
本体の底面中央から偏心した位置に液溜まり部を設け
た。また、タンク本体の底部にはカップ状のサポート部
材を取り付けることも可能である。

【０００７】

【作用】タンク本体内に現像液等の薬液を注入したのち
密閉後、気体供給管を介してタンク本体内に窒素ガス等
を供給する。そして、現像液等の薬液を使用する場合に
は液体取出管にカプラーを介して配管を接続し、バルブ
を開くと、タンク本体内の液体はガス圧により液体取出
管を介して外部に送出される。

【０００８】

【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る可搬型貯蔵タン
クの全体斜視図、図２は同可搬型貯蔵タンクの平面図、
図３は同可搬型貯蔵タンクの縦断面図、図４は図３の要
部拡大図である。

【０００９】可搬型貯蔵タンクの筒状をなすステンレス
製の気密なタンク本体１は、上面１ａを周縁に向かって
なだらかに下降する傾斜面とし、この上面１ａの中央に
は現像液等の薬液の注入口２を形成し、この注入口２の
外周部に二条ネジを介してキャップ３を取り付けるよう
にしている。

【００１０】また、前記タンク本体１の上面１ａの外周
部には複数本（４本）の板状支柱４を立設し、これら支
柱４の上端部にて環状のプロテクトパイプ５を支持して
いる。ここで、支柱４は中間部に内方への括れ部４ａを
設け、この括れ部４ａ下面をタンク本体１の上面１ａに
密着して溶接することで、支柱４の取り付け強度を高め
るようにし、且つ転倒の際等に該括れ部４ａがスプリン
グの効果を発揮してプロテクトパイプ５の脱落等を防止
するようにしている。また、プロテクトパイプ５はタン
ク本体１と略同径の環状をなし、その一部を下方への湾
曲部５ａ，５ａとしている。

【００１１】また、タンク本体の上面１ａの中央部から
偏心した位置には加圧用の気体供給管６及び液体取出管
７を挿入し、これら気体供給管６及び液体取出管７の上
面１ａから突出した端部には台座６ａ，７ａを取り付
け、これら台座６ａ，７ａに近い部分に前記湾曲部５
ａ，５ａを形成することで、台座６ａ，７ａに付設した
カプラーを介して取り付ける配管用カプラーの台座６
ａ，７ａへの脱着が容易に行えるようにしている。そし
て、気体供給管６については短尺としてその下端がタン
ク本体１内の液面よりも高くなるようにし、液体取出管
７については長尺としている。

【００１２】一方、タンク本体１の底面１ｂは片側に向
かって傾斜し、その最も低い箇所に液溜まり部１ｃを形
成している。この液溜まり部１ｃの形成位置は前記液体
取出管７の直下とし、その結果、直線状の液体取出管７
の下端部が液溜まり部１ｃ内に臨んでいる。

【００１３】また、キャップ３を挟んで台座６ａ，７ａ
と対向する位置にはガス抜きバルブ機構８を設けてい
る。このバルブ機構８はタンク本体１の上面１ａに筒状
のバルブケース９を固着し、このバルブケース９内にス
プリング１０にて閉じ方向に付勢されるバルブ１１を挿
入し、バルブ１１上端に取り付けたリング１２を上方に
引くことでタンク本体１内のガスを大気に開放するよう
にしている。

【００１４】更に、タンク本体１の底部は前記したよう
に傾斜しているのでこのままでは自立させることができ
ない。そこで底部にはカップ状のサポート部材１３を嵌
め付けている。このサポート部材１３の下面には床等と
の接触部となる環状凸部１３ａが形成され、この環状凸
部１３ａの外側に段部１３ｂが形成されている。この段
部１３ｂにはタンク本体１を上下に積み重ねた際に、下
方のタンクのプロテクトパイプが係合することで、安定
してタンクを積み重ねることができるとともに強度向上
を図っている。

【００１５】

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
現像液等の薬液を貯溜する可搬型貯蔵タンクの上面に挿
入する気体供給管と液体取出管を、上面の中心から偏心
した位置において挿入するようにしたので、気体供給管
や液体取出管に配管（ホース）を脱着するのが容易で、
キャップも必要以上に大きくすることがなくなる。ま
た、タンク本体の底面に形成する液溜まり部も液体取出
管の位置に合せて偏心した位置に設けるようにしたの
で、液体取出管の下端を確実に液溜まり部に臨ませるこ
とができ、タンク内の液体を最後まで無駄なく使い切る
ことができる。更にタンク底部に取り付けるサポート部
材を従来のような筒状ではなく、カップ状としたので強
度が大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る可搬型貯蔵タンクの全体斜視図

【図２】同可搬型貯蔵タンクの平面図

【図３】同可搬型貯蔵タンクの縦断面図

【図４】図３の要部拡大図

【符号の説明】

１…タンク本体、２…液体注入口、３…キャップ、４…
支柱、５…プロテクトパイプ、６…気体供給管、７…液
体取出管、６ａ，７ａ…台座、１３…サポート部材、１
３ａ…凸部、１３ｂ…段部。

フロントページの続き (72)発明者 千石 泰嗣 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 (72)発明者 和田 孝 新潟県燕市小高1327番地 (72)発明者 後藤 啓一 千葉県印旛郡栄町南ヶ丘２−17−11

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 気密なタンク本体に加圧用気体供給管と
   液体取出管とを差し込み、前記気体供給管を介してタン
   ク本体内に供給したガスの圧力でタンク本体内の液体を
   液体取出管を介して送出するようにした可搬型貯蔵タン
   クにおいて、前記タンク本体の上面中央部には液体の注
   入口が形成され、またタンク本体の上面中央から偏心し
   た位置には前記加圧用気体供給管及び液体取出管が挿入
   され、液体取出管の下端はタンク本体の底面中央から偏
   心した位置に設けた液溜まり部に臨んでいることを特徴
   とする可搬型貯蔵タンク。
2. 【請求項２】 前記タンク本体の底部にはカップ状のサ
   ポート部材が取り付けられていることを特徴とする請求
   項１に記載の可搬型貯蔵タンク。