JPH0535278Y2

JPH0535278Y2 -

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Publication number: JPH0535278Y2
Application number: JP5316087U
Authority: JP
Priority date: 1987-04-08
Filing date: 1987-04-08
Publication date: 1993-09-07
Anticipated expiration: 2002-04-08
Also published as: JPS63160498U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は特に金属、パーテイクルをきらう半導
体用の薬品を入れる耐圧容器に関する。

〔従来の技術〕

近年半導体素子の集積度は高まる一方である
が、それに伴つて半導体製造に使用される材料に
対する高純度化の要求はますま強くなつている。
特に不純物としての金属、パーテイクルが混入す
ることは極力避けなければならない。

したがつて、半導体製造時に使用される薬品も
高純度であることが要求され、薬品そのものが高
純度であるばかりでなく、経時的に容器との接触
によつて汚染されることを防止する必要がある。

そのため、従来、薬品をステンレス容器に入れ
て運搬し、この容器を窒素加圧して容器の中の薬
品を使用する場所に送給する自動供給システムが
開発使用されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、上記ステンレス容器は、半導体製造に
おいて最もきらわれるFe，Ni，Cu等の重金属が
混入するおそれがあり適当でない。また、半導体
製造に用いられる薬液には、NH₃，H₂O₂等、温
度によつて若干ガスを発生し、加圧状態となるも
のもあり、さらに、窒素加圧によつて薬品を使用
する場所に送給しなければならないため、1.9
Kg／cm²Ｇ程度の加圧に耐えるものでなければなら
ない。

本考案は上記の事情に鑑み、半導体製造に使用
される薬液に対して全く安定なポリエチレンを用
い、1.9Kg／cm²Ｇ程度の圧力に耐え、しかも、薬
液を充填して、懸念なく運搬出来るポリエチレン
耐圧容器を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は上記の目的を達成すべくなされたもの
で、その要旨は有底円筒状で上方に開口する口部
を有するポリエチレン製瓶形状の容器本体と、こ
の容器本体の口部に着脱自在、かつ気密に取付け
られ、少なくともガス導入ノズルおよび上記容器
本体の内底部に近接して開口する液導出管が接続
された液導出ノズルを有するポリエチレン製の口
栓と、上記容器本体が、外周面を、内周面に接し
て嵌合される保護用円筒体と、この保護用円筒体
の内周面に外周面が接し、上記容器本体の底部ま
たは肩部に、上面または下面が当接するととも
に、上記保護用円筒体に着脱自在に固定された上
下の固定板とを有するポリエチレン耐圧容器にあ
る。

〔作用〕

本考案のポリエチレン耐圧容器は、ポリエチレ
ン製の容器本体を、これと密着した保護用円筒体
および上下の固定板によつて強固に囲んでいるの
で、薬液を充填した重量物を、懸念なく運搬する
ことができ、また、薬液輸送のための窒素加圧が
可能であり、さらに、接液部はポリエチレンによ
つて形成されているので、薬液が経時的に汚染さ
れることがない。

〔実施例〕

第１図ないし第４図ａ，ｂ，ｃは、本考案に係
るポリエチレン耐圧容器の一実施例を示すもの
で、第１図は縦断面図である。図中符号１はポリ
エチレン製の容器本体で、容器本体１は有底円状
で上方に開口する、周囲に雄ねじ２ａが設けられ
た口部２を有する。また、底部中央は、外方向に
突出し、内側に凹部３が形成されている。

上記口部２には、内周面に上記雄ねじ２ａと螺
合する雌ねじ４ａが設けられた口栓４がＯリング
５を介して気密、かつ着脱自在に取付けられてい
る。この口栓４は、上面に口栓４を貫通するガス
導入ノズル６および開口先端が上記凹部３に達す
る液導出管７ａの基部が、螺合、融着などによつ
て一体に取付けられている液導出ノズル７を有す
る。また、必要に応じて、安全弁等を取付けるノ
ズル（図示せず）を設けてもよい。

上記容器本体１は、第２図に示す、内径が上記
容器本体１の外径より僅か大きく、長さが容器本
体１の高さよりも長い保護用円筒体８の内周面に
外周面を接して嵌合されている。

また、上記円筒体８の下端には、第３図ａ，
ｂ，ｃに示すよう下固定板９が取付けられてい
る。この下固定板９は、中央に上記容器本体１の
底部中央の凹部３を形成する突出した部分が嵌合
する孔１０ａを有し、孔１０ａの周囲上面が上記
容器本体１の外底面に当接する支持板体１０と、
この支持板体１０の周縁に一体に連設され、外周
面が上記円筒体８内周面に接して嵌合される係止
板体１１と、この係止板体の下縁に一体に連設さ
れ、上記円筒体８の下縁が嵌合する溝１２ａが形
成された溝部１２と、上記支持板体１０および係
止板体１１の面をわたつて一体形成された補強リ
ブ１３とによつて構成されている。

上記下固定板は、円筒体８および係止板体１１
に穿設されたボルト孔１４ａを挿通するボルトナ
ツト１４によつて強固に係止されている。

また、上記容器本体１が嵌合された、円筒体８
の上部には、第４図ａ，ｂ，ｃに示すよう上固定
板１５が取付けられている。この上固定板１５、
中央に上記容器本体１の口部２が口栓４を取付け
た状態で挿通される孔１６ａを有し、孔１６ａの
周囲下面が上記容器本体１の肩上面に当接する押
え板体１６と、この押え板体１６の周縁に一体に
連接されて上方に延び、外周面が上記円筒体８の
内周面に接して嵌合される係止板体１７と、この
係止板体１７および押え板体１６の面に一体に形
成された補強リブ１８とによつて構成されてい
る。

上記上固定体１５は、上記容器本体１の肩を押
えつけた状態で、円筒体８および係止板体１７に
穿設されたボルト孔１９ａ……を挿通するボルト
ナツト１９……によつて強固に固定されている。

上記上下の固定板係止板体１７，１１のボルト
孔１９ａ，１４ａの近傍は、第４図ａ、第３図ａ
に２点鎖線で示すように肉厚部１７ａ，１１ａを
設けて強度を高めてもよい。

なお、図中２１は円筒体８の上部に対向して設
けられた把手、２２は縁部材、２３は口栓４を保
護する蓋である。また、上記容器本体８および口
栓４はポリエチレンによつてつくられるが、円筒
体８、上下固定板１５，９は特に材料の指定はな
い。しかし、成形が容易なことから各種熱可塑性
樹脂が用いられる。また、製法としては、ブロー
成形、射出成形が適宜用いられる。

上記のように構成されたポリエチレン耐圧容器
を使用するには、蓋２３を外し、液導出ノズル７
より、或いは口栓４を外して薬液を充填、密封
し、蓋を取付けて運搬する。運搬された薬液の入
つた耐圧容器は、薬液供給システムに組込まれ、
ガス導入ノズル６より窒素加圧され、薬液を使用
場所に供給する。薬液を使用し終つた耐圧容器
は、システムより取外し、密封し、蓋２３を取付
けて返送され、再び薬液が充填される。

実施例１ 20のポリエチレン耐圧容器を超純水等で洗浄
した後、容解金属（Ｋ，Na，Ca，Mg，Fe，
Al，etc）が各5ppb以下、0.2μｍ以上のパーテイ
クルが30ケ／mlの20wt％濃度の高純度アンモニ
ア水を15入れ30日間放置した後、0.1μｍのガス
フイルターを通したN₂ガスにより、1.9Kg／cm²Ｇ
に加圧してアンモニア水を抜き出したところ、耐
圧容器からのガス漏れ、液漏れがなく、また抜出
された液中の各金属は5ppb以下、パーテイクル
は29ケ／mlで、いずれも増加はみられず、全く問
題なく高純度アンモニア水用の耐圧容器として使
用出来ることが確認された。

実施例２ 100のポリエチレン耐圧容器を超純水等で洗
浄した後、容解金属（Ｋ，Na，Ca，Mg，Fe，
Pb，As，etc）が各5ppb以下、0.2μｍ以上のパー
テイクルが35ケ／mlの35wt％濃度の高純度塩酸
を90入れ、60日間放置した後、0.1μｍのガスフ
イルターを通したN₂ガスにより、1.5Kg／cm²Ｇに
加圧して塩酸を抜き出したところ、耐圧容器から
のガス漏れ、液漏れがなく、また抜出された塩酸
中の各金属は5ppb以下、パーテイクルは33ケ／
mlと、いずれも増加は認められず、高純度耐圧容
器として使用出来ることが確認された。

〔考案の効果〕以上述べたように、本考案に係るポリエチレン
耐圧容器は、ポリエチレン製の耐圧容器本体を、
その外面に密着した円筒体、上下の固定板によつ
て保護し、これに開口部が底面凹部に達する液導
出管が接続された液導出ノズル、およびガス導入
ノズルを有するポリエチレン製口栓が気密に取付
けられており、全体が円筒状となつているため、
スペースをとらず、効率のよい運搬が可能で、し
かも、運搬中破損することもない。また、加圧し
た場合、容器本体のふくらみは、円筒体および上
下の固定板によつて支持され、加圧して薬液を送
給することが出来、さらに、充填された薬液の殆
ど全部が送給され、経時的に金属の含有量、パー
テイクルの増加がなく、半導体等に用いられる耐
圧容器として極めて優れたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図ａ，ｂ，ｃは、本考案に係
るポリエチレン耐圧容器の一実施例を示すもの
で、第１図は耐圧容器の縦断面図、第２図は保護
用円筒体の縦断面図、第３図ａは下固定板の平面
図、第３図ｂは第３図ａの−矢視断面図、第
３図ｃは第３図ａの′−′矢視断面図、第４図
ａは上固定板の平面図、第４図ｂは第４図ａの
−矢視断面図、第４図ｃは第４図ａの′−
′矢視断面図である。１……ポリエチレン製の容器本体（容器本体）、
２……口部、２ａ……雄ねじ、３……凹部、４…
…口栓、４ａ……雌ねじ、５……Ｏリング、６…
…ガス導入ノズル、７……液導出ノズル、７ａ…
…液導出管、８……保護用円筒体（円筒体）、９
……下固定板、１０……支持板体、１０ａ……
孔、１１……係止板体、１１ａ……肉厚部、１２
……溝部、１２ａ……溝、１３……補強リブ、１
４……ボルトナツト、１４ａ……ボルト孔、１５
……上固定板、１６……押え板体、１６ａ……
孔、１７……係止板体、１７ａ……肉厚部、１８
……補強リブ、１９……ボルトナツト、１９ａ…
…ボルト孔、２１……把手、２２……縁部材、２
３……蓋。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

有底円筒状で上方に開口する口部を有するポリ
エチレン製瓶形状の容器本体と、この容器本体の
口部に着脱自在、かつ気密に取付けられ、少なく
ともガス導入ノズルおよび上記容器本体の内底部
に近接して開口する液導出管が接続された液導出
ノズルを有するポリエチレン製の口栓と、上記容
器本体が、外周面を、内周面に接して嵌合される
保護用円筒体と、この保護用円筒体の内周面に外
周面が接し、上記容器本体の底部または肩部に、
上面または下面が当接するとともに、上記保護用
円筒体に着脱自在に固定された上下の固定板とを
有することを特徴としたポリエチレン耐圧容器。