JP3296862B2 - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- objective lens
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0096—Microscopes with photometer devices
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、対物レンズもしくは
鏡筒全体を上下して固定されたステージ上の標本に焦点
合わせし、前記ステージを挟んで他方からコンデンサレ
ンズを介して透過照明をする方式の顕微鏡に関する。
鏡筒全体を上下して固定されたステージ上の標本に焦点
合わせし、前記ステージを挟んで他方からコンデンサレ
ンズを介して透過照明をする方式の顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】上述した如き顕微鏡において分光透過率
測定等に利用される測光装置は例えば液晶パネル用カラ
ーフィルタまたは液晶素子等の分光透過率測定等に利用
され、特にステージが上下しない顕微鏡上で大型の測定
標本を小穴・直良型透過照明を用いて高精度に分光測光
する場合に便利である。勿論、単に高さの異なる標本を
ケーラー照明する場合でも有効である。
測定等に利用される測光装置は例えば液晶パネル用カラ
ーフィルタまたは液晶素子等の分光透過率測定等に利用
され、特にステージが上下しない顕微鏡上で大型の測定
標本を小穴・直良型透過照明を用いて高精度に分光測光
する場合に便利である。勿論、単に高さの異なる標本を
ケーラー照明する場合でも有効である。
【０００３】小穴・直良型光学系では投光側光学系と受
光側光学系とが標本を介して対称に配置され、投光側光
学系から微小スポット照明を測定対象となる標本に照射
することにより測定誤差の要因となるゴースト・フレア
を除去し高精度な分光測光が可能となっている。
光側光学系とが標本を介して対称に配置され、投光側光
学系から微小スポット照明を測定対象となる標本に照射
することにより測定誤差の要因となるゴースト・フレア
を除去し高精度な分光測光が可能となっている。
【０００４】図４には従来の顕微鏡測光装置の概要が示
されている。この従来の顕微鏡測光装置は、標本１０が
載置された上下動可能な標本ステージ１２と標本ステー
ジ１２上の標本１０の上方に上下動不可能な対物レンズ
１４とを備えた顕微鏡において、標本ステージ１２の下
方に設けられた全体照明ユニット１６及び上下動可能な
透過測光照明用ユニット１８を有している。上記従来の
顕微鏡測光装置はさらに、上記顕微鏡の鏡筒２０の上方
に分光測光ユニット２２を有している。
されている。この従来の顕微鏡測光装置は、標本１０が
載置された上下動可能な標本ステージ１２と標本ステー
ジ１２上の標本１０の上方に上下動不可能な対物レンズ
１４とを備えた顕微鏡において、標本ステージ１２の下
方に設けられた全体照明ユニット１６及び上下動可能な
透過測光照明用ユニット１８を有している。上記従来の
顕微鏡測光装置はさらに、上記顕微鏡の鏡筒２０の上方
に分光測光ユニット２２を有している。
【０００５】上述した従来の顕微鏡測光装置で標本ステ
ージ１２上の標本１０の分光透過率を測定するには、ま
ず最初に全体照明ユニット１６で標本１０の広い範囲を
照明している間に標本１０の測定ポイントを対物レンズ
１４の光軸下に移動させるとともに標本ステージ１２の
上下動摘み１２ａで対物レンズ１４に対する焦点位置合
わせを行う。次に全体照明ユニット１６からの光をシャ
ッタで遮蔽するとともに透過測光照明用ユニット１８に
より上記測定ポイントに透過測光用スポット光を照射す
る。透過測光用スポット光は透過測光照明用ユニット１
８のコンデンサレンズ３０を上下させることにより上記
測定ポイントに焦点合わせされる。焦点合わせされた後
に標本１０の測定ポイントを通過した透過測光用スポッ
ト光は対物レンズ１４を通過して分光測光ユニット２２
に導かれ、分光測光ユニット２２で測光される。この測
光の結果に基いた分光測光ユニット２２からの出力は制
御装置２４を介してコンピュータ２６で演算され上記測
定ポイントの分光透過率が算定される。
ージ１２上の標本１０の分光透過率を測定するには、ま
ず最初に全体照明ユニット１６で標本１０の広い範囲を
照明している間に標本１０の測定ポイントを対物レンズ
１４の光軸下に移動させるとともに標本ステージ１２の
上下動摘み１２ａで対物レンズ１４に対する焦点位置合
わせを行う。次に全体照明ユニット１６からの光をシャ
ッタで遮蔽するとともに透過測光照明用ユニット１８に
より上記測定ポイントに透過測光用スポット光を照射す
る。透過測光用スポット光は透過測光照明用ユニット１
８のコンデンサレンズ３０を上下させることにより上記
測定ポイントに焦点合わせされる。焦点合わせされた後
に標本１０の測定ポイントを通過した透過測光用スポッ
ト光は対物レンズ１４を通過して分光測光ユニット２２
に導かれ、分光測光ユニット２２で測光される。この測
光の結果に基いた分光測光ユニット２２からの出力は制
御装置２４を介してコンピュータ２６で演算され上記測
定ポイントの分光透過率が算定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した如き従来の顕
微鏡測光装置では、標本１０が撓んでいたり標本ステー
ジ１２の標本載置面の平面精度が良くないと、１つの標
本１０において測定ポイントを変える度に標本ステージ
１２の上方に位置した対物レンズ１４に対する標本１０
の新たな測定ポイントの焦点位置合わせが必要であるが
新たな測定ポイントに対する標本ステージ１２の下方の
透過測光照明用ユニット１８からの透過測光用スポット
光の焦点合わせは、対物レンズ１４とコンデンサレンズ
３０間が一定であるため必要はない。
微鏡測光装置では、標本１０が撓んでいたり標本ステー
ジ１２の標本載置面の平面精度が良くないと、１つの標
本１０において測定ポイントを変える度に標本ステージ
１２の上方に位置した対物レンズ１４に対する標本１０
の新たな測定ポイントの焦点位置合わせが必要であるが
新たな測定ポイントに対する標本ステージ１２の下方の
透過測光照明用ユニット１８からの透過測光用スポット
光の焦点合わせは、対物レンズ１４とコンデンサレンズ
３０間が一定であるため必要はない。
【０００７】しかし液晶パネルが例えば３００ｍｍ×４
００ｍｍ程度まで大型化している現在では、標本ステー
ジ１２の精密上下動機構を組み込んだ顕微鏡の作成が困
難になって来ているために、従来のピント合わせ方式が
採用出来ない。
００ｍｍ程度まで大型化している現在では、標本ステー
ジ１２の精密上下動機構を組み込んだ顕微鏡の作成が困
難になって来ているために、従来のピント合わせ方式が
採用出来ない。
【０００８】この発明は上記事情の下でなされ、この発
明の目的は、標本ステージの上下動機構をもたず対物レ
ンズもしくは鏡筒全体を上下して固定されたステージ上
の標本に焦点合わせし、前記ステージを挟んで他方から
コンデンサレンズを介して透過照明をする方式の顕微鏡
において、１つの標本において測定ポイントを変えた時
に標本の新たな測定ポイントに対する対物レンズの精密
な焦点位置合わせが必要となった場合に、標本ステージ
の下方の透過測光照明用ユニットからの透過測光用スポ
ット光の精密な焦点合わせを容易に素早く行うことが出
来る顕微鏡を提供することである。
明の目的は、標本ステージの上下動機構をもたず対物レ
ンズもしくは鏡筒全体を上下して固定されたステージ上
の標本に焦点合わせし、前記ステージを挟んで他方から
コンデンサレンズを介して透過照明をする方式の顕微鏡
において、１つの標本において測定ポイントを変えた時
に標本の新たな測定ポイントに対する対物レンズの精密
な焦点位置合わせが必要となった場合に、標本ステージ
の下方の透過測光照明用ユニットからの透過測光用スポ
ット光の精密な焦点合わせを容易に素早く行うことが出
来る顕微鏡を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
為にこの発明に従った顕微鏡は、対物レンズもしくは鏡
筒全体を上下して固定されたステージ上の標本に焦点を
合わせ、前記ステージを挟んで他方からコンデンサレン
ズを介して透過照明する方式の顕微鏡において、前記コ
ンデンサレンズを前記対物レンズとの間隔が一定に保た
れるように前記対物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に
連動させることを特徴としている。上述した目的を達成
する為にこの発明に従ったもう１つの顕微鏡は、対物レ
ンズもしくは鏡筒全体を上下して固定されたステージ上
の標本に焦点を合わせ、前記ステージを挟んで他方から
コンデンサレンズを介して透過照明する方式の顕微鏡に
おいて、前記対物レンズもしくは前記鏡筒全体を焦点合
わせの為に上下動させる対物レンズ上下機構と、前記コ
ンデンサレンズを上下動させるコンデンサレンズ上下機
構と、前記対物レンズと前記コンデンサレンズとの間隔
が常に一定に保たれるように前記対物レンズ上下動機構
の動作に前記コンデンサレンズ上下機構の動作を連動さ
せる連動手段と、を備えたことを特徴としている。
為にこの発明に従った顕微鏡は、対物レンズもしくは鏡
筒全体を上下して固定されたステージ上の標本に焦点を
合わせ、前記ステージを挟んで他方からコンデンサレン
ズを介して透過照明する方式の顕微鏡において、前記コ
ンデンサレンズを前記対物レンズとの間隔が一定に保た
れるように前記対物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に
連動させることを特徴としている。上述した目的を達成
する為にこの発明に従ったもう１つの顕微鏡は、対物レ
ンズもしくは鏡筒全体を上下して固定されたステージ上
の標本に焦点を合わせ、前記ステージを挟んで他方から
コンデンサレンズを介して透過照明する方式の顕微鏡に
おいて、前記対物レンズもしくは前記鏡筒全体を焦点合
わせの為に上下動させる対物レンズ上下機構と、前記コ
ンデンサレンズを上下動させるコンデンサレンズ上下機
構と、前記対物レンズと前記コンデンサレンズとの間隔
が常に一定に保たれるように前記対物レンズ上下動機構
の動作に前記コンデンサレンズ上下機構の動作を連動さ
せる連動手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
【作用】対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して固定さ
れたステージ上の標本に焦点合わせし、前記ステージを
挟んで他方からコンデンサレンズを介して透過照明をす
る方式の顕微鏡において、コンデンサレンズを対物レン
ズとの間隔が一定に保たれるよう対物レンズもしくは鏡
筒全体の上下動に連動させ、適正な透過照明が得られ
る。
れたステージ上の標本に焦点合わせし、前記ステージを
挟んで他方からコンデンサレンズを介して透過照明をす
る方式の顕微鏡において、コンデンサレンズを対物レン
ズとの間隔が一定に保たれるよう対物レンズもしくは鏡
筒全体の上下動に連動させ、適正な透過照明が得られ
る。
【００１１】
【実施例】以下この発明の一実施例を添付の図面中の図
1乃至図３を参照しながら詳細に説明する。図１には、
この発明の一実施例に従った顕微鏡の測光装置の要部が
概略的に示されている。
1乃至図３を参照しながら詳細に説明する。図１には、
この発明の一実施例に従った顕微鏡の測光装置の要部が
概略的に示されている。
【００１２】上記要部は、顕微鏡の標本ステージ５０の
上方で標本ステージ５０上に載置された標本５２に対向
している対物レンズ５４を上下に移動させる為の対物レ
ンズ上下機構５６と、標本ステージ５０の下方で標本ス
テージ５０上に載置された標本５２に対向しているコン
デンサレンズ５８を上下に移動させる為のコンデンサレ
ンズ上下機構６０と、対物レンズ上下機構５６及びコン
デンサレンズ上下機構６０の動作を制御する為の制御ユ
ニット６２と、を備えている。コンデンサレンズ５８は
標本５２の測定ポイントに対してスポット光を照射する
透過測光照明用ユニットの一部である。
上方で標本ステージ５０上に載置された標本５２に対向
している対物レンズ５４を上下に移動させる為の対物レ
ンズ上下機構５６と、標本ステージ５０の下方で標本ス
テージ５０上に載置された標本５２に対向しているコン
デンサレンズ５８を上下に移動させる為のコンデンサレ
ンズ上下機構６０と、対物レンズ上下機構５６及びコン
デンサレンズ上下機構６０の動作を制御する為の制御ユ
ニット６２と、を備えている。コンデンサレンズ５８は
標本５２の測定ポイントに対してスポット光を照射する
透過測光照明用ユニットの一部である。
【００１３】対物レンズ上下機構５６は、パルスモータ
６４と、パルスモータ６４の出力軸にカップリング６６
を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動に変換す
るマイクロねじ移動調整機構６８と、マイクロねじ移動
調整機構６８の前後運動を上下動に変換する１８０度回
転したＬ字形状のアーム部材７０（以下Ｌ字形状アーム
部材という）と、を含んでいる。Ｌ字形状アーム部材７
０は曲折部７０ａが例えば図示しない顕微鏡の支持フレ
ームに回動自在に支持されており、下方延出部の下端に
配置された回転リング７０ｂをマイクロねじ移動調整機
構６８のマイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢
されている。マイクロねじ移動調整機構６８がマイクロ
ねじを前進させると前進したマイクロねじにより下方延
出部の下端の回転リング７０ｂを押圧されたＬ字形状ア
ーム部材７０は水平延出部の延出端に配置された回転リ
ング７０ｃを上方向に移動させるよう曲折部７０ａを中
心に回動する。マイクロねじ移動調整機構６８がマイク
ロねじを後退させるとＬ字形状アーム部材７０は上記付
勢により下方延出部の下端の回転リング７０ｂをマイク
ロねじに追従させ水平延出部の延出端に配置された回転
リング７０ｃを下方向に移動させるよう曲折部７０ａを
中心に回動する。
６４と、パルスモータ６４の出力軸にカップリング６６
を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動に変換す
るマイクロねじ移動調整機構６８と、マイクロねじ移動
調整機構６８の前後運動を上下動に変換する１８０度回
転したＬ字形状のアーム部材７０（以下Ｌ字形状アーム
部材という）と、を含んでいる。Ｌ字形状アーム部材７
０は曲折部７０ａが例えば図示しない顕微鏡の支持フレ
ームに回動自在に支持されており、下方延出部の下端に
配置された回転リング７０ｂをマイクロねじ移動調整機
構６８のマイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢
されている。マイクロねじ移動調整機構６８がマイクロ
ねじを前進させると前進したマイクロねじにより下方延
出部の下端の回転リング７０ｂを押圧されたＬ字形状ア
ーム部材７０は水平延出部の延出端に配置された回転リ
ング７０ｃを上方向に移動させるよう曲折部７０ａを中
心に回動する。マイクロねじ移動調整機構６８がマイク
ロねじを後退させるとＬ字形状アーム部材７０は上記付
勢により下方延出部の下端の回転リング７０ｂをマイク
ロねじに追従させ水平延出部の延出端に配置された回転
リング７０ｃを下方向に移動させるよう曲折部７０ａを
中心に回動する。
【００１４】Ｌ字形状アーム部材７０の水平延出部の延
出端の回転リング７０ｃ上には対物レンズ５４を支持し
た対物レンズ支持台７２が載置されており、対物レンズ
支持台７２は例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの
一部に上下動自在に支持されている。対物レンズ支持台
７２はＬ字形状アーム部材７０の水平延出部の延出端の
上下動により図示しない顕微鏡の支持フレームの一部に
対して上下に移動され、標本ステージ５０上に載置され
た標本５２に対する対物レンズ５４の焦点合わせを行
う。
出端の回転リング７０ｃ上には対物レンズ５４を支持し
た対物レンズ支持台７２が載置されており、対物レンズ
支持台７２は例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの
一部に上下動自在に支持されている。対物レンズ支持台
７２はＬ字形状アーム部材７０の水平延出部の延出端の
上下動により図示しない顕微鏡の支持フレームの一部に
対して上下に移動され、標本ステージ５０上に載置され
た標本５２に対する対物レンズ５４の焦点合わせを行
う。
【００１５】コンデンサレンズ上下機構６０は対物レン
ズ上下機構５６と同様な構造を含んでいる。即ち、パル
スモータ７４と、パルスモータ７４の出力軸にカップリ
ング７６を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動
に変換するマイクロねじ移動調整機構７８と、マイクロ
ねじ移動調整機構７８の前後運動を上下動に変換する１
８０度回転したＬ字形状のアーム部材８０（以下Ｌ字形
状アーム部材という）と、を含んでいる。
ズ上下機構５６と同様な構造を含んでいる。即ち、パル
スモータ７４と、パルスモータ７４の出力軸にカップリ
ング７６を介して連結され上記出力軸の回転を前後運動
に変換するマイクロねじ移動調整機構７８と、マイクロ
ねじ移動調整機構７８の前後運動を上下動に変換する１
８０度回転したＬ字形状のアーム部材８０（以下Ｌ字形
状アーム部材という）と、を含んでいる。
【００１６】Ｌ字形状アーム部材８０は曲折部８０ａが
例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの一部８２に回
動自在に支持されており、下方延出部の下端に配置され
た回転リング８０ｂをマイクロねじ移動調整機構７８の
マイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢されてい
る。マイクロねじ移動調整機構７８がマイクロねじを前
進させると前進したマイクロねじにより下方延出部の下
端の回転リング８０ｂを押圧されたＬ字形状アーム部材
８０は水平延出部の延出端に配置された回転リング８０
ｃを上方向に移動させるよう曲折部８０ａを中心に回動
する。マイクロねじ移動調整機構７８がマイクロねじを
後退させるとＬ字形状アーム部材８０は上記付勢により
下方延出部の下端の回転リング８０ｂをマイクロねじに
追従させ水平延出部の延出端に配置された回転リング８
０ｃを下方向に移動させるよう曲折部８０ａを中心に回
動する。
例えば図示しない顕微鏡の支持フレームの一部８２に回
動自在に支持されており、下方延出部の下端に配置され
た回転リング８０ｂをマイクロねじ移動調整機構７８の
マイクロねじの先端に当接させるよう軽く付勢されてい
る。マイクロねじ移動調整機構７８がマイクロねじを前
進させると前進したマイクロねじにより下方延出部の下
端の回転リング８０ｂを押圧されたＬ字形状アーム部材
８０は水平延出部の延出端に配置された回転リング８０
ｃを上方向に移動させるよう曲折部８０ａを中心に回動
する。マイクロねじ移動調整機構７８がマイクロねじを
後退させるとＬ字形状アーム部材８０は上記付勢により
下方延出部の下端の回転リング８０ｂをマイクロねじに
追従させ水平延出部の延出端に配置された回転リング８
０ｃを下方向に移動させるよう曲折部８０ａを中心に回
動する。
【００１７】Ｌ字形状アーム部材８０の水平延出部の延
出端の回転リング８０ｃ上にはコンデンサレンズ５８を
支持したコンデンサレンズ支持台８４が載置されてお
り、コンデンサレンズ支持台８４は上記支持フレームの
一部８２に上下動自在に支持されている。コンデンサレ
ンズ支持台８４はＬ字形状アーム部材８０の水平延出部
の延出端の上下動により上記支持フレームの一部８２に
対して上下に移動され、標本ステージ５０上に載置され
た標本５２に対するコンデンサレンズ５８の焦点合わせ
を行う。即ち、標本５２の測定ポイントに対して透過測
光照明用ユニットからコンデンサレンズ５８を介して照
射されるスポット光の焦点合わせが行われる。
出端の回転リング８０ｃ上にはコンデンサレンズ５８を
支持したコンデンサレンズ支持台８４が載置されてお
り、コンデンサレンズ支持台８４は上記支持フレームの
一部８２に上下動自在に支持されている。コンデンサレ
ンズ支持台８４はＬ字形状アーム部材８０の水平延出部
の延出端の上下動により上記支持フレームの一部８２に
対して上下に移動され、標本ステージ５０上に載置され
た標本５２に対するコンデンサレンズ５８の焦点合わせ
を行う。即ち、標本５２の測定ポイントに対して透過測
光照明用ユニットからコンデンサレンズ５８を介して照
射されるスポット光の焦点合わせが行われる。
【００１８】対物レンズ上下機構５６のパルスモータ６
４，カップリング６６，マイクロねじ移動調整機構６
８，そしてＬ字形状アーム部材７０は、コンデンサレン
ズ上下機構６０のパルスモータ７４，カップリング７
６，マイクロねじ移動調整機構７８，そしてＬ字形状ア
ーム部材８０と全く同一である。よって対物レンズ上下
機構５６のパルスモータ６４が１パルス分所定の方向に
回転した時の対物レンズ５４の上下方向における移動方
向及び移動距離とコンデンサレンズ上下機構６０のパル
スモータ７４が１パルス分所定の方向に回転した時のコ
ンデンサレンズ５８の上下方向における移動方向及び移
動距離とは全く同一である。
４，カップリング６６，マイクロねじ移動調整機構６
８，そしてＬ字形状アーム部材７０は、コンデンサレン
ズ上下機構６０のパルスモータ７４，カップリング７
６，マイクロねじ移動調整機構７８，そしてＬ字形状ア
ーム部材８０と全く同一である。よって対物レンズ上下
機構５６のパルスモータ６４が１パルス分所定の方向に
回転した時の対物レンズ５４の上下方向における移動方
向及び移動距離とコンデンサレンズ上下機構６０のパル
スモータ７４が１パルス分所定の方向に回転した時のコ
ンデンサレンズ５８の上下方向における移動方向及び移
動距離とは全く同一である。
【００１９】対物レンズ上下機構５６のパルスモータ６
４とコンデンサレンズ上下機構６０のパルスモータ７４
とはモータドライバ８６を介して制御ユニット６２に連
結されている。制御ユニット６２にはさらに操作ユニッ
ト８８が連結されており、操作ユニット８８を操作する
ことにより、対物レンズ上下機構５６及びコンデンサレ
ンズ上下機構６０の夫々を単独で操作することも出来る
し、また対物レンズ上下機構５６とコンデンサレンズ上
下機構６０とを同時に同様に操作することも出来る。
４とコンデンサレンズ上下機構６０のパルスモータ７４
とはモータドライバ８６を介して制御ユニット６２に連
結されている。制御ユニット６２にはさらに操作ユニッ
ト８８が連結されており、操作ユニット８８を操作する
ことにより、対物レンズ上下機構５６及びコンデンサレ
ンズ上下機構６０の夫々を単独で操作することも出来る
し、また対物レンズ上下機構５６とコンデンサレンズ上
下機構６０とを同時に同様に操作することも出来る。
【００２０】即ち、まず最初は対物レンズ上下機構５６
及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を単独で操作
することにより標本ステージ５０上の標本５２に対する
対物レンズ５４の焦点合わせと透過測光照明用ユニット
からコンデンサレンズ５８を介して照射されるスポット
光の焦点合わせとを夫々別個に行う。その後は対物レン
ズ上下機構５６とコンデンサレンズ上下機構６０とを同
時に同様に操作し、１つの標本５２において測定ポイン
トを変える度に標本５２に対する対物レンズ５４の焦点
合わせを行うことにより透過測光照明用ユニットからコ
ンデンサレンズ５８を介して照射されるスポット光の焦
点合わせも自動的に同時に行えるようにする。
及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を単独で操作
することにより標本ステージ５０上の標本５２に対する
対物レンズ５４の焦点合わせと透過測光照明用ユニット
からコンデンサレンズ５８を介して照射されるスポット
光の焦点合わせとを夫々別個に行う。その後は対物レン
ズ上下機構５６とコンデンサレンズ上下機構６０とを同
時に同様に操作し、１つの標本５２において測定ポイン
トを変える度に標本５２に対する対物レンズ５４の焦点
合わせを行うことにより透過測光照明用ユニットからコ
ンデンサレンズ５８を介して照射されるスポット光の焦
点合わせも自動的に同時に行えるようにする。
【００２１】図２には、図１に示された顕微鏡測光装置
を組み込んだ顕微鏡の全体の構成が概略的に示されてい
る。図２では図１に示された部材と同じ部材には同じ参
照符号を記し、その詳細な説明は省略する。図２には、
図１では省略されていた顕微鏡のフレ−ム９０が示され
ている。
を組み込んだ顕微鏡の全体の構成が概略的に示されてい
る。図２では図１に示された部材と同じ部材には同じ参
照符号を記し、その詳細な説明は省略する。図２には、
図１では省略されていた顕微鏡のフレ−ム９０が示され
ている。
【００２２】フレ−ム９０には大型の標本ステージ５０
が固定されていて、標本ステージ５０の下方で透過測光
照明用ユニットのコンデンサレンズ５８を上下動自在に
支持しているフレ−ム９０の一部８２の周囲には、透過
測光照明用ユニットの本体９２，ランプ９４，及び安定
化電源９６やコンデンサレンズ上下機構６０が配置され
ている。
が固定されていて、標本ステージ５０の下方で透過測光
照明用ユニットのコンデンサレンズ５８を上下動自在に
支持しているフレ−ム９０の一部８２の周囲には、透過
測光照明用ユニットの本体９２，ランプ９４，及び安定
化電源９６やコンデンサレンズ上下機構６０が配置され
ている。
【００２３】フレ−ム９０は標本ステージ５０の上方に
も延出しており、上端部に対物レンズ上下機構５６を支
持している。フレ−ム９０の上端部にはさらに、対物レ
ンズ５４の鏡筒９８に、分光アダプタ９９を介して分光
測光装置１００が支持されている。
も延出しており、上端部に対物レンズ上下機構５６を支
持している。フレ−ム９０の上端部にはさらに、対物レ
ンズ５４の鏡筒９８に、分光アダプタ９９を介して分光
測光装置１００が支持されている。
【００２４】透過測光照明用ユニットの本体９２，分光
アダプタ９９，そして分光測光装置１００は分光測光用
制御器１０２を介して分光測光用コンピュータ１０４に
接続されている。
アダプタ９９，そして分光測光装置１００は分光測光用
制御器１０２を介して分光測光用コンピュータ１０４に
接続されている。
【００２５】対物レンズ５４の鏡筒９８及び透過測光照
明用ユニットのコンデンサレンズ５８を上下動自在に支
持しているフレ−ム９０の一部８２には標本ステージ５
０上の標本５２を透過測光照明用ユニットからコンデン
サレンズ５８を介して標本５２の測定ポイントに照射さ
れるスポット光よりもはるかに広い範囲を照らし鏡筒９
８の末端の接眼レンズ１０６で観察する為の広範囲照明
用光源１０８がグラスファイバ１１０を介して連結され
ている。なお広範囲照明用光源１０８からの光は前述し
た如く、透過測光照明用ユニットからのスポット光を利
用して標本５２の測定ポイントの分光測光を分光測光装
置１００により行う場合には、選択的に遮蔽される。
明用ユニットのコンデンサレンズ５８を上下動自在に支
持しているフレ−ム９０の一部８２には標本ステージ５
０上の標本５２を透過測光照明用ユニットからコンデン
サレンズ５８を介して標本５２の測定ポイントに照射さ
れるスポット光よりもはるかに広い範囲を照らし鏡筒９
８の末端の接眼レンズ１０６で観察する為の広範囲照明
用光源１０８がグラスファイバ１１０を介して連結され
ている。なお広範囲照明用光源１０８からの光は前述し
た如く、透過測光照明用ユニットからのスポット光を利
用して標本５２の測定ポイントの分光測光を分光測光装
置１００により行う場合には、選択的に遮蔽される。
【００２６】図３には、対物レンズ上下機構５６及びコ
ンデンサレンズ上下機構６０の為の図１及び図２に示さ
れた制御ユニット６２における種々の操作スイッチの配
置が概略的に示されている。
ンデンサレンズ上下機構６０の為の図１及び図２に示さ
れた制御ユニット６２における種々の操作スイッチの配
置が概略的に示されている。
【００２７】制御ユニット６２は、顕微鏡の標本ステー
ジ５０への標本５２の積載及び標本ステージ５０からの
標本５２の取り退きの容易の為に対物レンズ上下機構５
６及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を同時に駆
動して対物レンズ５４及びコンデンサレンズ５８の夫々
を標本ステージ５０からもっとも遠い位置まで移動させ
る為の退避スイッチ１１２と、対物レンズ上下機構５６
及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を単独で操作
する為の単独操作モードと対物レンズ上下機構５６の動
作にコンデンサレンズ上下機構６０の動作を連動させる
為の連動操作モードとの間で選択的にモード切り替えを
行う為のモード切り替えスイッチ１１４と、を含んでい
る。
ジ５０への標本５２の積載及び標本ステージ５０からの
標本５２の取り退きの容易の為に対物レンズ上下機構５
６及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を同時に駆
動して対物レンズ５４及びコンデンサレンズ５８の夫々
を標本ステージ５０からもっとも遠い位置まで移動させ
る為の退避スイッチ１１２と、対物レンズ上下機構５６
及びコンデンサレンズ上下機構６０の夫々を単独で操作
する為の単独操作モードと対物レンズ上下機構５６の動
作にコンデンサレンズ上下機構６０の動作を連動させる
為の連動操作モードとの間で選択的にモード切り替えを
行う為のモード切り替えスイッチ１１４と、を含んでい
る。
【００２８】制御ユニット６２はさらに、対物レンズ上
下機構５６の上下動操作の為の１対の対物レンズ上下ス
イッチ１１６ａ，１１６ｂと、コンデンサレンズ上下機
構６０の上下動操作の為の１対のコンデンサレンズ上下
スイッチ１１８ａ，１１８ｂと、を含んでいる。
下機構５６の上下動操作の為の１対の対物レンズ上下ス
イッチ１１６ａ，１１６ｂと、コンデンサレンズ上下機
構６０の上下動操作の為の１対のコンデンサレンズ上下
スイッチ１１８ａ，１１８ｂと、を含んでいる。
【００２９】モード切り替えスイッチ１１４で単独操作
モードが設定された時には、１対の対物レンズ上下スイ
ッチ１１６ａ，１１６ｂ及び１対のコンデンサレンズ上
下スイッチ１１８ａ，１１８ｂの夫々を使用して対物レ
ンズ５４及びコンデンサレンズ５８の夫々を単独で別個
に上下動させることが出来る。
モードが設定された時には、１対の対物レンズ上下スイ
ッチ１１６ａ，１１６ｂ及び１対のコンデンサレンズ上
下スイッチ１１８ａ，１１８ｂの夫々を使用して対物レ
ンズ５４及びコンデンサレンズ５８の夫々を単独で別個
に上下動させることが出来る。
【００３０】また、モード切り替えスイッチ１１４で連
動操作モードが設定された時には、１対の対物レンズ上
下スイッチ１１６ａ，１１６ｂを操作して対物レンズ上
下機構５６により対物レンズ５４を上下させることに対
応して、１対のコンデンサレンズ上下スイッチ１１８
ａ，１１８ｂを操作しなくとも、コンデンサレンズ上下
機構６０によりコンデンサレンズ５８もまた対物レンズ
５４の上方向への移動距離及び下方向への移動距離と同
じ方向に同じ距離だけ移動させることが出来る。
動操作モードが設定された時には、１対の対物レンズ上
下スイッチ１１６ａ，１１６ｂを操作して対物レンズ上
下機構５６により対物レンズ５４を上下させることに対
応して、１対のコンデンサレンズ上下スイッチ１１８
ａ，１１８ｂを操作しなくとも、コンデンサレンズ上下
機構６０によりコンデンサレンズ５８もまた対物レンズ
５４の上方向への移動距離及び下方向への移動距離と同
じ方向に同じ距離だけ移動させることが出来る。
【００３１】上述した実施例において、対物レンズ５４
側にオートフォーカスユニットを組み込むと、制御ユニ
ット６２におけるモード切り替えスイッチ１１４は不要
になり、ひいては１対の対物レンズ上下スイッチ１１６
ａ，１１６ｂ及び１対のコンデンサレンズ上下スイッチ
１１８ａ，１１８ｂの夫々も不要となる。つまり、対物
レンズ５４とコンデンサレンズ５８との間の距離をあら
かじめ設定しなければならないし、対物レンズ５４をオ
ートフォーカスユニットにより自動的に焦点合わせを行
った後、あらかじめ設定された値に従ってコンデンサレ
ンズ５８の焦点を自動的に合わせる。
側にオートフォーカスユニットを組み込むと、制御ユニ
ット６２におけるモード切り替えスイッチ１１４は不要
になり、ひいては１対の対物レンズ上下スイッチ１１６
ａ，１１６ｂ及び１対のコンデンサレンズ上下スイッチ
１１８ａ，１１８ｂの夫々も不要となる。つまり、対物
レンズ５４とコンデンサレンズ５８との間の距離をあら
かじめ設定しなければならないし、対物レンズ５４をオ
ートフォーカスユニットにより自動的に焦点合わせを行
った後、あらかじめ設定された値に従ってコンデンサレ
ンズ５８の焦点を自動的に合わせる。
【００３２】この場合には、退避モード解除スイッチま
たは測定スタートスイッチを設け、このスイッチをオン
状態とすることにより、標本５２に対する対物レンズ５
４の焦点合わせがオートフォーカスユニットを介して対
物レンズ上下機構５６により行われると同時に制御ユニ
ット６２を介してコンデンサレンズ上下機構６０により
透過測光照明用ユニットからコンデンサレンズ５８を介
して照射されるスポット光の焦点合わせも自動的に行わ
れる。
たは測定スタートスイッチを設け、このスイッチをオン
状態とすることにより、標本５２に対する対物レンズ５
４の焦点合わせがオートフォーカスユニットを介して対
物レンズ上下機構５６により行われると同時に制御ユニ
ット６２を介してコンデンサレンズ上下機構６０により
透過測光照明用ユニットからコンデンサレンズ５８を介
して照射されるスポット光の焦点合わせも自動的に行わ
れる。
【００３３】また上述した実施例では、対物レンズ上下
機構５６とコンデンサレンズ上下機構６０の両者が夫々
同じパルスモータ６４，７４を含んでいて、これらのパ
ルスモータ６４，７４を制御ユニット６２により選択的
に同じく制御していたが、対物レンズ上下機構５６とコ
ンデンサレンズ上下機構６０とを機械的なリンク機構に
より連結し対物レンズ５４及びコンデンサレンズ５８の
両者を同時に同じ方向に同じ距離移動させるようにして
も良い。
機構５６とコンデンサレンズ上下機構６０の両者が夫々
同じパルスモータ６４，７４を含んでいて、これらのパ
ルスモータ６４，７４を制御ユニット６２により選択的
に同じく制御していたが、対物レンズ上下機構５６とコ
ンデンサレンズ上下機構６０とを機械的なリンク機構に
より連結し対物レンズ５４及びコンデンサレンズ５８の
両者を同時に同じ方向に同じ距離移動させるようにして
も良い。
【００３４】
【発明の効果】以上詳述した如く、この発明の顕微鏡
は、対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して固定された
ステージ上の標本に精密な焦点合わせが可能であるばか
りでなく従来よりもはるかに大型の例えば液晶基板やカ
ラーフィルターの如き標本に対して容易かつ高精度にお
こなうことが出来る。
は、対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して固定された
ステージ上の標本に精密な焦点合わせが可能であるばか
りでなく従来よりもはるかに大型の例えば液晶基板やカ
ラーフィルターの如き標本に対して容易かつ高精度にお
こなうことが出来る。
【００３５】さらにこの発明の顕微鏡では、対物レンズ
もしくは鏡筒全体の上下動に連動してコンデンサレンズ
が上下動し対物レンズとコンデンサレンズとの間隔を一
定に保ち適正な透過照明を可能としたので、１つの標本
において測定ポイントを変える度に必要となる対物レン
ズに対する標本の新たな測定ポイントの焦点位置合わせ
と新たな測定ポイントに対する標本ステージの下方の透
過測光照明用ユニットからの透過測光用スポット光の焦
点合わせとを容易に素早く行うことが出来る。
もしくは鏡筒全体の上下動に連動してコンデンサレンズ
が上下動し対物レンズとコンデンサレンズとの間隔を一
定に保ち適正な透過照明を可能としたので、１つの標本
において測定ポイントを変える度に必要となる対物レン
ズに対する標本の新たな測定ポイントの焦点位置合わせ
と新たな測定ポイントに対する標本ステージの下方の透
過測光照明用ユニットからの透過測光用スポット光の焦
点合わせとを容易に素早く行うことが出来る。
【図１】この発明の一実施例に従った顕微鏡の測光装置
の要部を概略的に示す図。
の要部を概略的に示す図。
【図２】図１に示された顕微鏡の全体の構成を概略的に
示す図。
示す図。
【図３】対物レンズ上下機構及びコンデンサレンズ上下
機構の為の図１及び図２に示された制御ユニットにおけ
る種々の操作スイッチの配置を概略的に示す図。
機構の為の図１及び図２に示された制御ユニットにおけ
る種々の操作スイッチの配置を概略的に示す図。
【図４】従来の顕微鏡測光装置の概要を示す図である。
５０…標本ステージ、５２…標本、５４…対物レンズ、
５６…対物レンズ上下機構、５８…コンデンサレンズ、
６０…コンデンサレンズ上下機構、６２…制御ユニッ
ト、６４…パルスモータ、６６…カップリング、６８…
マイクロねじ移動調整機構、７０…Ｌ字形状アーム部
材、７０ａ…曲折部、７０ｂ…回転リング、７０ｃ…回
転リング、７２…対物レンズ支持台、７４…パルスモー
タ、７６…カップリング、７８…マイクロねじ移動調整
機構、８０…Ｌ字形状アーム部材、８０ａ…曲折部、８
０ｂ…回転リング、８０ｃ…回転リング、８２…支持フ
レームの一部、８４…コンデンサレンズ支持台、８６…
モータドライバ、８８…操作ユニット、９０…フレ−
ム、９２…透過測光照明用ユニットの本体、９４…ラン
プ、９６…安定化電源、９８…鏡筒、９９…分光アダプ
タ、１００…分光測光装置、１０２…分光測光用制御
器、１０４…分光測光用コンピュータ、１０６…接眼レ
ンズ、１０８…広範囲照明用光源、１１０…グラスファ
イバ、１１２…退避スイッチ、１１４…モード切り替え
スイッチ、１１６ａ，１１６ｂ…対物レンズ上下スイッ
チ、１１８ａ，１１８ｂ…コンデンサレンズ上下スイッ
チ。
５６…対物レンズ上下機構、５８…コンデンサレンズ、
６０…コンデンサレンズ上下機構、６２…制御ユニッ
ト、６４…パルスモータ、６６…カップリング、６８…
マイクロねじ移動調整機構、７０…Ｌ字形状アーム部
材、７０ａ…曲折部、７０ｂ…回転リング、７０ｃ…回
転リング、７２…対物レンズ支持台、７４…パルスモー
タ、７６…カップリング、７８…マイクロねじ移動調整
機構、８０…Ｌ字形状アーム部材、８０ａ…曲折部、８
０ｂ…回転リング、８０ｃ…回転リング、８２…支持フ
レームの一部、８４…コンデンサレンズ支持台、８６…
モータドライバ、８８…操作ユニット、９０…フレ−
ム、９２…透過測光照明用ユニットの本体、９４…ラン
プ、９６…安定化電源、９８…鏡筒、９９…分光アダプ
タ、１００…分光測光装置、１０２…分光測光用制御
器、１０４…分光測光用コンピュータ、１０６…接眼レ
ンズ、１０８…広範囲照明用光源、１１０…グラスファ
イバ、１１２…退避スイッチ、１１４…モード切り替え
スイッチ、１１６ａ，１１６ｂ…対物レンズ上下スイッ
チ、１１８ａ，１１８ｂ…コンデンサレンズ上下スイッ
チ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平８−160309（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−205411（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−207054（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−12213（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/04 - 21/36
Claims (7)
- 【請求項１】 対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して
固定されたステージ上の標本に焦点を合わせ、前記ステ
ージを挟んで他方からコンデンサレンズを介して透過照
明する方式の顕微鏡において、前記コンデンサレンズを
前記対物レンズとの間隔が一定に保たれるように前記対
物レンズもしくは鏡筒全体の上下動に連動させることを
特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 対物レンズもしくは鏡筒全体を上下して
固定されたステージ上の標本に焦点を合わせ、前記ステ
ージを挟んで他方からコンデンサレンズを介して透過照
明する方式の顕微鏡において、前記対物レンズもしくは
前記鏡筒全体を焦点合わせの為に上下動させる対物レン
ズ上下機構と、前記コンデンサレンズを上下動させるコ
ンデンサレンズ上下機構と、前記対物レンズと前記コン
デンサレンズとの間隔が常に一定に保たれるように前記
対物レンズ上下動機構の動作に前記コンデンサレンズ上
下機構の動作を連動させる連動手段と、を備えたことを
特徴とする顕微鏡。 - 【請求項３】 前記連動手段は、前記対物レンズ上下機
構と前記コンデンサレンズ上下機構とを電動駆動により
制御可能であり、前記対物レンズ上下機構と前記コンデ
ンサレンズ上下機構の夫々を単独で操作する単独操作モ
ードと、前記夫々の動作を連動させる連動操作モード
と、の間で切り換える制御部を備えたことを特徴とする
請求項２に記載の顕微鏡。 - 【請求項４】 前記制御部は、前記ステージ上の標本に
対して前記対物レンズ及び前記コンデンサレンズの夫々
を別個に焦点合わせさせるために前記単独操作モードに
設定され、その後は前記連続操作モードに設定されて前
記対物レンズ上下機構による前記対物レンズの上下移動
の方向及び距離と同じ方向及び距離だけ前記コンデンサ
レンズ上下機構により前記コンデンサレンズを上下移動
させることを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡。 - 【請求項５】 前記制御部は、前記対物レンズ上下機構
及び前記コンデンサレンズ上下機構の夫々を同時に駆動
して前記対物レンズ及び前記コンデンサレンズの夫々を
前記ステージから遠ざかる方向に移動させる退避機能を
有していることを特徴とする請求項３に記載の顕微鏡。 - 【請求項６】 前記対物レンズ上下機構及び前記コンデ
ンサレンズ上下機構の夫々は、モータの出力軸の回転を
直線運動に変換するマイクロねじ移動調整機構と、該マ
イクロねじ移動調整機構の直線運動を上下動に変換する
てこ機構と、を備えたことを特徴とする請求項２に記載
の顕微鏡。 - 【請求項７】 前記対物レンズ上下機構及び前記コンデ
ンサレンズ上下機構の夫々は同じ構成であって、相互に
機械的なリンク機構により連結することにより対物レン
ズ及びコンデンサレンズの両者を同時に同じ方向に同じ
距離移動させることを特徴とする請求項２に記載の顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32201492A JP3296862B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32201492A JP3296862B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06175032A JPH06175032A (ja) | 1994-06-24 |
| JP3296862B2 true JP3296862B2 (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=18138963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32201492A Expired - Fee Related JP3296862B2 (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3296862B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4653292B2 (ja) * | 2000-08-09 | 2011-03-16 | オリンパス株式会社 | システム顕微鏡 |
| JP5208340B2 (ja) * | 2001-09-20 | 2013-06-12 | オリンパス株式会社 | 透過型顕微鏡装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60205411A (ja) * | 1984-03-29 | 1985-10-17 | Olympus Optical Co Ltd | 倒立型顕微鏡 |
| JPH01207054A (ja) * | 1988-02-15 | 1989-08-21 | Olympus Optical Co Ltd | レーザ照射装置 |
| JPH0312213U (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-07 | ||
| JPH08160309A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-06-21 | Olympus Optical Co Ltd | 光学顕微鏡 |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP32201492A patent/JP3296862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06175032A (ja) | 1994-06-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011120 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020319 |
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