JP3310036B2 - チップマウンターの部品ベリファイ装置及び部品ベリファイ装置のクリーニング方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、部品の特性を測定する
チップマウンターの部品ベリファイ装置及び部品ベリフ
ァイ装置のクリーニング方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板上の予め決められた位置に、例えば
ダイオード、抵抗やコンデンサ等の電子素子を自動的に
設置するチップマウンターと称される電子素子自動搭載
装置が知られている。このチップマウンターには、電子
素子の電気的な特性、例えば抵抗値、コンデンサ容量、
ダイオード極性等を該電子素子を基板上に搭載する前に
予め測定してチェックするベリファイ装置が備えられて
いる。このベリファイ装置は、一対の接触子と、部品の
特性測定時に、接触子を互いに接近する方向にそれぞれ
移動させて部品を接触子間に接触させ、部品の特性測定
が終了したら、接触子を互いに離間する方向にそれぞれ
移動させる接触子移動手段と、部品を把持した接触子か
らの信号により部品の特性を測定する特性測定装置から
構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、このベリファ
イ装置を使用していると上記接触子には汚れが付着して
いき、そのまま放置しておくとこの汚れにより特性チェ
ックが正確に行われなくなる。従って作業員等が脱脂綿
や綿棒等を使って清掃しているが、人間が行うことなの
で定期的に行われなかったり、面倒がって清掃を省略し
たりするために、特性チェックが不安定となり、信頼性
が低下するという問題がある。

【０００４】そこで第１の発明は、接触子のクリーニン
グを任意の時期に自動的に行うことを可能とし、特性測
定の信頼性の向上されたチップマウンターの部品ベリフ
ァイ装置及び部品ベリファイ装置のクリーニング方法を
提供することを目的とする。

【０００５】また第２の発明は、接触子のクリーニング
を任意の時期に自動的に行うことを可能とし、しかもク
リーニング時の接触子の把持力を最適に設定でき、接触
子のクリーニングを第１の発明よりさらに確実に行うこ
とが可能となる特性測定の信頼性のさらに向上されたチ
ップマウンターの部品ベリファイ装置及び部品ベリファ
イ装置のクリーニング方法を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】第１の発明のチップマウ
ンターの部品ベリファイ装置は上記目的を達成するため
に、一対の接触子と、 部品の特性測定時に、前記接触
子を互いに接近する方向にそれぞれ移動させて前記部品
を前記接触子間に接触させ、前記部品の特性測定が終了
したら、前記接触子を互いに離間する方向にそれぞれ移
動させる接触子移動手段と、前記部品と接触した前記接
触子からの信号により前記部品の特性を測定する特性測
定装置とを備えたチップマウンターの部品ベリファイ装
置において、前記接触子の接触面のクリーニングを行う
ためのクリーニングパッドと、このクリーニングパッド
を前記接触子間に向けて移動させるクリーニングパッド
移動手段と、クリーニング開始信号を発生するクリーニ
ング開始信号発生手段と、前記クリーニング開始信号を
受信して、前記接触子移動手段及び前記クリーニングパ
ッド移動手段の動作を制御するコントローラーと、前記
接触子移動手段の移動力を、前記接触子のクリーニング
時と前記部品の特性測定時とで選択切換え可能な切換え
手段と、を具備していることを特徴としている。

【０００７】第２の発明のチップマウンターの部品ベリ
ファイ装置のクリーニング方法は、上記目的を達成する
ために、一対の接触子と、該接触子のクリーニング時
に、前記接触子を互いに接近する方向にそれぞれ移動さ
せる接触子移動手段と、前記接触子の接触面のクリーニ
ングを行うためのクリーニングパッドと、このクリーニ
ングパッドを前記接触子間に向けて移動させるクリーニ
ングパッド移動手段と、クリーニング開始信号を発生す
るクリーニング開始信号発生手段と、を備えたチップマ
ウンターの部品ベリファイ装置のクリーニング方法にお
いて、前記クリーニング開始信号を受信することによっ
て、以下の動作を行わせるようにしたことを特徴として
いる。前記クリーニングパッドを前記接触子間に移動さ
せること、前記接触子を、前記部品の特性測定時から切
換えた移動力で互いに接近する方向にそれぞれ移動させ
て、前記クリーニングパッドを接触させること、前記ク
リーニングパッドをさらに前進または後退させること、
及び前記クリーニングパッドにより前記接触子のクリー
ニングが行われたら、前記接触子を元の位置に後退させ
ること。

【０００８】

【作用】このような第１及び第２の手段におけるチップ
マウンターの部品ベリファイ装置及びベリファイ装置の
クリーニング方法によれば、コントローラー１０がクリ
ーニング開始信号発生手段７からクリーニング開始信号
を受信すると、クリーニングパッド４（４４）はクリー
ニングパッド移動手段５（１４）により接触子１間に移
動し、接触子１は接触子移動手段２により互いに接近す
る方向にそれぞれ移動し、クリーニングパッド４（４
４）は接触子１間に把持される。クリーニングパッド４
（４４）はその状態でさらに前進または後退して接触子
１の把持面のクリーニングが行われ、その後接触子１は
元の待機位置まで後退する。このように、接触子１のク
リーニングが任意の時期に自動的になされる。

【０００９】このような第２の手段におけるベリファイ
装置によれば、コントローラー１０がクリーニング開始
信号発生手段７からクリーニング開始信号を受信する
と、クリーニングパッド４（４４）はクリーニングパッ
ド移動手段５（１４）により接触子１間に移動し、接触
子１は特性測定時とは異なるクリーニング時の移動力で
接触子移動手段２により互いに接近する方向にそれぞれ
移動し、クリーニングパッド４（４４）は接触子１間に
特性測定時とは異なる把持力で把持される。クリーニン
グパッド４（４４）はその状態でさらに前進または後退
して接触子１の把持面のクリーニングが行われ、その後
接触子１は元の待機位置まで後退する。このように、接
触子１のクリーニングが任意の時期に自動的になされる
上に接触子１のクリーニング時の把持力が最適に設定さ
れ得る。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図２は本発明の一実施例を示すベリファイ装置及
びその周辺部の概略構成図であり、このベリファイ装置
はチップマウンター上の所定位置に設置されている。同
図において、符号１３はチップマウンター上の図示され
ない電子素子供給装置に搭載される、例えばダイオー
ド、抵抗、コンデンサ等の電子素子を、１４は図示され
ない駆動源によりチップマウンター上のＸ，Ｙ方向に移
動可能なヘッドを、１５は種々のタイプのノズル１６，
１６ａ，１６ｂを搭載したオートツールチェンジャをそ
れぞれ示しており、図示されない基板がチップマウンタ
ー上の所定位置に搬送されると、電子素子１３の大きさ
に応じた最適なノズルがオートツールチェンジャ１５か
ら選択されてヘッド１４先端に装着され（図においては
ノズル１６）、このノズル１６により電子素子供給装置
に搭載される電子素子１３が真空吸着されて基板上の所
定位置まで搭載されることにより、電子素子１３の基板
へのマウントがなされるようになっている。

【００１１】オートツールチェンジャ１５の近傍には電
子素子１３の電気的な特性、例えば抵抗値、コンデンサ
容量、ダイオード極性等を該電子素子１３を基板上に搭
載する前に予め測定してチェックするベリファイ装置が
備えられている。このベリファイ装置について以下説明
する。符号１は一対の接触子１，１を示しており、この
接触子１，１は摺動子２ａ，２ａの先端にそれぞれ固定
されている。この摺動子２ａ，２ａのベース１７側の面
とベース１７には図示されないリニヤガイドがそれぞれ
形成されており、摺動子２ａ，２ａは接触子１，１の対
向する方向（図における示矢Ａ，Ｂ方向）に摺動可能と
なっている。この摺動子２ａ，２ａの末端にはリンク２
ｂ，２ｂの先端がピン２ｃ，２ｃによりそれぞれ回動可
能に取り付けられており、このリンク２ｂ，２ｂの末端
はリンク２ｄにピン２ｅによりそれぞれ回動可能に取り
付けられている。このリンク２ｄのベース１７側の面と
ベース１７には図示されないリニヤガイドがそれぞれ形
成されており、リンク２ｄは上下方向（図における示矢
Ｃ方向）に摺動可能となっている。このリンク２ｄは複
動エアシリンダ２ｆの上下方向に摺動可能なピストン部
２ｇに固着されており、この複動エアシリンダ２ｆはブ
ラケット２ｈを介してベース１７に固定されている。従
って、複動エアシリンダ２ｆのピストン部２ｇが上昇す
るとリンク２ｄも上昇し、リンク２ｂ，２ｂはピン２ｅ
を支点として開く方向に回動し、摺動子２ａ，２ａ及び
接触子１，１は互いに離間する方向（図における示矢Ａ
方向）にそれぞれ移動する。また、複動エアシリンダ２
ｆのピストン部２ｇが下降するとリンク２ｄも下降し、
リンク２ｂ，２ｂはピン２ｅを支点として閉じる方向に
回動し、摺動子２ａ，２ａ及び接触子１，１は互いに接
近する方向（図における示矢Ｂ方向）にそれぞれ移動す
る。

【００１２】上記複動エアシリンダ２ｆの上流側（図に
おけるエア供給源２ｐに向かう側）には、この複動エア
シリンダ２ｆへの通気及び排気を行うためのエア通路２
ｉ，２ｊがそれぞれ接続されている。エア通路２ｉはピ
ストン部２ｇの上昇時に、エア通路２ｊはピストン部２
ｇの下降時にエアがそれぞれ供給されるようになってお
り、これらエア通路２ｉ，２ｊにはスピードコントロー
ラー２ｋ，２ｍがそれぞれ介挿され、このスピードコン
トローラー２ｋ，２ｍによりピストン部２ｇの上昇並び
に下降速度をそれぞれ適正な値に変えられるようになっ
ている。上記エア通路２ｉ，２ｊの上流側には５ポート
電磁弁２ｎが接続されており、この５ポート電磁弁２ｎ
に与えられる信号に応じてエア通路２ｉ，２ｊにエアが
供給され、エア通路２ｉ，２ｊから排気がなされるよう
になっている。

【００１３】この５ポート電磁弁２ｎの上流側には４方
弁よりなる切り換え電磁弁１１ａが接続されており、こ
の電磁弁１１ａの上流側には、一定の圧力のエアを供給
するエア供給源２ｐからのエアを互いに異なる圧力とな
るように減圧する減圧弁１１ｂ，１１ｃがそれぞれ接続
されている。減圧弁１１ｂは特性測定時の接触子１の把
持力、すなわち複動エアシリンダ２ｆのピストン部２ｇ
の上昇力が最適になるように、また減圧弁１１ｃはクリ
ーニング時の接触子１の把持力が最適となるようにそれ
ぞれ圧力調節されており、上記電磁弁１１ａによりクリ
ーニング時と特性測定時とで複動エアシリンダ２ｆに供
給するエア圧を選択切り換えできるようになっている。
ここで本実施例においては、特性測定時の圧力（減圧弁
１１ｂ側の圧力）は、接触子１が電子素子１３を把持し
た時に電子素子１３に損傷等の影響を与えずに、しかも
電子素子１３が接触子１から脱落しない程度の圧力に設
定されており、クリーニング時の圧力（減圧弁１１ｃ側
の圧力）はこの特性測定時の圧力より高くなるように設
定されている（詳しくは後述）。

【００１４】上記接触子１，１には特性測定装置３が接
続されており、この接触子１，１間に電子素子１３を接
触することにより、電子素子１３の電気的特性を特性測
定装置３において測定、チェックすることが可能となっ
ている。

【００１５】ここで、上記ベリファイ装置の接触子１，
１間の略真下には、クリーニングパッド移動手段として
の単動エアシリンダ５ａが設けられており、この単動エ
アシリンダ５ａはベース１７に固定されている。この単
動エアシリンダ５ａのピストン部５ｂは、接触子１の移
動方向（図における示矢Ａ，Ｂ方向）と垂直をなす方向
に摺動可能となっており、このピストン部５ｂの先端部
には、例えばスポンジ、フェルト等の材質から構成され
るクリーニングパッド４が取り付けられている。単動エ
アシリンダ５ａの上流側（図におけるエア供給源５ｆに
向かう側）には、この単動エアシリンダ５ａへの通気及
び単動エアシリンダ５ａからの排気を行うためのエア通
路５ｃが接続されている。このエア通路５ｃにはスピー
ドコントローラー５ｄが介挿されており、このスピード
コントローラー５ｄによりピストン部５ｂの下降速度を
適正な値に設定できるようになっている。上記エア通路
５ｃの上流側にはクリーニングパッド用電磁弁５ｅが、
このクリーニングパッド用電磁弁５ｅの上流側には一定
の圧力のエアを供給するエア供給源５ｆがそれぞれ接続
されており、このクリーニングパッド用電磁弁５ｅをオ
ンするとエア通路５ｃに一定圧のエアが供給され、一方
オフするとエア通路５ｃから供給されたエアが排気され
るようになっている。

【００１６】さらに上記ベリファイ装置には、ベリファ
イを指示する指令によりクリーニング開始信号を発生す
るクリーニング開始信号発生手段７が備えられており、
このクリーニング開始信号発生手段７からの信号に応答
して切り換え電磁弁１１ａ、５ポート電磁弁２ｎ、クリ
ーニングパッド用電磁弁５ｅに制御信号を送出するコン
トローラー１０を備えている。このコントローラー１０
は、図１における切換え制御手段１２、クリーニングパ
ッド制御手段８、接触子制御手段９と同様な機能を達成
できるよう構成されているマイクロコンピューターであ
る。なお、図１における実線の矢印線は電気的な信号線
を、一点鎖線は機械的な動作を伝播する線を、点線は第
２の発明に必要なブロック及び電気的な信号線をそれぞ
れ示している。このコントローラー１０内のＲＯＭには
上記機能を達成できるプログラムが書き込まれ、各設定
値やデータテーブルが記憶処理される。ＲＯＭ内に書き
込まれたプログラムをフローチャートで示すと図３のよ
うになる。

【００１７】以下プログラムに従い本装置の作動を、本
発明にかかる方法の一実施例として説明する。プログラ
ムがスタートすると、ステップ１において、電子素子１
３の基板へのマウント指令がなされてステップ２へ進
み、ステップ２において、上記マウント指令にベリファ
イを指示する指令があるか否かを判定し、ない場合には
他の動作を実行すべくこのフローを終了して他のルーチ
ンへ移行し、ある場合にはステップ３に進み、ステップ
３において、ベリファイ動作をする前にクリーニング動
作を開始する。このクリーニング動作は、切り換え電磁
弁１１ａにクリーニング時の移動力に切り換える信号
を、５ポート電磁弁２ｎにエア通路２ｊをオンする信号
を、クリーニングパッド用電磁弁５ｅにオン信号を送出
することにより行われる。ここで、切り換え電磁弁１１
ａがクリーニング時の移動力に切り換える信号を受信す
ると、減圧弁１１ｃ側のエアが選択され、５ポート電磁
弁２ｎにはクリーニング時の圧力として最適な減圧弁１
１ｃ側のエアが供給される。そしてこれと略同時に５ポ
ート電磁弁２ｎがエア通路２ｊをオンする信号を受信す
るので、切り換え電磁弁１１ａからのエアはスピードコ
ントローラー２ｍにおいて絞られてエア通路２ｊを介し
て複動エアシリンダ２ｆに供給され、ピストン部２ｇが
ゆっくりと下降を行い、このピストン部２ｇの下降動作
によりリンク２ｄが下降し、リンク２ｂ，２ｂがピン２
ｅを支点として閉じる方向に回動して、摺動子２ａ，２
ａ及び接触子１，１は互いに接近する方向（図における
示矢Ｂ方向）にそれぞれ移動する。一方、これらの動作
に並行してクリーニングパッド用電磁弁５ｅがオン信号
を受信するので、エア供給源５ｆからのエアはスピード
コントローラー５ｄで絞られずにエア通路５ｃを介して
単動エアシリンダ５ａに供給され、ピストン部５ｂが素
早く上昇を行い、このピストン部５ｂの上昇動作により
クリーニングパッド４もそのストローク分上昇する。す
るとクリーニングパッド４は接触子１，１間に把持さ
れ、今度はクリーニングパッド用電磁弁５ｅがオフ信号
を受信し、単動エアシリンダ５ａに供給されたエアがス
ピードコントローラー５ｄにおいて絞られて開放され、
それに伴いクリーニングパッド４はゆっくりと下降し、
元の位置まで後退する。この接触子１，１間に把持され
た状態でクリーニングパッド４が下降動作を行うことに
より、接触子１の把持面のクリーニングがなされる。こ
のクリーニング動作がなされたら、５ポート電磁弁２ｎ
がエア通路２ｉをオンする信号を受信し、切り換え電磁
弁１１ａからのエアはスピードコントローラー２ｋにお
いて絞られてエア通路２ｉを介して複動エアシリンダ２
ｆに供給され、ピストン部２ｇがゆっくりと上昇を行
い、接触子１，１は互いに離間する方向（図における示
矢Ａ方向）にそれぞれ移動する。この一連のクリーニン
グ動作の動作タイミングは図示されないタイマーまたは
センサーからの信号により制御されている。

【００１８】このように、ステップ３において、クリー
ニング動作がなされたらステップ４に進み、ステップ４
において、ベリファイ動作を開始する。このベリファイ
動作は従来のベリファイ動作と全く同じであり、このベ
リファイ動作は、切り換え電磁弁１１ａにベリファイ時
の移動力に切り換える信号を、５ポート電磁弁２ｎにエ
ア通路２ｊをオンする信号をそれぞれ送出することによ
り行われ、クリーニングパッド用電磁弁５ｅには信号を
送出しない。ここで、切り換え電磁弁１１ａがベリファ
イ時の移動力に切り換える信号を受信すると、減圧弁１
１ｂ側のエアが選択され、５ポート電磁弁２ｎにはベリ
ファイ時の圧力として最適な減圧弁１１ｂ側のエアが供
給される。以降の接触子１，１の動作は上記クリーニン
グ時と同様なためここでの説明は省略する。

【００１９】一方、ベリファイを行う指令を受けると、
電子素子１３の大きさに応じた最適なノズルがオートツ
ールチェンジャ１５から選択されてヘッド１４先端に装
着され、このノズル１６により電子素子供給装置に搭載
される電子素子１３が真空吸着され、この電子素子１３
は接触子１，１間に供給されて接触子１，１間に把持さ
れる。すると、特性測定装置３に電気的信号が送られ
て、電子素子１３の電気的特性の測定、チェックがなさ
れる。このベリファイ装置の特性チェックは、電子素子
供給装置に搭載される一番最初の電子素子のみ、または
電子素子の搭載毎に行われるように設定されている。

【００２０】このようにしてベリファイ動作を完了した
らステップ５に進み、ステップ５において、電子素子１
３の基板へのマウントを行う。このマウント動作は上記
ベリファイされた電子素子１３を基板上の所定位置まで
移動し、基板上に搭載することによりなされ、ステップ
５におけるマウント動作が完了したらこのフローは終了
する。

【００２１】ここで、本実施例においては、クリーニン
グパッド４をスポンジ、フェルト等の材質により構成
し、クリーニング時の圧力（減圧弁１１ｃ側の圧力）を
特性測定時の圧力（減圧弁１１ｂ側の圧力）より高くな
るように設定しているので、クリーニングパッド４を接
触子１の把持面に対して擦るように移動して把持面のク
リーニングを確実に行うことが可能となっているが、ク
リーニングパッド４を、例えばヤスリ等の摩擦係数の大
きな材質により構成した場合には、クリーニングパッド
４を接触子１に把持された状態でスムーズに移動させる
ために、クリーニング時の圧力を特性測定時の圧力より
むしろ低くなるように設定することが必要である。

【００２２】このように、本実施例によれば、接触子１
のクリーニングをベリファイ動作を行う前に自動的に行
うようにしているので、クリーニングを定期的に忘れる
ことなくできるようになっており、特性測定の信頼性が
向上されるようになっている。しかも、本実施例におい
ては、クリーニング時とベリファイ時とでその把持力を
切り換え電磁弁１１ａにより切り換えるようにしてい
る、すなわちクリーニング時の接触子１の把持力を切り
換え電磁弁１１ａにより最適に設定することが可能とな
っているので、接触子１のクリーニングを確実に行い得
るようになっている。

【００２３】なお、上記実施例のクリーニングパッド４
をヘッド１４に装着可能に構成してヘッド１４をクリー
ニングパッド移動手段として使用してもよい。すなわち
図２に示されるようなクリーニングパッド４４とし、こ
のクリーニングパッド４４をオートツールチェンジャ１
５にセットしておき、ベリファイを指示する指令を受信
したらベリファイ動作をする前に、ヘッド１４にオート
ツールチェンジャ１５からクリーニングパッド４４を選
択装着させ、このクリーニングパッド４４を垂直移動し
て接触子１に接触させて、ヘッド１４をさらに前進させ
ることによりこのクリーニングパッド４４を移動させて
把持面のクリーニングを行い、適宜にくり返すようにす
ることも可能である。このように構成した場合には、ピ
ストン部５ｂを備える単動エアシリンダ５ａ、エア通路
５ｃ、スピードコントローラー５ｄ、クリーニングパッ
ド用電磁弁５ｅ、エア供給源５ｆが不要となるので、低
コストにてクリーニング機構６を構成できるという効果
がある。

【００２４】因みに、切り換え電磁弁１１ａ、減圧弁１
１ｂ，１１ｃをそれぞれ用いずに、エア供給源２ｐから
のエアを直接５ポート電磁弁２ｎに供給する、すなわ
ち、クリーニング時のエア圧と特性測定時のエア圧を同
じにすることも可能であり、このように構成しても接触
子１のクリーニングをベリファイ動作を行う前に自動的
に行うことができるので、特性測定の信頼性の向上が図
れる。

【００２５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変形可能であるというのはいうまでもなく、例え
ば、上記実施例においては、ベリファイを指示する指令
によりクリーニング開始信号が発生するようになってい
るが、このクリーニング開始信号はマニュアルスイッチ
のオン時、またはチップマウンター本体の電源投入時に
発生するようにすることも可能である。

【００２６】また、上記実施例においては、接触子１の
移動を複動エアシリンダ２ｆにより行うようにしている
が、複動エアシリンダ２ｆに代えて単動エアシリンダに
より行うことも可能である。また、クリーニング時とベ
リファイ時のエア圧の切り換え選択を、電磁弁を２系統
にして２種類のエア圧に設定したレギュレータにより行
うようにしても良い。

【００２７】また、上記実施例においては、接触子１の
移動をリンク機構を用いて、その駆動をエアにより行う
ようにしているが、ラック＆ピニオンを用いて、その駆
動をロータリシリンダやモータ等により行うことも可能
であり、モータを用いた場合には、その移動力の切り換
え選択を電流によるトルク制御等により行うことも可能
である。またトグル方式を用いても良い。

【００２８】さらにまた、上記実施例においては、クリ
ーニングパッド４の移動をエアシリンダにより行うよう
にしているが、エア以外の手段により行うことも勿論可
能である。

【００２９】なお、本発明は電子素子の電気的特性を測
定、チェックするベリファイ装置に対してだけでなく、
物品の特性を測定する装置全てに対して適用可能であ
る。

【００３０】

【発明の効果】以上述べたように第１及び第２の発明の
チップマウンターの部品ベリファイ装置及びベリファイ
装置のクリーニング方法によれば、接触子のクリーニン
グを任意の時期に自動的に行うことができるので、特性
測定の信頼性を向上することが可能となる。また第１及
び第２の発明のチップマウンターの部品ベリファイ装置
及びベリファイ装置のクリーニング方法によれば、接触
子のクリーニングを任意の時期に自動的に行うことがで
き、しかもクリーニング時の接触子の把持力を最適に設
定することが可能でクリーニングを確実に行うことがで
きるので、特性測定の信頼性をさらに向上することが可
能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の全体構成図である。

【図２】本発明の一実施例を示すベリファイ装置及びそ
の周辺部の概略構成図である。

【図３】図２中のコントローラー内に記憶されるプログ
ラムのフローチャートである。

【符号の説明】

１ 接触子 ２ 接触子移動手段 ３ 特性測定装置 ４，４４ クリーニングパッド ５，１４ クリーニングパッド移動手段 ６ クリーニング機構 ７ クリーニング開始信号発生手段 ８ クリーニングパッド制御手段 ９ 接触子制御手段 １０ コントローラー １１ 切換え手段 １２ 切換え制御手段 １３ 部品

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/00 G01R 31/26 G01R 1/06

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一対の接触子と、 部品の特性測定時に、前記接触子を互いに接近する方向
   にそれぞれ移動させて前記部品を前記接触子間に接触さ
   せ、前記部品の特性測定が終了したら、前記接触子を互
   いに離間する方向にそれぞれ移動させる接触子移動手段
   と、 前記部品と接触した前記接触子からの信号により前記部
   品の特性を測定する特性測定装置とを備えたチップマウ
   ンターの部品ベリファイ装置において、 前記接触子の接触面のクリーニングを行うためのクリー
   ニングパッドと、 このクリーニングパッドを前記接触子間に向けて移動さ
   せるクリーニングパッド移動手段と、 クリーニング開始信号を発生するクリーニング開始信号
   発生手段と、 前記クリーニング開始信号を受信して、前記接触子移動
   手段及び前記クリーニングパッド移動手段の動作を制御
   するコントローラーと、 前記接触子移動手段の移動力を、前記接触子のクリーニ
   ング時と前記部品の特性測定時とで選択切換え可能な切
   換え手段と、 を具備していることを特徴とするチップマウンターの部
   品ベリファイ装置。
2. 【請求項２】 一対の接触子と、該接触子のクリーニン
   グ時に、前記接触子を互いに接近する方向にそれぞれ移
   動させる接触子移動手段と、前記接触子の接触面のクリ
   ーニングを行うためのクリーニングパッドと、このクリ
   ーニングパッドを前記接触子間に向けて移動させるクリ
   ーニングパッド移動手段と、クリーニング開始信号を発
   生するクリーニング開始信号発生手段と、を備えたチッ
   プマウンターの部品ベリファイ装置のクリーニング方法
   において、 前記クリーニング開始信号を受信することによって、以
   下の動作を行わせるようにしたことを特徴とするチップ
   マウンターの部品ベリファイ装置のクリーニング方法。
   前記クリーニングパッドを前記接触子間に移動させるこ
   と、 前記接触子を、前記部品の特性測定時から切換えた移動
   力で互いに接近する方向にそれぞれ移動させて、前記ク
   リーニングパッドを接触させること、 前記クリーニングパッドをさらに前進または後退させる
   こと、及び前記クリーニングパッドにより前記接触子の
   クリーニングが行われたら、前記接触子を元の位置に後
   退させること。