JP3329276B2 - 導電性接着剤による相互接続構造物 - Google Patents

導電性接着剤による相互接続構造物

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【関連出願】この出願は米国において同日に出願された
次の出願に含まれる内容を含んでいる。
【０００２】１．米国特許出願番号052,094（出願人整
理番号 YO997-212)、はめ込み可能なボールの格子アレ
イ相互接続のための構造物、材料及び方法、２．米国特
許出願番号052,175（出願人整理番号 YO997-213)、ボー
ル格子アレイ相互接続のための構造物、材料及び用途。
【０００３】
【発明の属する技術分野】この発明は、一般的に言えば
集積回路装置を外部回路に接続する手法に関し、更に具
体的に言えば、導電性接着材料を用いるテープ自動化ボ
ンディング（ＴＡＢ）相互接続、及び導電性接着材料を
用いる崩壊制御チップ接続（controlled collapse chip
connection、Ｃ４）またはフリップ・チップ相互接続
に関するものである。
【０００４】
【従来の技術】集積回路（ＩＣ）装置の外部回路への電
気的相互接続はマイクロエレクトロニック・パッケージ
ングの重要な技術であり、これはコンピュータ・システ
ム等の電子的システム全体の性能及び信頼性を示してい
ることが屡々ある。現在の所、シリコンＩＣを回路の次
のレベルに電気的に相互接続するために、３つの技術が
一般に実施されている。これらは、ワイア・ボンディン
グ、テープ自動化ボンディング、及びフリップ・チップ
または崩壊制御チップ接続（Ｃ４）である。
【０００５】ワイア・ボンディングはチップ相互接続の
ための最も広く用いられる方法である。ボンディングの
エネルギ供給源如何に応じてワイア・ボンディング手法
は３つの方法に分けられる。これらは熱加圧、超音波、
及びサーモソニック・ボンディングである。熱加圧にお
いては熱及び圧力がボンディング・エネルギの主要なエ
ネルギ原として加えられ、ボール及びウエッジ（楔）ボ
ンディングのために金線が一般に用いられる。金線は線
の先端でボールを形成するように最初溶融される。ボー
ルがボンディングの毛細管を通して加熱される間にボー
ルはチップの上のアルミ・パッドに押しつけられる。金
線の他端は次いで金メッキされたリード・フレームまた
は基板に熱圧着によりボンディングされる。調節される
べきボンディングのパラメータは、工具の温度、垂直の
力、及びボンディングの時間である。垂直の力は主とし
てワイアに可塑性ひずみを生じ、これはボンディングの
界面に密接な接触が生じることを可能にする。３００な
いし５００°Ｃという比較的高いボンディング温度はボ
ンディング界面における内部拡散を促進して冶金性の接
合を形成する。この温度はまたワイアにおける可塑性ひ
ずみを促進する働きも持つ。しかしながら、２つの異な
る金属が接合されると、相互接続の所に好ましくない金
属間相が形成されることがある。
【０００６】超音波ボンディングではワイアは直接的に
は加熱されない。ボンディング工具に取り付けられた変
換器から与えられる振動エネルギが垂直の力と結合して
２つの金属表面の間に接合を形成する。超音波ボンディ
ングにおいて最も一般的に用いられる冶金はチップ上の
アルミ・パッド或いはリード・フレームまたは基板上の
金メッキされたパッドへのアルミ・ワイアのボンディン
グである。超音波ボンディングによりボンディングされ
たワイアには相当な程度の可塑性ひずみも観察される。
【０００７】サーモソニック・ボンディングでは、接合
ワイアが加熱される熱圧着ボンディングと異なり、接合
段階は１５０°Ｃまで加熱されるのが普通である。この
接合段階での加熱は接合しにくい表面の接合性を改善す
るものとして知られている。超音波ボンディングと比べ
ると、サーモソニック・ボンディングは装置の機械的損
傷、例えばチップのひび割れ、を受けやすいために最小
の超音波エネルギまたは垂直力が必要とされる場合に用
いられる。
【０００８】ワイア・ボンディングはチップ相互接続の
ための最も簡単で経済的な方法であるが、それは２つの
基本的な制限を持っている。ａ）それは所与寸法のチッ
プに対して設けることのできる相互接続の最大数がチッ
プの周辺長により制限されること、及びｂ）それは逐次
的なプロセスであり、作られる相互接続の数にスループ
ットが依存する事である。ＴＡＢ技術はこれらの制限を
緩和する。それはそのボンディング方式が大量のまたは
多重のボンディングであり、より精細なピッチの相互接
続を可能にするからである。ＴＡＢでは２種類の相互接
続が作られる。１つは内側リード・ボンド（ＩＬＢ）で
あり、これはチップをテープに接続する。もう１つは外
側リード・ボンド（ＯＬＢ）であり、これはテープを基
板またはボードに接続する。ＴＡＢ ＩＬＢ接合に最も
一般的に用いられる冶金構造は錫メッキされた銅／ポリ
イミドのテープとチップ上の電気メッキされた金のバン
プとである。図１はチップ１１上の金のバンプ１３にボ
ンディングされた銅１７／ポリイミド１５のテープを用
いたＩＬＢボンディングを示す。銅表面を保護するため
に錫または金の薄い層がその上に被覆される。サーモー
ド１９により熱及び力が加えられ、銅のビーム１７を加
熱すると同時にそれを金のバンプ１３に押しつける。テ
ープが錫で被覆される場合、ボンディングは錫層が溶融
して金のバンプと反応する事によって形成される。所要
のボンディング温度は２５０ないし３００°Ｃの範囲で
数秒間である。所要のボンディング圧力は２０ないし３
０ｋｐｓｉであり、従って加えられる力の総量は作られ
る相互接続の数に比例する。ボンディングは流体状の錫
と固体状の金との反応によって生じるので、金被覆テー
プと金のバンプとの金対金熱圧着ボンディングと比べて
非常に少ない力しか必要とされない。金対金のボンディ
ングの場合、固体状のボンディングを得るためには相当
な大きさの圧力及び３００ないし５００°Ｃの範囲の高
温が必要とされる。
【０００９】フリップ・チップ・ボンディングは高性能
パッケージング・アプリケーションのために現在用いら
れる最も効率的なチップ相互接続法である。このボンデ
ィング法は高性能チップをセラミックまたは有機基板に
直接接続するためにはんだバンプを利用する。鉛−錫合
金のはんだバンプは各チップ上でマスクを介してウエハ
ー上に２次元アレイ状に付着される。はんだバンプを有
するダイスされたチップがひっくり返され（フリップさ
れ）基板上のボンディング・パッドに大略整合される。
はんだ接合は、チップまたは基板のアセンブリをはんだ
バンプの融点以上の温度に保たれたリフロー炉に入れる
ことによって形成される。
【００１０】図２はシリコン・チップ及びセラミック基
板の両方に薄膜界面層を有するはんだバンプの断面を示
す図である。チップ２１の側には代表的なものとしてＣ
ｒ２４／Ｃｕ２５／Ａｕ２６の薄膜層がはんだバンプ付
着に先立って付着され、また代表的なものとしてＮｉ２
９／ＡＵ２８層がセラミック基板３０の側のボンディン
グ・パッドに付着される。これらの界面層は下側の材料
への接着及び良好なはんだ付け可能表面を与える。はん
だバンプはリフロー中液状であるので両界面において迅
速な反応が生じることができる。つまり、Ａｕ層の溶
解、及びＡｕ−Ｓｎ，Ｃｕ−Ｓｎ，Ｎｉ−Ｓｎ、等の金
属間化合物及びその他の３元化合物の生成である。
【００１１】フリップ・チップ・ボンディングにおける
はんだバンプは電気的相互接続として役立つだけでなく
チップ及び基板の間の機械的、物理的相互接続としても
役立つものである。電子的システムが動作するとき、チ
ップ温度が上下して熱的サイクルを繰り返す。はんだバ
ンプは異なる熱膨張係数の２つの物質系を接続するの
で、チップと基板材料との間の熱膨張の差がはんだ相互
接続に熱応力を誘起する。この種の熱的応力が繰り返し
加えられるとはんだ接合の疲労に至り、最終的にはシス
テムの電気的障害を生じる。熱的疲労の寿命は、殆どの
機械材料における低サイクルの疲労挙動と同じく、はん
だ接合に誘起される熱的応力の大きさによって強く影響
されることが知られている。熱的応力及びはんだ接合の
障害の危険を低減または抑制するため、幾つかの手段が
講じられている。つまり、チップの熱膨張係数により良
くマッチする新たな基板材料を選ぶこと、能動装置とそ
の環境との間の温度差を低減するための熱管理を改善す
ること、より順応性がある背の高いはんだ接合を作るこ
と、はんだ接合の周りに封止材料を適用すること等であ
る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明に従い、強くか
つ順応性があるＴＡＢパッケージチップとの相互接続が
可能とされる。更に、本発明は接合部において過剰な界
面間の反応を生じない安定なＴＡＢ接合構造を与えるこ
とを可能にする。更に本発明によれば、疲労寿命の長い
ＴＡＢ構造を得ることができる。
【００１３】本発明はまたＴＡＢの内側リードの低い圧
力でのボンディングを可能にし、ひいては回路に対する
どのような障害をも低減することができる接合材料及び
方法を提供する。本発明の幾つかの側面によれば従来方
法でパッケージされたものより大きなチップ寸法のもの
をＴＡＢパッケージについて扱うことができる接合材料
及び方法を提供することができる。
【００１４】更に、本発明によれば強くかつ順応性があ
るフリップ・チップ・パッケージとの相互接続が可能と
される。更に、本発明は接合部において過剰な界面間の
反応を生じない安定なフリップ・チップ接合構造を与え
ることを可能にする。更に本発明によれば、疲労寿命の
長いフリップ・チップ構造を得ることができる。本発明
の幾つかの側面によれば従来方法でパッケージされたも
のより大きなチップ寸法のものをフリップ・チップパッ
ケージについて扱うことができる接合材料及び方法を提
供することができる。
【００１５】更に、本発明によれば強くかつ順応性があ
るアクティブ・マトリックス液晶ディスプレイ（ＡＭＬ
ＣＤ）パッケージとの相互接続が可能とされる。更に、
本発明は接合部において過剰な界面間の反応を生じない
安定なＡＭＬＣＤの接合構造を与えることを可能にす
る。更に本発明によれば、疲労寿命が長くよりよい電気
的性能を与えるＡＭＬＣＤパッケージが実現される。本
発明の幾つかの側面によれば従来方法でパッケージされ
たものより大きなチップ寸法のものをＡＭＬＣＤパッケ
ージにおいて扱うことができる接合材料及び方法を提供
することができる。
【００１６】
【課題を解決するための手段】更に具体的に述べると、
本発明の一面は複数の導電性粒子から作られる導電性材
料を用いてテープ自動化ボンディング（ＴＡＢ）、フリ
ップ・チップ・パッケージ、及びアクティブ・マトリッ
クス液晶ディスプレイ・パネルの相互接続を行う方式に
ある。各導電性粒子は導電性被覆を有し、これは溶融さ
れた時隣接粒子の上を覆う導電性被覆となって溶融した
導電性粒子の網を形成する。
【００１７】本発明のもう１つの面は、導電性被覆及び
ポリマ材料を有する粒子のペーストを形成しこのペース
トが接着性かつ電気的な接合を与えるようにしてチップ
上の導電性バンプと接触パッドとの間に導電性接合を形
成する方法にある。熱及び圧力が導電性粒子を溶融し互
いに融着して粒子を接触パッドに冶金的に接着させる。
【００１８】本発明のもう１つの面は、導電性被覆及び
ポリマ材料を有する粒子のペーストを形成しこのペース
トが接着性かつ電気的な接合を与えるようにしてＡＭＬ
ＣＤのガラス・パネルＴＡＢリードとの間に導電性接合
を形成する方法にある。熱及び圧力が導電性粒子を溶融
し互いに融着して粒子を接触パッドに冶金的に接着させ
る。
【００１９】本発明のその他の目的及び利点はこの分野
の当業者にとって以下の詳細な説明から直ちに明らかと
なるであろう。以下の詳細な説明において、本発明を実
施するための最良の態様を示すことにより本発明の好適
な実施例が示されかつ記述される。本発明がその他の異
なる実施例により実施され得ること、及びその細部が本
発明の精神から逸脱する事無く種々の自明な観点から変
更されうることは勿論であることが理解されよう。従っ
て、以下の記述はその性質上例示的なものであり、限定
的なものとして理解されるべきではない。
【００２０】
【発明の実施の形態】本発明の理解を容易にするために
図を参照して説明する。
【００２１】本発明の実施例に従ってＴＡＢパッケージ
の例が図３に示されており、そこでＴＡＢリード３７の
ＩＣ３２上の金バンプ３３への接合が導電性接着剤３６
を用いて行われる。適当な導電性ペースト接着剤３６の
例は本出願人の出願に関わる米国特許出願番号08/641,4
06、08/883,188、60/052,172、08/868,772、及び08/87
7,991に開示されている。
【００２２】これらの導電性ペースト材料は熱可塑性プ
ラスティック及び熱硬化ポリマの両方またはどちらかを
含み、選択的にその他の成分を含むマトリックス中に分
散された導電性充填材粒子から成る。導電性接着剤は、
熱可塑性プラスティックまたは熱硬化ポリマ樹脂のマト
リックスと、清浄不要型（はんだ付け後の清浄が不要）
はんだフラックスと、導電性の可融性被覆を有する複数
の導電性粒子であって、その少なくとも幾分かは溶融し
て導電性の可融性被覆を通して別の導電性粒子に融着す
るものと、を含む事が好ましい。
【００２３】導電性粒子は約１ないし５０ミクロンの直
径であることが好ましい。導電性の可融性被覆層は約
０．１ないし２ミクロンの厚さであることが好ましい。
【００２４】適当なポリマ樹脂マトリックス材料の代表
例は、ポリイミド、シロキサン、ポリイミド−シロキサ
ン、フェノキシ・ポリマ、スチレン・アリール・アルコ
ール・ポリマ、エポキシ及びリグニン、セルローズ、木
材油、植物油、またはそれらの混合物から誘導されるバ
イオロジーに基づくポリマ樹脂を含む。
【００２５】代表的な導電性粒子はＣｕ、Ａｕ、Ａｌ、
Ｐｄ、Ｐｔ、それらの混合物、および合金を含む。
【００２６】代表的な導電性の可融性被覆はＳｎ，Ｚ
ｎ，Ｉｎ，Ｐｂ，Ｂｉ，Ｓｂまたはそれらの組み合わせ
を含む。
【００２７】例を挙げると、米国特許出願番号08/641,4
06にはＳｎでめっきされたＣｕの粉末がポリマ樹脂マト
リックスに分散されたものが開示されている。米国特許
出願番号08/868,771にはＩｎでめっきされたＣｕデンド
ライトの粉末が樹脂マトリックスに分散されたものが開
示されている。米国特許出願番号60/052,1726にはＢｉ
／Ｓｎ合金でめっきされたＣｕの粉末がポリマ樹脂マト
リックスに分散されたものが開示されている。米国特許
出願番号60/052,172にはＩｎ／Ｓｎ（またはＢｉ／Ｓ
ｎ）でめっきされたＣｕデンドライトの粉末がポリマ樹
脂マトリックスに分散されたものが開示されている。
【００２８】少量の導電性ペースト材料３６をＴＡＢリ
ード３７の先端領域に注入器で点滴することができる。
ＴＡＢリード３７は裸の銅、または表面にＳｎメッキ、
Ａｕメッキ、或いはＡｕ／Ｎｉメッキされたものであ
る。導電性ビーム・リード３７はポリイミド、ポリエス
テル等の絶縁性ポリマ層によって支持することができ
る。
【００２９】導電性接着材料をＢｉ／ＳｎまたはＩｎ／
Ｓｎで被覆された充填材と共に用いると、ＡｕからＳｎ
への従来の共融ボンディングよりも低い温度でさえもＴ
ＡＢプロセスを可能にする。更に、Ｓｎめっきされたテ
ープを導電性ペースト材料と共に用いると、Ａｕのバン
プ表面における界面反応がＡｕからＳｎへの共融ボンデ
ィングに比べて少ししか広がらない。この結果得られる
接合構造はＡｕからＳｎへの従来の共融ボンディングよ
りも優れた機械的及び熱的疲労特性を持つものと期待さ
れる。ＴＡＢテープのＡｕメッキされたＣｕリードにつ
いては、導電性接着材料を用いることによりＡｕ対Ａｕ
の熱圧着ボンディング・プロセスがＡｕ対Ｓｎ、Ａｕ対
Ｉｎ，またはＡｕ対Ｂｉ／Ｓｎの冶金ボンディングに変
わり、これは一層低い温度で行うことができる。ＴＡＢ
構造に導電性接着材料を用いる別の利点は、低いボンデ
ィング圧力を用いることができるため、熱圧着または共
融ボンディングよりも金バンプのひずみが少ない事によ
って実現される。
【００３０】図４は本発明の別の実施例を示し、そこで
はフリップ・チップはんだバンプ４７が導電性接着剤５
０を用いてモジュール基板５２に取り付けられている。
導電性接着剤５０は図３に関して述べた接着剤３６と同
じものである。本発明に従う導電性ペースト材料の少量
が注入器またはスクリーン印刷によりモジュール５２の
端子パッド５１に点滴される。モリブデンまたは銅で金
属化された端子パッド５２の頂部にはニッケル４９及び
金４８の表面冶金層が付着されている。アルミニウムま
たは銅で金属化された導電パッド４２の頂部に付着され
たクロム、チタニウム、またはチタニウム・タングステ
ン４４と、銅４５と、金４６とを含む薄膜層頂部にＰｂ
−Ｓｎはんだバンプ４７を付着することによりＩＣチッ
プ４１が準備される。はんだバンプ４７はボンディング
の台としての役割を持つが、接合の間溶融することはな
い。Ａｕ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｃｏ，Ａｇ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｐ
ｂ，Ｓｎ，Ｉｎ，Ｂｉ、Ｓｂ、Ｚｎ、或いはそれらの合
金または組合せなどのその他のバンプ材料も使用でき
る。
【００３１】導電性接着材料５０はバンプ及びモジュー
ル基板上の金属化物４８／４９と冶金接合を形成する。
本発明に従う 導電性接着材料を用いることにより、約
１５０ないし２５０°Ｃの温度範囲のような低温接合プ
ロセスが可能となるが、これに対して従来技術のフリッ
プ・チップ・ボンディングでは約３５０°Ｃとなる。
【００３２】従来技術のフリップ・チップ・ボンディン
グは、はんだバンプの完全な溶融を必要とするので、接
合界面及びはんだバンプ内に種々の金属間化合物が広範
囲にわたって形成され、これが屡々接合の信頼性に重大
な懸念を生じる。本発明においては、導電性接着材料及
び接合材料の局所化された反応に付随する低温接合のた
め、金属間化合物の形成は一層少なくなるものと期待さ
れ、これはより優れた接合の一体性および接合信頼度の
強化をもたらすことになる。
【００３３】図５は本発明の更に別の実施例を示し、そ
こでは導電性接着剤６０を用いてアクティブ・マトリッ
クス液晶ディスプレイ（ＡＭＬＣＤ）が印刷回路板６２
に接続される。ここに示されるＡＭＬＣＤは３つの要
素、つまり、２枚のガラス板５４、照明源５６、及び電
子装置を内蔵する印刷回路板６２より成る。薄い液晶層
５５が２枚のガラス板の間に挟まれ、その上側のガラス
板にはカラー・フィルタ層が形成され、下側のガラス板
には透過光を変調するための薄膜トランジスタのアレイ
が作られている。ガラス板５４と印刷回路板６２との間
の接続は可撓性ＴＡＢテープ５９を用いて行われ、この
テープにはドライブ・チップ５７が金バンプによって取
り付けられている。
【００３４】ＴＡＢテープ５９とガラス板５４との間の
相互接続は異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を用いてなさ
れるのが一般的である。この異方性導電フィルムは直径
数ミクロンの導電性充填粒子を絶縁性ポリマ樹脂に分散
したものから成る。充填粒子は固体の金属粉（銅、ニッ
ケル、金、銀、パラディウム、はんだ等）または金／ニ
ッケルで被覆されたプラスティック・ボールである。Ａ
ＣＦはＴＡＢリードとガラス板上の電極との間の導電性
接着ボンディングを与える。
【００３５】ＡＣＦボンディングは一般に熱及び圧力を
加えることによって行われるが、接合部に何らの冶金的
ボンディングをも生じない。接着接合を通る電気伝導は
銅導電部材の加圧接触により与えられるので接合部の電
気的特性は、樹脂マトリックスに応力の緩和を生じる熱
に露呈されることに対して非常に敏感である。
【００３６】図５の実施例においては、従来のＡＣＦの
代わりに導電性接着剤６０が用いられる。この導電性接
着剤６０は図３に関して述べた接着剤３６と同じもので
ある。低温ボンディングを達成するためにはＢｉ／Ｓｎ
またはＩｎ／Ｓｎで被覆された充填材を含む導電性接着
剤が好ましい。熱及び圧力を加えると、導電性充填材の
間及び粒子と基板との間に冶金接合が作られる。この冶
金接合に加えてポリマ樹脂マトリックスによる接着接合
はガラス板と印刷回路板との間に機械的に強くかつ電気
的に安定な接合を与えることになる。本発明のこの概念
は従来技術のニッケル及び金で被覆されたプラスティッ
ク・ボールを、Ｓｎ，Ｉｎ，Ｂｉ，Ｓｂまたはそれらの
合金より成る可融性層で更に被覆することによってその
働きを強化するためにも適用されうる。これはプラステ
ィック・ボールの圧縮可能な性質を利用した上、追加の
可融性被覆により可能とされる冶金的ボンディングによ
ってその性能を高めることになる。
【００３７】特定の例として米国特許出願番号08/641,4
06には、錫で被覆された銅の粉末、ポリイミド−シロキ
サン、溶剤、カルボン酸界面活性剤、及び清浄不要型フ
ラックスから成る導電性ペーストが開示されている。こ
の組成で接合処理はＳｎの融点２３０°Ｃに近い温度で
行われ、その時Ｓｎ対ＳｎまたはＳｎ対Ａｕの冶金接合
が粒子対粒子及び粒子対基板パッド界面に形成される。
冶金接合であるため、銀を充填したエポキシ材料と比べ
て高い導電性および大きな接合強度が見られる。この冶
金接合は熱に曝されたときおよび熱サイクルを受けたと
きに接合に安定な電気的導電性を与えた。別の米国特許
出願番号60/052,173には、ビスマスー錫で被覆された銅
粉末、熱可塑性ポリマ樹脂、溶剤、及び清浄不要型フラ
ックスから作られた導電性ペーストが開示されている。
接合処理は約１３９°ＣであるＢｉ−Ｓｎの共融温度近
くで行われる。別の米国特許出願番号08/868,771には、
インディウム錫で被覆された銅粉末、熱可塑性ポリマ樹
脂、溶剤、及び清浄不要型フラックスから作られた導電
性ペーストが開示されている。接合処理は約１２０°Ｃ
であるＩｎ−Ｓｎの共融温度近くで行われる。Ｂｉ−Ｓ
ｎまたはＩｎ−Ｓｎで被覆された銅粉末を含む導電性ペ
ーストはポリマの印刷回路板について使用できる。また
Ｓｎで被覆された銅粉末はセラミック基板について使用
できる。
【００３８】本発明が以上の記載により図示されかつ説
明された。この明細書の開示は本発明の好適な実施例だ
けを示し、記述したものであるが、上に述べたように、
本発明がその他の種々な組合せ、変更及び環境で使用さ
れうること、及び本明細書で表明された本発明の概念の
中で上述の教示及びこの分野の技能及び知識に従って変
更または修正を成し得ることは言うまでもない。更に、
上で述べられた実施例は本発明を実施するための知る限
りの最良の態様を説明し、当業者が上記実施例またはそ
の他の実施例において本発明の特定の応用または用途に
必要とされる種々の変更を加えて本発明を利用できるよ
うにする事を意図するものである。従って、上記記述は
本発明をここに開示した形態に限定することを意図する
ものではない。また、本明細書の特許請求の範囲が代替
の実施例を包括するように解釈されることが意図される
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】可撓性ＴＡＢテープ及びバンプ付きチップを用
いて集積回路装置に相互接続する従来技術のテープ自動
化ボンディング（ＴＡＢ）を表す概略断面図である。熱
バンプ付き構造によりＴＡＢビーム・リードを集積回路
装置にボンディングするのに圧着ボンディングが一般的
に用いられる。
【図２】集積回路装置の端子パッドに付着されたはんだ
バンプを用いてセラミック・モジュールにフリップ・チ
ップ相互接続する代表的な従来技術を表す概略断面図で
ある。
【図３】新規なＴＡＢ相互接続構造を表す概略断面図で
あり、この構造において本発明に従って開発された新規
な導電性ペーストが、より低い印加圧力で熱圧着ボンデ
ィングを促進し、接合部における界面の反応を抑制し、
これによりＴＡＢ相互接続構造の信頼性を強化するため
に用いられる。
【図４】新規なフリップ・チップ相互接続構造を表す概
略断面図であり、本発明に従って開発された新規な導電
性ペーストが接合温度を下げるボンディング材料として
用いられ、接合部における界面の反応を抑制し、これに
よりフリップ・チップ相互接続構造の信頼性を強化する
ために用いられる。
【図５】アクティブ・マトリックス液晶ディスプレイ
（ＡＭＬＣＤ）相互接続構造を表す図であり、ここで本
発明に従って開発された新規な導電性接着材料がガラス
・パネル・ディスプレイと印刷回路ボードとの間のボン
ディング材料として用いられる。
【符号の説明】
３２：ＩＣ ３３：金バンプ ３７：ＴＡＢリード ３６：導電性接着剤 ４７：はんだバンプ ４１：ＩＣチップ ５０：導電性接着剤 ５１：端子パッド ５２：モジュール基板 ５４：ガラス板 ５５：液晶層 ５９：ＴＡＢテープ ６０：導電性接着剤 ６２：印刷回路板
フロントページの続き (72)発明者 サンパス・パラショザマン アメリカ合衆国10598−4029、ニューヨ ーク州、ヨークタウン・ハイツ、ラボ イ・コート 2075 審査官 守安 太郎 (56)参考文献 特開 昭62−256446（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−77164（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−29207（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−190596（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−321330（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−199206（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−293749（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/60 G02F 1/1345

Claims (16)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ICチップのボンディング用の台又はバンプ
    と、TABビーム・リードとが導電性接着剤により接合さ
    れている構造物において、 前記TABビーム・リードが、銅から作られるか、或い
    は、Ｓｎでメッキされた表面、Ａｕでメッキされた表
    面、もしくはＡｕ／Ｎｉでメッキされた表面を有し、且
    つ、 前記導電性接着剤の導電性粒子が、導電性の可融性被覆
    を有し、該可融性被覆が溶融することによって、少なく
    ともいくらかの該導電性粒子が、他の導電性粒子に融着
    するようになっている、ことを特徴とする構造物。
  2. 【請求項２】フリップ・チップ相互接続のための複数の
    導電性バンプと、モジュール基板の端子パッドとが導電
    性接着剤により接合されている構造物において、 前記導電性バンプが、Ａｕ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ａｇ、
    Ｐｄ、Ｐｔ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｓｂ及びそれら
    の合金からなる群より選ばれる少なくとも１種の材料か
    ら作られ、 前記導電性接着剤の導電性粒子が、導電性の可融性被覆
    を有し、該可融性被覆が溶融することによって、少なく
    ともいくらかの該導電性粒子が、他の導電性粒子に融着
    するようになっている、ことを特徴とする構造物。
  3. 【請求項３】前記導電性バンプは、Ｃｒ／Ｃｕ／Ａｕ、
    Ｔｉ／Ｃｕ／ＡｕまたはＴｉＷ／Ｃｕ／Ａｕから成る薄
    膜層の上に付着され、前記薄膜層は集積回路装置のアル
    ミまたは銅金属化層の上に付着される請求項２の構造
    物。
  4. 【請求項４】アクティブ・マトリックス液晶ディスプレ
    イ（ＡＭＬＣＤ）上の電極パッドと、銅から作られる
    か、或いは、Ｓｎでメッキされた表面、Ａｕでメッキさ
    れた表面、またはＡｕ／Ｎｉでメッキされた表面を有す
    る、TABリードとが、 導電性で可融性の被覆を有する導電性粒子を含み、該可
    融性被覆が溶融することによって、少なくともいくらか
    の導電性粒子が、他の導電性粒子に融着するよう になっ
    ている、導電性接着剤で電気的かつ機械的に接合されて
    いる構造物。
  5. 【請求項５】前記導電性粒子はＣｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ａ
    ｌ、ＰｄおよびＰｔからなる群より選ばれる少なくとも
    １つの材料から作られる請求項１〜４のいずれか1項記
    載の構造物。
  6. 【請求項６】前記可融性被覆はＳｎ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ｐ
    ｂ，Ｂｉ，およびＳｂからなる群より選ばれる請求項１
    〜５のいずれか1項記載の構造物。
  7. 【請求項７】前記導電性接着剤がポリマ樹脂マトリック
    スを含み、前記ポリマ樹脂マトリックスの材料が、ポリ
    イミド、シロキサン、ポリイミド−シロキサン、フェノ
    キシ・ポリマ、スチレン・アリルアルコール・ポリマ、
    エポキシ、並びに、リグニン、セルローズ、木材油、及
    び植物油からなる群より選ばれる少なくとも１つのもの
    から誘導される生分解性ポリマ樹脂からなる群より選ば
    れる少なくとも１種である、請求項１〜６のいずれか1
    項記載の構造物。
  8. 【請求項８】前記導電性接着剤が、清浄不要型はんだフ
    ラックスをさらに含む、請求項１〜７のいずれか１項記
    載の構造物。
  9. 【請求項９】前記ポリマ樹脂マトリックスの材料は前記
    ボンディング用の台またはバンプの接着接合を与える請
    求項１〜８のいずれか１項記載の構造物。
  10. 【請求項１０】前記導電性粒子は１ないし５０ミクロン
    の直径である請求項１〜９のいずれか1項記載の構造
    物。
  11. 【請求項１１】前記可融性被覆は０.１ないし２ミクロ
    ンの厚さである請求項１〜１０のいずれか1項記載の構
    造物。
  12. 【請求項１２】前記構造物は電子的装置である請求項１
    〜１１のいずれか1項記載の構造物。
  13. 【請求項１３】 前記構造物は計算装置である請求項１
    〜１１のいずれか1項記載の構造物。
  14. 【請求項１４】前記導電性接着剤による接合はある時間
    の間熱及び圧力を加えることによってなされる請求項１
    〜１３のいずれか1項記載の構造物。
  15. 【請求項１５】前記導電性接着剤の付着は注入器、スク
    リーン・プリント、またはステンシル・プリントを用い
    て行われる請求項１〜１４のいずれか1項記載の構造
    物。
  16. 【請求項１６】前記導電性粒子はＮｉ，Ｃｏ，Ｃｕ，Ａ
    ｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｐｄ、及びそれらの組合せからなる群
    より選ばれた少なくとも１種により被覆されたプラステ
    ィック・ボールである請求項４記載の構造物。
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